JPS6331525U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6331525U JPS6331525U JP12464986U JP12464986U JPS6331525U JP S6331525 U JPS6331525 U JP S6331525U JP 12464986 U JP12464986 U JP 12464986U JP 12464986 U JP12464986 U JP 12464986U JP S6331525 U JPS6331525 U JP S6331525U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- entrance windows
- photochemical
- photocvd
- lights
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000006552 photochemical reaction Methods 0.000 claims 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を説明する要部平面
図、第２図はＳｉＯ２膜の堆積速度のレーザパワ
ー依存性を説明する特性図、第３図は従来例を説
明する要部断面図である。 １１……反応室、１２……第１の入射窓、１２
ａ……第２の入射窓、１３……第１の光源、１３
ａ……第２の光源、１４……第１の光、１４ａ…
…第２の光、１５……オーバーラツプ部。
図、第２図はＳｉＯ２膜の堆積速度のレーザパワ
ー依存性を説明する特性図、第３図は従来例を説
明する要部断面図である。 １１……反応室、１２……第１の入射窓、１２
ａ……第２の入射窓、１３……第１の光源、１３
ａ……第２の光源、１４……第１の光、１４ａ…
…第２の光、１５……オーバーラツプ部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 光化学反応を利用して薄膜を形成する光ＣＶＤ
装置において、 反応室側部の複数の非対向位置に光の入射窓を
設けると共に、これら入射窓に対応する外部位置
に、薄膜が形成される限度を下回るパワーの光を
入射する光源を夫々配設し、これら光のオーバー
ラツプ部で光化学反応が生ずるように構成したこ
とを特徴とする光ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12464986U JPS6331525U (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12464986U JPS6331525U (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6331525U true JPS6331525U (ja) | 1988-03-01 |
Family
ID=31016859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12464986U Pending JPS6331525U (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6331525U (ja) |
-
1986
- 1986-08-15 JP JP12464986U patent/JPS6331525U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3887692T2 (de) | Fotografischer filmprozessor mit hilfsenergiequelle. | |
| JPS62104438U (ja) | ||
| DE3689719D1 (de) | Vorsensibilisierte Farbprüffolie. | |
| JPS6331525U (ja) | ||
| JPS6228873U (ja) | ||
| JPS6236066U (ja) | ||
| JPS6192835U (ja) | ||
| JPS6255561U (ja) | ||
| JPS61135873U (ja) | ||
| JPS5878237U (ja) | 照明装置 | |
| JPH0160216U (ja) | ||
| JPS631355U (ja) | ||
| JPS6287470U (ja) | ||
| JPS6192047U (ja) | ||
| JPS60142407U (ja) | 採光装置 | |
| JPS62186445U (ja) | ||
| JPS6228871U (ja) | ||
| JPS6179227U (ja) | ||
| JPS58175572U (ja) | 表示装置 | |
| JPS62191685U (ja) | ||
| JPS6424374U (ja) | ||
| JPS6257138U (ja) | ||
| JPH0190002U (ja) | ||
| JPS649308U (ja) | ||
| JPS62137489U (ja) |