JPS6391188A - カプラ−用洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はカプラー用洗浄装置に係り、特に半導体用高純
度薬液の製品貯蔵タンクから移送用トラック上のコンテ
ナへまたはトラック上のコンテナから薬液受入タンクへ
それぞれ薬液を供給するときに使用されるクリーンクイ
ックカプラー用の洗浄装置に関する。

（従来の技術） 一般に半導体製品の製造にはエツチング液等の各種の高
純度の薬液（以下薬液という）か使用され、これらの薬
液は化学会社の工場で製造され、輸送用トラックを使っ
て半導体メーカへ輸送される。この場合に薬液製造側の
貯蔵タンク内の薬液はパイプを使って輸送用トラック」
―のコンテナに移送され、一方、コンテナ内の薬液はパ
イプを使って薬液受入側の受入タンク内へ供給される。

タンク側のパイプとコンテナ側のパイプとを接合するだ
めに、従来は両者のパイプの端に形成されたフランジど
うしを接合してボルトナツトで結合したり、あるいはユ
ニオン等の接手を使って接続していた。

（発明が解決しようとする問題点） 上述した半導体用高純度薬液は、薬液の品質管理が厳格
であって、移送または供給の途中で薬液が汚染されるこ
とを防がなければならない。しかしながら、従来のボル
トナツトによるフランジ結合やユニオン接手によるもの
では取扱い作業中に塵埃が薬液中に混入して汚染されや
すく、またパイプの接合作業に長時間を要するという問
題があった。

そこで、本発明の目的は」二連した従来技術が有する問
題点を解消し、カプラーの表面に付着している塵埃等を
オス形カプラーとメス形カプラーとの結合の直前に洗い
流して清浄な状態で結合できるようにしたカプラー用洗
浄装置を提供することにある。

（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本発明によるカプラー用洗
浄装置は、一側壁にメス形カプラーがあらかじめ取付け
られ、かつ対向する側壁に洗浄すべきオス形カプラーを
挿入できる挿入口を備え内部を洗浄室とした洗浄ボック
スと、上記メス形カプラーの接続部の外周縁を取り囲む
ように上記洗浄ボックス内に装架され内周縁に沿って散
水口の一群を開口させたスプレーリングと、上記洗浄ボ
ックスに固着され上記オス形カプラーを固定支持するカ
プラー固定手段と、メス形カプラーをオス形カプラーに
対して密接するように押しつける押圧装置とを備えたこ
とを特徴とするものである。

（作　用） 洗浄ボックスの一側壁にあらかじめメス形カプラーを固
定した洗浄室内に対向する側壁のカプラー挿入口を通し
てオス形カプラーを挿入し、スプレーリングの散水口か
ら洗浄液およびまたは乾燥ガスをカプラーの表面に噴出
して洗浄・乾燥したのち押圧装置を駆動してメス形カプ
ラーの可動部をオス形カプラーに向けて移動させて両力
プラーを結合する。

（実施例） 以下本発明によるカプラー用洗浄装置の一実施例を図面
を参照して説明する。

第１図において、符号１は架台を示し、この架台１の上
に洗浄ボックス２が設置されている。この洗浄ボックス
２は底壁３と四方を取囲んだ側壁５．６，７．８と頂壁
９とから構成され、内部に洗浄室１０が画成されている
。上記頂壁９には吹掃後のガスを抜くための排気孔１１
および吹掃ガスを注入するエアー注入孔１２が開口する
と共に底壁３にはドレン孔１３が開口している。また洗
浄ボックス２の対向する一対の側壁５，６にはカプラー
挿入口］４および１５が開口している。

しかして、」−記洗浄室１０内にはスプレーリング１６
が架設され、このスプレーリング１６は、第３図から明
らかなように中空の円管１７をリング状に構成したもの
である。このスプレーリング］６の円管］７には所定領
域にわたって散水口１８の一群が穿孔されおり、このス
プレーリング１６はマウス管１９を介して頂壁９より吊
持され、注水管２０を通じて供給され洗浄液を散水口１
８を通して噴出できるように構成されている。

しかして、上述のように構成された洗浄ボックス２のカ
プラー挿入口１４にはオス形カプラー２１が挿入される
一方、カプラー挿入口１５にはメス形カプラー２２が挿
入されている。このうち、メス形カプラー２２は、第１
図に示されたように、洗浄ボックス２に対してあらかじ
め締付はボルトで固着されており、この状態においてメ
ス形カプラー２２は前記スプレーリング１６の内側に入
り込んでいる。一方、オス形カプラー２１は洗浄時にカ
プラー挿入口１４を通して側方から挿入され、メス形カ
プラー２２に接近した位置で停止される。

