JPS6331858B2 - - Google Patents

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JPS6331858B2
JPS6331858B2 JP18068880A JP18068880A JPS6331858B2 JP S6331858 B2 JPS6331858 B2 JP S6331858B2 JP 18068880 A JP18068880 A JP 18068880A JP 18068880 A JP18068880 A JP 18068880A JP S6331858 B2 JPS6331858 B2 JP S6331858B2
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JP
Japan
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light
focusing
target object
optical detector
plane
Prior art date
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Application number
JP18068880A
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Japanese (ja)
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JPS57105832A (en
Inventor
Tsuneo Hirose
Shinichi Tanaka
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光学的に位置を検出する装置に関する
ものであり、特に光を回折する部分を有する対象
物体上の回折効果を有する部分から光スポツトが
ずれているトラツキング誤差および対象物体上に
集束した光スポツトが正確な集束位置からずれて
いるフオーカス誤差を簡単に、かつ光量損失なく
検出することのできる光学的位置検出装置を提供
するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an apparatus for optically detecting a position, and particularly to a tracking error in which a light spot is deviated from a part having a diffraction effect on a target object having a part that diffracts light. An object of the present invention is to provide an optical position detection device capable of easily detecting a focus error in which a light spot focused on a target object deviates from an accurate focus position and without loss of light amount.

一般に、前記の回折効果を有する部分は帯状に
設けられ、あるいは制御対象となる低周波状で実
質的に帯状に形成されているとみなせるので、光
スポツトをこの帯状の上にあるように制御するこ
とをトラツキング制御と呼ぶことにし、かつ前記
物体面上に光スポツトが正確に集束するように制
御することをフオーカス制御と呼ぶことにする。
In general, the portion having the above-mentioned diffraction effect is provided in a band shape, or can be considered to be substantially formed in a band shape with the low frequency to be controlled, so the light spot is controlled so that it lies on this band shape. This will be referred to as tracking control, and the control so that the light spot will be accurately focused on the object surface will be referred to as focus control.

従来から、フオーカス誤差、トラツキング誤差
を検出する手段としてフーコ方式、フアーフイー
ルド方式が用いられていた。
Conventionally, the Foucault method and the four-field method have been used as means for detecting focus errors and tracking errors.

しかし、それらは光デイテクタの数が2ケ以上
必要であつたり、また、光量損失が多い等の欠点
があつた。光源には半導体レーザを用いることが
多いから、光量損失は半導体レーザの価格、寿命
の点からも小さくなければならない。
However, these methods have drawbacks such as requiring two or more optical detectors and causing a large amount of light loss. Since a semiconductor laser is often used as a light source, the loss of light quantity must be small from the viewpoint of the cost and life of the semiconductor laser.

第1図に従来例の要部概略構成図を示す。同図
において、1は半導体レーザ、2はコリメートレ
ンズ、3はビームスプリツタ、4は対物レンズ、
5はレコード盤のごとき対象物体に記録情報とし
て形成された溝(凹部または凸部)で、図示のよ
うに帯状のトラツクになつている。6は半分(斜
線で示す部分)が不透明な円筒(シリンドリカ
ル)レンズ、7は4分割光デイテクタである。
FIG. 1 shows a schematic diagram of the main parts of a conventional example. In the figure, 1 is a semiconductor laser, 2 is a collimating lens, 3 is a beam splitter, 4 is an objective lens,
Reference numeral 5 denotes a groove (concave or convex portion) formed as recorded information on a target object such as a record disc, and is a belt-shaped track as shown in the figure. 6 is a cylindrical lens whose half (the shaded part) is opaque, and 7 is a 4-split light detector.

