JPS6338247U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6338247U JPS6338247U JP13108486U JP13108486U JPS6338247U JP S6338247 U JPS6338247 U JP S6338247U JP 13108486 U JP13108486 U JP 13108486U JP 13108486 U JP13108486 U JP 13108486U JP S6338247 U JPS6338247 U JP S6338247U
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- JP
- Japan
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- sample
- bellows
- flexible tube
- support stand
- sample support
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す図である。
６……試料支持台、７……ベローズ、８Ａ，８
Ｂ……フレキシブルチユーブ、１１……温度制御
装置、１２……試料。
Ｂ……フレキシブルチユーブ、１１……温度制御
装置、１２……試料。
Claims (1)
- 試料を装着する試料支持台と該試料支持台に取
付けられた１個のベローズと前記試料支持台に取
付けられた２個のフレキシブルチユーズと熱媒体
の温度を制御する温度制御装置とから成り、前記
フレキシブルチユーブは前記ベローズの内側に設
け、前記フレキシブルチユーブの外側と前記ベロ
ーズの内側とは大気圧とし、熱媒体は前記フレキ
シブルチユーブを通り、前記試料支持台にあけら
れた穴を通して前記温度制御装置によつて循環し
、前記試料の温度制御をすることを特徴とする走
査電子顕微鏡等の試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13108486U JPS6338247U (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13108486U JPS6338247U (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338247U true JPS6338247U (ja) | 1988-03-11 |
Family
ID=31029201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13108486U Pending JPS6338247U (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6338247U (ja) |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP13108486U patent/JPS6338247U/ja active Pending