次にオス形カプラー２１とメス形カプラー２２の構造の
概略を説明するが、本発明はこれらのカプラーそれ自体
の構造は図示されたものに限定されるものではない。

オス形カプラー２１は、第４図に示されたとおり、接続
フランジ２３、カプラー本体胴２４、導管２５を一体結
合したものであり、導管２５の先端にはチップ２６が結
合されている。

」−記カプラー本体胴２４、導管２５およびチップ２６
は薬液によって浸蝕されぬよう四ふつ化エチレン樹脂で
構成しておくことが望ましい。また、これらの内側には
前方に向かつて流路が拡がるテーパ状の供給通路２７が
形成されている。さらに導管２５の外側にはパツキン押
え２８が摺動可能に装着され、このパツキン押え２８は
スプリング２９によって前方に押圧されている。なお、
カプラー本体胴２４の胴付面にはガスケット３０が装着
されている。

一方、第５図はメス形カプラーを示したものであって、
このカプラー２２は、接続フランジ３１、短管３２、通
路３３を内部に形成した内筒３４を有し、内筒３４の外
側にはスリーブ３５が被嵌されている。上記接続フラン
ジ３１と内筒３４との間にはベロー３６が装着され、さ
らに内筒３４の先端面には前記チプ２６と嵌合可能なチ
ップソケット３７が接続され、その外側にはパツキン受
リング３８が装着され、その前面にはＯリング３９とガ
スケット４０が装着され、これらはガスケット押え４１
で保持されている。

前記オス形カプラー２１は滑り枕台４２の上で支持する
のが好ましく、この滑り枕台４２は前記架台１上のレー
ル４３の上を滑動できるようになっている。

また、前記オス形カプラー２１は、洗浄ボックス２のカ
プラー挿入口１４内に挿入された状態で洗浄ボックス２
に対して固定する必要がある。そのためにカプラー固定
手段４５が用いられる。このカプラー固定手段４５は、
第６図および第７図に示されたように、内側リング４６
と外側リング４７とから構成されている。内側リング４
６は段部を介して抜は出ないように外側リング４７に対
して嵌合しており、内側リング４６はハンドル４８を使
って回動操作することができる。上記内側リング４６の
内孔の周縁には、４個の係止爪４９が一体形成されてお
り、この内孔を通してオス形カプラー２１の接続フラン
ジ２３が嵌入される。

そして、内側リング４６をほぼ４５°回動させることに
よって係止爪４９を使ってオス形カプラー２１を洗浄ボ
ックス２に対して固定保持することが可能となる。

他方、外側リング４７には取付孔が形成されており、ボ
ルト５０を使って洗浄ボックスの側壁５に固着されてい
る。

一方、前記メス形カプラー２２の図の右端にはメス形カ
プラー２２の可動部をオス形カプラー２１に対して押し
つけて両者を密接させるための押圧装置５１が装備され
ている。この押圧装置５１は第８図乃至第１０図から明
らかなように、メス形カプラー２２に接続された液取出
し管５１のフランジ５１ａに対して一端を結合された平
行な一対の連結軸５３．５３を有し、これら連結軸５３
は軸受５４によって軸方向へ移動可能に支えられている
。上記連結軸５３の軸端にはクロスヘッド５５が結合さ
れ、このクロスヘッド５５には枢支輔５６まわりを揺動
できるロッキングレバー５７の一端が結合され、ロッキ
ングレバー５７の他端は空気圧シリンダ装置５８の操作
ロッド５９の操作端が結合されている。

次に上述したカプラー用洗浄装置の作動について説明す
る。

前述したようにメス形カプラー２２は第１図に示したよ
うに、洗浄ボックス２に対してあらかじめ固着されてお
り、その先端はスプレーリング１６の内に入り込んでい
る。オス形カプラー２１は滑り枕台４２の上に載せられ
、カプラー挿入口１４より洗浄室１０内に挿入される。

挿入の際にはオス形カプラー２１の接続フランジ２３が
内側リング４６の内孔に挿入され、ハンドル４８を回動
させることにより係止爪４９が接続フランジ２３を挟持
する。この状態ではオス形カプラー２１のチップ２６の
先端はメス形カプラー２２のチップソケット３７の直前
で停止される。

