JPS63313082A - Measuring instrument for magnetism characteristic of magnetic thin film - Google Patents

Measuring instrument for magnetism characteristic of magnetic thin film

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JPS63313082A
JPS63313082A JP14873687A JP14873687A JPS63313082A JP S63313082 A JPS63313082 A JP S63313082A JP 14873687 A JP14873687 A JP 14873687A JP 14873687 A JP14873687 A JP 14873687A JP S63313082 A JPS63313082 A JP S63313082A
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Abstract

PURPOSE:To measure the magnetism characteristic distribution of a magnetic thin film automatically in a short time without deforming nor breaking a magnetic tape, etc., as a sample by applying a low-frequency signal to a magnetic measurement part where plural differential magnetic heads are constituted linearly. CONSTITUTION:Magnetic measurement parts 201-208 have magnetic heads 1 constituted by integrating magnetic cores and cancel cores, each magnetic head 1 is provided in a magnetic head part of a multihead type magnetic sensor, and this magnetic sensor constitutes a differential magnetic head. The magnetic core of the magnetic head 1 is wound with primary coils 2 and 3 and secondary coils 4 and 5 separately from each other. A triangular wave signal SD 2 of about 1-10Hz low frequency is inputted to the primary coils 2 and 3 from a measurement data conversion part 21 through an amplifier 19, and differential output voltages from the differential magnetic heads are sampled and converted into digital values by the conversion part 21, and converted digital values are stored successively and a measurement data analytic part calculates magnetism characteristic values of a magnetic thin film at plural positions.

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の技術分野) この発明は、磁気テープ、磁気カードの611気ストラ
イプ、磁気ディスク等の磁気記録媒体の磁性薄膜の磁化
特性を、正確かつ迅速に測定するための磁化特性測定装
置に関する。
Detailed Description of the Invention (Technical Field of the Invention) The present invention relates to a method for accurately and quickly measuring the magnetization characteristics of magnetic thin films of magnetic recording media such as magnetic tapes, 611 stripes of magnetic cards, and magnetic disks. This invention relates to a magnetization characteristic measuring device.

(技術的背景と解決すべき問題点) 情報化社会の進展に伴ない、磁気カードあるいはデータ
記録媒体としての磁気テープ、磁気ディスク等の磁気記
録媒体は既に大ぎな市場になってい条が、今後もさらに
大きく発展することは容易に予測できる。これらの媒体
が大量。
(Technical background and problems to be solved) With the progress of the information society, magnetic recording media such as magnetic cards or data recording media such as magnetic tapes and magnetic disks have already become a large market, and will continue to grow in the future. It is easy to predict that it will develop further. There are a lot of these media.

安定、低価格に生産されるためには、更に研究開発の進
展1品質レベルの向上などが求められており、これらの
ことを支援するための手段の一つとして、媒体の磁化特
性を測定する装置が使用されている。例えは、磁気テー
プ等の磁性薄膜の磁化特性を記録する装置としては、現
在横列電機(株)製3257型直流磁化特性自動記録装
置、理研電子(株)製B)1s−40,BH)1−50
.BIIU−60型直流磁化B−11特性自動記録装置
等が商品化されている。
In order to achieve stable and low-cost production, further progress in research and development 1 is required to improve the quality level, and one way to support these efforts is to measure the magnetization characteristics of the media. The device is in use. For example, current devices for recording the magnetization characteristics of magnetic thin films such as magnetic tapes include the Model 3257 DC magnetization characteristics automatic recording device manufactured by Yokoretsu Denki Co., Ltd., B) 1s-40, BH) 1 manufactured by Riken Denshi Co., Ltd. -50
.. BIIU-60 type direct current magnetization B-11 characteristic automatic recording device and the like have been commercialized.

ここにおいて、上記装置での検出方法の一例として、先
ず環状試料における磁化特性の一般的な検出方法を説明
する。測定しようとする磁性体に磁界Hを印加すると、
この大ぎさによって磁性体に発生ずる磁束量Φが変化す
る。そして、磁界Hを横軸に、磁束Φを縦軸にして、こ
の様子をグラフにしたものを磁化曲線(ヒステリシスル
ープ)というが、この磁化曲線は一般的に第22図に示
す構成で得られる。すなわち、円環状の磁性体100の
1次側に磁化コイル1−01が巻回されると共に(巻数
Nl)、2次側に検出コイル102が巻回されている(
巻数N2)。そして、磁化コイル101に低周波発振器
103から低周波の正弦波が印加されると共に、抵抗R
1が直列に介挿されている。
Here, as an example of a detection method using the above device, a general method for detecting magnetization characteristics in a ring-shaped sample will first be described. When a magnetic field H is applied to the magnetic material to be measured,
The amount of magnetic flux Φ generated in the magnetic material changes depending on this magnitude. A graph of this situation, with the magnetic field H on the horizontal axis and the magnetic flux Φ on the vertical axis, is called a magnetization curve (hysteresis loop), and this magnetization curve is generally obtained with the configuration shown in Figure 22. . That is, the magnetizing coil 1-01 is wound on the primary side of the annular magnetic body 100 (number of turns Nl), and the detection coil 102 is wound on the secondary side (
Number of turns N2). Then, a low frequency sine wave is applied from the low frequency oscillator 103 to the magnetizing coil 101, and a resistor R
1 is inserted in series.

ここで、磁性体100内の磁界Hは磁化コイル101に
流れる電流■1に比例するとみなせるので、磁性体10
0の磁路長を℃とするととなる。一方、発生する磁束Φ
は検出コイル102の出力電圧V、を積分することによ
って得られる。つまり、出力電圧VCは ・・・・・・・・・(2) であるから となる。このような電圧V、、Veを測定することによ
って磁化曲線(Φ−H曲線)が得られる。
Here, since the magnetic field H inside the magnetic body 100 can be considered to be proportional to the current ■1 flowing through the magnetizing coil 101,
Letting the magnetic path length at 0°C be as follows. On the other hand, the generated magnetic flux Φ
is obtained by integrating the output voltage V of the detection coil 102. In other words, the output voltage VC is (2). By measuring such voltages V, , Ve, a magnetization curve (Φ-H curve) can be obtained.

また、電圧v2を縦軸にとると、透磁率に比例した出力
が得られる。
Furthermore, if the voltage v2 is plotted on the vertical axis, an output proportional to the magnetic permeability can be obtained.

このような原理に基づく磁性体測定装置は、1973年
発行の“横河技報Vo1.17 No、2”の49頁〜
72頁に述べられている。しかしながら、この測定装置
は高透磁率材料、永久磁石などの板、ブロック材、磁性
粉、 6B性薄膜などを測定対象にして汎用性をもたせ
ているが、機能、操作性1価格などに難点がある。また
、この測定装置では、例えば紙製カードに熱転写または
塗布により作成された磁気ストライプ、磁気テープが貼
着されたカードや通帳、表面にコーティングの施された
磁気カード等の磁化特性の測定は、カード等から磁性薄
膜を切取って装置の構成上ある大きさに備えて、第21
図に示す如<10枚程度の厚さにした試料110を用い
なければならず、非常に面倒であった。また、磁気カー
ド等の磁気ストライプの磁化特性の測定を、磁気カード
に層設した状態のままで行なうことは不可能であった。
A magnetic substance measuring device based on such a principle is described in "Yokogawa Technical Report Vol. 1.17 No. 2" published in 1973, from pages 49 onwards.
It is stated on page 72. However, although this measuring device has versatility by measuring high magnetic permeability materials, plates such as permanent magnets, block materials, magnetic powder, 6B thin films, etc., it has drawbacks such as functionality, operability, and price. be. In addition, this measuring device can measure the magnetization characteristics of, for example, magnetic stripes created by thermal transfer or coating on paper cards, cards and passbooks with magnetic tape pasted, magnetic cards with coatings on the surface, etc. Cut a magnetic thin film from a card, etc., and prepare it for a certain size according to the structure of the device.
As shown in the figure, it was necessary to use a sample 110 with a thickness of approximately <10 sheets, which was very troublesome. Furthermore, it has been impossible to measure the magnetization characteristics of the magnetic stripe of a magnetic card or the like while it is layered on the magnetic card.

上述のような理由で、従来磁気ストライブ媒体、ディス
ク媒体等の磁化特性について絶対値の測定は非常に困難
であった。
For the reasons mentioned above, it has conventionally been very difficult to measure the absolute value of the magnetization characteristics of magnetic strip media, disk media, and the like.