半導体レーザ1から出た光はコリメートレンズ
2で平行線となり、ビームスプリツタ3を介し、
対物レンズ4で対象物体面上に集束する。対象物
体から反射した光はビームスプリツタ3で入射光
と分離して取り出され、円筒レンズ6に入射し、
光デイテクタ7上に集束する。ここで、円筒レン
ズ6の半分が不透明になつているため、フオーカ
スがずれるとデイテクタ上の集束光の中心は不透
明な部分のエツジ14に垂直な方向に動く。
The light emitted from the semiconductor laser 1 is turned into parallel lines by the collimating lens 2, and then transmitted through the beam splitter 3.
The objective lens 4 focuses the light onto the target object plane. The light reflected from the target object is separated from the incident light by the beam splitter 3 and taken out, and enters the cylindrical lens 6.
The light is focused onto a light detector 7. Here, since half of the cylindrical lens 6 is opaque, when the focus shifts, the center of the focused light on the detector moves in a direction perpendicular to the edge 14 of the opaque portion.

4分割光デイテクタ7の中のデイテクタ8と
9,10と11は図示のようにエツジ14に平行
な方向に並べられており、8と10,9と11は
エツジ14に垂直な方向に並べられている。
Detectors 8 and 9, 10 and 11 in the four-split optical detector 7 are arranged in a direction parallel to the edge 14 as shown, and detectors 8 and 10, 9 and 11 are arranged in a direction perpendicular to the edge 14. ing.

従つて、4分割光デイテクタ7の中の8,9の
和と10,11の和の差をとることにより、フオ
ーカス誤差を検出することができる。このよう
に、集束光の半分だけを光デイテクタ上に集束し
てフオーカス誤差信号を得る方法はフーコ方式と
称せられている。
Therefore, by taking the difference between the sum of 8 and 9 and the sum of 10 and 11 in the four-division optical detector 7, the focus error can be detected. This method of obtaining a focus error signal by focusing only half of the focused light onto an optical detector is called the Foucault method.

また、トラツク5から光スポツトが溝に垂直な
方向(図示の矢印15の方向)にずれるとする。
即ちトラツキング制御はトラツクに垂直な方向の
光スポツトのずれを検出し、ずれが零になるよう
に制御する。光スポツトがトラツク上からずれる
と、反射光のフアーフイールドパターンは回折効
果により不平衡が生ずる。一般に光スポツトのト
ラツキング誤差を検出するには、検出すべきずれ
の方向に反射光のフアーフイールドパターン上に
生ずる光量の不平衡に着目すればよい。第1図の
場合にはトラツクを含み対象物体面に垂直な面を
分割面とし、それに垂直な方向に生ずる光量不平
衡に着目する。第1図において、光線12と13
の間に光量の不平衡が生ずると考えると理解しや
すい。
It is also assumed that the light spot deviates from the track 5 in a direction perpendicular to the groove (in the direction of arrow 15 shown).
That is, the tracking control detects the deviation of the light spot in the direction perpendicular to the track, and performs control so that the deviation becomes zero. When the light spot deviates from the track, the front field pattern of the reflected light becomes unbalanced due to diffraction effects. Generally, in order to detect a tracking error of a light spot, it is sufficient to pay attention to the imbalance in the amount of light that occurs on the front field pattern of reflected light in the direction of the shift to be detected. In the case of FIG. 1, a plane including the track and perpendicular to the target object plane is used as the dividing plane, and attention is paid to the light quantity imbalance that occurs in the direction perpendicular to the dividing plane. In Figure 1, rays 12 and 13
It is easy to understand if you consider that an imbalance in the amount of light occurs between the two.

反射光12,13はビームスプリツタ3を通つ
た後、円筒レンズ6に入る。この円筒レンズ6は
2分割された不平衡光線12,13に対し集束効
果がないから、この不平衡は4分割光デイテクタ
7上でもエツジ14に平行な方向の光量不平衡と
なつて残る。即ち、4分割デイテクタ7の中の
8,10の和と9,11の和の差をとることによ
り、トラツキング誤差信号を検出できる。このよ
うにトラツキング制御しようとする方向に生じる
回折反射光のフアーフイールドの光量不平衡に着
目し、それを誤差信号として取り出す方法はフア
ーフイールド方式と称せられている。
The reflected lights 12 and 13 enter the cylindrical lens 6 after passing through the beam splitter 3. Since this cylindrical lens 6 has no focusing effect on the unbalanced light beams 12 and 13 divided into two, this unbalance remains on the four-split optical detector 7 as a light quantity unbalance in the direction parallel to the edge 14. That is, by taking the difference between the sum of 8 and 10 and the sum of 9 and 11 in the four-division detector 7, the tracking error signal can be detected. A method that focuses on the far-field light intensity imbalance of the diffracted and reflected light that occurs in the direction in which tracking control is to be performed and extracts it as an error signal is called the far-field method.

