JPS639570U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図から第４図はこの考案の実施例を示し、
第１図と第２図はその第１実施例で、第１図ａは
弁体のかしめ加工前を示す部分拡大図、第１図ｂ
は弁体のかしめ加工後を示す部分拡大図、第２図
は弁装置の縦断正面図で、第３図は第２実施例を
示す第１図ｂ相当図、第４図は第３実施例を示す
第１図ｂ相当図、第５図は従来例の弁体の部分断
面図である。 １４……弁体、１５……弁シート、１５ａ……
周面、４５……端面、４６……シート溝、４６ａ
……開口部、４６ｂ……周面、４７……肉壁部分
、４９……かしめ加工影響部、５０……境界部、
５１……気密コーテイング層。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 超高純度ガス用シート弁の弁体１４の端面４
   ５にシート溝４６を形成し、シート溝４６に弁シ
   ート１５を挿入し、弁体１４のシート溝４６の周
   囲の肉壁部分４７をかしめて、シート溝４６の開
   口部４６ａを絞つて、シート溝４６の周面４６ｂ
   で弁シート１５の周面１５ａを挾持固定して構成
   した超高純度ガス用シート弁の弁シート付弁体に
   おいて、弁体１４のかしめ加工影響部４９の外部
   空間に臨む全表面にわたつて気密コーテイング層
   ５１で気密状に被覆した事を特徴とする超高純度
   ガス用シート弁の弁シート付弁体。 ２ 前記弁体１４の端面４５と弁シート１５との
   境界部５０の全周にわたつても気密コーテイング
   層で気密状に被覆した実用新案登録請求の範囲第
   １項に記載した超高純度ガス用シート弁の弁シー
   ト付弁体。 ３ 弁シート１５が高分子材料製である実用新案
   登録請求の範囲第１項又は第２項に記載した超高
   純度ガス用シート弁の弁シート付弁体。 ４ 弁シート１５が弁体１４よりも軟質の金属材
   料製である実用新案登録請求の範囲第１項又は第
   ２項に記載した超高純度ガス用シート弁の弁シー
   ト付弁体。