JPS63265140A - 光フアイバ型湿度センサ - Google Patents
光フアイバ型湿度センサInfo
- Publication number
- JPS63265140A JPS63265140A JP10084287A JP10084287A JPS63265140A JP S63265140 A JPS63265140 A JP S63265140A JP 10084287 A JP10084287 A JP 10084287A JP 10084287 A JP10084287 A JP 10084287A JP S63265140 A JPS63265140 A JP S63265140A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- light
- core
- fiber core
- treated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 59
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 13
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 8
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract 1
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 abstract 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
- G01N21/77—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
- G01N21/78—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator producing a change of colour
- G01N21/81—Indicating humidity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の属する技術分野］
本発明は光ファイバ自体を湿度センサとして用い、気体
等の相対温度が測定可能な光ファイバ型湿度センサに関
する。
等の相対温度が測定可能な光ファイバ型湿度センサに関
する。
［従来の技術］
従来の湿度測定は、セラミック・プラスチック等の素材
の湿度に対する抵抗変化や容量変化を利用し、これらを
電気的に検出して湿度を求める方式が大半を占めている
。
の湿度に対する抵抗変化や容量変化を利用し、これらを
電気的に検出して湿度を求める方式が大半を占めている
。
また、光ファイバを用いる方式としては、第５図に示す
ように、送光用光ファイバ１の出射端と受光用光ファイ
バ２の入射端とを光学レンズ４゜４′を介して空間３を
隔てて対向させて配置し、空間３内の空気の湿度変化に
よるその赤外吸収強度変化を利用して、光源５からの光
を送光用光ファイバ１．空間３および受光用光ファイバ
２を伝送させてその強度を受光器６にて検出する方式が
ある。更に、この方式を改良したものとして、送・受光
用光ファイバ間に特定波長の吸収係数が湿度によって変
化する感湿樹脂を介装する方式も提案されている（特開
昭５６−６７７３８号）。
ように、送光用光ファイバ１の出射端と受光用光ファイ
バ２の入射端とを光学レンズ４゜４′を介して空間３を
隔てて対向させて配置し、空間３内の空気の湿度変化に
よるその赤外吸収強度変化を利用して、光源５からの光
を送光用光ファイバ１．空間３および受光用光ファイバ
２を伝送させてその強度を受光器６にて検出する方式が
ある。更に、この方式を改良したものとして、送・受光
用光ファイバ間に特定波長の吸収係数が湿度によって変
化する感湿樹脂を介装する方式も提案されている（特開
昭５６−６７７３８号）。
［発明が解決しようとする問題点］
ところが、上記の湿度に対する抵抗変化等を電気的に検
出する方式では、高電圧環境下における湿度検出は適用
上、電気雑音など多くの問題がある。更に、この方式で
は、湿度により抵抗等が変化するセンサが設置された極
く限られた領域内の湿度しか検出できず、長区間に亙る
湿度分布を測定する場合には数多くのセンサを設置する
必要がある。
出する方式では、高電圧環境下における湿度検出は適用
上、電気雑音など多くの問題がある。更に、この方式で
は、湿度により抵抗等が変化するセンサが設置された極
く限られた領域内の湿度しか検出できず、長区間に亙る
湿度分布を測定する場合には数多くのセンサを設置する
必要がある。
また、第５図に示す光学方式では、高電圧下でも適用可
能であるが、湿度変化などによって送光用光ファイバ、
１と受光用光ファイバ２との光軸がずれたり、あるいは
外気中のほこりの影響を受けたりし易く安定した測定が
困難であり、限定された環境下でしか使用できない。更
に、光学レンズや光ファイバ１，２を支持する治具等に
高精度加工が要求される。
能であるが、湿度変化などによって送光用光ファイバ、
１と受光用光ファイバ２との光軸がずれたり、あるいは
