JPS63316314A - Glass substrate for magnetic disk - Google Patents

Glass substrate for magnetic disk

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Publication number
JPS63316314A
JPS63316314A JP15014487A JP15014487A JPS63316314A JP S63316314 A JPS63316314 A JP S63316314A JP 15014487 A JP15014487 A JP 15014487A JP 15014487 A JP15014487 A JP 15014487A JP S63316314 A JPS63316314 A JP S63316314A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
alkali
glass
glass substrate
magnetic
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP15014487A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toru Iseda
徹 伊勢田
Mikio Takehara
竹原 幹夫
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AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Priority to JP15014487A priority Critical patent/JPS63316314A/en
Publication of JPS63316314A publication Critical patent/JPS63316314A/en
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  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent the deterioration of magnetic films at a peripheral margin by elution of an alkali by providing alkali insulating films on the surfaces of a glass substrate formed with uniform and very small ruggedness on the surfaces. CONSTITUTION:Both faces of a glass disk are lapped with an abrasive material by using a surface polishing machine to form the very small ruggedness on the surfaces. The alkali insulating layers prevent the deposition of the alkali component from the substrate glass to the substrate surfaces and prohibit the contact of the magnetic film 3 layers and the alkali component. The alkali insulating layers 2 prevent the elution of the alkali ions from the glass substrate by the reaction of the moisture in the air and the alkali component in the glass even if glass such as soda lime glass allowing easy elution of the alkali is used as the substrate glass. The alkali ions are thereby prevented from acting on the magnetic films 3, by which the corrosion of the magnetic films 3 and the deterioration in the magnetic performance are prevented.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

[産業上の利用分野] 本発明は、耐久性に優れた磁気記録媒体に適した磁気デ
ィスク用ガラス基板に関するものである。
[Industrial Application Field] The present invention relates to a glass substrate for magnetic disks suitable for magnetic recording media with excellent durability.