次いで図示を省略した洗浄液の供給源からの加圧洗浄水
が注水管２０およびマウス管１９を通してスプレーリン
グ１６の内部に供給され、散水口１８より内方に向けて
噴出され、噴出された洗浄液でオス形カプラー２１とメ
ス形カプラー２２の結合部が十分に洗浄され、洗浄され
た汚水はドレン孔１３より外部へ排出される。しかるの
ち、空気圧シリンダ装置５８を駆動してピストンロッド
５９を突き出し、ロッキングアーム５５を揺動させ、連
結軸５３を介してフランジ５を図の左方へ押込む。する
と、メス形カプラー２２はベロー３６を引伸しながら内
筒３４が前進し、チップソケット３７がチップ２６と密
着できる位置まで前進し、オス形カプラー２１とメス形
カプラー２２との結合が図られる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、洗浄
ボックスの洗浄室内でオス形カプラーとメス形カプラー
とをスプレーリングの散水口からの洗浄液でカプラー結
合部を洗浄するようにしたから、カプラーの表面に付着
した塵埃等がパイプ内に混入することがなく純粋な薬液
を貯蔵タンクからコンテナへあるいはコンテナから受入
タンクヘ供給することができる。またオス形カプラーの
フランジを洗浄ボックスに取付けたカプラー固定手段で
簡易迅速に固定保持することができ作業能　率が良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるカプラー用洗浄装置の一実施例を
示した縦断面図、第２図は同洗浄装置の平面図、第３図
はスプに一リングを示した縦断面図、第４図はオス形カ
プラーを示した縦断面図、第５図はメス形カプラーを示
した縦断面図、第６図はカプラー固定手段を示した正面
図、第７図は同カプラー固定手段の縦断面図、第８図は
カプラー押圧装置を示した側面図、第９図は同押圧装置
の平面図、第１０図は同押圧装置の側面図である。 ２・・・洗浄ボックス、１０・・・洗浄室、１４．１５
・・・カプラー挿入口、１６・・・スプレーリング、１
８・・・散水口、２１・・・オス形カプラー、２２・・
・メス形カプラー、４５・・・カプラー固定手段、４６
・・・内側リング、４７・・・外側リング、５１・・・
押圧装置、５７・・・ロッキングレバー、５８・・・空
気圧シリンダ装置。 出願人代理人　　佐　　藤　　−雄 第　３　図 第　６　図 第す 図 ・□ ”６μし

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、一側壁にメス形カプラーがあらかじめ取付けられ、
   かつ対向する側壁に洗浄すべきオス形カプラーを挿入で
   きる挿入口を備え内部を洗浄室とした洗浄ボックスと、
   上記メス形カプラーの接続部の外周縁を取り囲むように
   上記洗浄ボックス内に装架され内周縁に沿って散水口の
   一群を開口させたスプレーリングと、上記洗浄ボックス
   に固着され上記オス形カプラーを固定支持するカプラー
   固定手段と、メス形カプラーをオス形カプラーに対して
   密接するように押しつける押圧装置とを備えたことを特
   徴とするカプラー用洗浄装置。 ２、前記スプレーリングは環状の中空円管で構成され、
   その内周面の所定の領域に一群の散水口が穿孔されてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のカプ
   ラー用洗浄装置。 ３、前記スプレーリングの中心とメス形カプラーおよび
   オス形カプラーの軸心とが同一線上に一致するようにし
   たことを特徴とする第１項に記載のカプラー用洗浄装置
   。 ４、前記カプラー固定手段は、前記洗浄ボックスの側壁
   のオス形カプラー挿入口の周りに固定された外側リング
   と、この外側リング内に回動可能に嵌合され、前記オス
   形カプラーの外周縁を係合保持できる複数個の係止爪を
   内周縁に備えた内側リングとから構成されていることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のカプラー用洗
   浄装置。 ５、前記押圧装置は中央部を枢支されて揺動できるロッ
   キングアームと、このロッキングアームの一端に操作端
   を結合された空気圧シリンダ装置と、後端部をロッキン
   グアームの他端に結合されかつ先端部をメス形カプラー
   の液取出し管のフランジ部に結合された連結軸とから構
   成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
   記載のカプラー用洗浄装置。