外気中のほこりの影響を受けたりし易く安定した測定が
困難であり、限定された環境下でしか使用できない。更
に、光学レンズや光ファイバ１，２を支持する治具等に
高精度加工が要求される。
一方、送・受光用光ファイバ間に感湿樹脂を介装する方
式では、光学系の固定が容易となると共に湿度以外のほ
こり等の影響を受けにくくなる。
式では、光学系の固定が容易となると共に湿度以外のほ
こり等の影響を受けにくくなる。
しかし、感湿樹脂の吸湿膨潤によって感湿樹脂と光ファ
イバとの結合部にマイクロベンドが生じ、これに伴い損
失が増加し安定した測定が難しい。
イバとの結合部にマイクロベンドが生じ、これに伴い損
失が増加し安定した測定が難しい。
また、感湿樹脂が経年劣化し十分な長期性能が得られな
い。更に光伝送路に感湿樹脂を挿入する方式であり、感
湿樹脂を厚くして湿度変化に対する感度を上げようとす
ると、必然的に光の減衰が大きくなり受光量が低下する
という問題がある。
い。更に光伝送路に感湿樹脂を挿入する方式であり、感
湿樹脂を厚くして湿度変化に対する感度を上げようとす
ると、必然的に光の減衰が大きくなり受光量が低下する
という問題がある。
また、特定の波長の光のみを検出する方式であるため、
装置が高価なものとなる。
装置が高価なものとなる。
本発明は以上の従来技術の問題点を解消すべく創案され
たものであり、本発明の目的は、高安定。
たものであり、本発明の目的は、高安定。
高精度でしかも適用範囲の広い湿度測定を安価に実施で
きる光ファイバ型湿度センサを提供することを目的とす
る。
きる光ファイバ型湿度センサを提供することを目的とす
る。
［問題点を解決するための手段］
上記の目的を達成するために、本発明は、光ファイバの
石英コア表面に、ＳｉＯ２の微粒子からなる多孔性の表
面層を設けて表面処理光ファイバコ・アと成し、前記表
面処理光ファイバコアの外周がその湿度を測定する被測
定気体によって包囲されるよう配置し、前記表面処理光
ファイバコアに光を入射したときの光の強度変化から前
記被測定気体の湿度を求める構成となっている。
石英コア表面に、ＳｉＯ２の微粒子からなる多孔性の表
面層を設けて表面処理光ファイバコ・アと成し、前記表
面処理光ファイバコアの外周がその湿度を測定する被測
定気体によって包囲されるよう配置し、前記表面処理光
ファイバコアに光を入射したときの光の強度変化から前
記被測定気体の湿度を求める構成となっている。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図を参照しながら詳細に説明
する。
する。
第１図は、本発明の光ファイバ型湿度センサの一実施例
を示す説明図である。図において７は、石英コア表面に
Ｓ ｉｏ ２ （Ｍ化ケイ素）の微粒子からなる多孔
性の表面層を設けて形成した表面処理光ファイバコアで
あり、空気等の被測定気体で満たされた測定領域８に配
置される。９は光源、１０は受光器である。
を示す説明図である。図において７は、石英コア表面に
Ｓ ｉｏ ２ （Ｍ化ケイ素）の微粒子からなる多孔
性の表面層を設けて形成した表面処理光ファイバコアで
あり、空気等の被測定気体で満たされた測定領域８に配
置される。９は光源、１０は受光器である。
第２図は、表面処理光ファイバコア７の表面状態を示す
説明図である。図示するように、石英コア１１の表面に
はサブミクロン程度のＳ ｉ Ｏ２の微粒子１２が多数
付着されて多孔性の表面層が形成されており、被測定気
体中の水分１３を吸着させる効果を有する。
説明図である。図示するように、石英コア１１の表面に
はサブミクロン程度のＳ ｉ Ｏ２の微粒子１２が多数
付着されて多孔性の表面層が形成されており、被測定気
体中の水分１３を吸着させる効果を有する。
ところで、この多孔性の表面層による水分の吸着量は、
被測定気体中の水分量と温度とに相関し、結果的には相
対湿度に相関したものとなることがわかった。
被測定気体中の水分量と温度とに相関し、結果的には相
対湿度に相関したものとなることがわかった。
表面処理光ファイバコア７においては、光源９からの光
は石英コア１１内を反射伝播して受光器１０に達するも
のであるが、多孔性の表面層には水分１３が吸着されて
いるために、石英コア１１又はＳｉＯ２微粒子１２と吸
着された水分１３との界面に光が当たるとこの界面で光
の漏洩及び散乱が生じ、これにより光損失が発生する。
は石英コア１１内を反射伝播して受光器１０に達するも
のであるが、多孔性の表面層には水分１３が吸着されて
いるために、石英コア１１又はＳｉＯ２微粒子１２と吸
着された水分１３との界面に光が当たるとこの界面で光
の漏洩及び散乱が生じ、これにより光損失が発生する。
この光損失の値は吸着された水分の量に比例するから、
結局表面処理光ファイバコア７を透過する光の強度は測
定領域中の気体の相対湿度に比例して変化することにな
り、この透過光を受光器１０で検出することにより相対
湿度を検出することができる。
結局表面処理光ファイバコア７を透過する光の強度は測
定領域中の気体の相対湿度に比例して変化することにな
り、この透過光を受光器１０で検出することにより相対
湿度を検出することができる。
尚、Ｓｉｏ２の微粒子からなる多孔性の表面層は例えば