【従来の技術】[Conventional technology]

磁気ディスク用基扱と、その上にスパッタ、メッキ、蒸
着等のプロセスにより形成した磁性膜及び保護膜からな
る構成体は、磁気記録媒体(以下、メディアと称する)
と呼ばれる。 磁気記憶装置は、このメディアと記録再生磁気ヘッド(
以下、ヘッドと称する)を主構成部とし、操作開始時に
はヘッドとメディアは接触状態でセットしたあと、前記
のメディアに所要の回転を与えることにより、前記ヘッ
ドとメディア面との間に空気周分の空間を作り、この状
態で記録再生動作を行う。又、操作終了時にはメディア
の回転が止まり、この時ヘッドとメディアは操作開始時
と同様に接触状態に戻る。 このように装置の起動時及び停止時にヘッドとメディア
の間に生ずる接触摩擦力は、ヘッドおよびメディアを摩
耗させ磁気特性の劣化原因となる(この方式をコンタク
ト・スタート・ストップC3Sと通称している)。 又、多湿雰囲気中でメディアを放置してメディア表面に
水分が吸着している状態では、ヘッドとメディアの間に
水分が入り込み、凝着現象を惹き起こす。したがって、
この状態で起動すると、ヘッドおよびメディアに大きな
抵抗力を生じ、ヘッドの損傷やメディアの破壊を招くこ
とがある(これをヘッド・スティックあるいはヘッド・
クラッシュと通称している)。 一般にガラスは表面の平滑性に優れ、硬く、変形抵抗が
大きく、かつ表面欠陥が少ない等の理由から高密度化に
適した磁気ディスク用基板として注目されている(特開
昭49−122707号、特開昭52−18002号)
。 しかしながら、上述した耐C3S性およびヘッドスティ
ック性に対しては、ガラスは鏡面性が優れているが故に
、ガラス基板を用いたメディアは、他の平滑性の劣る基
板を用いたメディアに比べ、ヘッドとメディアの接触面
積が増大するため摩擦抵抗の増加や凝着力の増大を招く
ことから問題があった。 このような欠点を解消するために、基板表面に機械的手
段により微小な凹凸を形成させることにより、ヘッドと
メディアの間に生ずる摩擦力および凝着力を低減させる
方法が特開昭53−123906号に提案されている。 又、化学エツチングによりガラス基板表面に凹凸を形成
させる方法が特開昭60−138035号に提案されて
いる。 この他、ガラス基板として通常のソーダライムガラスを
用いた場合にはガラス中のアルカリ成分が表面に溶出し
、磁性膜の特性に影響を与え、また磁性膜の種類によっ
ては腐食等の耐久性が低下するなどの問題があった。こ
の腐食の問題は耐ヘツドスティック特性を向上させるた
めに機械的な方法で微小な凹凸を付与したものでは特に
顕著であった。又その他の方法で微小凹凸を付与したも
のや、微小凹凸をもたない平板ガラスでもガラス成分が
ソーダライムガラスのようなアルカリ溶出の容易なガラ
スでは磁性膜の周辺部に腐食が起こり問題があった。 [発明の解決しようとする問題点1 本発明は磁気ディスク用ガラス基板の持つ前記した耐C
8S特性およびヘッドスティック性といった問題点及び
ソーダライムガラスのようなアルカリ溶出の容易なガラ
スによる磁性膜特性の劣化及び磁性膜耐久性の劣化とい
った問題を同時に解決せんとするものである。 従来の機械的方法により凹凸を形成する方法ではガラス
のような脆性材料を基板とする場合には、ガラス表面に
クラックが発生することがあり手用性を損なうおそれや
ガラス基板表面の強度低下を惹き起こすおそれなど該ク
ラックによる問題を否定できなかった。 又、鋭い凹部及びクラック等で発生したすき間部は洗浄
乾燥等が不充分となり、汚れ等の残漬が残り、そのため
磁気特性の経時的劣化等を惹き起こす原因になった。又
C8S時の磁気ヘッドの衝突時にガラスの凸部が欠は落
ちヘッドクラッシュを引き起こすこともあった。更に、
これら問題の発生をできるだけ少なくするように、粒径
の小さい砥粒と軽い加重で凹部を形成する方法があるが
、この場合は長い作業時間を必要とし、テープ材料や砥
粒な多量に使う結果となった。 更に特開昭60−138035号に提案されている化学
的方法ではガラス基板上にあらかじめ金属層を形成し、
かつ熱処理する必要があった。 又、磁気ディスクの耐久性を調べる試験としては高温多
湿の環境下に一定時間放置してその磁気特性の劣化の有
無を調べる方法があるが、従来の機械的方法により凹凸
を形成しただけのガラス基板ではそのガラスの種類によ
ってはこの試験では短時間で劣化するものがある。特に
通常板ガラスとして使われているソーダライムガラスで
はこの劣化が顕著であった。 また、このようなガラスではガラス基板の内周や外周の
周縁部の磁性膜が被覆されていない個所からアルカリの
溶出が起こり周縁の磁性膜を劣化させる問題があった。 E問題点を解決するための手段1 本発明は前述の問題点を解決すべくなされたものであり
、スパッタ、メッキ、蒸着等の方法によりその上に磁性
膜が形成される磁気ディスク用ガラス基板であり、平坦
性を損なうことなく表面に均一で微小な凹凸が形成され
た該ガラス基板の表面にアルカリ絶縁層を設けたことを
特徴とする磁気ディスク用ガラス基板を提供するもので
ある。 また本発明は、上記アルカリ絶縁層の表面に高さが50
〜700人の範囲にある山が0.1〜IOμmの範囲の
ピッチで形成された凹凸が設けられていることを特徴と
