JPS6379963A - 電極への電力供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の属する技術分野］ この発明は複数の電極に電力を選択的に供給する電力供
給装置に関する。特に、スパッタリング装置において、
３つの電ｒｆｉ、（ターゲット）に高周波電力を選択的
に供給する場合に有効である。

［従来の技術］ 従来のこの種スパッタリング装置では、複数個のターゲ
ットに選択的に高周波電力を供給するには、切換スイッ
チにより必要にターゲットを選択するとともに、各電源
供給ラインにセンサーを設け、どのターゲットが選択さ
れているかの情報を得ていた。

［従来の問題点コ このため、従来の装置では、切換スイッチ並びにセンサ
ーの数が多く必要であるという問題点があった。

［問題点を解決するための手段］ この発明は、円板状の導電体上に１２０度ずつ離して３
個所に接触子を配置し、この接触子の１つだけに外方へ
延びた接触子を形成しておき、接触子を介して高周波電
源を円板状導電体に供給し、この円板状導電体から接触
片を有する接触子並びに固定接触子を介して特定の電極
に電力を供給するとともに、センサーを２個所に設け、
この２個のセンサーのオン、オフ状態により、どの電極
が選択されているかの状態を検知できるようにしたもの
である。

［作用］ 電力、は高周波電源から電源供給端子、接触子。

円板状導電体、他の接触子、接触片、固定接触子を介し
て特定の電極に供給される。

また１円板状導電体の回転位置により２つのセンサーは
オンかオフかの状態を示し、この２つのセンサーのオン
、オフ状態により、３つのうちのどの電極が選択されて
いるかが判明する。

［実施例］ 第１図はこの発明の一実施例を示す図で、（１）は真空
に保たれたスパッタ室、（２）は被処理基板（３）を入
れる挿入室を示す。（４）はバルブで、被処理基板（３
）を挿入室（２）に入れた後、排気して真空とし、その
後開放される。そして挿入室（２）に入れられ基板（３
）は搬送機構（５）によりスパッタ室（１）に搬送され
て高周波電力を供給され、スパッタ処理される。

次に電力供給部について説明する。Ｔ１〜Ｔ３はスパッ
タ室（１）に配置されたターゲット電極、（６）は他方
の電極を示す。

（１０）は高周波電源、（１１）はこの高周波電源と接
続され４ている電源供給端子で、Ｕ字状の縦断面形状を
有する。（１２）は回転可能な円板状導電体で。

その外周の３個所に１２０度ずつ離間して接触子（１３
Ａ）　　〜（１３Ｇ）　　を設けている。

これら接触子（１３）は下方に延びた第１の接触片を有
しており、この第１の接触片（１３ａ）　　は電源供給
端子（１１）のＵ字状受は部と接触する。

また、接触子（１３）のうちの−個の接触子（１３Ａ）
は外方へ延びる第２の接触片（１３ｂ）　　を有してお
り、円板状導電体（１２）の周囲３個所に１２０度ずつ
離れて配置した固定接触子（１４Ａ）　〜（１４Ｇ）　
のいずれかと接触するよう構成されている。この固定接
触子（１４Ａ）　〜（１４Ｇ）　は各々ターゲラ１−Ｔ
１〜Ｔ３に電気的に接続されている。

なお、以上の電源供給端子（１１）１円板状導電体（１
２）、接触子（１３）、固定接触子（１４）は銅材料に
より構成されている。

（１５）は円板状導電体（１２）に設けられた鉄などの
磁性材から成る検知片で、接触子（１３Ａ）　　と接触
子（１３Ｂ）　　との間、及び接触子（１３Ｇ）　　と
接触子（１３Ａ）との間、のちようと真中にくるよう円
板状導電体（１２）の２個所に配置される。（１６）は
センサーで、磁性材の検知片（１５）が近接した時にオ
ンの信号を出す。このセンサー（１６）は円板状導電体
（１２）の外周２個所に１２０度離して設けられている
。

以上のように構成された電力供給装置において、電力は
高周波電源（１０）から電源供給端子（１１）。

接触子（１３Ｃ）　　を介して円板状導電体（１２）に
導かれ、さらに接触子（１３Ａ）　　の第２の接触片（
１３ｂ）　　を介して固定接触子（１４Ａ）　　に導か
れ、最終的に第１のターゲットＴ１　に供給される。

電力が第１のターゲットＴ１　に供給されていることを
例示する第１図の例では、２つの検知片（１５）はいず
れもセンサー（］６）に対応しており、いずれのセンサ
ーＳｌ、Ｓ２　　出力もオンとなっている。

