JPS6422027U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6422027U JPS6422027U JP11682087U JP11682087U JPS6422027U JP S6422027 U JPS6422027 U JP S6422027U JP 11682087 U JP11682087 U JP 11682087U JP 11682087 U JP11682087 U JP 11682087U JP S6422027 U JPS6422027 U JP S6422027U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- furnace core
- furnace
- core tube
- extension tube
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
Description
第１図はこの考案の半導体熱処理炉の第１の実
施例の要部を示す拡大図、第２図は第１の実施例
の全体を示す断面図、第３図はこの考案の第２の
実施例を示す断面図、第４図は従来の半導体熱処
理炉を示す断面図、第５図は従来の炉のすり合わ
せ接続部分の拡大図である。 １……炉芯管、７……延長チユーブ、１１……
すり合わせ接続部分、１２……突起。
施例の要部を示す拡大図、第２図は第１の実施例
の全体を示す断面図、第３図はこの考案の第２の
実施例を示す断面図、第４図は従来の半導体熱処
理炉を示す断面図、第５図は従来の炉のすり合わ
せ接続部分の拡大図である。 １……炉芯管、７……延長チユーブ、１１……
すり合わせ接続部分、１２……突起。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 炉芯管に嵌合すり合わせにより延長チユーブが
接続される半導体熱処理炉において、 炉芯管および延長チユーブの一方の嵌合対接面
に、炉芯管および延長チユーブと、同心円のリン
グ状に突起を複数本設け、 該突起の先端面が炉芯管および延長チユーブの
他方の嵌合対接面にすり合わされることを特徴と
する半導体熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11682087U JPS6422027U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11682087U JPS6422027U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6422027U true JPS6422027U (ja) | 1989-02-03 |
Family
ID=31359709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11682087U Pending JPS6422027U (ja) | 1987-07-31 | 1987-07-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6422027U (ja) |
-
1987
- 1987-07-31 JP JP11682087U patent/JPS6422027U/ja active Pending