する磁気ディスク用ガラス基板を提供するものである。 この凹凸の形状と山のピッチは、先端の半径が十分小さ
い触針を有する表面粗さ計を十分軽い荷重で使用するこ
とにより、または十分な分解能を有する光学的もしくは
電子線を用いた非接触式粗さ計を使用することにより、
十分に遅い走査速度で測定するものとする。 第1図は本発明により製造された磁気ディスク用基板の
平面図であり、基板円板を形成する円の中心を原点とし
て極座標(r、θ)をとる、該基板としては通常のソー
ダライムシリケートガラス、低アルカリガラス、無アル
カリガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス、風冷また
は液冷等による物理強化ガラス、化学強化ガラス、結晶
性ガラス、あるいは結晶化ガラス等を用いることができ
る。 本発明のアルカリ絶縁層は、上記凹凸を有するガラス基
板表面上で磁性膜より広い範囲を被覆し、磁性膜が該磁
性膜の周辺部は勿論のこといかなる部分においてもガラ
ス基板と直接接触することがないよう上記ガラス基板表
面上に設けられている。 第2図は本発明のガラス基板を用いた磁気ディスクの(
a)平面図と(b)断面図である。同図は磁性膜よりア
ルカリ絶縁層の方が周辺部で広い範囲のガラス基板を覆
っていることを示している。アルカリ絶縁層がガラス基
板全面を覆っていることが好ましく、また磁気ディスク
用基板として実用上支障のない範囲でアルカリ絶縁層が
ガラス基板の端面に存在してもよい。 第3図は本発明を説明する模式図であり、前記凹凸が下
地のガラス基板の表面に形成されていて、そのガラス基
板表面の凹凸の上にアルカリ絶縁層が設けられたことを
特徴とする磁気ディスク用ガラス基板を示している。第
3図に示した本発明の磁気ディスク用ガラス基板の表面
の凹凸の構造と形態は、第1図、第2図に示すには微小
であるためこれらの図には描示していない。 第4図(a)、(b)ならびに第5図 (c)、(d)
は本発明の実施例として得られた基板の主面に垂直な「
方向断面とθ方向断面の凹凸の形状を示した説明図であ
る。第4図(a)、(b)の断面図のもは基板の表面凹
凸がrおよびθ方向で同様のプロフィールを有する。同
様に第5図(c)、(d)の断面図のものは同心円もし
くはスパイラルのパターンのもので (C)とld)の
ようにプロフィールに違いがあり異方性がある。 第6図は凹凸を形成した基板表面の拡大説明図である。 以下r山の高さ」とは山と谷の落差Hを示し「山のピッ
チ」とは隣り合う山の先端の間隔Wを表わすものとする
。 凹凸の適正形状としては、再生ノイズに大きな影響を与
えることなくヘッドとメディアの摩擦軽減効果によりC
8S特性を改善できる理由から山の高さが50〜700
人の範囲にあることが適切であるが、特に50〜200
人の範囲にあることが望ましい、山のピッチは0.1−
10μmの範囲にあることが望ましい。 なお、前記中の高さは基板の全面にわたって全ての山が
700人を超えないことが望ましいが、前記したi4 
c s s特性およびヘッドスティック性改善を達成す
るのに支障のない範囲において700人を超える高さの
山が存在していてもかまわない。 本発明におけるアルカリ絶縁層の形成は主成分とする金
属元素のアルコキシドを溶媒に溶解しこの液で前記凹凸
の形成されたガラス基板表面に被膜を形成し、加水分解
縮合する方法を用いると良い。 上記主成分金属元素としてはSiが用いられるがTiや
Zrでもよい。またこれらの元素を複数用いることもで
きる。 SiO□からなるアルカリ絶縁層を形成する場合用いる
被膜形成溶液としては、テトラメトキシシラン (メチ
ルシリケート)、テトラエトキシシラン(エチルシリケ
ート)などのアルコキシシラン、あるいはこれらアルコ
キシシランの部分加水分解物などが使用できるが、中で
もテトラエトキシシラン、あるいはテトラエトキシシラ
ンの部分加水分解物が使用の容易さ、保存安定性、入手
の容易さなどから代表的なものである。被膜形成の方法
としては677記凹凸の形成されたガラス基板を上記ア
ルコキシド溶液に浸漬したのち一定速度で液面より上に
引き上げ乾燥して被膜を得る方法でもよく、またガラス
基板を高速回転させてコートするスピンコード方式本発
明のアルカリ絶縁層の膜厚は500人〜3600人であ
り、特に好ましくは1000人〜1600人である。膜
厚が500人未満であればアルカリ防止効果が少なく又
ピンホールもできやすいので防食効果が少ない。また3
600人よりも厚い膜厚のものではひび割れが生じ易く
、磁気ディスク用基板としては問題がある。アルカリ絶
縁層の厚さが1000人〜1600人のものは充分な防
食効果がある上に、ひび割れも起きないので特に好まし
い。 [作用] 本発明においてアルカリ絶縁層は基板ガラスから基板表
面へのアルカリ成分の析出を妨げ、磁性膜層とアルカリ
成分の接触を遮断する。本発明におけるアルカリ絶縁層
は基板ガラスとしてソーダライムガラスなどのようにア
ルカリ溶出の容易なガラスを用いた時にも空気中の水分
とガラス中のアルカリ成分との反応によるガラス基板か
らのアルカリイオンの溶出を防止し、それによりアルカ
リイオンが磁性膜に作用するのを防止し、磁性膜の腐食
や磁気性能の劣化を防止する。腐食促進に関するアルカ
リ成分の作用機構は必ずしも明確でないが、水蒸気との
