JPS6385461A - Calibrating method for acceleration sensor and acceleration sensor - Google Patents
Calibrating method for acceleration sensor and acceleration sensorInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は加速度を検出する加速度センサの校正方法とカ
ンチレバーの変形によって加速度を検出する加速度セン
サに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a method for calibrating an acceleration sensor that detects acceleration and an acceleration sensor that detects acceleration by deforming a cantilever.
（従来の技術）
最近エツチング等の方法により作成された超小型の加速
度センサが開発されている。これらのセンサは電子部品
と同様に回路カンチレバー」二に実装したり、さらに集
積回路として他の素子と同一カンチレバー上に形成する
ことも可能なものである。(Prior Art) Recently, ultra-small acceleration sensors made by etching or other methods have been developed. These sensors can be mounted on a circuit cantilever in the same way as electronic components, or they can be formed as an integrated circuit on the same cantilever as other elements.
このような超小型の加速度センサとしては、例えば、特
開昭６１−１３９７５８号公報に紹介されたものがある
。An example of such an ultra-small acceleration sensor is one introduced in Japanese Patent Laid-Open No. 139758/1983.
これらのセンサは、製造上のばらつきが少なくなるよう
に設計されているが、やはり多少のばらつきが存在する
。また、加速度センサに経時変化が発生することもある
。ごのため、加速度センサを使用する際には校正が必要
である。Although these sensors are designed to have less manufacturing variation, some variation still exists. Additionally, changes over time may occur in the acceleration sensor. Therefore, calibration is required when using an acceleration sensor.
従来、加速度センサを校正する方法としては、加速度セ
ンサに振動を与えたり、加速度センサのカンチレバーに
荷重を加える等の方法が一般的であった。Conventionally, methods for calibrating an acceleration sensor have generally included applying vibration to the acceleration sensor or applying a load to a cantilever of the acceleration sensor.
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、このような超小型の加速度センサは電子
部品と同様に回路基板上に実装したり、さらに集積回路
として他の素子と同一基板上に形成されることが多く、
従来のように加速度センサに振動を加える校正方法では
、加速度センサに接続された電子回路に悪影響を与える
という問題点があった。(Problems to be Solved by the Invention) However, such ultra-small acceleration sensors cannot be mounted on a circuit board like electronic components, or even formed on the same board as other elements as an integrated circuit. There are many
Conventional calibration methods that apply vibration to the acceleration sensor have had the problem of adversely affecting electronic circuits connected to the acceleration sensor.
また、加速度センサが超小型であるため、加速度センサ
のカンチレバーに荷重をかける校正方法は極めて困難で
ある。Furthermore, since the acceleration sensor is extremely small, a calibration method that applies a load to the cantilever of the acceleration sensor is extremely difficult.
そこで、本発明では加速度センサに振動を与えることな
く、容易に加速度センサを校正する方法を紹介すること
を第一の技術的課題とし、さらに本発明では加速度セン
サに振動を与えることなく容易に校正可能な加速度セン
サを構成することを第二の技術的課題とする。Therefore, the first technical problem of the present invention is to introduce a method for easily calibrating an acceleration sensor without applying vibration to the acceleration sensor. The second technical challenge is to construct a possible acceleration sensor.
（問題点を解決するための手段）
前述した第一の課題を達成するために講じた技術的手段
は、加速度を検出するカンチレバーの自由端に磁性体を
固定し、前記カンチレバーの近傍に所定の磁力を発生さ
せる磁石を配設し、該磁石によって前記カンチレバーに
所定の外力をあたえることにより加速度センサを校正す
ることである。(Means for solving the problem) The technical means taken to achieve the first problem described above is to fix a magnetic material to the free end of a cantilever that detects acceleration, and to attach a magnetic material to the free end of a cantilever that detects acceleration. The acceleration sensor is calibrated by disposing a magnet that generates magnetic force and applying a predetermined external force to the cantilever using the magnet.
また、前述した第二の課題を達成するために講じた技術
的手段は、カンナレバーと、該カンチレバーの自由端に
固定された磁性体と、前記カンチレバーの上に固定され
た歪ゲージとを設けたことである。Further, the technical means taken to achieve the second problem described above includes a cantilever, a magnetic body fixed to the free end of the cantilever, and a strain gauge fixed to the top of the cantilever. That's what happened.
