JPS6371687A - 精密微動機構 - Google Patents
精密微動機構Info
- Publication number
- JPS6371687A JPS6371687A JP21573786A JP21573786A JPS6371687A JP S6371687 A JPS6371687 A JP S6371687A JP 21573786 A JP21573786 A JP 21573786A JP 21573786 A JP21573786 A JP 21573786A JP S6371687 A JPS6371687 A JP S6371687A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- piezo actuator
- precision fine
- laminated
- adjustment mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 230000000276 sedentary effect Effects 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔座業上の利用分野〕
本発明は精密微小位置決め機構に係わり、特に小形、＠
量の精密微動機構を構成するのに好適な直進形槓層形ピ
エゾアクチュエータ駆動方式の精密微動機構に関する。
量の精密微動機構を構成するのに好適な直進形槓層形ピ
エゾアクチュエータ駆動方式の精密微動機構に関する。
従来、精密微小位置決め愼購において、その駆栓
動アクチュエータには、白場メカニカル（１９８３゜４
１１号）に記載のように、積層形のピエゾ索子をアクチ
ュエータとして用いることが多かった。
１１号）に記載のように、積層形のピエゾ索子をアクチ
ュエータとして用いることが多かった。
これは、ピエゾ素子が、加えた電圧に比例して伸び縮み
するため、原理的には分解能を無限に小さく出来るため
である。しかし１枚のピエゾ素子では印加電圧に対する
最大の変位はわずかじか侍られないため、逼常は第３図
に示すようにピエゾ索子３０を数１０枚槓ね合せて、同
じｈ」加電圧Ｅに対して心安な変位量△Ｌを確保してい
る。この様に積層構造するに際しては個々のピエゾ索子
を未軟性のある結合材を用い、変位に対する柔軟性を待
たせている。
するため、原理的には分解能を無限に小さく出来るため
である。しかし１枚のピエゾ素子では印加電圧に対する
最大の変位はわずかじか侍られないため、逼常は第３図
に示すようにピエゾ索子３０を数１０枚槓ね合せて、同
じｈ」加電圧Ｅに対して心安な変位量△Ｌを確保してい
る。この様に積層構造するに際しては個々のピエゾ索子
を未軟性のある結合材を用い、変位に対する柔軟性を待
たせている。
上記従来技術では積層形ピエゾアクチーエータの積層方
向に対する剛性は大きいが、これと垂直な方向に対する
剛性は配慮されておらず、アクチェエータの先端に垂直
な方向に外力が作用すると第４図に示すように容易に７
ζゎへ、軸方間の変位量に影繋を及ばすという問題があ
った。
向に対する剛性は大きいが、これと垂直な方向に対する
剛性は配慮されておらず、アクチェエータの先端に垂直
な方向に外力が作用すると第４図に示すように容易に７
ζゎへ、軸方間の変位量に影繋を及ばすという問題があ
った。
不発明の目的は、上記従来扱侑の欠点を痔犬し、垂直方
向の外力に対して剛性を愕ち侍る積層形ビニジアクチュ
エータ駆動の精密微動機構を提供するにある。
向の外力に対して剛性を愕ち侍る積層形ビニジアクチュ
エータ駆動の精密微動機構を提供するにある。
上記目的を過酸するため、不発明にｐいては、積層形ピ
エゾアクチュエータの先端に板ばねを取りつけ、この板
ばねの他端を固定部材に取り付けることによって、垂直
方図に外力が作用しても敬ばねの剛性により、積層形ピ
エゾアクチュエータの先端がたわまない様にした。
エゾアクチュエータの先端に板ばねを取りつけ、この板
ばねの他端を固定部材に取り付けることによって、垂直
方図に外力が作用しても敬ばねの剛性により、積層形ピ
エゾアクチュエータの先端がたわまない様にした。
部ち板ばね１０は第５図に示すごとく、Ａ方向の外力に
対しては、断面２次モーメントエ人は６人３／１２とな
るが、Ｂ方向の外力に対しては、断面２次モーメントｉ
ｎはｂｔ３／１２となる。
対しては、断面２次モーメントエ人は６人３／１２とな
るが、Ｂ方向の外力に対しては、断面２次モーメントｉ
ｎはｂｔ３／１２となる。
ここでＡ ＜＜ｔとすれば、板ばね１０に、Ａ方向の外
力には罠わみやすく、Ｂ方向の外力にはたわみにくく作
用する。同僚にＣ方向の外力に対しても断面２次モーメ
ントＩｃはＡｂ３／１２となりん＜＜ｂとすれば上述と
同様の作用を行なわせられる。
力には罠わみやすく、Ｂ方向の外力にはたわみにくく作
用する。同僚にＣ方向の外力に対しても断面２次モーメ
ントＩｃはＡｂ３／１２となりん＜＜ｂとすれば上述と
同様の作用を行なわせられる。
これによって、積層形ピエゾアクチュエータの先胸に板
ばねを取りつけ、かつ板ばねの他端を固定させることに
よシ、ピエゾアクチュエータの先端は、積層方同即伸、
縮方向以外から作用する力に対して、剛性を鍋＜シ、た
わみにくくすることができる。
ばねを取りつけ、かつ板ばねの他端を固定させることに
よシ、ピエゾアクチュエータの先端は、積層方同即伸、
縮方向以外から作用する力に対して、剛性を鍋＜シ、た
わみにくくすることができる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する０本実
施例は、積層形ピエゾアクチュエータ１、この積層形ピ
エゾアクチュエータ１の先端に７ランジ２を介して取付
けられた板ばね３、板ばねの他端を固定するブロック４
．このブロック４と積層形ピエゾアクチュエータの他端
を結合するベース５より構成されている。ここでフラン
