JPS6390825U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6390825U JPS6390825U JP18581186U JP18581186U JPS6390825U JP S6390825 U JPS6390825 U JP S6390825U JP 18581186 U JP18581186 U JP 18581186U JP 18581186 U JP18581186 U JP 18581186U JP S6390825 U JPS6390825 U JP S6390825U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- reinforcing material
- attached
- circular
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第1図は、本考案の半導体ウエハの補強材の正
面図、第2図aは、本考案の半導体ウエハの補強
材に半導体ウエハを貼り付けた図、同bは、a図
のA―A線断面拡大図で、第3図aは従来の補強
材に半導体ウエハを貼り付けた図、同bはa図の
B―B線断面拡大図である。 1……石英板又は、ガラス板、2……半導体ウ
エハ11を貼り付ける部分、4……孔、4……半
導体ウエハの貼り付け面、5……本考案の半導体
ウエハの補強材、6……半導体ウエハ、7……接
着剤となるレジスト、8……本考案の半導体ウエ
ハの補強材、9……半導体ウエハの貼り付け面、
10……従来の半導体ウエハの補強材、11……
半導体ウエハ、12……接着剤となるレジスト、
13……従来の半導体ウエハの補強材。
面図、第2図aは、本考案の半導体ウエハの補強
材に半導体ウエハを貼り付けた図、同bは、a図
のA―A線断面拡大図で、第3図aは従来の補強
材に半導体ウエハを貼り付けた図、同bはa図の
B―B線断面拡大図である。 1……石英板又は、ガラス板、2……半導体ウ
エハ11を貼り付ける部分、4……孔、4……半
導体ウエハの貼り付け面、5……本考案の半導体
ウエハの補強材、6……半導体ウエハ、7……接
着剤となるレジスト、8……本考案の半導体ウエ
ハの補強材、9……半導体ウエハの貼り付け面、
10……従来の半導体ウエハの補強材、11……
半導体ウエハ、12……接着剤となるレジスト、
13……従来の半導体ウエハの補強材。
Claims (1)
- 円形もしくは矩形の板状の形状を有し、半導体
ウエハを貼り付ける部分に1つ又は多数個の孔を
有することを特徴とする半導体ウエハの補強材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18581186U JPS6390825U (ja) | 1986-12-01 | 1986-12-01 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18581186U JPS6390825U (ja) | 1986-12-01 | 1986-12-01 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6390825U true JPS6390825U (ja) | 1988-06-13 |
Family
ID=31134787
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18581186U Pending JPS6390825U (ja) | 1986-12-01 | 1986-12-01 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6390825U (ja) |
-
1986
- 1986-12-01 JP JP18581186U patent/JPS6390825U/ja active Pending