（作用）
前述した本発明の手段によれば、前記磁石により、カン
チレバーの自由端に固定された磁性体に所定の外力を加
えることができる。(Function) According to the above-described means of the present invention, the magnet can apply a predetermined external force to the magnetic body fixed to the free end of the cantilever.
したがって、加速度センサに振動を与えることなくカン
チレバーに外力を加え、加速度センサを容易に校正する
ことができる。Therefore, the acceleration sensor can be easily calibrated by applying an external force to the cantilever without imparting vibration to the acceleration sensor.
（実施例） 以下図面に基づいて、本発明の詳細な説明する。(Example) The present invention will be described in detail below based on the drawings.
ＡＩ
第１図は本発明の加速度センサの第一実施例を描いた断
面図である。AI FIG. 1 is a sectional view depicting a first embodiment of the acceleration sensor of the present invention.
図において、−面間口のハウジング１の内部には、加速
度センサ２が内蔵されている。また、ハウジング１の開
口面にはカバー８が接着されており、ハウジング１とカ
バー８の間は密閉されている。In the figure, an acceleration sensor 2 is built inside a housing 1 with a negative frontage. Further, a cover 8 is adhered to the opening surface of the housing 1, and the space between the housing 1 and the cover 8 is sealed.
また、ハウジング１の底面には樹脂性の固定部材４が接
着されている。固定部材１のハウジング１の底面に対向
する面には、カンチレバー３の一端が接着されている。Further, a resin fixing member 4 is adhered to the bottom surface of the housing 1. One end of the cantilever 3 is bonded to the surface of the fixing member 1 that faces the bottom surface of the housing 1 .
カンチレバー３は剛性の高い絶縁材料が好ましく、本実
施例では感光性ガラス（例えば、コーニング社の０３１
３等）を使用して製作されている。カンチレバー３の材
料としては、他にも板ばねの表面に絶縁膜を装着したも
のなどが考えられる。The cantilever 3 is preferably made of a highly rigid insulating material, and in this embodiment, it is made of photosensitive glass (for example, Corning's 031
3, etc.). Other possible materials for the cantilever 3 include a plate spring with an insulating film attached to its surface.
カンチレバー３の表面上には、エツチング加工により形
成された金属抵抗を、ブリッジ回路を構成するように接
続した歪ゲージ５が配設されている。歪ゲージ５はカン
チレバー３の変位により応力が集中する位置に設けられ
る。歪ゲージ５の出力信号は、ゴムブツシュ１０に挿通
されたリード線９によりハウジング１の外部に引き出さ
れ、処理回路５０に接続される。処理回路５０としては
、電源回路、増幅回路、シュミット回路や比較回路とい
ったスイッチング回路、Ａ−Ｄ変換回路などが考えられ
る。A strain gauge 5 is disposed on the surface of the cantilever 3, in which metal resistors formed by etching are connected to form a bridge circuit. The strain gauge 5 is provided at a position where stress is concentrated due to the displacement of the cantilever 3. The output signal of the strain gauge 5 is led out of the housing 1 by a lead wire 9 inserted through a rubber bush 10 and connected to a processing circuit 50. As the processing circuit 50, a power supply circuit, an amplifier circuit, a switching circuit such as a Schmitt circuit or a comparison circuit, an AD conversion circuit, etc. can be considered.
ところで本実施例においては、歪ゲージ５はカンチレバ
ー３の片面のみに装着されているが、特に片面である必
要はな（、歪ゲージ５を両面に装着してもよい。By the way, in this embodiment, the strain gauge 5 is attached to only one side of the cantilever 3, but it is not necessary to attach it to one side (although the strain gauge 5 may be attached to both sides).
カンチレバー３の固定部材４が接着されていない側の一
端（自由端）には、非磁性体性の重り６が装着されてい
る。また、重り６のカンチレバー３に装着されていない
面には、磁性体の薄板７が接着材で固定されている。A non-magnetic weight 6 is attached to one end (free end) of the cantilever 3 on the side to which the fixing member 4 is not bonded. Furthermore, a thin magnetic plate 7 is fixed with an adhesive to the surface of the weight 6 that is not attached to the cantilever 3.