ジ２は法認させたい図示しない部材に連結させ、ベース
５は固定部材に取り付ける０以上の構成に基ずく本実施
例の動作を以下に述べる。積層形ピエゾアクチュエータ
１に電圧を印加すると、アクチュエータ１は電圧に比例
して伸縮する。このときアクチュエータ１の先端に取り
付けられた７ランジ２は１司じ動作を行うため、７ラン
ジと遍紹されている図示しない部材を駆動する。この時
、板ばね５は、その厚さ、幅寸法を適切に決めることに
より、アクチュエータ１の駆動力を犬さく減することな
く、たわませることができ、かつ、伸縮方向と垂直の方
向に対しては、たわみにくくすることができる。
施例は、積層形ピエゾアクチュエータ１、この積層形ピ
エゾアクチュエータ１の先端に７ランジ２を介して取付
けられた板ばね３、板ばねの他端を固定するブロック４
．このブロック４と積層形ピエゾアクチュエータの他端
を結合するベース５より構成されている。ここでフラン
ジ２は法認させたい図示しない部材に連結させ、ベース
５は固定部材に取り付ける０以上の構成に基ずく本実施
例の動作を以下に述べる。積層形ピエゾアクチュエータ
１に電圧を印加すると、アクチュエータ１は電圧に比例
して伸縮する。このときアクチュエータ１の先端に取り
付けられた７ランジ２は１司じ動作を行うため、７ラン
ジと遍紹されている図示しない部材を駆動する。この時
、板ばね５は、その厚さ、幅寸法を適切に決めることに
より、アクチュエータ１の駆動力を犬さく減することな
く、たわませることができ、かつ、伸縮方向と垂直の方
向に対しては、たわみにくくすることができる。
即ち、７ランジ２に種々の方向の外力が作用しても、フ
ランジ２を一方向にのみ容易に駆動される機構にできる
。
ランジ２を一方向にのみ容易に駆動される機構にできる
。
これにより、第６図に示す様に従来であれば、一方向に
値動位Ｔｌｔ決めする際、心安であった某へ機構２２が
不必要となり、本実施例の機構のみで正確に微動位ｉｔ
決めが可能となる。これにより微！ＪＪ駆ｗＪ機考の小
形、軽量化が可能となった。
値動位Ｔｌｔ決めする際、心安であった某へ機構２２が
不必要となり、本実施例の機構のみで正確に微動位ｉｔ
決めが可能となる。これにより微！ＪＪ駆ｗＪ機考の小
形、軽量化が可能となった。
また、摺動・ころがり案内機構を用いた時にが題となる
塵埃の発生がなく、クリーンな環境条件下でも１更ハブ
でさる効果もある。
塵埃の発生がなく、クリーンな環境条件下でも１更ハブ
でさる効果もある。
不発明によれば、１＝ 癲以外の方向に対して剛性の簡
い噴７゛蝉形ピエゾアクチーエータ駆動の精密倣勤憎何
を提供できるため、精密微動機構の小形、軽量化が実現
でき、今後ニーズが増大すると予想される精密組立・調
整工程の目勤化亜進に寄与できる。
い噴７゛蝉形ピエゾアクチーエータ駆動の精密倣勤憎何
を提供できるため、精密微動機構の小形、軽量化が実現
でき、今後ニーズが増大すると予想される精密組立・調
整工程の目勤化亜進に寄与できる。
第１図は本発明の一実Ｒ１例の外観図、第２凶は第１図
のＡから見た断面図、第３図は促米の慎層形ピエゾアク
チュエータの原理図、第４図は従来の積層形ピエゾアク
チュエータの欠点を示ず説明図、第５図は板ばねの剛性
の違いを示すａｌＮ明凶、第６図は従来の一軸微動機構
を示す外観図である・１・・・・・・横１ｍ形ピエゾア
クチュエータ２・・・・・・フランジ ３・・・・・・板ばね ４・・・・・・ブロック ５・・・・・・ベース 発１目 括２圀 Δ 発づＩ 発５ 口
のＡから見た断面図、第３図は促米の慎層形ピエゾアク
チュエータの原理図、第４図は従来の積層形ピエゾアク
チュエータの欠点を示ず説明図、第５図は板ばねの剛性
の違いを示すａｌＮ明凶、第６図は従来の一軸微動機構
を示す外観図である・１・・・・・・横１ｍ形ピエゾア
クチュエータ２・・・・・・フランジ ３・・・・・・板ばね ４・・・・・・ブロック ５・・・・・・ベース 発１目 括２圀 Δ 発づＩ 発５ 口
Claims (1)
- １、複数のピエゾ素子を柔軟性部材により結合した積層
形ピエゾアクチュエーダにおいて、駆動用先端部に、他
端を固定支持した板ばねを組付け、積層形ピエゾアクチ
ュエータの伸縮以外の方向に対する剛性を大きくした事
を特徴とする精密微動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21573786A JPS6371687A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 精密微動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21573786A JPS6371687A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 精密微動機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6371687A true JPS6371687A (ja) | 1988-04-01 |
Family
ID=16677360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21573786A Pending JPS6371687A (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 精密微動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6371687A (ja) |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP21573786A patent/JPS6371687A/ja active Pending
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