そこで、互換性規格として標準媒体との相対値評価(例
えばJISB9560−1979.JIS6291−1
986)が規定されている。しかし、この評価方法では
、磁気ヘッドによる磁界の影響も測定値に含まれてしま
うため、媒体そのものの特性値が明確化できない欠点が
あった。更に、磁化特性の良否を判断するのに、X−Y
レコーダ等で紙面上に一度描画したヒステリシスカーブ
から、使用者が飽和磁束、残留磁気、保持力等の磁化特
性値を目視で読取って計算等をして判断しなければなら
ず、非常に手間がかかっていた。しかも、磁気ストライ
プ媒体、ディスク媒体等の磁化特性の分布の測定や磁化
特性値の工程能力の分析が行なえる装置は未だ存在して
おらず、もし上述のような磁化特性値の測定方法を使用
して、1つの磁気ヘッド(シングルヘッド)で磁性薄膜
上を多点測定するためには、磁気ヘッド又は媒体の移動
機構が必要となる。
Therefore, as a compatibility standard, relative value evaluation with standard media (for example, JISB9560-1979.JIS6291-1
986) is defined. However, in this evaluation method, the influence of the magnetic field from the magnetic head is also included in the measured values, so there is a drawback that the characteristic values of the medium itself cannot be clarified. Furthermore, X-Y
The user must visually read and calculate magnetization characteristic values such as saturation magnetic flux, residual magnetism, and coercive force from a hysteresis curve once drawn on paper using a recorder, etc., which is very time-consuming. It was on. Moreover, there is still no equipment that can measure the distribution of magnetization properties of magnetic stripe media, disk media, etc. or analyze the process capability of magnetization property values. In order to measure multiple points on a magnetic thin film with one magnetic head (single head), a mechanism for moving the magnetic head or medium is required.

そこで、複数の磁気ヘッド(マルチヘッド)を使用した
測定方法が考えられる。例えば、マルチヘッドの出力電
圧のチャンネルを切換えずに最初の1周期で磁性薄膜の
1番目の箇所のデータを読取り、次の1周期で磁性薄膜
の2番目の箇所のデータを読取る方法が考えられる。
Therefore, a measurement method using a plurality of magnetic heads (multi-head) can be considered. For example, a method can be considered in which the data at the first location on the magnetic thin film is read in the first cycle, and the data at the second location in the magnetic thin film is read in the next cycle, without switching the output voltage channel of the multi-head. .

しかし、この方法では励磁信号に高周波を使用しないと
測定に多大な時間がかかつてしまう。
However, with this method, unless a high frequency is used for the excitation signal, the measurement takes a lot of time.

しかも高周波を使用するので、測定時に媒体自体に渦電
流が発生し影響を受けてしまうという欠点がある。又、
現在商品化されている装置では、例えば励磁部、信号処
理用積分器、レコーダ等を個別の装置として組合せて構
成しており、装置自体が極めて大型である欠点がある。
Moreover, since a high frequency is used, there is a drawback that eddy currents are generated in the medium itself during measurement and are affected. or,
Currently commercialized devices are configured by combining, for example, an excitation section, a signal processing integrator, a recorder, etc. as individual devices, and have the disadvantage that the devices themselves are extremely large.

(発明の目的) この発明は上記問題点に鑑みなされたもので、この発明
の目的は、磁気テープ、磁気ストライプ、磁気ディスク
等の磁気記録媒体の磁性薄膜の磁化特性分布等を、試料
の磁気テープ等を切取るといった物理的に破壊したり変
形することなく自動的に、しかも短時間で測定すること
ができるようにした磁化特性測定装置を提供することに
ある。
(Object of the Invention) This invention was made in view of the above-mentioned problems, and an object of the invention is to determine the magnetic property distribution of a magnetic thin film of a magnetic recording medium such as a magnetic tape, magnetic stripe, or magnetic disk. It is an object of the present invention to provide a magnetization characteristic measuring device that can measure automatically and in a short time without physically destroying or deforming a tape or the like by cutting it.

(問題点を解決するための手段) この発明は、磁性薄膜の磁化特性測定装置に関するもの
で、この発明の上記目的は、6丑性薄膜の複数箇所を同
時に測定するための複数の磁気コア及び少なくとも1つ
のキャンセルコアをライン状に一体化した差動型磁気ヘ
ッドと、この差動型磁気ヘッドを繰返信号で励磁する励
磁信号発生手段と、測定すべき磁性薄膜の上又は近傍に
位置された前記差動型磁気ヘッドからの複数の差動出力
電圧を順次サンプリングしてデジタル値に変換する測定
データ変換手段と、この測定データ変換手段により変換
されたデジタル値を順次記憶し、前記複数箇所の磁性薄
膜の磁化特性値を算出する測定データ解析手段とを設け
ることにより達成される。
(Means for Solving the Problems) The present invention relates to an apparatus for measuring magnetization characteristics of a magnetic thin film. A differential magnetic head in which at least one cancellation core is integrated in a line, excitation signal generation means for exciting the differential magnetic head with a repetitive signal, and a magnetic thin film to be measured is located on or near the magnetic thin film. measurement data conversion means for sequentially sampling a plurality of differential output voltages from said differential magnetic head and converting them into digital values; and a measurement data conversion means for sequentially storing the digital values converted by said measurement data conversion means; This is achieved by providing a measurement data analysis means for calculating the magnetization characteristic value of the magnetic thin film.

(発明の作用) この発明では、複数の差動型磁気ヘッドをライン状に構
成して成る磁性測定部を磁性薄膜の上又は近傍に位置さ
せて低周波信号を印加し、前記複数の差動型磁気ヘッド
のキャンセルコアに対する各差動出力電圧をデータ変換
部で順次切換えてデジタルデータに変換し、このデータ
に基づいて測定データ解析部でソフトウェア積分によっ
て、磁性薄膜の磁化特性値を演算して求めるようにして
いる。その結果、磁性薄膜の複数箇所の磁化特性値を同
時に得ることができ、更には磁性薄膜又は磁性測定部を
相対的に移動することによって、磁性薄膜の全面の磁化
特性値をも高速度に得ることができる。
(Function of the Invention) In the present invention, a magnetism measurement unit including a plurality of differential magnetic heads configured in a line is positioned on or near a magnetic thin film, and a low frequency signal is applied to the plurality of differential magnetic heads. The data converter sequentially switches each differential output voltage to the cancellation core of the type magnetic head and converts it into digital data.Based on this data, the measured data analyzer calculates the magnetization characteristic value of the magnetic thin film through software integration. I try to ask for it. As a result, it is possible to obtain the magnetization characteristic values of multiple locations on the magnetic thin film at the same time, and furthermore, by relatively moving the magnetic thin film or the magnetism measurement unit, the magnetization characteristic values of the entire surface of the magnetic thin film can also be obtained at high speed. be able to.

(発明の実施例) 第1図及び第2図はこの発明の磁化特性測定装置(以下
、単に測定装置と称す)の回路系をブロック構成で示し
ており、この回路系は磁気テープ等の磁気記録媒体の磁
性薄膜の磁化特性を測定する複数(この例では8個)の
磁性測定部201〜208と、これら磁性測定部201
〜208で測定された電圧信号VDI〜VOaをデジタ
ル信号に変換したり、磁性測定部201〜208を駆動
する三角波信号SD2を発生する測定データ変換部21
と、この測定データ変換部21で変換されたデジタル信
号をコンピュータ処理して磁化特性値の表示をしたり、
磁化特性の良否の判定や自己診断等の機能を有する測定
データ解析部60とから構成されている。
(Embodiment of the Invention) Figures 1 and 2 show the circuit system of the magnetization characteristic measuring device (hereinafter simply referred to as the measuring device) of the present invention in block configuration. A plurality of (eight in this example) magnetism measurement units 201 to 208 that measure the magnetization characteristics of a magnetic thin film of a recording medium, and these magnetism measurement units 201
A measurement data conversion unit 21 that converts the voltage signals VDI to VOa measured in ~208 into digital signals and generates a triangular wave signal SD2 that drives the magnetism measurement units 201 to 208.
Then, the digital signal converted by the measurement data converter 21 is processed by a computer to display the magnetization characteristic value,
The measurement data analysis section 60 has functions such as determination of the quality of magnetization characteristics and self-diagnosis.

次に、上記各部の詳細について説明する。Next, details of each of the above parts will be explained.

磁性測定部201〜208は同一構成であり、上下及び
左右に対称のH字状の磁気コアとキャンセルコアとが一
体化された磁気ヘッド1を有しており、磁性測定部20
1〜208の各磁気ヘット1が第3図に示すライン状の
マルチヘッド型磁気センサ200の磁気ヘッド部211
〜218内にそれぞれ設けられている。このマルチヘッ
ト型磁気センサ200が差動型磁気ヘッドを構成する。
The magnetism measurement units 201 to 208 have the same configuration, and each has a magnetic head 1 in which a vertically and horizontally symmetrical H-shaped magnetic core and a cancellation core are integrated.
Each of magnetic heads 1 to 208 is a magnetic head section 211 of a linear multi-head magnetic sensor 200 shown in FIG.
~218, respectively. This multi-head magnetic sensor 200 constitutes a differential magnetic head.