第５図に処理回路５０の一例を示す。図において、カン
チレバー３上に形成された歪ゲージ５は二つの抵抗体Ｒ
３，Ｒ４から成っている。そして抵抗体Ｒ３，Ｒ４は抵
抗Ｒ１，Ｒ２ともにプリツジ回路を形成している。抵抗
体Ｒ３と抵抗Ｒ１の接続点は、電源十Ｖに接続されてい
る。また、抵抗体Ｒ４と抵抗Ｒ２の接続点は接地されて
いる。FIG. 5 shows an example of the processing circuit 50. In the figure, a strain gauge 5 formed on a cantilever 3 is connected to two resistors R.
It consists of 3, R4. The resistors R3 and R4, together with the resistors R1 and R2, form a prism circuit. The connection point between the resistor R3 and the resistor R1 is connected to a power supply of 10V. Further, the connection point between the resistor R4 and the resistor R2 is grounded.
ブリッジ回路の出力信号は、抵抗体Ｒ３と抵抗Ｒ２の接
続点と抵抗体Ｒ４と抵抗Ｒ１の接続点とから取り出され
、差動増幅器ＯＰＩにて増幅される。抵抗体Ｒ３と抵抗
Ｒ２の接続点は差動増幅器ＯＰＩの反転入力端子に、ま
た抵抗体Ｒ４と抵抗Ｒ１の接続点は差動増幅器ＯＰＩの
非反転入力端子に、それぞれ接続される。The output signal of the bridge circuit is taken out from the connection point between the resistor R3 and the resistor R2 and the connection point between the resistor R4 and the resistor R1, and is amplified by the differential amplifier OPI. The connection point between the resistor R3 and the resistor R2 is connected to the inverting input terminal of the differential amplifier OPI, and the connection point between the resistor R4 and the resistor R1 is connected to the non-inverting input terminal of the differential amplifier OPI.
差動増幅器ＯＰＩの非反転入力端子には可変抵抗器Ｒ５
が接続されている。可変抵抗器Ｒ５を調整することによ
り、加速度センサ２に加速度が加えられていない時（カ
ンチレバー３に外力が加わっていない時）の差動増幅器
ＯＰＩの出力信号が８周整できる。A variable resistor R5 is connected to the non-inverting input terminal of the differential amplifier OPI.
is connected. By adjusting the variable resistor R5, the output signal of the differential amplifier OPI when no acceleration is applied to the acceleration sensor 2 (when no external force is applied to the cantilever 3) can be adjusted to eight cycles.
また、差動増幅器ＯＰＩの反転入力端子と差動増幅器Ｏ
ＰＩの出力端子の間には可変抵抗器Ｒ６が接続されてい
る。可変抵抗器Ｒ６を調整することにより、加速度セン
サ２に所定の加速度が加えられている時（カンチレバー
３に所定の外力が加えられている時）の差動増幅器ＯＰ
１の出力信号が調整できる。In addition, the inverting input terminal of the differential amplifier OPI and the differential amplifier O
A variable resistor R6 is connected between the output terminals of PI. By adjusting the variable resistor R6, the differential amplifier OP when a predetermined acceleration is applied to the acceleration sensor 2 (when a predetermined external force is applied to the cantilever 3)
1 output signal can be adjusted.
このような構成の加速度センサ２は、以下のように動作
する。The acceleration sensor 2 having such a configuration operates as follows.
ハウジング１に加速度が加えられると、重り６の荷重に
よりカンチレバー３にたわみが生じる。When acceleration is applied to the housing 1, the cantilever 3 is deflected due to the load of the weight 6.
このたわみは、カンチレバー３の表面上に形成された歪
ゲージ５により、加速度に応じた電気抵抗の変化に変換
される。この電気抵抗の変化を処理回路５０で処理して
加速度を検出する。This deflection is converted by a strain gauge 5 formed on the surface of the cantilever 3 into a change in electrical resistance according to acceleration. This change in electrical resistance is processed by the processing circuit 50 to detect acceleration.
以下第２図に基づいて加速度センサ２の校正方法を説明
する。A method of calibrating the acceleration sensor 2 will be explained below based on FIG.
図においてハウジング１の外部には電磁石２１と、直流
電源２２とが用意されている。In the figure, an electromagnet 21 and a DC power source 22 are provided outside the housing 1.
加速度センサ２を校正する場合には以下のようにする。When calibrating the acceleration sensor 2, proceed as follows.
