JPS63281484A - ホロ−カソ−ド型金属蒸気レ−ザ管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、金属蒸気レーザ管のうち特にホローカソード
型金属蒸気レーザ管に関するものである。

〔発明の背景〕

金属蒸気レーザ管は、レーザ管内に金属と希ガスとを封
入し、当該金属の蒸気を利用してレーザ発振を起こさせ
るものである。

現在において、実用化されている金属蒸気レーザ管とし
ては、放電の陽光柱部分を用いてレーザ発振させるいわ
ゆる陽光柱型金属蒸気レーザ管があり、具体的には、カ
ドミウムとヘリウムを用いてなる陽光柱型金属蒸気レー
ザ管が知られている。

このヘリウムとカドミウムを用いてなる陽光柱型金属蒸
気レーザ管は、波長３２５ｎｍの紫外線を連続発振する
ことができ、また波長４４２ｎｍの短波長域の可視光線
も連続発振することができることから、近年需要が増加
し、例えばレーザプリンター、カラー製版、フォトプロ
ッター、ＤＦＢ型半導体レーザの製作、粒子計測機等の
光源として種々の分野で利用されている。

一方、以上のような陽光柱型金属蒸気レーザ管とは異な
るタイプである、放電の負グロ一部分を用いてレーザ発
振させるいわゆるホローカソード型金属蒸気レーザ管が
原理的には知られており、特にヘリウムとカドミウムを
用いてなるホローカソード型金属蒸気レーザ管は、波長
３２５ｎｍの紫外線、波長４４２ｎｍの短波長域の可視
光線のみならず、波長６３６ｎｍの赤色領域の可視光線
、波長５３８ｎｍおよび５３３　ｎｍの緑色領域の可視
光線をも連続発振させることが可能であり、しかも陽光
柱型のものに比してノイズを約１桁小さくすることが可
能であることから、最近注目を浴びている。　　　　　
　′〔従来の技術〕 第７図は、従来試作されたホローカソード型金属蒸気レ
ーザ管の概略を示す説明図である。同図において、９１
はガラス製封体、９２はアノード部材、９３はカソード
部材、９４は動作金属収納容器、９５は放電用開口部、
９６および９７はヒーター、９８Ａおよび９８Ｂはミラ
ーである。ガラス製封体９１内には例えばヘリウムが封
入され、動作金属収納容器９４内には例えばカドミウム
が収納されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記構成のホローカソード型金属蒸気レ
ーザ管においては、次のような問題点がある。

（１）ガラス製封体９１の構造が複雑であるため、熟練
を要する高度なガラス細工を必要とし、その結果機械化
による大量生産ができず、工業製品として実用化するこ
とが困難である問題点がある。

すなわち、アノード部材９２を設置するための多数の突
出管部および動作金属を収納するための多数の突出管部
をガラス製封体９１の外壁に形成するという熟練を要し
しかも手間のかかる作業が必要となり、また多数のアノ
ード部材９２をそれぞれ突出管部に適正な状態となるよ
うシールして固定するという熟練を要ししかも手間のか
かる作業が必要となり、結局機械化による工業的な生産
システムを確立することができず製品化が困難である。

（２）レーザ発振時には、ヒーター９６および９７によ
り通常は硬質ガラス製とされるガラス製封体９１が相当
高い温度に加熱されると共に、放電の熱によっても当該
ガラス製封体９１および通常は銅、チタン、鉄等よりな
るカソード部材９３が高温となるが、ガラス製封体９１
およびカソード部材９３の熱膨張によりアノード部材９
２の先端位置と、カソード部材９３に形成された放電用
開口部９５の位置関係が変化し、特にガラス製封体９１
が長尺であるほど当該位置関係が大きく変化し、その結
果負グロ一部分が瞬間的にあるいは部分的にアーク放電
に移行しやすくなって当該負グロ一部分が安定して得ら
れず、結局ホローカソード型の金属蒸気レーザ管として
の機能が損なわれる問題点がある。

なお、放電用開口部９５の大きさには適正な範囲があっ
て、その大きさが過大のときにはレーザ発振の利得が小
さくなるので、熱膨張に起因して生ずる上記位置関係の
変化を吸収できるほど大きな口径の放電用開口部８５を
設けることは実用上不可能である。