このような磁気センサ200により、第4図に示す磁気
カード300の磁気ストライプ部301の磁化特性を8
箇所間時に検出することができる。
With such a magnetic sensor 200, the magnetization characteristic of the magnetic stripe portion 301 of the magnetic card 300 shown in FIG.
It is possible to detect the time between places.

磁性測定部201〜208の構造は同様であるので、こ
こでは・磁性測定部201について説明する。磁気ヘッ
ド1の磁気コアには、巻数N、の直列に接続された1次
コイル2及び3が巻回されると共に、巻数N2の2次コ
イル4及び5がそれぞれ分離して巻回されている。1次
コイル2及び3には、測定データ変換部21より1〜1
0Hz程度の低周波の三角波信号SD2が増幅器19を
介して人力されている。磁気コア1の下部には検出側の
ギャップ部IAが、上部には非検出側のギャップ部IB
がそれぞれ設けられている。2次コイル4の出力電圧v
sは増幅器10を介して得られ、2次コイル5の出力電
圧VSCは増幅器11を介して得られ、出力電圧vS及
びVSCは差動増幅器12へ人力されている。ここでは
増幅器10.増幅器11.差動増幅器12のゲインを便
宜上“1°′と設定する。
Since the structures of the magnetism measurement sections 201 to 208 are similar, the magnetism measurement section 201 will be explained here. On the magnetic core of the magnetic head 1, primary coils 2 and 3 connected in series with N turns are wound, and secondary coils 4 and 5 with N2 turns are wound separately. . 1 to 1 from the measurement data converter 21 to the primary coils 2 and 3.
A triangular wave signal SD2 having a low frequency of about 0 Hz is input manually via an amplifier 19. The lower part of the magnetic core 1 has a detection side gap part IA, and the upper part has a non-detection side gap part IB.
are provided for each. Output voltage v of secondary coil 4
s is obtained via an amplifier 10, the output voltage VSC of the secondary coil 5 is obtained via an amplifier 11, and the output voltages vS and VSC are input to a differential amplifier 12. Here, amplifier 10. Amplifier 11. The gain of the differential amplifier 12 is set to "1°" for convenience.

ここにおいて、磁気ヘッド1の測定JJX 埋について
説明する。まず、コイル部の磁気コア1の断面積をS、
ギャップ部IAの磁気コア断面積をS6.コア磁路長を
に、ギャップ長をf!、□、磁気コアの透磁率をμ、空
気の透磁率をμ0とする。そして、ギャップ部IAに何
も媒体を接触させない状態の磁束Φは、磁気コア1の磁
気抵抗をn(−f17μs)、ギャップ部IAの磁気抵
抗をR□(−J2イ/μOSt>とすると、であり、ギ
ャップ部IAの磁界11gはけ1界11gとTL流■の
関係は、 となる。
Here, the measurement of the magnetic head 1 will be explained. First, the cross-sectional area of the magnetic core 1 of the coil part is S,
The magnetic core cross-sectional area of the gap portion IA is set as S6. Let the core magnetic path length be and the gap length be f! , □, Let the magnetic permeability of the magnetic core be μ, and the magnetic permeability of air be μ0. Then, the magnetic flux Φ in a state where no medium is brought into contact with the gap part IA is as follows, assuming that the magnetic resistance of the magnetic core 1 is n (-f17μs) and the magnetic resistance of the gap part IA is R□ (-J2i/μOSt>). The relationship between the magnetic field 11g of the gap portion IA and the brush field 11g and the TL flow (2) is as follows.

次に、磁気抵抗n<<n、の関係により、第5図に示す
ようにギヤツブ部lへにおいては磁束Φは広がりを有し
、磁性薄11fi 310の内部にも一部の磁束が見か
け上ギャップ長15の方向に平行に近い状態になる。い
ま磁性薄膜310をギヤツブ部1へに接触さ、せた時の
磁束をΦ1 とすると、2次コイル4の起電圧v8は ・・・・・・・・・(7) ・・・・・・・・・(8) であり、非検出側の2次コイル5の起電圧VSCは磁束
をΦ。とすると、 となる。従って、差動増幅器12にょる差動後の出力電
圧vDAハ(7)〜(9)式ヨリ、l1ii 性h’V
 rlA310が無いときは であり、6n性薄膜31Oが有るときはとなる。ここで
磁束Φは、測定データ変換部21より低周波の三角波S
D2が1次コイル2及び3に印加されていることから単
調増加又は減少する。このような差動増幅器12の出力
電圧vDA+VD+を測定データ変換部21でデジタル
変換し、測定データ解析部60に取込んでメモリ部61
のRAM62.63に記憶させておくと共に、印加磁界
Hで同期をとり、RAM62.63よりデータを読出し
て(lO)及び(11)式の差をとることによって、磁
性@ 膜310を設定したことによる磁束Φの増分に基
づく出力電圧V。°を算出することができる。
Next, due to the relationship of magnetic resistance n<<n, as shown in FIG. The state is almost parallel to the direction of the gap length 15. Now, if the magnetic flux when the magnetic thin film 310 is brought into contact with the gear part 1 is Φ1, then the electromotive force v8 of the secondary coil 4 is... (7)... ...(8), and the electromotive force VSC of the secondary coil 5 on the non-detection side has a magnetic flux of Φ. Then, it becomes . Therefore, the differential output voltage vDA of the differential amplifier 12 is expressed by equations (7) to (9).
When there is no rlA310, it is, and when there is a 6n thin film 31O, it is. Here, the magnetic flux Φ is converted into a low-frequency triangular wave S by the measurement data converter 21.
Since D2 is applied to the primary coils 2 and 3, it monotonically increases or decreases. The output voltage vDA+VD+ of the differential amplifier 12 is digitally converted by the measurement data converter 21, taken into the measurement data analyzer 60, and stored in the memory unit 61.
The magnetic @ film 310 was set by storing the data in the RAM 62.63, synchronizing with the applied magnetic field H, reading the data from the RAM 62.63, and taking the difference between (lO) and (11). Output voltage V based on the increment of magnetic flux Φ by. ° can be calculated.

尚、磁性薄膜310がないときの差動増幅器12の出力
電圧V。Aはほぼ茎に近いので、大まかな検出でよい場
合または磁気コア1の製造精度を高めて出力電圧VDA
が;となっている場合(キャンセル側と検出側の特性を
完全に一致させれば、■、・VSCとなる)には、差動
出力電圧V。Aを測定データ解析部60に取込む必要は
なく、VDIをV。A′とすることができる。
Note that the output voltage V of the differential amplifier 12 when the magnetic thin film 310 is not present. Since A is almost close to the stem, it may be sufficient to roughly detect the output voltage VDA by increasing the manufacturing precision of the magnetic core 1.
is ; (if the characteristics of the canceling side and the detecting side are completely matched, it becomes ■, ·VSC), the differential output voltage V. There is no need to import A into the measurement data analysis section 60; It can be A'.

そして、磁性薄膜310の断面積をSl(−厚さdX幅
W)とすると、この部分の磁束密度131は、Φ、−Φ
 −Φ′−81・Sl     ・・・・・・・・・(
13)と置くことができ、(12)式より ・・・・・・・・・(14) である。
If the cross-sectional area of the magnetic thin film 310 is Sl (-thickness dX width W), the magnetic flux density 131 in this part is Φ, -Φ
-Φ'-81・Sl ・・・・・・・・・(
13), and from equation (12), we get (14).

磁性薄膜310の透磁率μmは(正確には611化率χ
となり、μ、−χ ・μm°−1.μ、°は真の透磁率
)は となる。(12)式において各磁界強度におけるデータ
を加算することによって、ソフトウェア積分を行なう。
The magnetic permeability μm of the magnetic thin film 310 is (to be exact, the 611 conversion rate χ
So, μ, −χ ・μm°−1. μ and ° are true magnetic permeability). Software integration is performed by adding data at each magnetic field strength in equation (12).

すなわち、 ・・・・・・・・・(16) であるから となる。ここに、Δしはサンプリング周期であり、加算
は印加磁界Hの1周期分とする。
In other words, it follows that (16). Here, Δ is the sampling period, and the addition corresponds to one period of the applied magnetic field H.

