JPS6354243U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6354243U JPS6354243U JP14805286U JP14805286U JPS6354243U JP S6354243 U JPS6354243 U JP S6354243U JP 14805286 U JP14805286 U JP 14805286U JP 14805286 U JP14805286 U JP 14805286U JP S6354243 U JPS6354243 U JP S6354243U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- housing
- head
- voltage
- source device
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
図はこの考案の一実施例を示す断面図である。
１……ハウジング、２……ヘツド、３……絶縁
リング、４……引出電源、５，６……電流計。
リング、４……引出電源、５，６……電流計。
Claims (1)
- イオン源用のハウジングの内部に、フイラメン
トを備えたヘツドを配置し、これを絶縁リングを
介して支持してなるイオン源装置において、前記
ハウジングとヘツドとの間に電圧を印加する電源
と、この電源による電圧が印加されたときに流れ
る暗電流を計測する電流とを直列に接続した直列
回路を、前記ハウジングとヘツドとの間に接続し
てなるイオン源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14805286U JPS6354243U (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14805286U JPS6354243U (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6354243U true JPS6354243U (ja) | 1988-04-12 |
Family
ID=31061972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14805286U Pending JPS6354243U (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6354243U (ja) |
-
1986
- 1986-09-26 JP JP14805286U patent/JPS6354243U/ja active Pending