〔発明の目的〕

本発明は以上の如き事情に基いてなされたものであって
、その目的は、構造が簡単であって、熟練を必要としな
い簡単な作業により組立てることができ、しかも負グロ
一部分が安定して得られホローカソード型の金属蒸気レ
ーザ管としての特性が十分に発揮されるホローカソード
型金属蒸気レーザ管を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のホローカソード型金属蒸気レーザ管は、レーザ
発振路を形成する筒軸方向に伸びる細孔を有し、カソー
ドとされる金属製の中央部筒体と、この金属製の中央部
筒体の端部にそれぞれ気密に接続された硬質ガラス製の
端部筒体と、これらの端部筒体の外端部にそれぞれ気密
に接続された、中央部に開口を有する金属製の蓋部材と
、これらの蓋部材の開口に連通ずるよう当該蓋部材にそ
れぞれ気密に接続された、ブリュースター窓もしくはミ
ラーを保持するための保持筒体と、前記中央部筒体の外
壁からその細孔に貫通し、かつ当該中央部筒体の筒軸方
向に離間して多数設けられたアノード部材設置用貫通孔
に挿入されてその先端が細孔に連通ずる放電用開口部に
位置するよう絶縁材を介して当該中央部筒体に気密に固
定されたアノード部材と、前記中央部筒体の外壁からそ
の細孔に貫通し、かつ当該中央部筒体の筒軸方向に離間
して多数設けられた動作金属収納容器設置用貫通孔に挿
入されてその容器内部が前記中央部筒体の細孔に連通ず
るよう当該中央部筒体に気密に固定された動作金属収納
容器とを有してなり、前記金属製の中央部筒体によって
封体が構成されることを特徴とする。

〔発明の作用効果〕

本発明のホローカソード型金属蒸気レーザ管によれば、
構造が簡単であって、熟練を必要としない簡単な作業に
より組立てることができ、しかも負グロ一部分が安定し
て得られホローカソード型金属蒸気レーザ管としての特
性が十分に発揮される。

すなわち、カソードとされる金属製の中央部筒体によっ
て封体が構成されるので、従来のようなカソードを囲む
ガラス製封体を必要とせず、そのため熟練を要する高度
なガラス細工が不要となる。

そしてアノード部材設置用貫通孔および動作金属収納容
器設置用貫通孔を簡単な機械的作業により迅速に形成す
ることができ、しかもアノード部材の固定および動作金
属収納容器の固定を簡単な作業により行うことができ、
その結果構造が簡単であって、熟練を必要としない簡単
な作業により組立てることができ、結局機械化による工
業的な生産システムを確立することができて、大量生産
が可能となり、工業製品として実用化することが可能と
なる。

そして、アノード部材が金属製の中央部筒体に設けられ
たアノード部材設置用貫通孔に挿入されてその先端が細
孔に連通ずる放電用開口部に位置するよう絶縁材を介し
て当該中央部筒体に気密に固定されるので、アノード部
材がカソードとされる金属製の中央部筒体にいわば位置
固定されることとなり、従って当該金属製の中央部筒体
の熱膨張によって放電用開口部の位置が変化しても当該
放電用開口部の位置変化に追随してアノード部材の先端
位置も変化するので両者の相対的な位置関係が実質上変
化せず、その結果放電用開口部においては負グロ一部分
が安定して得られ、当該負グロ一部分が瞬間的にあるい
は部分的にアーク放電に移行することがなく、結局ホロ
ーカソード型の金属蒸気レーザ管としての特性が十分に
発揮される。

そして、金属製の中央部筒体、硬質ガラス製の端部筒体
、金属製の蓋部材を形成する材質として互いに熱膨張係
数の揃ったもの、例えば金属としてコバールを、硬質ガ
ラスとしてコバールガラスを選択することにより、高温
にさらされたときにも安定した気密性が得られ、早期ク
ラックの発生を有効に防止することができる。

〔発明の具体的構成〕

以下、本発明の構成を具体的に説明する。

第１図は本発明に係るホローカソード型金属蒸気レーザ
管の一例の概略を示す説明図である。同図において、１
０は金属製の中央部筒体、１１はレーザ発振路、２ＯＡ
および２０Ｂは硬質ガラス製の端部筒体、３０Ａおよび
３０Ｂは金属製の蓋部材、４０Ａおよび４０Ｂは保持筒
体、５０Ａおよび５０Ｂはブリュースター窓、６０はア
ノード部材、７０は動作金属収納容器、７１は動作金属
である。