接触によりガラス表層部のアルカリイオンがガラス面に
移動し、それが水蒸気の凝結を促進して周囲の金属を電
気化学的な局部電池作用により侵食するものと考えられ
る。従ってアルカリ絶縁層としてはアルカリ成分の動き
を遮断する組成および構造(ち密さ、クラックが存在し
ないことなど)ならばよいと考えられる。 [実施例] 実施例1 第1図のようなガラスディスクを平面研磨機を用い研磨
材で両面をラッピングして表面に微小な凹凸を形成した
。次にこのディスクをエチルシリケートの溶液に浸漬し
たのちゆっくりと引き上げ、全面に膜をコートした。そ
してこのディスクを1時間乾燥した後ダストのないクリ
ーンな状態で300〜500℃で5時間キュア(焼成)
した。その表面にスパッタ法によりC「を下地層とじC
o−Niを主成分とする磁性膜を形成し、更にその上に
Cを主成分とする保護膜を設けて磁気ディスクを試作し
た。この時磁性膜の厚さは600人、保護膜の厚さは3
00人であった。更に保護膜の上からパーフロロポリエ
ーテルから成る潤滑剤を浸漬法で被覆した。 このディスクを温度80℃湿度90%旧1の条件で耐湿
試験を行なった。評価方法として外観検査及びサーティ
ファイア試験を行なった。 比較例1 第1図のようなガラスディスク″′iF!:平面研磨機
を用いて研磨砥粒で両面をラップして微小凹凸を形成し
た。次にこれを良く洗浄した後、スパッタ法により表面
にCr、を下地層とじCo−Niを主成分とする磁性膜
を形成し、更にその上にCを主成分とする保護膜を設け
て磁気ディスクを試作した。この時の膜厚は実施例1と
同様であった。更に実施例1と同様に保護膜の上からパ
ーフロロポリエーテルから成る潤滑剤を浸漬法で被覆し
た。 このディスクを実施例1と同様の条件の温度80℃湿度
90%RHで耐湿試験を行なった。評価方法も実施例1
と同様である。 上記実施例1、比較例1の評価結果を第1表に示す。 なお、本実施例・比較例ならびに以下に述べる実施例・
比較例ともにソーダライム組成のガラスを用いた。 第1表評価結果! 本 ディフェクト数の増加が10個になったところでサ
ーディファイアによる測定を中止した。 本ネ コート膜厚は第3図に示したコーティング層の平
均膜厚である。 実施例2 第1図の如きガラスディスクをフッ酸とフッ化カリウム
から成る溶液に浸漬させて微小な凹凸を形成した。次に
実施例1と同様な方法でアルカリ絶縁層を形成したのち
磁性膜・保護膜を形成し更にその上を潤滑剤で被覆して
磁気ディスクを製作した。 このディスクについて実施例1と同様の条件で耐湿試験
を行ない耐湿性能の評価を行なった。 比較例2 実施例2と同様な方法で微小な凹凸を形成したのちにス
パッタ法により比較例1と同様な方法で磁気ディスクを
試作した。 このディスクについて実施例1と同様の条件で耐湿試験
を行ない耐湿性能の評価を行なった。 上記実施例2、比較例2の評価結果を第2表に示す。 第2表計価結果2 本 ディフェクト数の増加がIK!iになったところで
サーテイファイアによる測定を中止した。 *ネ コート膜厚は第3図に示したコーティング層の平
均膜厚である。 [効果] 本発明の磁気ディスク用ガラス基板を使用した磁気ディ
スクは耐食性に優れているので高温多湿な環境下での使
用が可能となる。 また磁気ディスクドライブとして多湿な環境下に置かれ
た場合にも、ヘッドと磁気ディスクの付着現象が起きず
、ドライブが順調に作動する(ステイクション現象が起
きない)。また耐食性が優れているので長期間の耐久性
が保証される。従って本発明のディスクを用いた磁気デ
ィスク記憶装置は信頼性が増すので使用用途が広がる。 アルミ基板よりも平坦性の良いガラス基板が使用できる
ので記録密度が向上し同一サイズのドライブでも記録容
量が向上する。 ガラス基板としては安価で入手しやすく、しかも平坦性
の良いソーダライム組成のガラスを使用できるので研磨
工程が比較的簡単ですみ、しかも短時間で行なえるので
生産性が向上するなどの経済的効果が大きい。 また本発明のガラス基板は、ガラス周縁部の洗浄、カレ
ットの除去が不充分なことがあって6も、アルカリ絶縁
層が周縁部を覆うことにより、洗浄残渣やカレットが該
周縁部から放出されることに基づく種々の問題を長期間
にわたり防止する効果を有する。 また本発明のアルカリ絶縁層は磁性膜の外周縁部よりよ
り広い範囲にわたりガラス基板表面を被覆しているので
磁性膜の周辺部の腐食が起きにくいという効果がある。
A magnetic recording medium (hereinafter referred to as "media") is a magnetic recording medium (hereinafter referred to as "media"), which is a magnetic recording medium (hereinafter referred to as "media"), which is used for magnetic disks and consists of a magnetic film and a protective film formed thereon by processes such as sputtering, plating, and vapor deposition.