ここで、上記ソフトウェア積分を説明すると、第6図の
特性■は磁界Hに対する前記(12)式による電圧V。
Now, to explain the above software integration, the characteristic (2) in FIG. 6 is the voltage V according to the above equation (12) with respect to the magnetic field H.

A′の変化v(II)を示すものであり、この時性■に
おいて任意の点をvlとする。
It shows the change v(II) of A', and an arbitrary point in this temporality (2) is defined as vl.

次に、この初期値v1からデータサンプリング周期ΔI
Iを使って以下のような積分値ψを得る。
Next, from this initial value v1, the data sampling period ΔI
Use I to obtain the following integral value ψ.

・・・・・・・・・(18) 従って、磁束Φ11 に対応した値ψI+。が横軸H(
磁界)に対しての積分値となる。この特性は第6図にお
いてIIで示される。つまり、第6図の特性■をvlか
ら積分して行くと特性11の曲線が得られるのである。
(18) Therefore, the value ψI+ corresponding to the magnetic flux Φ11. is the horizontal axis H (
(magnetic field). This characteristic is indicated by II in FIG. In other words, by integrating characteristic (2) in FIG. 6 from vl, a curve of characteristic 11 is obtained.

磁束Φ′は以下のような補正を施せば求めることができ
る。
The magnetic flux Φ' can be determined by making the following corrections.

Φ′=Φ(II) =Φム。。Φ′ = Φ(II) = Φum. .

・・・・・・・・・(19) ここで、ψ1とψ1□は磁化曲線の重心に対して対称な
値とする。尚、ψ1は必ずしも積分初期値を選ぶ必要は
なく、重心対称値であればよい。ここに、nは初期値i
からサンプリング周期ΔHごとに数えられた整数を表わ
す。
(19) Here, ψ1 and ψ1□ are assumed to be symmetrical values with respect to the center of gravity of the magnetization curve. Note that ψ1 does not necessarily have to be an initial integral value, but may be a value symmetrical to the center of gravity. Here, n is the initial value i
represents an integer counted every sampling period ΔH from ΔH.

以上のようにして得られた磁界Hと磁束Φ。The magnetic field H and magnetic flux Φ obtained as above.

で磁化曲線を描くと、第7図のように特性I+を縦軸方
向にシフトした曲線となる。
When a magnetization curve is drawn, it becomes a curve in which the characteristic I+ is shifted in the vertical direction as shown in FIG.

次に、測定データ変換部21について説明する。Next, the measurement data converter 21 will be explained.

測定データ変換部21には、測定データ解析部60との
間でデータの交信を行なうためのパラレル入出力インタ
フェース17が設けられており、パラレル入出力インタ
フェース17からの制御信号501が三角波発生回路1
8に人力され、三角波信号SD2が発生されて増幅器1
9を介して磁性測定部201〜208へ人力される。こ
の三角波発生回路18はクロックパルス発振器80と、
制御信号SDIによりクロックパルスの計数を開始する
カウンタ81と、このカウンタ81の計数信号に対応す
るアドレスに三角波発生のためのデジタルデータが個々
に記憶されたROM82と、このROM82の所定アド
レスから読出されたデジタルデータをD/A変換して三
角波信号SD2を作成するDハコンバータ83とから構
成されている。
The measurement data conversion section 21 is provided with a parallel input/output interface 17 for communicating data with the measurement data analysis section 60 , and the control signal 501 from the parallel input/output interface 17 is transmitted to the triangular wave generation circuit 1 .
8, a triangular wave signal SD2 is generated and sent to the amplifier 1.
9 to the magnetism measurement units 201 to 208. This triangular wave generation circuit 18 includes a clock pulse oscillator 80,
A counter 81 starts counting clock pulses in response to a control signal SDI, a ROM 82 in which digital data for triangular wave generation is individually stored at an address corresponding to the count signal of this counter 81, and digital data is read out from a predetermined address of this ROM 82. and a D/converter 83 that performs D/A conversion on the digital data to create a triangular wave signal SD2.

又、磁性測定部201〜208より出力される電圧Vo
+ −Voa  (磁性薄膜が有るとき) 、 VDA
 〜VDH(磁性薄膜が無いとき)を順次切換えて取込
むためのマルチプレクサ24が設けられており、マルチ
プレクサ24はカウンタ81からの切換信号で駆動され
るようになっている。マルチプレクサ24から順次出力
される電圧VDI〜vD8+VDA ”’VDHはそれ
ぞれ増幅器13を介して増幅され、サンプルホールド回
路14に人力される。サンプルホールド回路14は、三
角波発生回路18のカウンタ81からのタイミング信号
SHにより上記電圧VDI〜VOa及びV。A−VDH
をサンプリングし、す゛ンプリングデータSD3を^/
Dコンバータ15に人力する。A/Dコンバータ15は
三角波発生回路18のカウンタ81からの変換開始信号
C0NVにより上記サンプリングデータ503をデジタ
ル信号DSI に変換し、パラレル入出力インタフェー
ス17を介して測定データ解析部60へ伝送する。
Moreover, the voltage Vo output from the magnetism measurement units 201 to 208
+ -Voa (when there is a magnetic thin film), VDA
A multiplexer 24 is provided to sequentially switch and take in VDH (when there is no magnetic thin film), and the multiplexer 24 is driven by a switching signal from the counter 81. The voltages VDI to vD8+VDA ''VDH sequentially output from the multiplexer 24 are amplified via the amplifier 13 and input to the sample and hold circuit 14.The sample and hold circuit 14 receives the timing signal from the counter 81 of the triangular wave generation circuit 18. SH causes the above voltages VDI to VOa and V.A to VDH.
Sample the sampling data SD3 ^/
Power is applied to the D converter 15. The A/D converter 15 converts the sampling data 503 into a digital signal DSI in response to the conversion start signal C0NV from the counter 81 of the triangular wave generation circuit 18, and transmits it to the measurement data analysis section 60 via the parallel input/output interface 17.

次に、測定データ解析部60について説明する。Next, the measurement data analysis section 60 will be explained.

測定データ解析部60には、各部を制御すると共に、メ
モリ部61のRAM62.63よりデータを読出して演
算(ソフトウ゛エア積分)を行なうCPIJ73と、制
御プログラム等が記憶されているROM69とが設けら
れると共に、磁性薄膜310が磁気ヘッド1上に有る場
合の磁気ヘットlの差動出力電圧データを記憶するRA
M62と、磁性薄膜310が無い場合の磁気ヘッド1の
差動出力電圧データを記憶する口^M63とを有し、そ
の他各種人力データを記憶するメモリ部61が設けられ
ている。更に、日付1時刻をディスプレイ68に表示す
るためのクロック64が設けられ、インタフェースとし
てGP−IBゼインフェース22とパラレル入出力イン
タフェース70とが設けられており、GP−IBゼイン
フェース22にはGP−18用出力コネクタ23が接続
され、パラレル入出力インクフェース70には磁化特性
の良否を音で報知するブザー72と、磁化特性値をプリ
ンタで出力するためのプリンタ用出力コネクタ71とが
接続されている。更にコントローラとして、ディスプレ
イ68を駆動するためのコントローラ67と、キーボー
ド29からの入力データを制御するキーコントローラ2
8とが設けられており、コントローラ67には2画面分
の画像を記憶するビデオRAM65.66が接続されて
いる。
The measurement data analysis section 60 is provided with a CPIJ 73 that controls each section, reads data from the RAM 62 and 63 of the memory section 61, and performs calculations (software integration), and a ROM 69 that stores control programs and the like. , an RA that stores differential output voltage data of the magnetic head l when the magnetic thin film 310 is on the magnetic head 1.
A memory section 61 is provided, which has an opening M62 and an opening M63 for storing differential output voltage data of the magnetic head 1 in the absence of the magnetic thin film 310, and for storing various other human input data. Furthermore, a clock 64 for displaying date 1 time on a display 68 is provided, and a GP-IB interface 22 and a parallel input/output interface 70 are provided as interfaces. An output connector 23 for 18 is connected to the parallel input/output ink face 70, and a buzzer 72 that notifies the quality of the magnetization characteristics with sound, and a printer output connector 71 for outputting the magnetization characteristics values to a printer are connected to the parallel input/output ink face 70. There is. Further, as controllers, a controller 67 for driving a display 68 and a key controller 2 for controlling input data from the keyboard 29 are provided.
8, and video RAMs 65 and 66 that store images for two screens are connected to the controller 67.

このような構成において、測定装置の動作を第8図のフ
ローチャートを参照して説明する。
In such a configuration, the operation of the measuring device will be explained with reference to the flowchart shown in FIG.

