JPS6416630U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6416630U JPS6416630U JP11070587U JP11070587U JPS6416630U JP S6416630 U JPS6416630 U JP S6416630U JP 11070587 U JP11070587 U JP 11070587U JP 11070587 U JP11070587 U JP 11070587U JP S6416630 U JPS6416630 U JP S6416630U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- mercury lamp
- signal
- ultra
- pressure mercury
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Discharge-Lamp Control Circuits And Pulse- Feed Circuits (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例である超高圧水銀
灯点灯装置の主要部のブロツク図、第２図はこの
実施例におけるａフラツシユ／スタンバイ信号と
ｂフラツシユタイマによる信号、ｃＡＮＤ回路の
出力信号の各タイミングチヤート、第３図は半導
体ウエハ露光装置に用いられる超高圧水銀灯点灯
装置の概略を示す回路図である。 図中、１：ランプ、２：スタータ、３，５：整
流・平滑回路、６：交流電源、７：ドライブ回路
、８：パルス巾変調回路、９：オペアンプ、１０
：切換回路、１１：ＡＮＤ回路、１２：フラツシ
ユタイマ。
灯点灯装置の主要部のブロツク図、第２図はこの
実施例におけるａフラツシユ／スタンバイ信号と
ｂフラツシユタイマによる信号、ｃＡＮＤ回路の
出力信号の各タイミングチヤート、第３図は半導
体ウエハ露光装置に用いられる超高圧水銀灯点灯
装置の概略を示す回路図である。 図中、１：ランプ、２：スタータ、３，５：整
流・平滑回路、６：交流電源、７：ドライブ回路
、８：パルス巾変調回路、９：オペアンプ、１０
：切換回路、１１：ＡＮＤ回路、１２：フラツシ
ユタイマ。
Claims (1)
- 交流電源と、この交流電源に対する整流・平滑
回路を一次側に備えたスイツチング素子と、イン
バータトランスと、このインバータトランスの二
次側に設けられた整流・平滑回路と、この整流・
平滑回路を介して接続され、かつフラツシユ状態
とスタンバイ状態の２つの点灯状態で点灯される
超高圧水銀灯と、この超高圧水銀灯を点灯させる
スタータと、前記インバータトランスの二次側に
設けられた整流・平滑回路の出力部から検出され
る電力信号と前記超高圧水銀灯のフラツシユ状態
における第１の基準信号及びスタンバイ状態にお
ける第２の基準信号からなる基準信号とを比較す
る検出比較回路と、この検出比較回路からの信号
に基づいて、前記スイツチング素子を制御する制
御回路と前記各基準信号を切換える切換回路とか
ら構成される超高圧水銀灯点灯装置において、前
記切換回路はフラツシユ／スタンバイ信号とフラ
ツシユタイマからの信号とを入力とし、切換信号
を出力とする論理回路を構成したことを特徴とす
る超高圧水銀灯点灯装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11070587U JPS6416630U (ja) | 1987-07-21 | 1987-07-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11070587U JPS6416630U (ja) | 1987-07-21 | 1987-07-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6416630U true JPS6416630U (ja) | 1989-01-27 |
Family
ID=31348106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11070587U Pending JPS6416630U (ja) | 1987-07-21 | 1987-07-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6416630U (ja) |
-
1987
- 1987-07-21 JP JP11070587U patent/JPS6416630U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6416630U (ja) | ||
| JPS63125397U (ja) | ||
| JPS62161550U (ja) | ||
| JPH01135698U (ja) | ||
| JPH0828969B2 (ja) | 複合共振形コンバータ | |
| JP3714440B2 (ja) | 防災用照明点灯回路、防災用照明点灯装置及び防災用照明装置 | |
| JPH0340885U (ja) | ||
| JPH01132097U (ja) | ||
| JPS63149096U (ja) | ||
| JPS6336142U (ja) | ||
| JPS6158971U (ja) | ||
| JPS59154798U (ja) | 放電灯点灯装置 | |
| JPH01157538U (ja) | ||
| JPH01157585U (ja) | ||
| JPH0214698U (ja) | ||
| JPH01123485U (ja) | ||
| JPH01113996U (ja) | ||
| JPS6310788U (ja) | ||
| JPS61110473U (ja) | ||
| JPH0472880U (ja) | ||
| JPH10270186A (ja) | 放電灯点灯装置 | |
| JPH0333999U (ja) | ||
| JPH0260486U (ja) | ||
| JPS649431U (ja) | ||
| JPS62107397U (ja) |