金属製の中央部筒体１０は、カソードとされ、かつ封体
を構成するものである。１２は細孔であり、この細孔１
２は中央部筒体１０の筒軸方向に伸びていて、レーザ発
振路１１を形成するものである。この中央部筒体１０の
材質は、高い気密シール性を得る・ためにその両端に接
続される後述の硬質ガラス製の端部筒体２０Ａおよび２
０Ｂの材質と熱膨張係数の揃ったものを選択することが
好ましく、例えばコバールを好ましく用いることができ
る。

この中央部筒体１０の例えば上部側には、上部側外壁か
ら細孔１２に貫通し、かつ当該中央部筒体１０の筒軸方
向に離間する多数のアノード部材設置用貫通孔１３が設
けられ、そしてこのアノード部材設置用貫通孔１３にお
ける細孔１２に連通ずる側には放電用開口部１４が設け
られている。

これらのアノード部材設置用貫通孔１３には、それぞれ
アノード部材６０が挿入されてその先端６１が放電用開
口部１４の中央に位置するよう絶縁材６３を介して中央
部筒体１０に気密に固定されている。具体的には、第２
図（イ）および（ロ）にも示すように、例えばコバール
製の棒状のアノード部材６０と、このアノード部材６０
をその先端６１および後端６２がそれぞれ突出するよう
覆う例えばコバールガラス製の絶縁材６３とよりなるア
ノードユニット６５の多数を形成し、これらのアノード
ユニット６５を、それぞれアノード部材設置用貫通孔１
３にあらかじめ挿入されて気密に接続された筒状の例え
ばコバール製の接続用金属部材６４の筒内にアノード部
材６０の先端６１が放電用開口部１４に位置するよう挿
入し、そしてアノードユニット６５のガラス部分を熔融
してアノード部材６０と絶縁材６３と接続用金属部材６
４とを気密シールする。接続用金属部材６４は、アノー
ド部材設置用貫通孔１３の開口端部において接続用金属
部材６４を囲むこととなるようあらかじめ形成しておい
た溝１５に例えばワイア状の銅よりなるロウ材１６を配
置し、このロウ材１６によりロウ接することにより中央
部筒体１０に接続固定することができる。ロウ接は、水
素雰囲気の電気炉を利用して行うことができる。またロ
ウ接後におけるアノード部材６０と絶縁材６３と接続用
金属部材６４との気密シールのための加熱手段として、
例えばガスバーナ、高周波加熱等の手段を用いることが
できる。アノード部材６０、絶縁材６３および接続用金
属部材６４の材質は、高い気密シール性を得るために膨
張係数の揃ったものを選択することが好ましい。なお、
アノード部材６０の先端６１を細孔１２内にまで進入さ
せる場合にはレーザ光を遮断するおそれがあるので、当
該先端６１を当該細孔１２内に進入させないようにする
ことが肝要である。

中央部筒体１０の例えば下部側には、下部側外壁から細
孔１２に貫通し、かつ当該中央部筒体１０の筒軸方向に
離間する多数の動作金属収納容器設置用貫通孔１７が設
けられている。

７０は動作金属収納容器であり、これらの収納容器７０
は、それぞれ収納容器設置用貫通孔１７に挿入されて当
該収納容器７０の内部が細孔１２に連通ずるよう中央部
筒体１０に例えばワイア状の銅ロウによリロウ接されて
気密に固定されている。収納容器７０は、例えばニッケ
ル等の金属製のパイプの外端部を気密に圧着して形成し
た構造であり、当該収納容器７０の内部には、例えばカ
ドミウム、亜鉛、セレン、テルル等の動作金属７１が粉
末等の形態で収納されている。またヨウ素等が含まれて
いてもよい。

８１は中央部筒体１０の外周に配置された第１のヒータ
ーであり、８２は収納容器７０の外周に配置された第２
のヒーターである。第１のヒーター８１は中央部筒体１
０の内部全体を均一に加熱して動作金属７１の蒸気を均
一に分布させるためのものであり、第２のヒーター８２
は収納容器７０に収納された動作金属７１を加熱して蒸
発させるためのものである。