It is called. A magnetic storage device consists of this media and a recording/reproducing magnetic head (
The head (hereinafter referred to as the head) is the main component, and after the head and the media are set in contact at the start of operation, by giving the media the required rotation, the air circumference is created between the head and the media surface. A space is created, and recording and reproducing operations are performed in this state. Further, at the end of the operation, the rotation of the media stops, and at this time, the head and the media return to the contact state as at the beginning of the operation. The contact friction force generated between the head and the media when starting and stopping the device wears out the head and media and causes deterioration of magnetic properties (this method is commonly known as contact start/stop C3S). ). Furthermore, if the media is left in a humid atmosphere and moisture is adsorbed on the surface of the media, moisture will enter between the head and the media, causing adhesion. therefore,
If it is started in this state, a large resistance force will be generated on the head and the media, which may cause damage to the head or destruction of the media.
(commonly known as Crash). In general, glass is attracting attention as a substrate for magnetic disks suitable for high density applications because it has excellent surface smoothness, is hard, has high deformation resistance, and has few surface defects (Japanese Patent Laid-Open No. 122707/1983). (Japanese Patent Publication No. 18002/1983)
. However, in terms of the above-mentioned C3S resistance and head stick property, because glass has excellent specularity, media using glass substrates have a higher head stick property than media using other substrates with poor smoothness. This is problematic because the contact area between the media and the media increases, leading to an increase in frictional resistance and adhesive force. In order to eliminate these drawbacks, Japanese Patent Application Laid-Open No. 123906/1983 discloses a method of reducing the frictional force and adhesive force generated between the head and the media by forming minute irregularities on the surface of the substrate by mechanical means. has been proposed. Further, a method of forming irregularities on the surface of a glass substrate by chemical etching has been proposed in Japanese Patent Laid-Open No. 138035/1983. In addition, when ordinary soda lime glass is used as a glass substrate, alkaline components in the glass elute to the surface, affecting the properties of the magnetic film, and depending on the type of magnetic film, durability such as corrosion may be affected. There were problems such as a decline in This corrosion problem was particularly noticeable in those that had minute irregularities mechanically imparted to them in order to improve their head-stick resistance. In addition, with glass that has been given minute irregularities by other methods, or even with flat glass that does not have minute irregularities, the glass component is easily eluted with alkali, such as soda lime glass, which may cause corrosion around the magnetic film, causing problems. Ta. [Problem to be Solved by the Invention 1] The present invention solves the above-mentioned C resistance of the glass substrate for magnetic disks.
The purpose of this invention is to simultaneously solve problems such as 8S characteristics and head stick property, as well as deterioration of magnetic film characteristics and durability due to glass easily eluted with alkali such as soda lime glass. With the conventional method of forming unevenness using mechanical methods, when using a brittle material such as glass as a substrate, cracks may occur on the glass surface, which may impair handling and reduce the strength of the glass substrate surface. Problems caused by the cracks, such as the possibility of causing cracks, could not be denied. In addition, gaps caused by sharp recesses and cracks are not sufficiently cleaned and dried, leaving dirt and other residue behind, which causes deterioration of magnetic properties over time. Furthermore, when the magnetic head collides with the C8S, the convex portion of the glass may break off, causing a head crash. Furthermore,
In order to minimize the occurrence of these problems, there is a method of forming recesses using small-diameter abrasive grains and a light load, but this requires a long working time and results in the use of a large amount of tape material and abrasive grains. It became. Furthermore, in the chemical method proposed in JP-A-60-138035, a metal layer is formed on a glass substrate in advance,
It also required heat treatment. In addition, a test to check the durability of a magnetic disk is to leave it in a hot and humid environment for a certain period of time to check for any deterioration of its magnetic properties. Depending on the type of glass, some substrates deteriorate in a short period of time in this test. This deterioration was particularly noticeable in soda lime glass, which is commonly used as sheet glass. In addition, with such glass, there is a problem in that alkali is eluted from areas where the magnetic film is not coated on the inner or outer periphery of the glass substrate, degrading the magnetic film on the periphery. E Means for Solving Problem 1 The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and provides a glass substrate for a magnetic disk on which a magnetic film is formed by a method such as sputtering, plating, or vapor deposition. The present invention provides a glass substrate for a magnetic disk, characterized in that an alkali insulating layer is provided on the surface of the glass substrate on which uniform minute irregularities are formed without impairing flatness. Further, in the present invention, the surface of the alkali insulating layer has a height of 50 mm.