第1図の装置においては、光デイテクタが1個
であり、調整も簡単であるが、円筒レンズ6の半
分が透明となつているため、光量損失が50%もあ
る。第1図に用いている半導体レーザの出力を4
mWと仮定すると、もし前記の光量損失がなけれ
ば、出力を2mWにおとすことができる。この数
値は半導体レーザの価格、寿命にとつて非常に大
きいものである。
The device shown in FIG. 1 has only one optical detector and is easy to adjust, but because half of the cylindrical lens 6 is transparent, there is a loss of 50% in the amount of light. The output of the semiconductor laser used in Figure 1 is 4
mW, the output can be reduced to 2 mW if there is no light loss. This value is extremely large in terms of the cost and lifespan of the semiconductor laser.

本発明は、光検出器が1個で、かつ光量損失が
ない光学的位置検出装置を提供するものである。
以下、本発明を図示の実施例に基いて説明する。
The present invention provides an optical position detection device that includes one photodetector and has no loss of light amount.
Hereinafter, the present invention will be explained based on illustrated embodiments.

第2図は本発明の一実施例を示す要部概略構成
図であり、従来例の第1図と同じ働きをする部分
は同一の符号を付し、重複する説明については省
略する。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of main parts showing an embodiment of the present invention, and parts having the same functions as those of the conventional example shown in FIG.

第2図において、矢印15の方向にトラツキン
グ誤差が生ずると、第1図で説明したように反射
光12と13に光量不平衡が生ずる。反射光を対
象物体上の帯状トラツクを含みかつ対象物体面に
垂直な光スポツトを含む面で2つの領域に2分割
して考え、この2領域の光をビームスプリツタ3
を出た後に変換2分割面(ビームスプリツタ3を
通過後、面の向きが変わる場合もあり、ビームス
プリツタ3を通過後の2分割面を変換2分割面と
呼ぶ)に対し平行な互に異なる方向に偏向する。
プリズム21,22は、この目的のために設けら
れている。
In FIG. 2, when a tracking error occurs in the direction of the arrow 15, an imbalance in the amount of reflected light beams 12 and 13 occurs as explained in FIG. 1. The reflected light is divided into two regions by a plane that includes a band-shaped track on the target object and a light spot perpendicular to the target object surface, and the light from these two regions is sent to the beam splitter 3.
After passing through the beam splitter 3, the direction of the plane may change after passing through the beam splitter 3, and the two-split plane after passing through the beam splitter 3 is called the conversion two-split plane. to be deflected in different directions.
Prisms 21, 22 are provided for this purpose.

プリズム22は第2図ではビームスプリツタ自
体の面を用いている。プリズム21と異なる面で
上記条件に合致しておればよい。
The prism 22 in FIG. 2 uses the surface of the beam splitter itself. It is sufficient if the above conditions are met in a different aspect from the prism 21.

プリズム21,22を出た光は光デイテクタ集
束レンズ23により光デイテクタ24の上に集束
される。
The light exiting the prisms 21 and 22 is focused onto a light detector 24 by a light detector focusing lens 23.

4分割光デイテクタ24の中の各デイテクタ2
5と26,27と28は前記変換2分割面に垂直
な方向に、そして25と27,26と28は平行
な方向に配置される。
Each detector 2 in the 4-split optical detector 24
5 and 26, 27 and 28 are arranged in a direction perpendicular to the conversion plane, and 25 and 27, 26 and 28 are arranged in a parallel direction.

