JPS6355360U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6355360U JPS6355360U JP14936686U JP14936686U JPS6355360U JP S6355360 U JPS6355360 U JP S6355360U JP 14936686 U JP14936686 U JP 14936686U JP 14936686 U JP14936686 U JP 14936686U JP S6355360 U JPS6355360 U JP S6355360U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- center
- electrode
- lens
- charged particles
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
図面は本考案の実施例を示すもので、第１図は
静電型レンズ系の全体を示す斜視図、第２図は同
レンズ系の縦断面図、第３図はアインツエルレン
ズの電位分布を示す説明図、第４図はボツクスレ
ンズの電位分布を示す説明図である。 １…静電型レンズ装置、２…アインツエルレン
ズ、４…ボツクスレンズ、Ｌ…主軸、Ｏ…出射点
。
静電型レンズ系の全体を示す斜視図、第２図は同
レンズ系の縦断面図、第３図はアインツエルレン
ズの電位分布を示す説明図、第４図はボツクスレ
ンズの電位分布を示す説明図である。 １…静電型レンズ装置、２…アインツエルレン
ズ、４…ボツクスレンズ、Ｌ…主軸、Ｏ…出射点
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ３枚のリング電極を所定の間隔を保つて互いに
積層配列し、これらのリング電極の内の両側の電
極を共に同電位に、両電極に挟まれた中央の電極
を両電極とは別電位にそれぞれ設定して構成され
るアインツエルレンズと、 中空円柱形の外被電極の両側中央部にそれぞれ
荷電粒子の通過孔が形成されるとともに、各々の
通過孔の中心部に中心電極が設けられ、両中心電
極と外被電極とを互いに別電位に設定して構成さ
れるボツクスレンズとを備え、 これらのレンズが共通の主軸上に設けられると
ともに、前記アインツエルレンズの少なくとも一
つは荷電粒子の放射源に対向配置されていること
を特徴とする静電型レンズ系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14936686U JPS6355360U (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14936686U JPS6355360U (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6355360U true JPS6355360U (ja) | 1988-04-13 |
Family
ID=31064504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14936686U Pending JPS6355360U (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6355360U (ja) |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP14936686U patent/JPS6355360U/ja active Pending