JPS6425502U - - Google Patents

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JPS6425502U
JPS6425502U JP12065787U JP12065787U JPS6425502U JP S6425502 U JPS6425502 U JP S6425502U JP 12065787 U JP12065787 U JP 12065787U JP 12065787 U JP12065787 U JP 12065787U JP S6425502 U JPS6425502 U JP S6425502U
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signal
pressure
electro
controller
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の実施例の構成図、第2図は従
来公知の空気圧機器の概略構成図である。 21……電空変換部、24……コントローラ、
25,26……開閉弁、28……圧電センサ、3
0……供給オリフイス、31,36……ポート、
32,37……電歪素子、35……排気オリフイ
ス。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 入力電気信号に比例する出力空気圧によつて動
    作する空気圧機器において、 上記空気圧機器は、入力電気信号を該入力電気
    信号に比例する信号空気圧に変換して出力する電
    空変換部と、該電空変換部からの信号空気圧によ
    つて動作する空気圧動作部を備え、 上記電空変換部を、 上記入力電気信号と、上記信号空気圧を電気信
    号に変換する圧電センサからフイードバツクされ
    るフイードバツク電気信号との大小を比較し、こ
    れらの電気信号の大小によつて制御電圧を出力す
    るコントローラと、 圧力空気源に連通する供給オリフイス、上記空
    気圧動作部に信号空気圧を出力するポート、及び
    上記コントローラからの制御電圧により歪曲して
    上記供給オリフイスを開閉する圧電素子を有する
    第1の開閉弁と、 外部に連通する排気オリフイス、上記信号空気
    圧が入力するポート、及び上記コントローラから
    の制御電圧により歪曲して上記排気オリフイスを
    開閉する圧電素子を有する第2の開閉弁、 とで構成したことを特徴とする空気圧機器。
JP12065787U 1987-08-06 1987-08-06 Expired JPH0422083Y2 (ja)

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JP12065787U JPH0422083Y2 (ja) 1987-08-06 1987-08-06

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JP12065787U JPH0422083Y2 (ja) 1987-08-06 1987-08-06

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Publication Number Publication Date
JPS6425502U true JPS6425502U (ja) 1989-02-13
JPH0422083Y2 JPH0422083Y2 (ja) 1992-05-20

Family

ID=31366958

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JP12065787U Expired JPH0422083Y2 (ja) 1987-08-06 1987-08-06

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JPH0422083Y2 (ja) 1992-05-20

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