先ず測定装置の電源スイッチをオンにし、キーボード2
9のテンキーで測定すべき磁性薄膜310の磁化特性値
の合格範囲および磁化力のレンジ設定値(例えば100
0[Oel 〜10000[Oel までのlO段階)
を入力すると(ステップSt)、合格範囲のデータが測
定データ解析部60のメモリ部61に記憶され・る。こ
の合格範囲のデータは、飽和磁束Φm(飽和磁束密度B
m)、残留磁束Φr(残留磁束密度Br)、保持力11
C,角形比D(−Φ「/Φm−0r/BI11)等の各
下限値、上限値である。次に、キーボード29でモード
の選択を行なうが(ステップS2)、測定モードを選択
した場合、測定装置のテーブル(図示せず)に測定すべ
き磁気カード300を挿入して載置すると共に、磁気ス
トライブ部301の磁性薄膜310を例えばマーカに合
せて位置決めする(ステップ53)。そして、磁性薄[
310の測定部分がずれていないか再確認してキー操作
を行なうと、磁気センサ200がセットされた磁気カー
ド300の磁性薄膜310上に第4図の如く位置され、
その後に測定データ解析部60より測定データ変換部2
1に制御信号が伝送されて磁化特性の測定が開始される
(ステップS4)。制御信号SDlによりカウンタ81
はカウントアツプを開始し、このカウント信号と対応す
るROM82内のアドレスに予め記憶されているデジタ
ルデータをD/A変換することにより発生された三角波
信号502は、増幅器19を経て磁性測定部201〜2
08の各磁気ヘッド1の1次コイル2,3に印加され、
各磁気ヘッド1のギャップIA、IB間に磁界Hを発生
させる。2次コイル4.5からは磁気コア1内を流れる
磁束の時間変化に比例した電圧が発生され、増幅器10
.11及び差動増幅器12を介して電圧信号vow〜v
oaが得られ、これらVDI 〜voaが測定データ変
換部21内のマルチプレクサ24で順次選択されてサン
プルホールド回路14に人力される。そして、サンプリ
ングデータSD3がA/Dコンバータ15でデジタル信
号DSIに変換され、パラレル入出力インタフェース1
7を介して測定データ解析部60に人力される。ここに
おいて、第25図(八)はクロックパルス発振器80か
ら発するカウントパルスの波形を、同図(B)はカウン
トパルスに対応してDハコンバータ83から発する三角
波SD2を、同図(C)はマルチプレクサのチャンネル
選択の様子を、同図(D)はサンプルホールド回路14
に人力されるサンプルホールド信号SHを、同図(E)
は^/Dコンバータ15に入力される変換開始信号C0
NVのタイミングチャートを示している。つまり、カウ
ンタ81はクロックパルス発振器80で第25図(A)
のように発掘されたクロックパルスに基づいてn0M8
2を駆動してD/Aコンバータ83より第25図(B)
 に示す三角波502を発生する。そして、例えばクロ
ックパルス8個分を計数する毎にマルチプレクサ24に
切換信号が入力され、マルチプレクサ24のチャンネル
か第25図(C)  にように切1^えらる((:lI
l→CH2)と共に、切換え後、カウンタ81より第2
5図(D)のように例えばクロックパルス1個分延長さ
れたサンプルホールド信号511がサンプルホールド回
路14に人力される。そして、サンプルホールド回路1
4に増幅器13を介してマルチプレクサ24から人力さ
れている電圧信号VDI〜VD8のいずれか1つがサン
プルホールドされる。
First, turn on the power switch of the measuring device and press keyboard 2.
The pass range of the magnetization characteristic value of the magnetic thin film 310 to be measured and the range setting value of the magnetization force (for example, 100
0[Oel ~ 10000[IO stage up to Oel]
When inputting (step St), data in the acceptable range is stored in the memory section 61 of the measurement data analysis section 60. The data in this passing range is the saturation magnetic flux Φm (saturation magnetic flux density B
m), residual magnetic flux Φr (residual magnetic flux density Br), coercive force 11
C, squareness ratio D (-Φ"/Φm-0r/BI11), etc. Next, a mode is selected using the keyboard 29 (step S2), but when the measurement mode is selected. The magnetic card 300 to be measured is inserted and placed on the table (not shown) of the measuring device, and the magnetic thin film 310 of the magnetic stripe section 301 is positioned, for example, in alignment with the marker (step 53). Magnetic thin [
When the key operation is performed after reconfirming that the measurement part 310 is not shifted, the magnetic sensor 200 is positioned on the magnetic thin film 310 of the magnetic card 300 set as shown in FIG.
After that, the measurement data analysis unit 60 converts the measurement data into the measurement data conversion unit 2.
A control signal is transmitted to the magnetization device 1, and measurement of magnetization characteristics is started (step S4). The counter 81 is controlled by the control signal SDl.
starts counting up, and the triangular wave signal 502 generated by D/A converting the digital data stored in advance at the address in the ROM 82 corresponding to this count signal passes through the amplifier 19 to the magnetism measurement units 201 to 201. 2
08 is applied to the primary coils 2 and 3 of each magnetic head 1,
A magnetic field H is generated between the gaps IA and IB of each magnetic head 1. The secondary coil 4.5 generates a voltage proportional to the time change of the magnetic flux flowing in the magnetic core 1, and the amplifier 10
.. 11 and the differential amplifier 12, the voltage signal vow~v
oa is obtained, and these VDI to voa are sequentially selected by the multiplexer 24 in the measurement data converter 21 and input to the sample and hold circuit 14. Then, the sampling data SD3 is converted into a digital signal DSI by the A/D converter 15, and then sent to the parallel input/output interface 1.
The measurement data analysis section 60 manually inputs the measured data via 7. Here, FIG. 25 (8) shows the waveform of the count pulse emitted from the clock pulse oscillator 80, FIG. 25 (B) shows the triangular wave SD2 emitted from the D converter 83 in response to the count pulse, and FIG. The diagram (D) shows how the multiplexer channels are selected.
The sample hold signal SH input manually is shown in the same figure (E).
is the conversion start signal C0 input to the /D converter 15
A timing chart of NV is shown. In other words, the counter 81 is the clock pulse oscillator 80 as shown in FIG. 25(A).
n0M8 based on clock pulses unearthed as
2 and from the D/A converter 83 as shown in FIG.
A triangular wave 502 shown in FIG. Then, for example, every time eight clock pulses are counted, a switching signal is input to the multiplexer 24, and the channel of the multiplexer 24 is switched as shown in FIG. 25(C).
l→CH2), and after switching, the second
As shown in FIG. 5(D), a sample-and-hold signal 511 that has been extended by one clock pulse, for example, is input to the sample-and-hold circuit 14. And sample hold circuit 1
4, any one of the voltage signals VDI to VD8 input from the multiplexer 24 via the amplifier 13 is sampled and held.

^/Dコンバータ15には第25図(E) に示すよう
にクロックパルス1パルス分遅延されたA/D開始信号
C0NVか入力されており、上記す′ンブルホールドさ
れたサンプリングデータSD3がA/D変換される。こ
のようにして三角波1周期分について所定時間毎に電圧
信号VDI〜VOaが全てRへM62に記憶されると、
磁気センサ200が磁性薄膜310上から離れ、同様に
して三角波1周期分について所定時間毎の電圧信号VD
A ””’VDHがRへM63に記憶され、その後lΔ
M62.63の各々に対応する信号が差引きされる。上
述のようにしてCPL173で演算されたヒステリシス
カーブ、磁化特性値Φr(Br)、Φm(Bm)、ti
c、 D等がそれぞれ測定値としてメモリ部61に記憶
される(ステップS5)。CPU73は予め設定されて
いる合格範囲と上記測定値とを比較し、ディスプレイ6
8にその合否を例えばrOK、、 rNG、の如く表示
すると共に、ヒステリシスカーブ、測定値等を表示する
。更に、上記測定結果を基にその分布特性が第9図の如
くディスプレイ68に表示されると共に、コントローラ
67を介してビデオRAM65.66に記憶される。又
パラレル入出力インタフェース70を介してブザー72
を駆動させ、上記「OK」の場合にはブザー72でたと
えば゛ピー°゛と連続音を発生させ(ステップS6,5
7)、上記rNG、の場合にはたとえば“ピッピッ・・
・”と断続音を発生させる(ステップS6.S8)。以
上により、磁気センサ200の磁気ヘッド部211〜2
18によって磁気ストライブ部301の8箇所の磁化特
性値を同時に求めることができ、これら磁化特性値は、
いずれもメモリ部61に記憶される(ステップS9)。
The A/D start signal C0NV delayed by one clock pulse is input to the A/D converter 15 as shown in FIG. D-converted. In this way, when all the voltage signals VDI to VOa for one cycle of the triangular wave are stored in M62 at predetermined time intervals,
The magnetic sensor 200 is removed from the magnetic thin film 310, and in the same way, the voltage signal VD for one cycle of the triangular wave is detected at predetermined time intervals.
A “”’VDH is stored in M63 to R, and then lΔ
The signals corresponding to each of M62.63 are subtracted. The hysteresis curve, magnetization characteristic values Φr (Br), Φm (Bm), ti calculated by the CPL 173 as described above
c, D, etc. are each stored in the memory unit 61 as measured values (step S5). The CPU 73 compares the above measurement value with a preset pass range and displays the result on the display 6.
8, the pass/fail status is displayed as, for example, rOK, rNG, and the hysteresis curve, measured value, etc. are displayed. Further, based on the above measurement results, the distribution characteristics are displayed on the display 68 as shown in FIG. 9, and are also stored in the video RAM 65, 66 via the controller 67. Also, the buzzer 72 is connected via the parallel input/output interface 70.
If the answer is "OK", the buzzer 72 generates a continuous sound such as beeps (steps S6 and 5).
7), In the case of the above rNG, for example, “pippi...
- generates an intermittent sound (steps S6 and S8). As described above, the magnetic head sections 211 to 2 of the magnetic sensor 200
18, the magnetization characteristic values at eight locations of the magnetic stripe section 301 can be obtained simultaneously, and these magnetization characteristic values are as follows.
Both are stored in the memory section 61 (step S9).

