JPS6426844U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6426844U JPS6426844U JP12288287U JP12288287U JPS6426844U JP S6426844 U JPS6426844 U JP S6426844U JP 12288287 U JP12288287 U JP 12288287U JP 12288287 U JP12288287 U JP 12288287U JP S6426844 U JPS6426844 U JP S6426844U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- tilting
- counting device
- wafer
- wafer counting
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図〜第3図は、この考案の実施例を示す図
で、第1図は、使用状態を示す図、第2図は、第
1図の要部拡大断面図、第3図は、ウエハ計測前
の状態を示す断面図で第2図に相当する図第4図
は、他の実施例を示す正面図、第5図、第6図、
第7図は、それぞれ従来例を示す図である。 10……キヤリヤ、11……ウエハ溝、12…
…ウエハ、13……傾斜装置、14……キヤリヤ
テーブル。
で、第1図は、使用状態を示す図、第2図は、第
1図の要部拡大断面図、第3図は、ウエハ計測前
の状態を示す断面図で第2図に相当する図第4図
は、他の実施例を示す正面図、第5図、第6図、
第7図は、それぞれ従来例を示す図である。 10……キヤリヤ、11……ウエハ溝、12…
…ウエハ、13……傾斜装置、14……キヤリヤ
テーブル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) キヤリアを、その長手方向に傾斜せしめる
手段を備えたウエハ計数装置。 (2) 前記手段が、キヤリヤテーブルに設けた傾
斜装置であることを特徴とする実用新案登録請求
の範囲第1項記載のウエハ計数装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12288287U JPS6426844U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12288287U JPS6426844U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6426844U true JPS6426844U (ja) | 1989-02-15 |
Family
ID=31371228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12288287U Pending JPS6426844U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6426844U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60157230A (ja) * | 1984-01-11 | 1985-08-17 | Telmec Co Ltd | 半導体ウエハ搬送方法 |
-
1987
- 1987-08-11 JP JP12288287U patent/JPS6426844U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60157230A (ja) * | 1984-01-11 | 1985-08-17 | Telmec Co Ltd | 半導体ウエハ搬送方法 |
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