次に、第２のターゲットＴ２　に電力を供給するには、
図中矢印方向に１２０度だけ円板状導電体（１２）を回
転し、第２図に示す如き接触関係となる。この第２図の
例では、電力は高周波電源（１０）、電源供給端子（Ｈ
）、接触子（１３Ｂ）　　、円板状導電体（１２）、接
触子（１３Ａ）　　の第２の接触片（１３ｂ）　　、固
定接触子（１４Ｂ）　　を介して第２のターゲットＴ２
に供給される。

この場合には、検知片（１５）は接触子（１３Ａ）　　
と（１３Ｂ）　　の間、及び接触子（１３Ｂ）　　と（
１３Ｃ）　の間に位置し、センサーＳ１　の出力はオン
、センサーＳ２の出力はオフとなる。

さらに、円板状導電体（１２）が１２０度回転されると
、電力は高周波電源（１０）から電源供給端子（１１）
、接触子（１３Ａ）　　、接触片（１３ｂ）並びに固定
接触子（１４Ｃ）　　を介して第３のターゲットＴ３　
に供給される。

この場合、検知片（１５）は接触子（１３Ｂ）　　と（
１３Ｃ）との間、及び（１３Ｇ）　　と（１３Ａ）　　
の間に位置し、センサーＳ１　出力はオフ、８２　はオ
ンとなる。

以上のように、円板状導電体（１２）が回転することに
より、３つのターゲットＴ１〜Ｔ３　に電力が選択的に
供給され、かつ２個のセンサー出力を判定部（１７）で
判定することによりどのターゲラ１−が選択さ、４′Ｌ
、電力が供給されているかを知ることができる。

なお、以上の説明では、センサーを磁気検知式のものと
し、接触子の真中にくるように配置したが、センサーは
他の方式のものでも良く、またセンサーの位置も接触子
間の真中でなくて検知可能である。

さらに、第１図、第２図に図示したように、り−ゲラ１
−Ｔ１〜Ｔ３　に対応してターゲットを覆うキャップＣ
１〜Ｃ３を設けておき、選択され電源が供給されている
ターゲット以外はキャップＣ１〜Ｃ３をかぶせて覆うよ
うにすれば、ターゲットの保護をはかることができる。

この選択されたターゲラ１〜以外を覆うには、円板状導
電体（１２）の回転動作と連動して機械的に行なっても
良いし、またセンサー出力により動作させるようにして
も良い。

［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、３つの電極（ターゲ
ラｌ−）に対し、確実に選択的に高周波電力が供給され
るとともに、２個のセンサーによりどのターゲットに電
力が供給されているかを容易に知ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す概略説明図、第２図
は第１図の状態から円板状導電体を１２０度回転させた
状態を示す概略説明図である。 図中、同一あるいは相当部分には同一符号を付して示し
ている。（１）はスパッタ室、（２）は挿入室、Ｔｌ　
〜Ｔ２はターゲット、（６）は他方の電極、　（１０）
は高周波電源、　（１１）は電源供給端子＋　（１２）
は円板状導電体、　（１３Ａ）　〜（１３Ｃ）　　は接
触子、　（１３ａ）　　は第１の接触片、　（１３ｂ）
　　は第２の接触片、　（１４Ａ）　　〜（１４Ｃ）　
　は固定接触子、　（１５）は検知体。 （１６）はセンサー９　（１７）は判定部　を示す。 手続補正書動式） 昭和６１年１２月１６日 １、事件の表示 特願昭６１−２２４１４５号 ２、発明の名称 電極への電力供給装置 ３、補正をする者 ４、補正命令の日付 ６、補正の内容 （１）適正な願書・添付のとおり （２）願書に最初に添付した図面の浄書・添付のとおり
（内容に変更なし） 以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電源、この電源と電気的に接続された電源供給端子、回
   転可能な円板状導電体、この円板状導電体上に各々１２
   ０度ずつ離して３個所に配置され上記電源供給端子と接
   触する第１の接触片を有する接触子、これら接触子のう
   ちの１つのみに設けられた第２の接触片、上記円板状導
   電体と離れて、各接触子と対応するよう１２０度ずつ離
   間して３個所に配置され、かつそのうちの１つが上記第
   ２の接触片と接触する固定接触子、これら各々の固定接
   触子とそれぞれ電気的に接続された３個の電極、上記円
   板状導電体の２個所に１２０度離して設けた検知体、こ
   の検知体に対応するよう１２０度離して２個所に設けた
   センサー、及び上記センサー出力から電力が供給された
   電極を判定する判定部を備え、上記円板状導電体を１２
   ０度ずつ回転させることにより、所定の電極に電力を選
   択的に供給するとともに、２つのせんさー出力により電
   力を供給している電極を判定するようにした電極への電
   力供給装置。