次のようにして形成される。石英コア１１の表面にシリ
コン樹脂、シリコンゴム等のシリコン重合体を塗布後こ
れを燃焼させて酸化し、次にアルコールで表面洗浄する
。こうすると石英コア１１の表面には、シリコン重合体
の酸化物としてのＳｉＯ２微粒子が多孔性状態で残置さ
れて、所望の多孔性の表面層が形成されるものである。
次のようにして形成される。石英コア１１の表面にシリ
コン樹脂、シリコンゴム等のシリコン重合体を塗布後こ
れを燃焼させて酸化し、次にアルコールで表面洗浄する
。こうすると石英コア１１の表面には、シリコン重合体
の酸化物としてのＳｉＯ２微粒子が多孔性状態で残置さ
れて、所望の多孔性の表面層が形成されるものである。
また、この多孔性の表面層は、石英コア１１の軸方向に
沿い適宜間隔を隔てて複数箇所設けることもできる。こ
うすることにより、多数箇所の相対湿度を１本の表面処
理光ファイバコア７で測定可能である。
沿い適宜間隔を隔てて複数箇所設けることもできる。こ
うすることにより、多数箇所の相対湿度を１本の表面処
理光ファイバコア７で測定可能である。
このように、本発明では表面処理光ファイバコア７自体
を湿度センサとして用いているため、高電圧下は勿論の
こと広範な環境下において使用できると共に経年劣化や
光学系の軸ずれ等による損失もなく安定した高精度の湿
度測定ができる。更に測定波長に制限もなく安価に実施
できる。
を湿度センサとして用いているため、高電圧下は勿論の
こと広範な環境下において使用できると共に経年劣化や
光学系の軸ずれ等による損失もなく安定した高精度の湿
度測定ができる。更に測定波長に制限もなく安価に実施
できる。
次に第３図には、１１定領域８を複数個設けて多点検出
を行う場合の実施例を示す。
を行う場合の実施例を示す。
図において１４は光源９を変調してパルス光を発生させ
るためのパルス発生器、１５は受光器１０に後方散乱光
を入射させる方向性結合器、１６はパルス発生器を制御
するためのタイミング発生器、１７は湿度検出位置と相
対湿度を算出する信号処理回路、１８は測定結果を表示
するディスプレー装置である。
るためのパルス発生器、１５は受光器１０に後方散乱光
を入射させる方向性結合器、１６はパルス発生器を制御
するためのタイミング発生器、１７は湿度検出位置と相
対湿度を算出する信号処理回路、１８は測定結果を表示
するディスプレー装置である。
パルス発生器１４により光源９を変調してパルス光を発
生させ、これを前述の表面処理光ファイバコア７に入射
させる。表面処理光ファイバコア７の軸方向には、被測
定気体が包囲する複数の測定領域８が設けられており、
表面処理光ファイバコア７に入射されたパルス光は各測
定領域８の被測定気体の湿度変化に対応してその後方散
乱光強度に変化を生ずる。すなわち表面処理光ファイバ
コア７では被測定気体の相対湿度に比例して光の漏洩及
び散乱により光損失が発生するわけであるが、この散乱
により生ずる後方散乱光強度もまたｔｇ対湿度に比例し
て変化するのである。
生させ、これを前述の表面処理光ファイバコア７に入射
させる。表面処理光ファイバコア７の軸方向には、被測
定気体が包囲する複数の測定領域８が設けられており、
表面処理光ファイバコア７に入射されたパルス光は各測
定領域８の被測定気体の湿度変化に対応してその後方散
乱光強度に変化を生ずる。すなわち表面処理光ファイバ
コア７では被測定気体の相対湿度に比例して光の漏洩及
び散乱により光損失が発生するわけであるが、この散乱
により生ずる後方散乱光強度もまたｔｇ対湿度に比例し
て変化するのである。
各測定領域８で相対湿度に対応した強度を有する後方散
乱光は、方向性結合器１２を介して受光器１０により検
出される。一方パルス発生器１４のパルス発生時間はタ
イミング−発生器１６により制御されているので、タイ
ミング発生器のタイミング信号より光パルス発生時間を
知ることができる。信号処理回路１７は、この光パルス
発生時間と受光器１０の後方散乱光検出時間とから、湿
度検出位置を距離の値として特定するとともに、後方散
乱光強度の値から相対湿度を求める。そしてディスプレ
イ装置１５で検出位置とそこの相対湿度を表示する。
乱光は、方向性結合器１２を介して受光器１０により検
出される。一方パルス発生器１４のパルス発生時間はタ
イミング−発生器１６により制御されているので、タイ
ミング発生器のタイミング信号より光パルス発生時間を
知ることができる。信号処理回路１７は、この光パルス
発生時間と受光器１０の後方散乱光検出時間とから、湿
度検出位置を距離の値として特定するとともに、後方散
乱光強度の値から相対湿度を求める。そしてディスプレ
イ装置１５で検出位置とそこの相対湿度を表示する。
第４図は、表面処理光ファイバコアに２箇所の測定領域
を設けて同一条件の空気で包囲し、第３図に示す実施例
（但し、ディスプレー装置１５は除く）の構成で相対湿
度と後方散乱光強度との関係を求めた実験結果を示す線
図である。図示するとおり、相対湿度を２０％から８０
％へ変化させると、測定領域において後方散乱光強度に
２ｄＢ以上の増加が検出され、さらに応答性、再現性に
も優れていることが確認された。
を設けて同一条件の空気で包囲し、第３図に示す実施例