まず、ハウジング１を電磁石２１との相対的な位置関係
が常に一定となるように固定する。この時に可変抵抗Ｒ
５を調整して、加速度センサ２に加速度が加えられてい
ない時（カンチレバー３に外力が加わっていない時）の
差動増幅器ＯＰＩの出力信号を調整する。First, the housing 1 is fixed so that the relative positional relationship with the electromagnet 21 is always constant. At this time, variable resistance R
5 to adjust the output signal of the differential amplifier OPI when no acceleration is applied to the acceleration sensor 2 (when no external force is applied to the cantilever 3).
次に電磁石２１と直流電源２２を接続して、電磁石２１
に所定の電流を流す。この操作により、重り６の一面に
接着された磁性体の薄板７が電磁石２１によって吸引さ
れ、カンチレバー３はある加速度がハウジング１に加え
られた場合と同じようにたわみを生じる。この時に可変
抵抗Ｒ６を調整して、加速度センサ２に所定の加速度が
加えられている時（カンチレバー３に所定の外力が加え
られている時）の差動増幅器ＯＰＩの出力信号を８周整
する。Next, connect the electromagnet 21 and the DC power supply 22, and
A predetermined current is applied to the By this operation, the thin magnetic plate 7 bonded to one side of the weight 6 is attracted by the electromagnet 21, causing the cantilever 3 to deflect in the same way as when a certain acceleration is applied to the housing 1. At this time, the variable resistor R6 is adjusted to adjust the output signal of the differential amplifier OPI by 8 cycles when a predetermined acceleration is applied to the acceleration sensor 2 (when a predetermined external force is applied to the cantilever 3). .
以上のような操作を数回繰り返して行うことにより、加
速度センサ２を容易に校正することができる。By repeating the above operations several times, the acceleration sensor 2 can be easily calibrated.
第３図は本発明の加速度センサの第二実施例を描いた断
面図である。図において、ハウジング１の内部には、第
１実施例とほぼ同様な構成の加速度センサ２が内蔵され
ている。第二実施例は、重す６と磁性体薄板７を、カン
チレバー３の両面に固定した例である。すなわち、カン
チレバー３の図示左側の一端（自由端）には、重り６と
磁性体薄板７が対向するように固定されている。FIG. 3 is a sectional view depicting a second embodiment of the acceleration sensor of the present invention. In the figure, an acceleration sensor 2 having substantially the same configuration as the first embodiment is built inside a housing 1. The second embodiment is an example in which a weight 6 and a thin magnetic plate 7 are fixed to both sides of the cantilever 3. That is, a weight 6 and a magnetic thin plate 7 are fixed to one end (free end) on the left side in the drawing of the cantilever 3 so as to face each other.
また、カバー８の外面には円環状の凸部１１が設けられ
ている。凸部１１は加速度センサ２１の校正を行う時に
、電磁石２Ｉを挿入して電磁石２１の位置決めを行うた
めの案内部材である。電磁石２１が凸部１１の内周部に
、カバー８と当接するまで挿入されることにより、磁性
体薄板７と電磁石２１の相対的な位置関係が常に一定に
保持される。Further, an annular convex portion 11 is provided on the outer surface of the cover 8 . The convex portion 11 is a guide member for inserting the electromagnet 2I and positioning the electromagnet 21 when calibrating the acceleration sensor 21. By inserting the electromagnet 21 into the inner peripheral portion of the convex portion 11 until it comes into contact with the cover 8, the relative positional relationship between the magnetic thin plate 7 and the electromagnet 21 is always maintained constant.
第４図は本発明の加速度センサの第三実施例を描いた断
面図である。図において、ハウジング１の内部には、第
１実施例とほぼ同様な構成の加速度センサ２が内蔵され
ている。第三実施例は、ハウジング１の底面に校正用の
電磁石２１を固定した例である。すなわち、カンチレバ
ー３の図示左側の一端（自由端）に固定された磁性体薄
板７の近傍には電磁石２１が固定されている。FIG. 4 is a sectional view depicting a third embodiment of the acceleration sensor of the present invention. In the figure, an acceleration sensor 2 having substantially the same configuration as the first embodiment is built inside a housing 1. The third embodiment is an example in which an electromagnet 21 for calibration is fixed to the bottom surface of the housing 1. That is, the electromagnet 21 is fixed near the magnetic thin plate 7 fixed to one end (free end) on the left side of the cantilever 3 in the drawing.