これらの第１のヒーター８１および第２のヒーター８２
は、別個独立に加熱制御することができる構成となって
おり、従って各収納容器７０を中央部筒体１０の加熱と
は独立に加熱温度を制御することができ、動作金属７１
を好適な状態で蒸気化することができる。また収納容器
７０が金属製であるので第２のヒーター８２による加熱
制御が容易となる利点がある。

中央部筒体１０は、第３図（イ）に示すように、それぞ
れアノード部材設置用貫通孔１３および収納容器設置用
貫通孔１７が形成された金属製の筒体部分１８の複数が
、第３図（ロ）に示すように、例えば銅ロウ等のロウ材
によりロウ接されて互いに気密に接続されてなるもので
あることが好ましい。

このような構成を採用することにより、中央部筒体１０
として長尺なものが必要とされる場合においても、貫通
孔の形成作業を簡単に行うことができて生産性を向上さ
せることができる。

２０Ａおよび２０Ｂはそれぞれ硬質ガラス製の端部筒体
であり、この端部筒体２ＯＡおよび２０Ｂは、それぞれ
中央部筒体１０の端部に気密に接続されて固定されてい
る。中央部筒体１０がコバールよりなるときは、当該端
部筒体２ＯＡおよび２０Ｂはコバールと熱膨張係数の揃
ったコバールガラスにより形成することが好ましい。

これらの端部筒体２０Ａおよび２０Ｂの内部には、それ
ぞれレーザ発振路１１の周囲空間を塞ぐよう例えば５Ｕ
Ｓ３０３等の金属よりなる金属蒸気通過規制用金属部材
２１Ａおよび２１Ｂが設けられ、そしてこれらの金属部
材２１Ａおよび２１Ｂは正の電位に保持されている。金
属蒸気通過規制用金属部材２１Ａは、第４図にも示すよ
うに、中央部に開口２２Ａを有する厚さが例えば０　、
２ｍｍ程度のほぼ円板状の形態を有してなり、その外周
部には互いに反対方向に屈曲されて端部筒体２ＯＡの内
壁に当接する多数の舌片２３Ａが設けられている。この
例においては３つの金属蒸気通過規制用金属部材２１Ａ
が設けられている。他方の端部筒体２０Ｂに設けられた
金属蒸気通過規制用金属部材２１Ｂも同様の構成である
。

これらの金属蒸気通過規制用金属部材２１Ａおよび２１
Ｂは、例えば第５図に示すように、中央部に開口２２を
有し、外周部に多数の舌片２３を有してなるほぼ円板状
の薄板２４を例えばエツチング、プレス成形等により形
成し、次いで舌片２３を交互に反対方向に屈曲させて形
成することができる。２５Ａおよび２５Ｂは放電空間内
に存在する不純物を吸収するためのゲッターであり、例
えばアルミニウムとジルコンの焼結板よりなる。　　　
　”３０Ａおよび３０Ｂはそれぞれ金属製の蓋部材であ
り、その中央部には開口３１Ａおよび３１Ｂが設けられ
ている。これらの蓋部材３０Ａおよび３０Ｂは、それぞ
れ端部筒体２ＯＡおよび２０Ｂの外端部に気密に接続さ
れて固定されている。硬質ガラス製の端部筒体２ＯＡお
よび２０Ｂがコバールガラスよりなるときは、蓋部材３
０Ａおよび３０Ｂはコバールガラスと熱膨張係数の揃っ
たコバールにより形成することが好ましい。

４０Ａおよび４０Ｂは例えば鉄とニッケルの合金よりな
る保持筒体であり、これらの保持筒体４０Ａおよび４０
Ｂは、それぞれ開口３１Ａおよび３１Ｂに連通ずるよう
蓋部材３０Ａおよび３０Ｂに気密に接続されている。第
１図の例は、外部ミラー型のホローカソード型金属蒸気
レーザ管であって、保持筒体４０Ａおよび４０Ｂの外端
部にそれぞれブリュースター窓５０Ａおよび５０Ｂが固
定されている。

なお、内部ミラー型のホローカソード型金属蒸気レーザ
管とする場合には、第６図に示すように、保持筒体４０
Ａおよび４０Ｂを例えば鉄とニッケルの合金により形成
し、その外端部にミラー５１Ａおよび５１Ｂを例えばフ
リットシール等により気密に接続固定すればよい。

