JPS6398160A

JPS6398160A - Laser

Info

Publication number: JPS6398160A
Application number: JP24395586A
Authority: JP
Inventors: Takeji Arai; 武二新井
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 1986-10-14
Filing date: 1986-10-14
Publication date: 1988-04-28

Abstract

PURPOSE:To remove the influence of a thermal strain on a laser tube thereby to reduce the variation in an optical axis of a laser by movably supporting the two points of a lower invar rotatably at one point in a linear direction, and suspending a laser tube movably from the upper invar. CONSTITUTION:Invars 31-34 are clamped by nuts 35-38 to flanges 21, 22 on a base 1, lower invars 33, 34 are held by supporting members 45, 46 through rod materials 43, 44 by members 41, 42, and the materials 43, 44 are rotatable with respect to the members 41, 42 and 45, 46. Further, the invars 33, 34 are coupled to the members 51, 52, and supported at a position C by a holder 54 through a rod material 53. Laser tubes 61, 62 are flexibly coupled to the flanges 21, 22, suspended by suspending members 63, 64 from the invars 31, 32, and the tubes 61, 62 are made laterally movable. Thus, even if the tubes 61, 62 are elongated or Shrunk due to temperature change, they are not applied with a strain in lateral directions.

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は複数のレーザ管を有するレーザ装置に関し、特
に、レーザ管に熱的歪を与えないように構成したレーザ
管保持機構を有するレーザ装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a laser device having a plurality of laser tubes, and particularly to a laser device having a laser tube holding mechanism configured to prevent thermal distortion from being applied to the laser tubes. Regarding.

[Conventional technology]

レーザ装置は装置内に一般に振動源としてポンプ、ブロ
アー等を有し、この振動がフレーム部材をとうしてレー
ザ管に振動をあたえる。A laser device generally has a pump, blower, etc. as a vibration source within the device, and this vibration applies vibration to the laser tube through a frame member.

又、発熱源としてレーザ管、モータ類、圧縮空気等があ
り、これらの熱がレーザ管を保持する機構部に熱変形を
与える。Further, there are heat sources such as a laser tube, motors, compressed air, etc., and the heat from these causes thermal deformation to the mechanical part that holds the laser tube.

従来のレーザ装置ではレーザ管は装置全体を構成するフ
レームに固定され、機械的振動による変形及び放電又は
発振に伴う熱応力に対する対策が充分ではなかった。In conventional laser devices, the laser tube is fixed to a frame constituting the entire device, and there are insufficient measures against deformation due to mechanical vibration and thermal stress associated with discharge or oscillation.

[Problem that the invention seeks to solve]

このため、機械的振動及び部分的な温度上昇、経年変形
等によりレーザ発振器を構成する全反射鏡、折返し鏡、
出力鏡間の光軸及びあおり角に微妙なずれを与え、レー
ザ装置の出力特性及びビームモードを不安定にするとい
う問題点があった。Therefore, due to mechanical vibration, partial temperature rise, deformation over time, etc., the total reflection mirrors and folding mirrors that make up the laser oscillator,
There is a problem in that this creates a slight deviation in the optical axis and tilt angle between the output mirrors, making the output characteristics and beam mode of the laser device unstable.

本発明の目的は上記問題点を解決し、レーザ管に熱的歪
を与えないように構成したレーザ管保持機構を有するレ
ーザ装置を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and provide a laser device having a laser tube holding mechanism configured so as not to cause thermal distortion to the laser tube.

[Means for solving problems]

本発明では上記の問題点を解決するために、第１図に示
すように、複数のレーザ管（６１，６２）を有するレーザ装置にお
いて、レーザ管を可撓的に保持する２個のフランジ（２１，２
２）と、該フランジに張り渡されたインバー（３１，３２，３３
，３４）と、該インバーの下部のインバー（３３，３４）は２個所で
回転できるように保持され、他の１個所で該インバーと
平行方向に直線的に可動できるように保持され１、該インバーの上部に前記複数のレーザ管が可動的に吊
り下げられていることを特徴とするレーザ装置を、採用した。In order to solve the above problems, in the present invention, as shown in FIG. 1, in a laser device having a plurality of laser tubes (61, 62), two flanges ( 21,2
2) and Invar (31, 32, 33) stretched across the flange.
, 34), and the lower invars (33, 34) are held rotatably at two locations, and held at one other location so as to be linearly movable in a direction parallel to the invars. A laser device is adopted in which the plurality of laser tubes are movably suspended above the invar.

[Effect]

下部のインバー（３３，３４）は第１図のＡ部、Ｂ部及
びＣ部の３点で保持され、Ａ部及びＢ部は回転可能に保
持され、Ｃ部は左右に可動的に保持されているので各イ
ンバー（３１〜３４）の熱的な変形にたいしては自由で
あり、又、レーザ管（６１，６２）はインバー（３１，
３２）にたいして左右に可動的に保持されているので、
振動及び変形を受けない。The lower Invar (33, 34) is held at three points, parts A, B, and C in Figure 1, where parts A and B are held rotatably, and part C is held movably from side to side. Since each Invar (31 to 34) is free from thermal deformation, the laser tubes (61, 62) are
32) because it is held movably to the left and right,
Not subject to vibration or deformation.

〔Example〕

以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。 An embodiment of the present invention will be described below based on the drawings.