なお、メモリ部61のメモリエリアはRAM内に100
データ分確保されており、順次時系列的にデータがクロ
ック64からの測定時刻データと共にロギングされる。
Note that the memory area of the memory unit 61 is 100 in RAM.
A portion of data is secured, and the data is sequentially logged along with measurement time data from the clock 64 in chronological order.

更に、この発明の測定装置によれは磁気ストライブ部3
01の全体の磁化特性を測定することができる。すなわ
ち、第4図のような検出状態から磁気ヘット部211〜
218のピッチ分たけ、磁気センサ200又は磁気カー
ド300を所定量ずつ移動させ(ステップ5ll)、上
述のような8筒所笹の測定を繰返すことにより磁気スト
ライブ部301の全体を測定することができる。なお、
8箇所のサンプル的な測定で十分な場合は、必ずしもこ
のような1ピツチ移動による全体測定は行なわなくても
良い。
Furthermore, according to the measuring device of the present invention, the magnetic strip section 3
01 can be measured. That is, from the detection state as shown in FIG.
The entire magnetic stripe section 301 can be measured by moving the magnetic sensor 200 or the magnetic card 300 by a predetermined amount by a pitch of 218 (step 5ll) and repeating the measurement of the 8-tube bamboo grass as described above. can. In addition,
If sample measurements at eight locations are sufficient, it is not necessary to carry out overall measurement by moving one pitch.

一方、キー人力によりモード変換が指定されない場合は
次の磁気カードの測定待ち状態となり、複数枚の磁気カ
ードの測定後キー人力でデータ処理モードrが選択され
た場合は(ステップ512.S2) 、[:PU73は
メモリ部61のロギングデータを演算し、第1O図(A
) 、 (B) に示すような選択された特定の磁化特
性値(例えば磁気ヘッド211によって測定された箇所
におけるΦr)の×−8管理図をディスプレイ68に表
示する(ステップ514)。 ここにおいて、X−R管
理図の作成要領を説明すると、先ず前提条件としてN:
データ総数、n:群の大きさ、に:群の数を設定する。
On the other hand, if mode conversion is not designated by the key input, the system waits for the measurement of the next magnetic card, and if the data processing mode r is selected by the key input after measuring multiple magnetic cards (step 512.S2), [: The PU 73 calculates the logging data in the memory unit 61 and
), (B) A ×-8 control chart of the selected specific magnetization characteristic value (for example, Φr at the location measured by the magnetic head 211) is displayed on the display 68 (step 514). Here, to explain the procedure for creating an X-R control chart, first of all, the prerequisite is N:
Set the total number of data, n: group size, and: number of groups.

そして、Nはメモリ内のデータを自動計数し、nはユー
ザ人力とする(n=3.4.5より選択)。又、kはに
=N/nで求められた商とし、余りとなるデータは使用
しない。例えばN=98.n=3のときに=32とし、
97番目以降のデータは使用しない。群ごとの平均値X
はであり、群ごとの平均値Xの総平均値Xは(−CL) であり、また、上下管理限界線UCL、LCLはUCL
=x+^2R−−−(22) LCL=x −八J          −−・・・(
23)である。ただし、A2.D4’は次の表1により
求める。
Then, N is the automatic counting of data in the memory, and n is the user's manual effort (selected from n=3.4.5). Also, k is the quotient obtained by =N/n, and the remainder data is not used. For example, N=98. When n=3, set it to =32,
Data after the 97th is not used. Average value for each group
is, the total average value X of the average value X for each group is (-CL), and the upper and lower control limit lines UCL and LCL are UCL
=x+^2R---(22) LCL=x -8J---(
23). However, A2. D4' is determined according to Table 1 below.

表   1 以上のデータをグラフに表示すると、第1Ω図(八) 
に示すようOOラフとなる。ただし、横1袖は群番号を
表示し、n=3のとき”33”まで“5”ずつの目盛で
あり、n=4.n−5のとき25”まで“5”ずつの目
盛である。また、縦軸はXを表示し、LCL−UCL間
をドツト数固定して数値はLCL、CL、UCLを表示
している。そして、群ごとのバラツキRは RJ =X maw  X +nln    ”’ ・
・’ ”’ (24)であり、バラツキRの群ごとの総
平均値Rはてあり、上下管理限界線UGLは UCL= D4R・・・・・・・・・(26)である。
Table 1 When the above data is displayed on a graph, the 1st Ω diagram (8)
It becomes OO rough as shown in . However, the first horizontal sleeve displays the group number, and the scale is in increments of "5" up to "33" when n=3, and when n=4. In the case of n-5, the scale is in increments of "5" up to 25". Also, the vertical axis indicates X, and the number of dots between LCL and UCL is fixed, and the numerical values indicate LCL, CL, and UCL. Then, the variation R for each group is RJ = X maw X + nln ”'・
・'''' (24), the total average value R for each group of the variation R is shown, and the upper and lower control limit lines UGL are UCL=D4R (26).

ただし、D4は上記表1より求める。以上のデータをグ
ラフに表示すると一1第1O図(B)に示すようなグラ
フとなる。
However, D4 is determined from Table 1 above. When the above data is displayed in a graph, it becomes a graph as shown in Figure 1O (B).

又、キー人力によりデータ処理モード■1が選択された
場合(ステップS2) 、fl、Pt173ではメモリ
部61のロギングデータを演算しくステップ515)、
選択された特定の磁化特性値(例えば磁気ヘッド211
 によって測定された箇所におけるΦr)のヒストグラ
ムをディスプレイ68に表示する(ステップ516)。
Further, when the data processing mode ■1 is selected manually (step S2), fl, Pt173 calculates the logging data in the memory unit 61 (step 515),
A selected specific magnetization characteristic value (for example, the magnetic head 211
A histogram of Φr) at the location measured by is displayed on the display 68 (step 516).

この場合、先ず前提条件として横軸の最大クラス数を“
lO”とし、縦軸のレンジを80.40.20の3通り
に自動設定する。更に、横軸の目盛りはX□X + X
 m l nの値を表示する。そして、クラス分けとし
て級の数kをkLfff     ・・・・・・・・・
(27)として、きざみ幅11M、平均値X、標準偏差
0を・・・・・・・・・(30) で求める。上記(27)〜(30)式にデータを代入し
てグラフに表示すると、第11図に示すようなグラフと
なる。
In this case, the first precondition is to set the maximum number of classes on the horizontal axis as “
10" and automatically set the range of the vertical axis to three ways: 80, 40, 20. Furthermore, the scale of the horizontal axis is X□X + X
Display the value of m l n. Then, for classification, the number of classes k is kLfff...
(27), the step width is 11M, the average value X, and the standard deviation 0 are determined by (30). When data are substituted into the above equations (27) to (30) and displayed on a graph, a graph as shown in FIG. 11 is obtained.

