JPS6338251U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6338251U JPS6338251U JP13252486U JP13252486U JPS6338251U JP S6338251 U JPS6338251 U JP S6338251U JP 13252486 U JP13252486 U JP 13252486U JP 13252486 U JP13252486 U JP 13252486U JP S6338251 U JPS6338251 U JP S6338251U
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- JP
- Japan
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- photoelectric conversion
- anode
- light
- secondary electron
- conversion detector
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案の実施例を示す二次電子光
電変換検出器の概念図、第２図は、同検出器の陽
極の螢光面を示す拡大図、第３図は、他の実施例
を示す二次電子光電変換検出器の概念図、第４図
は、二次電子光電変換検出器の従来例を示す概念
図である。 １１……ライトガイド、１２……光電変換増幅
器、１３……陽極、１４……透光体、１５……螢
光体、１６……導電薄膜。
電変換検出器の概念図、第２図は、同検出器の陽
極の螢光面を示す拡大図、第３図は、他の実施例
を示す二次電子光電変換検出器の概念図、第４図
は、二次電子光電変換検出器の従来例を示す概念
図である。 １１……ライトガイド、１２……光電変換増幅
器、１３……陽極、１４……透光体、１５……螢
光体、１６……導電薄膜。
Claims (1)
- 光を導くライトガイド１１の端面を覆うように
集電発光用の陽極１３と光電変換増幅器１２を設
けた二次電子光電変換検出器において、陽極１３
が少なくとも表面側が突状の曲面で形成された透
光体１４、及び同表面に形成された蛍光膜１５と
導体薄膜１６とからなることを特徴とする二次電
子光電変換検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13252486U JPS6338251U (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13252486U JPS6338251U (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338251U true JPS6338251U (ja) | 1988-03-11 |
Family
ID=31031991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13252486U Pending JPS6338251U (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6338251U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59163744A (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-14 | Jeol Ltd | ２次電子検出器 |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP13252486U patent/JPS6338251U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59163744A (ja) * | 1983-03-08 | 1984-09-14 | Jeol Ltd | ２次電子検出器 |