The present invention provides a glass substrate for a magnetic disk characterized in that it is provided with unevenness in which the peaks are in the range of 700 to 700 people and are formed at a pitch in the range of 0.1 to IO μm. The shape of this unevenness and the pitch of the peaks can be determined by using a surface roughness meter with a stylus with a sufficiently small radius at the tip under a sufficiently light load, or by using a non-contact method using an optical or electron beam with sufficient resolution. By using a type roughness meter,
Measurements shall be made at a sufficiently slow scanning speed. FIG. 1 is a plan view of a magnetic disk substrate manufactured according to the present invention, in which polar coordinates (r, θ) are taken with the center of the circle forming the substrate disk as the origin, and the substrate is made of ordinary soda lime silicate. Glass, low alkali glass, non-alkali glass, borosilicate glass, quartz glass, physically strengthened glass by wind cooling or liquid cooling, chemically strengthened glass, crystalline glass, crystallized glass, etc. can be used. The alkali insulating layer of the present invention covers a wider area than the magnetic film on the surface of the glass substrate having the above-mentioned irregularities, and the magnetic film does not come into direct contact with the glass substrate at any part, not to mention the peripheral area of the magnetic film. The glass substrate is provided on the surface of the glass substrate so that there are no scratches. Figure 2 shows a magnetic disk (
They are a) a plan view and (b) a sectional view. The figure shows that the alkali insulating layer covers a wider area of the glass substrate at the periphery than the magnetic film. It is preferable that the alkali insulating layer covers the entire surface of the glass substrate, and the alkali insulating layer may be present on the end surface of the glass substrate as long as it does not cause any practical problems as a magnetic disk substrate. FIG. 3 is a schematic diagram illustrating the present invention, which is characterized in that the unevenness is formed on the surface of a base glass substrate, and an alkali insulating layer is provided on the unevenness on the surface of the glass substrate. A glass substrate for magnetic disks is shown. The structure and form of the unevenness on the surface of the glass substrate for a magnetic disk of the present invention shown in FIG. 3 are too small to be shown in FIGS. 1 and 2, and therefore are not shown in these figures. Figure 4 (a), (b) and Figure 5 (c), (d)
is perpendicular to the main surface of the substrate obtained as an example of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing the shape of unevenness in a cross section in the direction and a cross section in the θ direction. In the cross-sectional views of FIGS. 4(a) and 4(b), the surface irregularities of the substrate have similar profiles in the r and θ directions. Similarly, the cross-sectional views in Figures 5(c) and 5(d) have concentric circles or spiral patterns, and as shown in (C) and ld), the profiles are different and exhibit anisotropy. FIG. 6 is an enlarged explanatory view of the surface of the substrate on which unevenness is formed. Hereinafter, "height of r mountains" refers to the head difference H between the peaks and valleys, and "pitch of mountains" refers to the distance W between the tips of adjacent peaks. The appropriate shape of the unevenness is C, which reduces friction between the head and the media without significantly affecting playback noise.
The height of the mountain is 50-700 because it can improve the 8S characteristics.
It is appropriate that the range is between 50 and 200 people, but especially between 50 and 200 people.
The pitch of the mountain, which should be within the human range, is 0.1-
It is desirable that the thickness be in the range of 10 μm. In addition, it is desirable that the height of all the piles does not exceed 700 people over the entire surface of the board, but the height of the above-mentioned i4
There may be a mountain with a height of more than 700 people as long as there is no problem in achieving improvement in the css characteristics and head stick property. In the present invention, the alkali insulating layer may be formed by dissolving the alkoxide of the metal element as the main component in a solvent, forming a film with the liquid on the surface of the glass substrate on which the unevenness is formed, and performing hydrolytic condensation. Although Si is used as the main component metal element, Ti or Zr may also be used. Moreover, a plurality of these elements can also be used. When forming an alkaline insulating layer made of SiO Among them, tetraethoxysilane or a partial hydrolyzate of tetraethoxysilane is representative because of its ease of use, storage stability, and availability. The coating may be formed by immersing the glass substrate with the unevenness in the above alkoxide solution and then lifting it above the liquid level at a constant speed and drying it to obtain a coating. Alternatively, the glass substrate may be rotated at high speed. Spin code coating method The thickness of the alkaline insulating layer of the present invention is 500 to 3,600 layers, particularly preferably 1,000 to 1,600 layers. If the film thickness is less than 500, the anti-alkali effect is low and pinholes are likely to form, so the anti-corrosion effect is low. Also 3
If the thickness is thicker than 600, cracks are likely to occur, which is problematic as a substrate for magnetic disks. It is particularly preferable that the alkaline insulating layer has a thickness of 1,000 to 1,600 people since it has a sufficient anticorrosive effect and does not cause cracking. [Function] In the present invention, the alkali insulating layer prevents precipitation of alkali components from the substrate glass onto the substrate surface, and blocks contact between the magnetic film layer and the alkali components. In the alkali insulating layer of the present invention, even when glass from which alkali is easily eluted, such as soda lime glass, is used as the substrate glass, alkali ions are eluted from the glass substrate due to the reaction between moisture in the air and alkali components in the glass. This prevents alkali ions from acting on the magnetic film, thereby preventing corrosion of the magnetic film and deterioration of magnetic performance. The mechanism of action of alkaline components in promoting corrosion is not necessarily clear, but upon contact with water vapor, alkali ions on the glass surface move to the glass surface, which promotes the condensation of water vapor and electrochemically damages surrounding metals. It is thought that the corrosion occurs due to battery action. Therefore, it is considered that the alkali insulating layer should have a composition and structure (such as tightness and absence of cracks) that blocks the movement of alkali components. [Examples] Example 1 A glass disk as shown in FIG. 1 was lapped on both sides with an abrasive material using a plane polisher to form minute irregularities on the surface. Next, this disk was immersed in an ethyl silicate solution and then slowly pulled up to coat the entire surface with a film. After drying this disk for 1 hour, it is cured (fired) at 300-500℃ for 5 hours in a dust-free clean state.