（但し、ディスプレー装置１５は除く）の構成で相対湿
度と後方散乱光強度との関係を求めた実験結果を示す線
図である。図示するとおり、相対湿度を２０％から８０
％へ変化させると、測定領域において後方散乱光強度に
２ｄＢ以上の増加が検出され、さらに応答性、再現性に
も優れていることが確認された。
［発明の効果コ
以上説明したように、本発明は石英コア表面にＳｉＯ２
の微粒子からなる多孔性の表面層を設けて表面処理光フ
ァイバコアと成し、この表面処理光ファイバコア自体を
湿度センサとして相対湿度を測定するものなので、 （１）光ファイバ以外の光学的素子を全く必要とせず、
また赤外線等の特定波長で測定する必要もない。このた
め測定系の簡素化が図れ、取扱いも容易であると共にコ
ストを低減できる。
の微粒子からなる多孔性の表面層を設けて表面処理光フ
ァイバコアと成し、この表面処理光ファイバコア自体を
湿度センサとして相対湿度を測定するものなので、 （１）光ファイバ以外の光学的素子を全く必要とせず、
また赤外線等の特定波長で測定する必要もない。このた
め測定系の簡素化が図れ、取扱いも容易であると共にコ
ストを低減できる。
（２）経年劣化や、光学レンズ等の介在による損失等の
発生要因がなく、長期信頼性が高い。
発生要因がなく、長期信頼性が高い。
（３）１点のみではなく、表面処理光ファイバコアの長
手方向に沿った相対湿度の分布計測が可能である。
手方向に沿った相対湿度の分布計測が可能である。
（４）相対湿度の測定には、従来転球、湿球の温度差か
ら求める等２センサ差分方式で行う必要があったが、セ
ンサは１つで充分である。
ら求める等２センサ差分方式で行う必要があったが、セ
ンサは１つで充分である。
（５）感湿素子を介することなく、表面処理光ファイバ
コアに直接気体を接触させて検出するものであり、応答
性、再現性に優れている。
コアに直接気体を接触させて検出するものであり、応答
性、再現性に優れている。
等、従来にない格別の効果を奏す−る画期的な発明であ
る。
る。
第１図は本発明の光ファイバ型温度センサの一実施例を
示す説明図、第２図は表面処理光ファイバコアの表面状
態を示す説明図、第３図は多点検出を行う場合の他の実
施例、第４図は相対湿度と後方散乱光強度との関係を求
めた実験結果を示す線図、第５図は従来の光ファイバを
用いた湿度センサの説明図である。 ７：表面処理光ファイバコア、 ８：測定領域、 ９：光源、 １０：受光器、 １１：石英コア、 １２ ： Ｓ ｉＯ２微粒子、 １３：水分、 １４：パルス発生器、 １５二方向性結合器、 １６：タイミング発生器、 １７：信号処理回路、 １８：ディスプレイ装置。 児 １ 辺 −２目 ＋３ ： 、ｌ＼か 茅 ３ 日 見 ４ の 距龜 〔−ｒｎ］ 死Ｓ図 ４．４’： 勇！デＬンスー ５ ニ ラｔａ呵； ６ ：１Ｌ息
示す説明図、第２図は表面処理光ファイバコアの表面状
態を示す説明図、第３図は多点検出を行う場合の他の実
施例、第４図は相対湿度と後方散乱光強度との関係を求
めた実験結果を示す線図、第５図は従来の光ファイバを
用いた湿度センサの説明図である。 ７：表面処理光ファイバコア、 ８：測定領域、 ９：光源、 １０：受光器、 １１：石英コア、 １２ ： Ｓ ｉＯ２微粒子、 １３：水分、 １４：パルス発生器、 １５二方向性結合器、 １６：タイミング発生器、 １７：信号処理回路、 １８：ディスプレイ装置。 児 １ 辺 −２目 ＋３ ： 、ｌ＼か 茅 ３ 日 見 ４ の 距龜 〔−ｒｎ］ 死Ｓ図 ４．４’： 勇！デＬンスー ５ ニ ラｔａ呵； ６ ：１Ｌ息
Claims (6)
- （１） 光ファイバの石英コア表面に、ＳｉＯ＿２の微
粒子からなる多孔性の表面層を設けて表面処理光ファイ
バコアと成し、前記表面処理光ファイバコアの外周がそ
の相対湿度を測定する被測定気体によって包囲されるよ
う配置し、前記表面処理光ファイバコアに光を入射した
ときの光の強度変化から前記被測定気体の相対湿度を求
める如く構成したことを特徴とする光ファイバ型湿度セ
ンサ。 - （２） 前記多孔性の表面層が、前記石英コアの軸方向
に沿い適宜間隔を隔てて複数箇所設けられていることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光ファイバ型湿
度センサ。 - （３） 前記多孔性の表面層は、前記石英コアにシリコ
ーン重合体を塗布した後、該シリコーン重合体を燃焼さ
せ、次にその表面を洗浄して形成されるものであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第２項記載の光
ファイバ型湿度センサ。 - （４） 前記表面処理光ファイバコアに光を入射したと
きに透過光の強度から前記被測定気体の湿度を求める如
く構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至
第２項記載の光ファイバ型湿度センサ。 - （５） 前記表面処理光ファイバコアに光を入射したと
きの後方散乱光の強度から前記被測定気体の湿度を求め
る如く構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項
乃至第２項記載の光ファイバ型湿度センサ。 - （６） 前記表面処理光ファイバコアにパルス光を入射