そして、中央部筒体１０等によって構成された封体の内
部には、ヘリウム、クリプトン等の希ガスが封入されて
いる。

以上の実施例のホローカソード型金属蒸気レーザ管によ
れば、構造が簡単であって、熟練を必要としない簡単な
作業により組立てることができ、しかも負グロ一部分が
安定して得られホローカソード型金属蒸気レーザ管とし
ての特性が十分に発揮される。

すなわち、カソードとされる金属製の中央部筒体１０に
よって封体が構成されるので、従来のようなカソードを
囲むガラス製封体を必要とせず、そのため熟練を要する
高度なガラス細工が不要となる。そしてアノード部材設
置用貫通孔１３および動作金属収納容器設置用貫通孔１
７を簡単な機械的作業により迅速に形成することができ
、しかもアノード部材６０の固定および動作金属収納容
器７０の固定を簡単な作業により行うことができ、その
結果構造が簡単であって、熟練を必要としない簡単な作
業により組立てることができ、結局機械化による工業的
な生産システムを確立することができて、大量生産が可
能となり、工業製品として実用化することが可能となる
。

そして、アノード部材６０が金属製の中央部筒体１０に
設けられたアノード部材設置用貫通孔１３に挿入されて
その先端６１が細孔１２に連通する放電用開口部１４に
位置するよう絶縁材６３を介して当該中央部筒体１０に
気密に固定されるので、アノード部材６０がカソードと
される金属製の中央部筒体１０にいわば位置固定される
こととなり、従って当該金属製の中央部筒体１０の熱膨
張によって放電用開口部１４の位置が変化しても当該放
電用開口部１４の位置変化に追随してアノード部材６０
の先端６１の位置も変化するので両者の相対的な位置関
係が実質上変化せず、その結果放電用開口部１４におい
ては負グロ一部分が安定して得られ、当該負グロ一部分
が瞬間的にあるいは部分的にアーク放電に移行すること
がなく、結局ホローカソード型の金属蒸気レーザ管とし
ての特性が十分に発揮される。

そして、中央部筒体１０をコバール製、端部筒体２ＯＡ
および２０Ｂをコバールガラス製、蓋部材３０Ａおよび
３０Ｂをコバール製として互いに熱膨張係数の揃った材
質とすることにより、高温にさらされたときにも安定し
た気密性が得られ、早期クランクの発生を有効に防止す
ることができる。

また、アノード部材６０と、このアノード部材６０をそ
の先端６１および後端６２がそれぞれ突出するよう覆う
絶縁材６３と、この絶縁材６３の側面を覆うよう設けた
接続用金属部材６４とよりなるアノードユニット６５の
多数をあらかじめ形成しておいて、このアノードユニッ
ト６５をアノード部材設置用貫通孔１３に挿入して固定
するという構成を採用することにより、アノード部材６
０を高い気密性でしかも十分な絶縁性で簡単にアノード
部材設置用貫通孔１３内に固定することができる。

そして中央部筒体１０が、それぞれアノード部材設置用
貫通孔１３および動作金属収納容器設置用貫通孔１７が
形成された筒体部分１８の複数が互いに気密に接続され
てなることにより、長尺なホローカソード型金属蒸気レ
ーザ管を製造する場合にも、貫通孔１３および１７の形
成作業を簡単に行うことができて、生産性の向上を図る
ことができる。

そして動作金属収納容器７０が金属製であって金属ロウ
により中央部筒体１０に接続固定されることにより、当
該収納容器７０の接続固定作業を簡単に行うことができ
るうえ、第２のヒーター８２による加熱制御性が向上し
、適正な状態で金属蒸気を形成することができる。

そして端部筒体２ＯＡおよび２０Ｂの内部において、レ
ーザ発振路１１の周囲空間を塞ぐよう金属蒸気通過規制
用金属部材２１Ａおよび２１Ｂが設けられ、この金属部
材２１Ａおよび２１Ｂが正の電位に保持されることによ
り、これらの金属蒸気通過規制用金属部材２１Ａおよび
２１Ｂとカソードとされる中央部筒体１０の端面との間
でグロー放電が形成されてカタホレシス効果により、中
央部筒体１０の両端部からそれぞれ蓋部材３０Ａおよび
３０Ｂ側に向かって拡散しようとする金属蒸気が中央部
筒体１０側へ押し返されるようになり、また当該金属蒸
気通過規制用金属部材２１Ａおよび２１Ｂにより金属蒸
気が有効にトラップされる作用も得られるので、その結
果保持筒体４０Ａおよび４０Ｂに保持されたブリュース
ター窓５０Ａおよび５０Ｂもしくはミラー５１Ａおよび
５１Ｂの金属蒸気による汚損を回避することができ、高
い効率でレーザ光を発振させることができる。