電磁石２１は、ハウジング１の壁面に固定された端子１
２に接続されている。この端子１２にハウジング１の外
部から直流電源を接続することにより、加速度センサ２
を校正する。本実施例においては、加速度センサ２と電
磁石２１が共にハウジングｌの底面に接続されているの
で、磁性体薄板７と電磁石２１の相対的な位置関係が常
に一定に保持される。The electromagnet 21 has a terminal 1 fixed to the wall of the housing 1.
Connected to 2. By connecting a DC power source to this terminal 12 from outside the housing 1, the acceleration sensor 2
Proofread. In this embodiment, since both the acceleration sensor 2 and the electromagnet 21 are connected to the bottom surface of the housing l, the relative positional relationship between the magnetic thin plate 7 and the electromagnet 21 is always maintained constant.
また、第三実施例においては、校正用の電磁２１がハウ
ジングの内部に内蔵されているので、校正が必要となっ
た時には何時でも電磁石２１に通電して校正を行うこと
ができる。すなわち、歪ゲージ５に接続されたリード線
９と、電磁石２１に接続された端子１２を共に一つの処
理回路に接続することにより、加速度の測定の前に自動
的に校正を行ったり、所定回数の加速度測定を行う毎に
自動的に校正を行うことができる。Further, in the third embodiment, since the electromagnet 21 for calibration is built into the housing, the electromagnet 21 can be energized to perform calibration whenever calibration is required. That is, by connecting both the lead wire 9 connected to the strain gauge 5 and the terminal 12 connected to the electromagnet 21 to one processing circuit, calibration can be automatically performed before measuring acceleration, and the terminal 12 connected to the electromagnet 21 can be automatically calibrated or Calibration can be performed automatically every time an acceleration measurement is performed.
このように、第三実施例においては、加速度センサ２の
経時変化を自動的に補正した、高精度の測定を行うこと
ができる。In this manner, in the third embodiment, it is possible to perform highly accurate measurement in which changes in the acceleration sensor 2 over time are automatically corrected.
以上に述べたように、本発明の第一、第二、第三実施例
では、加速度センサに実際の加速度を与えることなくカ
ンチレバー３を変形させ、加速度センサ２のばらつきを
高精度で校正することができる。As described above, in the first, second, and third embodiments of the present invention, the cantilever 3 is deformed without applying actual acceleration to the acceleration sensor, and variations in the acceleration sensor 2 can be calibrated with high precision. Can be done.
また、異なる複数の加速度に関して校正を行う必要があ
る場合にも、電磁石２１に流す電流値を変化させるのみ
で、容易に校正を行うことができる。Further, even when it is necessary to perform calibration regarding a plurality of different accelerations, the calibration can be easily performed by simply changing the value of the current flowing through the electromagnet 21.
さらに、本発明の第一、第三実施例では、重り６の表面
に磁性体の薄板７が接着によって固定された例を紹介し
たが、特にこれに限定する意図はなく、たとえば、重り
６の表面に磁性体の薄膜を蒸着してもよい。また、重り
６を磁性体で構成してもよい。重り６を磁性体で構成す
れば、加速度センサ２の構造を簡略化することができる
。Further, in the first and third embodiments of the present invention, an example was introduced in which the thin magnetic plate 7 was fixed to the surface of the weight 6 by adhesive, but there is no intention to limit it to this in particular. A thin film of magnetic material may be deposited on the surface. Further, the weight 6 may be made of a magnetic material. If the weight 6 is made of a magnetic material, the structure of the acceleration sensor 2 can be simplified.
また、本発明の第一、第二、第三実施例では、加速度セ
ンサ２の校正を電磁石２１によって行う方法を紹介した
が、特に電磁石２１に限定する意図はない。すなわち、
既知の磁力を有した永久磁石を用いても、電磁石２１と
同様に加速度センサ２を校正することができる。Further, in the first, second, and third embodiments of the present invention, a method of calibrating the acceleration sensor 2 using the electromagnet 21 was introduced, but there is no intention to limit the calibration to the electromagnet 21 in particular. That is,
Even if a permanent magnet having a known magnetic force is used, the acceleration sensor 2 can be calibrated similarly to the electromagnet 21.
また、本発明の実施例の校正方法によれば、既存の加速
度センサについても、磁性体を貼着して校正を行うこと
ができることは言うまでもない。Furthermore, according to the calibration method of the embodiment of the present invention, it goes without saying that existing acceleration sensors can also be calibrated by attaching a magnetic material to them.