上記実施例では磁気カード300の磁気ストライプ部3
01を検査対象としたが、第13図に示すような差動側
磁気ヘッドとしての磁気センサ400を用いてフレキシ
ブルディスクのディスク面の磁化特性を測定することが
できる。すなわち、第12図はフレキシブルディスク3
21の磁性薄膜の検査の様子を示しており、フレキシブ
ルディスク321が内蔵されているジャケット320の
ヘッドウィンドウ部322にb11気センサ400を近
接させて、ディスク面の磁化特性を測定するようにして
いる。
In the above embodiment, the magnetic stripe section 3 of the magnetic card 300
The magnetic sensor 400 as a differential side magnetic head as shown in FIG. 13 can be used to measure the magnetization characteristics of the disk surface of the flexible disk. That is, FIG. 12 shows the flexible disk 3
21 shows how the magnetic thin film of No. 21 is inspected, and the b11 air sensor 400 is placed close to the head window portion 322 of the jacket 320 in which the flexible disk 321 is built to measure the magnetization characteristics of the disk surface. .

第13図は磁気センサ400の斜視構造を示しており、
磁化特性を検出するためのマルチチャンネルの磁気ヘッ
ド部411〜419が設けられており、磁気ヘッド部4
11〜418内には第13図X−X断面図として第14
図(^)に示すような1次コイル432及び2次コイル
433が巻回された磁気コア431で成る磁気ヘッドが
内蔵されている。また、磁気ヘッド部419(キャンセ
ルヘッド部)内には第13図Y−Y断面図として第14
図(B) に示すような1次コイル442及び2次コイ
ル443が巻回されたキャンセルコア441で成る磁気
ヘッド(キャンセルヘッド)が内蔵されている。また、
磁気ヘッド部411〜418の各磁気ヘッドは前述した
磁気センサ200の各磁気ヘッド検出側に相当し、磁気
ヘッド部419は磁気センサ200の磁気ヘッド非検出
側に相当している。つまり、この磁気センサ400では
、前述したFIU性測定部201〜208の検出側磁気
ヘットがそれぞれ磁気ヘッド部411〜418に設けら
れ、非検出側磁気ヘッドが磁気ヘッド部419で兼用さ
れている。更に、磁気センサ400の磁気ヘッド部41
9側のケース端面には、ジャケット320の端部との接
触による干渉を避けるための切欠部420が設けられて
いる。
FIG. 13 shows a perspective structure of the magnetic sensor 400,
Multi-channel magnetic head sections 411 to 419 are provided for detecting magnetization characteristics, and the magnetic head section 4
11 to 418 are 14th sectional views taken along line XX in FIG. 13.
A magnetic head consisting of a magnetic core 431 around which a primary coil 432 and a secondary coil 433 are wound as shown in the figure (^) is built-in. Also, in the magnetic head section 419 (cancellation head section), there is a
A magnetic head (cancellation head) consisting of a cancellation core 441 around which a primary coil 442 and a secondary coil 443 are wound as shown in Figure (B) is built-in. Also,
Each of the magnetic head sections 411 to 418 corresponds to the magnetic head detection side of the magnetic sensor 200 described above, and the magnetic head section 419 corresponds to the magnetic head non-detection side of the magnetic sensor 200. That is, in this magnetic sensor 400, the detection side magnetic heads of the FIU property measuring sections 201 to 208 described above are provided in the magnetic head sections 411 to 418, respectively, and the magnetic head section 419 serves as the non-detection side magnetic head. Furthermore, the magnetic head section 41 of the magnetic sensor 400
A notch 420 is provided on the end face of the case on the 9 side to avoid interference due to contact with the end of the jacket 320.

このような構成の磁気センサ400を用いることにより
、フレキシブルディスク321をライン状にかつ8箇所
で同時に、前述の実施例とほぼ同じブロック構成により
その磁化特性を測定できる。ただし、この実施例では磁
気コアとキャンセルコアとが一体化になフていないため
、キャンセルヘッド419の出力は各磁気ヘッド411
〜4!8の出力とそれぞれ個別に差動増幅器に人力され
、差動増幅され、マルチプレクサ24により順次切換え
られてデジタル化され、記憶されることになる。即ち、
キャンセルヘッド419の出力は共通に使用されること
になる。また測定結果の分布特性は第15図の如くディ
スプレイ68に表示される。また、所定量ずつフレキシ
ブルディスク321を回動することによって、全面の磁
化特性を測定することができる。また、この実施例のよ
うな磁気コアとキャンセルコアとを分路させる考え方を
最初の実施例に応用すれは、第23図及び第24図に示
すようなものになる。第24図のX−X断面及びY−Y
断面はそれぞれ第14図(八)、 (B)に相当する。
By using the magnetic sensor 400 having such a configuration, the magnetization characteristics of the flexible disk 321 can be measured in a line at eight locations simultaneously using substantially the same block configuration as in the above embodiment. However, in this embodiment, since the magnetic core and the cancel core are not integrated, the output of the cancel head 419 is transmitted to each magnetic head 411.
The outputs of ~4!8 are individually input to differential amplifiers, differentially amplified, sequentially switched by the multiplexer 24, digitized, and stored. That is,
The output of the cancel head 419 will be used in common. Further, the distribution characteristics of the measurement results are displayed on the display 68 as shown in FIG. Further, by rotating the flexible disk 321 by a predetermined amount, the magnetization characteristics of the entire surface can be measured. Further, if the idea of shunting the magnetic core and the canceling core as in this embodiment is applied to the first embodiment, the result will be as shown in FIGS. 23 and 24. XX cross section and Y-Y in Figure 24
The cross sections correspond to Figures 14 (8) and (B), respectively.

ところで、この発明に用いる磁気ヘッドlの磁気コア及
び1次コイル、2次コイルの巻回は第1図及び第14図
(八)  (B)のものに限定されるものではなく、第
1図の磁気コア1を縦軸中央部又は横軸中央部で折曲し
た構造でも良く、第16図に示すように磁気コア1の接
続アームICに1次コイル30を巻回しても良い。また
、第17図に示すように磁気コア!の各アームに1次コ
イル31〜34を直列に巻回すると共に、たとえば1次
コイル31及び34に重ねて2次コイルを巻回しても良
く、第18図に示す如く磁気コア40.41に分離して
シールド材42で磁気シールドすると共に、磁気コア4
0に1次コイル43及び2次コイル44を巻回し、磁気
コア41に1次コイル45及び2次コイル46を巻回し
ても良い。第19図に示す如く磁気Jア50及び51を
完全分離し、各磁気コア50及び51にそれぞれ1次コ
イル及び2次コイルを巻回するようにしても良い。さら
に、第20図に示すように板状の磁気コア600に1次
コイル601を巻回すると共に、磁気コア600の両端
部に結合されたコの次状の磁気コア602及び603に
それぞ、れ2次コイル604及び605を巻回しても良
い。ざらに又、上述では低周波の三角波を1次コイルに
印加するよう゛にしているが、正弦波等であっても良い
。上記実施例では磁気カード、フレキシブルディスクを
測定の対象としたが、この発明の測定装置は5n気テー
プ、 sl気ディスクあるいは光磁気ディスク等にも適
用可能である。さらに、上述の磁気センサは8チヤンネ
ルの磁気ヘッド部を有して構成されているが、チャンネ
ル数は任意である。また、第13図に示される他の実施
例において、キャンセルヘッド部419の位誼は切欠部
420の近傍に限定される必要はない。
By the way, the windings of the magnetic core, primary coil, and secondary coil of the magnetic head l used in this invention are not limited to those shown in FIG. 1 and FIG. 14 (8) (B), but are as shown in FIG. The magnetic core 1 may be bent at the center of the vertical axis or the center of the horizontal axis, or the primary coil 30 may be wound around the connecting arm IC of the magnetic core 1 as shown in FIG. Also, as shown in Figure 17, there is a magnetic core! The primary coils 31 to 34 may be wound in series around each arm of the magnetic core 40, 41, and a secondary coil may be wound, for example, overlapping the primary coils 31 and 34, as shown in FIG. The magnetic core 4 is separated and magnetically shielded with a shielding material 42.
The primary coil 43 and the secondary coil 44 may be wound around the magnetic core 41, and the primary coil 45 and the secondary coil 46 may be wound around the magnetic core 41. As shown in FIG. 19, the magnetic cores 50 and 51 may be completely separated, and a primary coil and a secondary coil may be wound around each magnetic core 50 and 51, respectively. Furthermore, as shown in FIG. 20, a primary coil 601 is wound around a plate-shaped magnetic core 600, and C-shaped magnetic cores 602 and 603 are connected to both ends of the magnetic core 600, respectively. The secondary coils 604 and 605 may be wound. Furthermore, in the above description, a low frequency triangular wave is applied to the primary coil, but a sine wave or the like may also be applied. Although magnetic cards and flexible disks were measured in the above embodiments, the measuring device of the present invention can also be applied to 5N tapes, SL disks, magneto-optical disks, and the like. Furthermore, although the above-described magnetic sensor is configured to have an eight-channel magnetic head section, the number of channels may be arbitrary. Furthermore, in the other embodiment shown in FIG. 13, the position of the cancel head portion 419 need not be limited to the vicinity of the notch portion 420.

