JPS6326610U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6326610U JPS6326610U JP12127186U JP12127186U JPS6326610U JP S6326610 U JPS6326610 U JP S6326610U JP 12127186 U JP12127186 U JP 12127186U JP 12127186 U JP12127186 U JP 12127186U JP S6326610 U JPS6326610 U JP S6326610U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- semiconductor device
- end side
- transport direction
- rail groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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Description
第１図はこの考案に係る半導体装置の搬送レー
ルの一実施例による概要を模式的に示す構成説明
図、第２図ａ，ｂは同上一つの単位レール部材を
示す平面図、および側面図であり、また第３図お
よび第４図は従来例による半導体装置の搬送装置
の各別例による概要構成を示すそれぞれ正面図で
ある。 １……半導体装置（被搬送対象物）、１１……
レール部材、１２，１３……個々の各単位レール
部材、１２ａ，１３ａ……単位レール部材の結合
面、１２ｂ，１３ｂおよび１２ｃ，１３ｃ……単
位レール部材の一端部および他端部、１４……レ
ール溝、１４ａ，１４ｂ……レール溝の凹溝部。
ルの一実施例による概要を模式的に示す構成説明
図、第２図ａ，ｂは同上一つの単位レール部材を
示す平面図、および側面図であり、また第３図お
よび第４図は従来例による半導体装置の搬送装置
の各別例による概要構成を示すそれぞれ正面図で
ある。 １……半導体装置（被搬送対象物）、１１……
レール部材、１２，１３……個々の各単位レール
部材、１２ａ，１３ａ……単位レール部材の結合
面、１２ｂ，１３ｂおよび１２ｃ，１３ｃ……単
位レール部材の一端部および他端部、１４……レ
ール溝、１４ａ，１４ｂ……レール溝の凹溝部。
Claims (1)
- レール部材の軸芯部に、長手搬送方向の一端部
側から他端部側にかけて、被搬送対象半導体装置
を通過させ得るレール溝を貫通させると共に、こ
のレール溝を長手搬送方向に沿つて、所望回動角
度対応に捻回させたことを特徴とする半導体装置
の搬送レール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12127186U JPS6326610U (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12127186U JPS6326610U (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6326610U true JPS6326610U (ja) | 1988-02-22 |
Family
ID=31010383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12127186U Pending JPS6326610U (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6326610U (ja) |
-
1986
- 1986-08-06 JP JP12127186U patent/JPS6326610U/ja active Pending