（発明の効果〕
本発明は、加速度を検出するカンチレバーの自由端に磁
性体を固定し、前記カンチレバーの近傍に所定の磁力を
発生させる磁石を配設し、該磁石によって前記カンチレ
バーに所定の外力をあたえることにより加速度センサを
校正する加速度センサの校正方法である。(Effects of the Invention) In the present invention, a magnetic body is fixed to the free end of a cantilever that detects acceleration, a magnet that generates a predetermined magnetic force is disposed near the cantilever, and the magnet applies a predetermined external force to the cantilever. This is an acceleration sensor calibration method that calibrates the acceleration sensor by applying
さらに本発明は、カンチレバーと、該カンチレバーの自
由端に固定された磁性体と、前記カンチレバーの上に固
定された歪ゲージとを有することを特徴とした加速度セ
ンサである。Furthermore, the present invention is an acceleration sensor characterized by having a cantilever, a magnetic body fixed to the free end of the cantilever, and a strain gauge fixed on the cantilever.
したがって、加速度センサには振動を与えることなく、
容易に校正を行うことができる。Therefore, without applying vibration to the acceleration sensor,
Calibration can be easily performed.
第１図は本発明の加速度センサの第一実施例を描いた断
面図である。
第２図は本発明の加速度センサを校正する方法を描いた
概略図である。
第３図は本発明の加速度センサの第二実施例を描いた断
面図である。
第４図は本発明の加速度センサの第三実施例を描いた断
面図である。
第５図は本発明の加速度センサに接続される処理回路の
一例を描いた回路図である。
■・・・ハウジング
２・・・加速度センサ
３・・・カンチレバー
４・・・固定部材
５・・・歪ゲージ
６・ ・ ・重り
７・・・磁性体薄板
８・・・カバー
９・・・リード線
１０・・・ゴムブツシュ
１１・・・凸部
ｌ２・・・端子
２１・・・電磁石
２２・・・直流電源
５０・・・処理回路
Ｒ１，Ｒ２・・・抵抗
Ｒ３，Ｒ４・・・抵抗体
Ｒ５，Ｒ６・・・可変抵抗器
ＯＰＩ・・・・・差動増幅器FIG. 1 is a sectional view depicting a first embodiment of the acceleration sensor of the present invention. FIG. 2 is a schematic diagram depicting a method of calibrating the acceleration sensor of the present invention. FIG. 3 is a sectional view depicting a second embodiment of the acceleration sensor of the present invention. FIG. 4 is a sectional view depicting a third embodiment of the acceleration sensor of the present invention. FIG. 5 is a circuit diagram depicting an example of a processing circuit connected to the acceleration sensor of the present invention. ■Housing 2 Acceleration sensor 3 Cantilever 4 Fixing member 5 Strain gauge 6 Weight 7 Magnetic thin plate 8 Cover 9 Lead Wire 10... Rubber bush 11... Convex portion l2... Terminal 21... Electromagnet 22... DC power supply 50... Processing circuit R1, R2... Resistor R3, R4... Resistor R5 , R6... Variable resistor OPI... Differential amplifier
Claims (2)
体を固定し、 前記カンチレバーの近傍に所定の磁力を発生させる磁石
を配設し、 該磁石によつて前記カンチレバーに所定の外力をあたえ
ることにより加速度センサを校正する加速度センサの校
正方法。(1) By fixing a magnetic body to the free end of the cantilever that detects acceleration, arranging a magnet that generates a predetermined magnetic force near the cantilever, and applying a predetermined external force to the cantilever using the magnet. An acceleration sensor calibration method for calibrating an acceleration sensor.
ンチレバーの上に固定された歪ゲージとを有することを
特徴とした加速度センサ。(2) An acceleration sensor comprising: a cantilever; a magnetic body fixed to a free end of the cantilever; and a strain gauge fixed to the top of the cantilever.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23222186A JPS6385461A (en) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | Calibrating method for acceleration sensor and acceleration sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23222186A JPS6385461A (en) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | Calibrating method for acceleration sensor and acceleration sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6385461A true JPS6385461A (en) | 1988-04-15 |
Family
ID=16935879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23222186A Pending JPS6385461A (en) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | Calibrating method for acceleration sensor and acceleration sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6385461A (en) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1986
- 1986-09-30 JP JP23222186A patent/JPS6385461A/en active Pending
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