そして端部筒体２０Ａおよび２０Ｂ内にそれぞれゲッタ
ー２５Ａおよび２５Ｂを配置することにより、放電空間
内に存在する不純物を除去することができるので、レー
ザ出力の低下を有効に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るホローカソード型金属蒸気レーザ
管の一実施例の概略を示す説明用断面図、第２図（イ）
および（ロ）はそれぞれアノードユニットの説明用断面
図および当該アノードユニソトが接続固定された状態を
示す説明用断面図、第３図（イ）および（ロ）はそれぞ
れ中央部筒体を構成要素である筒体部分の説明用断面図
および筒体部分が接続固定された状態を示す説明用断面
図、第４図は端部筒体の内部構造を詳細に示す説明用断
面図、第５図は金属蒸気通過規制部材の形成についての
説明図、第６図は内部ミラー型の構成とする場合の保持
筒体およびミラーの一例を示す説明用断面図、第７図は
従来試作されたホローカソード型金属蒸気レーザ管の一
例を示す説明用断面図である。 １０・・・中央部筒体　　　　１１・・・レーザ発振路
１．２・・・細孔 １３・・・アノード部材設置用貫通孔 １４・・・放電用開口部　　　１６・・・ロウ材１７・
・・収納容器設置用貫通孔 １８・・・筒体部分　　　　　２ＯＡ、２０Ｂ・・・端
部筒体２１Ａ、２１Ｂ・・・金属蒸気通過規制用金属部
材２２Ａ、２２Ｂ・・・開口　　　２３・・・舌片２５
　Ａ　、　２５　Ｂ・・・ゲッター　３０　Ａ　、　３
０　Ｂ・・・蓋部材３１Ａ、３１Ｂ・・・開口　　　　
４０Ａ、４０Ｂ・・・保持筒体５０　Ａ　、　５０　Ｂ
・・・ブリュースター窓５１Ａ、５１Ｂ・・・ミラー　
　６０・・・アノード部材６１・・・先端　　　　　　
　６３・・・絶縁材６４・・・接続用金属部材　　６５
・・・アノードユニット７０・・・動作金属収納容器　
７１・・・動作金属８１・・・第１のヒーター　　８２
・・・第２のヒーター９１・・・ガラス製封体　　　９
２・・・アノード部材９３・・・カソード部材　　　９
４・・・動作金属収納容器９５・・・放電用開口部 （イ） ２図 （ロ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）レーザ発振路を形成する筒軸方向に伸びる細孔を有
   し、カソードとされる金属製の中央部筒体と、 この金属製の中央部筒体の端部にそれぞれ気密に接続さ
   れた硬質ガラス製の端部筒体と、 これらの端部筒体の外端部にそれぞれ気密に接続された
   、中央部に開口を有する金属製の蓋部材と、 これらの蓋部材の開口に連通するよう当該蓋部材にそれ
   ぞれ気密に接続された、ブリュースター窓もしくはミラ
   ーを保持するための保持筒体と、前記中央部筒体の外壁
   からその細孔に貫通し、かつ当該中央部筒体の筒軸方向
   に離間して多数設けられたアノード部材設置用貫通孔に
   挿入されてその先端が細孔に連通する放電用開口部に位
   置するよう絶縁材を介して当該中央部筒体に気密に固定
   されたアノード部材と、 前記中央部筒体の外壁からその細孔に貫通し、かつ当該
   中央部筒体の筒軸方向に離間して多数設けられた動作金
   属収納容器設置用貫通孔に挿入されてその容器内部が前
   記中央部筒体の細孔に連通するよう当該中央部筒体に気
   密に固定された動作金属収納容器と を有してなり、 前記金属製の中央部筒体によって封体が構成されること
   を特徴とするホローカソード型金属蒸気レーザ管。 ２）金属製の中央部筒体が、筒体部分の複数が気密に接
   続されてなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載のホローカソード型金属蒸気レーザ管。 ３）動作金属収納容器が金属製であることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項または第２項記載のホローカソー
   ド型金属蒸気レーザ管。