did. A base layer of C is applied to the surface by sputtering.
A magnetic disk was prototyped by forming a magnetic film containing o-Ni as a main component and further providing a protective film containing C as a main component thereon. At this time, the thickness of the magnetic film is 600, and the thickness of the protective film is 3.
There were 00 people. Furthermore, a lubricant made of perfluoropolyether was coated over the protective film by a dipping method. This disk was subjected to a humidity resistance test under the conditions of temperature: 80°C, humidity: 90%. Appearance inspection and certifier test were conducted as evaluation methods. Comparative Example 1 A glass disk as shown in Fig. 1 ``'iF!: Using a surface polishing machine, both surfaces were lapped with abrasive grains to form microscopic irregularities.After this was thoroughly cleaned, the surface was polished by sputtering. A magnetic disk was fabricated by forming an underlayer of Cr and a magnetic film mainly composed of Co-Ni, and further providing a protective film mainly composed of C on top of the magnetic film.The film thickness at this time was as shown in the example. Furthermore, as in Example 1, a lubricant made of perfluoropolyether was coated on the protective film by a dipping method.This disk was heated under the same conditions as in Example 1 at a temperature of 80°C and a humidity of 90°C. A moisture resistance test was conducted at %RH.The evaluation method was also the same as Example 1.
It is similar to The evaluation results of Example 1 and Comparative Example 1 are shown in Table 1. In addition, this Example, Comparative Example, and the Examples and Comparative Examples described below.
In both comparative examples, glass having a soda lime composition was used. Table 1 evaluation results! When the number of defects increased to 10, the measurement using Sardifier was stopped. The coating thickness is the average thickness of the coating layer shown in FIG. Example 2 A glass disk as shown in FIG. 1 was immersed in a solution consisting of hydrofluoric acid and potassium fluoride to form minute irregularities. Next, an alkali insulating layer was formed in the same manner as in Example 1, a magnetic film and a protective film were formed, and a lubricant was further coated thereon to produce a magnetic disk. A moisture resistance test was conducted on this disk under the same conditions as in Example 1 to evaluate the moisture resistance performance. Comparative Example 2 After forming minute irregularities in the same manner as in Example 2, a magnetic disk was prototyped by sputtering in the same manner as in Comparative Example 1. A moisture resistance test was conducted on this disk under the same conditions as in Example 1 to evaluate the moisture resistance performance. The evaluation results of Example 2 and Comparative Example 2 are shown in Table 2. Table 2 Price Results 2 The increase in the number of defects is IK! Measurement using the Certafire was stopped when the temperature reached i. *Ne Coat film thickness is the average film thickness of the coating layer shown in Figure 3. [Effects] A magnetic disk using the glass substrate for a magnetic disk of the present invention has excellent corrosion resistance, so it can be used in a high temperature and humid environment. Furthermore, even when placed in a humid environment as a magnetic disk drive, the head and magnetic disk do not stick together, and the drive operates smoothly (no staking phenomenon occurs). It also has excellent corrosion resistance, ensuring long-term durability. Therefore, a magnetic disk storage device using the disk of the present invention has increased reliability and a wide range of uses. Since a glass substrate with better flatness than an aluminum substrate can be used, the recording density is improved and the recording capacity is increased even with drives of the same size. As the glass substrate can be made of soda lime glass, which is inexpensive and easily available, and has good flatness, the polishing process is