プリズム21を通過した光はデイテクタ上で2
7に、プリズム22を通過した光はデイテクタ上
で29に集束する。
The light that has passed through the prism 21 appears on the detector as 2
At 7, the light passing through the prism 22 is focused on the detector 29.

集束スポツト30にはプリズム21の光、すな
わち集束光の半分した寄与していないから、フオ
ーカス誤差が生じると、集束スポツト30は第2
図中でデイテクタ24上を上下動く。すなわち、
デイテクタ27と28の出力信号の差をとればフ
オーカス誤差信号が得られる。同様のことが集束
スポツト29についてもいえる。しかし、同一の
フオーカス誤差に対して、集束スポツト29は集
束スポツト30と逆の方向に動く。従つて、フオ
ーカス誤差信号は4分割光デイテクタの対角方向
の出力の和同士の減算、(25+28)−(26+27)の
演算により得られる。
Since the light from the prism 21, that is, half of the focused light does not contribute to the focusing spot 30, when a focus error occurs, the focusing spot 30
In the figure, it moves up and down on the detector 24. That is,
A focus error signal is obtained by taking the difference between the output signals of the detectors 27 and 28. The same applies to the focusing spot 29. However, for the same focus error, focusing spot 29 moves in the opposite direction to focusing spot 30. Therefore, the focus error signal can be obtained by subtracting the sums of the diagonal outputs of the four-split optical detector, or by calculating (25+28)-(26+27).

トラツキング誤差が生ずると、第1図で説明し
たことからわかるように、前記2分割された領域
における光量に差が生ずる。即ちプリズム21と
プリズム22を通過する光量が変化する。従つて
集束スポツト29,30間の光量に差が生ずる。
When a tracking error occurs, as can be seen from what has been explained with reference to FIG. 1, a difference occurs in the amount of light in the two divided regions. That is, the amount of light passing through the prisms 21 and 22 changes. Therefore, there is a difference in the amount of light between the focusing spots 29 and 30.

このように、デイテクタ25,26の和と2
7,28の和の差をとれば、トラツキング誤差信
号が得られる。即ち、トラツキング誤差信号は前
記変換2分割面に平行な平面により分けられた光
デイテクタの出力間同士の減算、(25+27)−(26
+28)の演算により得られる。
In this way, the sum of detectors 25 and 26 and 2
By taking the difference between the sums of 7 and 28, a tracking error signal can be obtained. That is, the tracking error signal is obtained by subtracting the outputs of the optical detectors separated by a plane parallel to the conversion plane, (25+27)-(26
+28).

光デイテクタ24の最適位置の調整は、第2図
において、前記変換2分割面に垂直な方向でフオ
ーカス調整、平行な方向にトラツキング調整する
ことにより行なわれる。
The optimum position of the optical detector 24 is adjusted by performing focus adjustment in a direction perpendicular to the conversion plane and tracking adjustment in a parallel direction, as shown in FIG.

このように、本発明ではフオーカス調整とトラ
ツキング調整方向が直交しているので調整が極め
て容易である。
In this manner, in the present invention, the focus adjustment and tracking adjustment directions are perpendicular to each other, so adjustment is extremely easy.

従来、フアーフイールド方式によりトラツキン
グ誤差信号を得るには、スポツトをデイテクタ上
にフオーカスさせてはならないといわれてきた
が、本発明によれば、前述の説明から明らかなよ
うにかまわない。勿論、フオーカスさせなくても
よい。第3図はこのような本発明の他の実施例を
示すものである。なお、第3図において、第2図
で説明したものと同じ働きをする部分は同一の符
号を付し、重複する説明は省略する。
Conventionally, it has been said that in order to obtain a tracking error signal using the far-field method, the spot must not be focused on the detector, but according to the present invention, this is not the case as is clear from the above description. Of course, it is not necessary to focus. FIG. 3 shows another embodiment of the present invention. In FIG. 3, parts having the same functions as those explained in FIG. 2 are designated by the same reference numerals, and redundant explanation will be omitted.