(発明の効果) 以上のようにこの発明の磁化特性測定装置によれば、装
置に磁気印刷、 IIf!気テープ、フレキシブルディ
スク、磁気ディスク、磁気カード等の磁性薄膜部分をセ
ットするだけで、磁性薄膜の磁化特性の分布測定を一度
(多点高速測定)で行なうことができ、更に磁化特性の
合否判定をディスプレイの画面やブザー音で表示するた
め、検査工程が省力化されるという利点がある。、更に
、測定方法として磁気ヘッドにチャンネル切換方式を使
用しているための磁性薄膜を低周波の繰返信号で励磁で
き、検査対象が渦電流の影響を受けない利点がある。又
、検査対象物をそのまま直接に測定することができ非破
壊測定の利点があり、磁気ストライプ、ディスク媒体等
の磁化特性試験に際して、絶対値の測定が可能になり、
上記媒体の互換性評価の基準が明確になる利点がある。
(Effects of the Invention) As described above, according to the magnetization characteristic measuring device of the present invention, magnetic printing is performed on the device, IIf! By simply setting the magnetic thin film part of a magnetic tape, flexible disk, magnetic disk, magnetic card, etc., you can measure the distribution of the magnetization characteristics of the magnetic thin film at once (multi-point high-speed measurement), and also make pass/fail judgments on the magnetization characteristics. This has the advantage of saving labor in the inspection process since it is displayed on a display screen or with a buzzer sound. Furthermore, since the measurement method uses a channel switching method in the magnetic head, the magnetic thin film can be excited with a low frequency repetitive signal, and there is an advantage that the object to be inspected is not affected by eddy currents. In addition, it has the advantage of non-destructive measurement as it can directly measure the object to be inspected as it is, making it possible to measure absolute values when testing the magnetization characteristics of magnetic stripes, disk media, etc.
This has the advantage of clarifying the criteria for evaluating the compatibility of the media.

さらに、ステッピングモータ等の移動機構や回転駆動装
置を付加することにより、ストライブやディスク表面全
体の磁化特性の分布状態が測定可能であり、予め設定し
た基準に従って品質が表示されるので:品質基準の共通
化が容易であるという利点がある。
Furthermore, by adding a moving mechanism such as a stepping motor or a rotary drive device, it is possible to measure the distribution state of magnetization characteristics on the entire stripe or disk surface, and the quality is displayed according to preset standards: Quality Standards It has the advantage of being easy to standardize.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図及び第2図はこの発明の一実施例である磁化特性
測定装置のブロック構成図、第3図は差動型磁気ヘッド
としての磁気センサの外観図、第4図は差動型磁気ヘッ
ドとしての磁気センサの使用方法を示す図、第5図は磁
気ヘッドと磁界との様子を示す図、第6図及び図第7図
は磁化状態の特性図、第8図は磁化特性測定装置の動作
フローチャート、第9図〜第11図及び第15図はディ
スプレイに表示されるグラフの様子を示す図、第12図
、第13図及び第23図、第24図は差動型磁気ヘッド
としての磁気センサの他の実施例を示す図、第14図(
^)は第13図及び第24図のX−X断面図、第14図
(B)は第13図及び第24図のY−Yの断面図、第1
6図〜第20図は磁気ヘッドの他の構造を示す図、第2
1図は磁気テープの様子を示す図、第22図は一般的な
磁化特性の検出方法を説明する図、第23図及び第24
図は第3図及び第4図の差動型磁気ヘッドとしての磁気
センサの変形例を示す図、第25図(A)〜(E)は測
定データ変換部の各部の信号のタイミングチャートであ
る。 1・・・磁気ヘッド、2.3・・・1次コイル、4.5
・・・2次コイル、10,11,13.19・・・増幅
器、12・・・差動増幅器、14・・・サンプルホール
ド回路、15・・・A/Dコンバータ、17・・・パラ
レル人出力インタフェース、18・・・三角波発生回路
、21・・・測定データ変換部、24・・・マルチプレ
クサ、29・・・キーボード、60・・・測定データ解
析部、68・・・ディスプレイ、80・・・クロックパ
ルス発振器、 81・・・カウンタ、82・・・ROM
 、 83・・・D/A コンバータ、200,400
・・・磁気センサ、201〜208−・・磁性測定部。 出願人代理人   安 形 雄 三 茶6固 盃′ 羊7回 AX 磁気カードの塙か5の成鳥I 第9図 第10図 ;::  ぜ j  1       χ屑aX →− /4s 第ff図 茶12品 蔓f3 T2 (,4)              CB>第P4 
日 テ1スク中1七からの距組 羊15図 羊16品      第17国 4す 第16匣     第19図 某27図 #21図 塾22目 祭23 民 X′   蔓24民
1 and 2 are block configuration diagrams of a magnetization characteristic measuring device that is an embodiment of the present invention, FIG. 3 is an external view of a magnetic sensor as a differential magnetic head, and FIG. 4 is a differential magnetic A diagram showing how to use a magnetic sensor as a head, Figure 5 is a diagram showing the state of the magnetic head and magnetic field, Figures 6 and 7 are characteristic diagrams of magnetization states, and Figure 8 is a magnetization characteristic measuring device. 9 to 11 and 15 are diagrams showing graphs displayed on the display, and FIGS. 12, 13, 23, and 24 are operation flowcharts for the differential magnetic head FIG. 14 is a diagram showing another embodiment of the magnetic sensor (
^) is a cross-sectional view taken along line X-X in Figures 13 and 24, Figure 14 (B) is a cross-sectional view taken along Y-Y in Figures 13 and 24, and
Figures 6 to 20 are diagrams showing other structures of the magnetic head;
Figure 1 is a diagram showing the state of a magnetic tape, Figure 22 is a diagram explaining a general method of detecting magnetization characteristics, Figures 23 and 24.
The figure shows a modification of the magnetic sensor as a differential magnetic head in FIGS. 3 and 4, and FIGS. 25(A) to 25(E) are timing charts of signals of each part of the measurement data converter. . 1...Magnetic head, 2.3...Primary coil, 4.5
...Secondary coil, 10,11,13.19...Amplifier, 12...Differential amplifier, 14...Sample and hold circuit, 15...A/D converter, 17...Parallel person Output interface, 18... Triangular wave generation circuit, 21... Measured data converter, 24... Multiplexer, 29... Keyboard, 60... Measured data analyzer, 68... Display, 80...・Clock pulse oscillator, 81...Counter, 82...ROM
, 83...D/A converter, 200,400
...Magnetic sensor, 201-208-... Magnetism measuring section. Applicant's representative Yasu Kata Sancha 6 hard cup' Sheep 7 times AX Magnetic card Hanawaka 5 adult bird I Figure 9 Figure 10;:: Zej 1 χ waste aX →- /4s Figure ff Tea 12 Item f3 T2 (,4) CB>No. P4
Nippon Tetsu 1 Sk.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)磁性薄膜の複数箇所を同時に測定するための複数
の磁気コア及び少なくとも1つのキャンセルコアをライ
ン状に一体化した差動型磁気ヘッドと、この差動型磁気
ヘッドを繰返信号で励磁する励磁信号発生手段と、測定
すべき磁性薄膜の上又は近傍に位置された前記差動型磁
気ヘッドからの複数の差動出力電圧を順次サンプリング
してデジタル値に変換する測定データ変換手段と、この
測定データ変換手段により変換されたデジタル値を順次
記憶し、前記複数箇所の磁性薄膜の磁化特性値を算出す
る測定データ解析手段とを具備したことを特徴とする磁
性薄膜の磁化特性測定装置。
(1) A differential magnetic head that integrates multiple magnetic cores and at least one cancellation core in a line shape to simultaneously measure multiple locations on a magnetic thin film, and excite this differential magnetic head with a repetitive signal. excitation signal generating means for generating an excitation signal; and measurement data converting means for sequentially sampling a plurality of differential output voltages from the differential magnetic head located on or near the magnetic thin film to be measured and converting them into digital values; An apparatus for measuring magnetization characteristics of a magnetic thin film, comprising measurement data analysis means for sequentially storing digital values converted by the measurement data conversion means and calculating magnetization characteristic values of the magnetic thin film at the plurality of locations.
(2)前記繰返信号の周波数が1〜10Hz程度である
特許請求の範囲第1項に記載の磁性薄膜の磁化特性測定
装置。
(2) The apparatus for measuring magnetization characteristics of a magnetic thin film according to claim 1, wherein the frequency of the repetitive signal is about 1 to 10 Hz.
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