relatively simple and can be completed in a short time, resulting in economical effects such as improved productivity. is large. Furthermore, in the glass substrate of the present invention, cleaning of the peripheral edge of the glass and removal of cullet may be insufficient6, but by covering the peripheral edge with the alkaline insulating layer, cleaning residues and cullet are released from the peripheral edge. It has the effect of preventing various problems caused by this over a long period of time. Furthermore, since the alkali insulating layer of the present invention covers a wider area of the glass substrate surface than the outer periphery of the magnetic film, there is an effect that corrosion of the periphery of the magnetic film is less likely to occur.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の磁気ディスク用ガラス基扱の平面図で
ある。第2図(a)は本発明の磁気ディスク用ガラス基
板を用いた磁気ディスクの平面図、(bl は同じく断
面図である。第3図は本発明の磁気ディスク用ガラス基
板の第2図ΔB断面の部分拡大図である。第4図(a)
は本発明の磁気ディスク用ガラス基板の1例のr方向切
断面拡大図、(b)はθ方向切断面°拡人図である。第
5図(al は本発明の磁気ディスク用ガラス基板の別
の例のr方向切断面拡大図、(b)はθ方向切断面拡大
図である。第6図は凹凸の模式図であり、[1が山の高
さ、Wが山のピッチを表す。 1・・・・・・ガラス基板 2・・・・・・アルカリ絶縁層 3・・・・・・磁性膜 4・・・・・・保護膜 多20
FIG. 1 is a plan view of a glass substrate for a magnetic disk according to the present invention. FIG. 2(a) is a plan view of a magnetic disk using the glass substrate for magnetic disks of the present invention, (bl is also a sectional view. FIG. 3 is a plan view of a magnetic disk using the glass substrate for magnetic disks of the present invention. FIG. 4(a) is a partially enlarged view of a cross section.
1 is an enlarged view of an r-direction cut surface of an example of a glass substrate for a magnetic disk according to the present invention, and FIG. FIG. 5 (al is an enlarged cross-sectional view in the r direction of another example of the glass substrate for a magnetic disk of the present invention, and FIG. 5 (b) is an enlarged cross-sectional view in the θ direction. FIG. 6 is a schematic diagram of unevenness; [1 represents the height of the mountain, and W represents the pitch of the mountain. 1...Glass substrate 2...Alkali insulating layer 3...Magnetic film 4...・Protective film multi-20

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)スパッタ、メッキ、蒸着等の方法によりそ上に磁
性膜が形成される磁気ディスク用ガラス基板であり、平
坦性を損なうことなく表面に均一で微小な凹凸が形成さ
れた該ガラス基板の表面にアルカリ絶縁層を設けたこと
を特徴とする磁気ディスク用ガラス基板。
(1) A glass substrate for magnetic disks on which a magnetic film is formed by a method such as sputtering, plating, or vapor deposition. A glass substrate for magnetic disks characterized by having an alkali insulating layer provided on the surface.
(2)上記アルカリ絶縁層の表面に、高さが50〜70
0Åの範囲にある山が0.1〜10μmの範囲のピッチ
で形成された凹凸が設けられていることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の磁気ディスク用ガラス基板。
(2) The surface of the alkali insulating layer has a height of 50 to 70 mm.
2. The glass substrate for a magnetic disk according to claim 1, wherein the glass substrate is provided with unevenness in which peaks in the range of 0 Å are formed at a pitch in the range of 0.1 to 10 μm.
(3)上記アルカリ絶縁層がSiO_3からなることを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁気ディスク用
ガラス基板。
(3) The glass substrate for a magnetic disk according to claim 1, wherein the alkali insulating layer is made of SiO_3.
(4)上記アルカリ絶縁層が、上記ガラス基板の表面を
金属アルコキシドからなる被膜形成溶液で被覆した後、
この被覆層をキュアすることによって形成されたことを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁気ディスク用
ガラス基板。
(4) After the alkali insulating layer coats the surface of the glass substrate with a film forming solution made of metal alkoxide,
The glass substrate for a magnetic disk according to claim 1, characterized in that it is formed by curing this coating layer.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62256215A (en) * 1986-04-28 1987-11-07 Hoya Corp Magnetic recording medium
JPS63175220A (en) * 1987-01-16 1988-07-19 Tdk Corp Magnetic recording medium

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62256215A (en) * 1986-04-28 1987-11-07 Hoya Corp Magnetic recording medium
JPS63175220A (en) * 1987-01-16 1988-07-19 Tdk Corp Magnetic recording medium

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