第3図はおいて、レンズ23のかわりに円筒レ
ンズ33を用いている。円筒レンズ33は前記変
換2分割面に平行な方向に集束作用を持たないよ
うに配置される。その結果、光デイテクタ24上
では光は31,32のように光帯状に集束する。
この場合も第2図と同様にしてフオーカスおよび
トラツキング誤差信号を得ることができることは
明らかである。
In FIG. 3, a cylindrical lens 33 is used instead of the lens 23. The cylindrical lens 33 is arranged so as not to have a focusing effect in a direction parallel to the conversion plane. As a result, on the optical detector 24, the light is focused into a light band shape as shown at 31 and 32.
It is clear that in this case as well, focus and tracking error signals can be obtained in the same manner as in FIG.

レンズ23とレンズ33の中間のレンズを用い
てもよい。これらは光検出器のサイズ、調整方法
等を考えた上で決められる。
A lens intermediate between lens 23 and lens 33 may be used. These are determined by considering the size of the photodetector, the adjustment method, etc.

第4図は第2図においてトラツク5の向きが直
交する方向に変えた場合の実施例を示している。
第2図と同様、反射光を対象物体上の帯状トラツ
クを含みかつ対象物体面に垂直な2分割面で分け
て考える。前記2分割面のビームスプリツタ通過
後の変換2分割面に平行な互に異なる方向にビー
ムスプリツタ3を通過後の光を偏光するにはプリ
ズム21′,22′を用いればよいことは明白であ
る。この光はレンズ23′により光デイテクタ4
1上に集束される。プリズム21′を通過した光
はスポツト47に、そしてプリズム22′を通過
した光はスポツト47に集束する。第2図と全く
同じ考え方でフオーカス誤差、トラツキング誤差
が検出できることは明白である。
FIG. 4 shows an embodiment in which the direction of the track 5 in FIG. 2 is changed to a perpendicular direction.
Similar to FIG. 2, the reflected light is considered to be divided by a two-part plane that includes a band-shaped track on the target object and is perpendicular to the target object surface. Conversion after passing through the beam splitter on the two-split plane It is obvious that the prisms 21' and 22' can be used to polarize the light after passing through the beam splitter 3 in mutually different directions parallel to the two-split plane. It is. This light is transmitted to the optical detector 4 by the lens 23'.
It is focused on 1. The light that has passed through the prism 21' is focused on a spot 47, and the light that has passed through the prism 22' is focused on a spot 47. It is clear that focus errors and tracking errors can be detected using exactly the same concept as in FIG.

本発明においては第2図(第4図)の光デイテ
クタ集束手段であるレンズ23,23′をレンズ
2と共用できる。第5図は、そのようにした実施
例を示したものであり、第2図と同じ働きをする
ものは同一の符号を付している。すなわち、ビー
ムスプリツタ3および偏向手段であるプリズムを
半導体レーザ1とコリメートレンズ2の間に入れ
る。対象物体から反射した光はコリメートレンズ
2を通つた後、集束されるから、ビームスプリツ
タ通過後にこの光を第2図のように集束する必要
がない。
In the present invention, the lenses 23 and 23' which are the optical detector focusing means shown in FIG. 2 (FIG. 4) can be used in common with the lens 2. FIG. 5 shows such an embodiment, and parts having the same functions as those in FIG. 2 are given the same reference numerals. That is, a beam splitter 3 and a prism serving as a deflecting means are placed between the semiconductor laser 1 and the collimating lens 2. Since the light reflected from the object is focused after passing through the collimating lens 2, there is no need to focus the light after passing through the beam splitter as shown in FIG.

以上の第2図〜第4図の実施例において、レン
ズ23,23′,33はビームスプリツタ3に一
体にすると良い。対物レンズ4、コリメートレン
ズ2も一体としてしまえばよいが、他の種々の問
題もあつて常に良いとは限らない。
In the embodiments shown in FIGS. 2 to 4, the lenses 23, 23', and 33 are preferably integrated into the beam splitter 3. It would be better to integrate the objective lens 4 and the collimating lens 2, but this is not always a good idea due to various other problems.