第１図に本発明の一実施例の斜視図を示す。図において
、１は基台であり、通常は図示されていないフレーム等
によって支えられている。２１及び２２はフランジであ
り、このフランジ２１．２２にインバー３１．３２．３
３及び３４がナツト３５．３６．３７及び３８によって
結合さ′れ、４角柱構造になっている。４本のフランジ
３１〜３４の誤差による差はナツト３５〜３７によって
調節することができる。FIG. 1 shows a perspective view of an embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a base, which is usually supported by a frame or the like (not shown). 21 and 22 are flanges, and invar 31.32.3 is attached to this flange 21.22.
3 and 34 are connected by nuts 35, 36, 37 and 38, forming a square prism structure. Differences due to errors in the four flanges 31-34 can be adjusted by nuts 35-37.

下部のインバー３３及び３４は部材４１及び４２によっ
て、棒材４３及び４４を介して部材４５及び４６によっ
て保持されている。棒材４３及び４４は部材４１及び４
２に対しても、部材４５及び４６に対しても回転可能な
ようになっている。The lower invars 33 and 34 are held by members 41 and 42, and by members 45 and 46 via bars 43 and 44. Bars 43 and 44 are members 41 and 4
2 and members 45 and 46.

更に、インバー３３及び３４は部材５１及び５２によっ
て結合され、部材５１及び５２は棒材５３によって結合
され、保持材５４によって、１個所で支えられている。Further, the invars 33 and 34 are connected by members 51 and 52, the members 51 and 52 are connected by a bar 53, and are supported at one location by a retainer 54.

棒材５３と保持材５４は図示されていないリニアベアリ
ングによって、左右の方向に可動できるようになってい
る。The bar 53 and the holding member 54 are movable in left and right directions by linear bearings (not shown).

６１及び６２はレーザ管であり、レーザ管６１及び６２
はフランジ２１及び２２に結合されているが、結合の仕
方は固定的でなく、公知のベローズ等を使用して可撓的
にフランジ２１及び２２に結合されている。さらにレー
ザ管６１及び６１は部材６３及び６４によってインバー
３１及び３２に釣下げられている。部材６３及び６４と
レーザ管６１及び６２の結合はレーザ管６１及び６２が
左右に可動可能なようになっており、レーザ管６１及び
６２は温度変化によって伸び縮みしても、左右の方向に
歪を受けることはない。61 and 62 are laser tubes;
are connected to the flanges 21 and 22, but the connection is not fixed, but is flexibly connected to the flanges 21 and 22 using a known bellows or the like. Further, the laser tubes 61 and 61 are suspended from the invars 31 and 32 by members 63 and 64. The members 63 and 64 are coupled to the laser tubes 61 and 62 so that the laser tubes 61 and 62 can move left and right, and even if the laser tubes 61 and 62 expand or contract due to temperature changes, they will not be distorted in the left or right direction. You will not receive any.

このように、インバーはＡ部、Ｂ部及びＣ部の３点で支
持されており、Ａ部及びＢ部では回転可能に支持されて
おり、Ｃ部では左右の方向に可動的に支持されているの
で、４角柱構造のフランジ２１及び２２、インバー３１
〜３４は熱的な歪をうけることがない。又、レーザ管６
１及び６２はフランジ２１及び２２とは可撓性的に結合
されているので、レーザ管６１及び６２の熱的影響によ
る歪を受けることがない。In this way, the Invar is supported at three points: A, B, and C. At A and B, it is rotatably supported, and at C, it is movably supported in left and right directions. Therefore, the flanges 21 and 22 of the square prism structure, and the invar 31
~34 are not subjected to thermal distortion. Also, the laser tube 6
1 and 62 are flexibly connected to the flanges 21 and 22, so that they are not distorted by the thermal effects of the laser tubes 61 and 62.

上記の実施例ではインバーは４本、レーザ管は２本で構
成したがこれら本数は適用されるレーザ装置の規模にお
いて変更することができる。In the above embodiment, there are four invars and two laser tubes, but these numbers can be changed depending on the scale of the laser device to which it is applied.

〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明では、インバーを３点支持と
して、２点を回転可能に、１点を直線方向に可動的に支
持し、レーザ管をフランジと可撓性的に結合し、上部の
インバーと可動的に吊り下げたので、レーザ管は熱的な
歪による影否をうけることなく、又、その光軸が変動す
ることも少なくなる。As explained above, in the present invention, the Invar is supported at three points, two points are rotatably supported, one point is movably supported in a linear direction, the laser tube is flexibly connected to the flange, and the upper Since it is movably suspended from the invar, the laser tube is not affected by thermal distortion, and its optical axis is less likely to fluctuate.

[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明の一実施例の斜視図である。２１．２２−−−−−一・・フランジ３１〜３４・・・−・インバー４３．４４・・・−・・−棒材４５．４６・−−−一−・支持材５３　　　−・−棒材 FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of the present invention. 21.22-----1...Flange 31-34...--invar 43.44...-- Bar material 45.46・---1-・Support material 53　　　　　　　　　-・-Bar material

Claims

[Claims]

(1) In a laser device having multiple laser tubes, two flanges that flexibly hold the laser tubes, an invar stretched across the flanges, and an invar at the bottom of the invar can rotate at two locations. The plurality of laser tubes are movably suspended above the invar, and are held at another location so as to be movable linearly in a direction parallel to the invar. laser equipment.