第5図はプリズム21,22とレンズ33を一
体とした本発明に使用して有効なビームスプリツ
タの例を示している。これは成形等の周知の適当
な手段によりつくられる。
FIG. 5 shows an example of a beam splitter that is effective for use in the present invention, in which prisms 21, 22 and a lens 33 are integrated. This is made by any suitable means known in the art, such as molding.

以上のように、本発明の光学的位置検出装置は
光量損失がなく、光デイテクタも1個で簡単であ
り、かつ光デイテクタの調整において、フオーカ
ス調整とトラツキング調整方向が直交し独立して
いるので調整が容易である等の数々のすぐれた特
長を有するものである。
As described above, the optical position detection device of the present invention has no loss of light quantity, is simple with only one optical detector, and in the adjustment of the optical detector, the focus adjustment and tracking adjustment directions are orthogonal and independent. It has many excellent features such as easy adjustment.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来例の要部概略構成図、第2図、第
3図、第4図および第5図はそれぞれ本発明の実
施例の要部概略構成図、第6図は本発明で使用し
得るビームスプリツタの構成例を示す斜視図であ
る。 1……半導体レーザ、2……コリメートレン
ズ、3,61……ビームスプリツタ、4……対物
レンズ、5……溝(トラツク)、21,21′,2
2,22′……プリズム、23,23′,33……
光デイテクタ集束レンズ、24……4分割光デイ
テクタ。
FIG. 1 is a schematic diagram of the main part of the conventional example, FIGS. 2, 3, 4, and 5 are schematic diagrams of the main part of the embodiment of the present invention, and FIG. 6 is used in the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing an example of the configuration of a possible beam splitter. 1... Semiconductor laser, 2... Collimating lens, 3, 61... Beam splitter, 4... Objective lens, 5... Groove (track), 21, 21', 2
2, 22'...prism, 23, 23', 33...
Optical detector converging lens, 24...four-division optical detector.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 光源と、前記光源から出た光を対象物体面上
に集束する光集束手段と、前記対象物体からの反
射光を入射光と分離し取り出す光分離手段と、前
記対象物体上の光学的に凹凸かつ帯状トラツクの
部分から回折反射する光を、対象物体上の帯状ト
ラツクを含みかつ対象物体面に垂直な2つの領域
に分割して考えた場合、その2領域の光を前記光
分離手段を出た後に光分離手段通過後の変換2分
割面に平行な互いに異なる方向に偏向する偏向手
段と、前記光分離手段通過後における前記2分割
面に垂直な方向に少なくとも集束作用を有する光
デイテクタ集束手段と、前記光デイテクタ集束手
段により集束された光の集束位置近傍に配置され
た4分割光デイテクタと、前記4分割光デイテク
タの対角方向の出力の和同士の減算をするフオー
カス誤差信号演算手段と、前記変換2分割面に平
行な平面により分けられた光デイテクタの出力間
同士の減算をするトラツキング誤差信号演算手段
とを具備することを特徴とする光学的位置検出装
置。
1. A light source, a light focusing means for focusing the light emitted from the light source onto the surface of the target object, a light separating means for separating the reflected light from the target object from the incident light, and an optical If the light diffracted and reflected from the uneven and band-like track is divided into two regions that include the band-like track on the target object and are perpendicular to the surface of the target object, the light of the two regions can be separated by the light separating means. a deflection means that deflects the light in different directions parallel to the conversion bisecting plane after passing through the light separating means; and an optical detector focusing having a focusing action at least in a direction perpendicular to the bisecting plane after passing through the light separating means. a four-split optical detector disposed near a convergence position of the light focused by the optical detector focusing means, and a focus error signal calculation means for subtracting the sum of diagonal outputs of the four-split optical detector. and tracking error signal calculation means for subtracting the outputs of the optical detectors separated by a plane parallel to the two-part conversion plane.
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