したときの後方散乱光の時間的変化から前記表面処理光
ファイバコアの軸方向に沿う前記被測定気体の湿度分布
を求める如く構成したことを特徴とする特許請求の範囲
第１項乃至第２項記載の光ファイバ型湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10084287A JPS63265140A (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 光フアイバ型湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10084287A JPS63265140A (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 光フアイバ型湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63265140A true JPS63265140A (ja) | 1988-11-01 |
Family
ID=14284573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10084287A Pending JPS63265140A (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | 光フアイバ型湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63265140A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005005959A3 (en) * | 2003-06-30 | 2005-07-28 | Univ Mississippi | Moisture sensor based on evanescent wave light scattering by porous sol-gel silica coating |
-
1987
- 1987-04-23 JP JP10084287A patent/JPS63265140A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005005959A3 (en) * | 2003-06-30 | 2005-07-28 | Univ Mississippi | Moisture sensor based on evanescent wave light scattering by porous sol-gel silica coating |
| US7037554B2 (en) * | 2003-06-30 | 2006-05-02 | Mississippi State University | Moisture sensor based on evanescent wave light scattering by porous sol-gel silica coating |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4278349A (en) | Fiber optical temperature sensors | |
| Hartog | A distributed temperature sensor based on liquid-core optical fibers | |
| US4362057A (en) | Optical fiber temperature sensor | |
| US20070286547A1 (en) | Distributed optical fiber sensor with controlled response | |
| US5903685A (en) | Sensor arrangement | |
| CN113503917A (zh) | 一种基于微纳光纤的柔性温度和压力传感器 | |
| US5627934A (en) | Concentric core optical fiber with multiple-mode signal transmission | |
| CN107850495A (zh) | 温度测量用基板以及温度测量系统 | |
| US4714829A (en) | Fibre optic sensing device and method | |
| JPH0311644B2 (ja) | ||
| JPS63265140A (ja) | 光フアイバ型湿度センサ | |
| JPS62204143A (ja) | 光フアイバ型湿度センサ | |
| CN109668652B (zh) | 一种玻璃管填充的光纤温度测量装置 | |
| JPH01193628A (ja) | 平均湿度の測定方法 | |
| JPS629255A (ja) | 湿度の測定方法およびこれに使用する湿度センサ | |
| JP2781269B2 (ja) | 光ファイバセンサ | |
| CN110440951A (zh) | 一种等离子气体的温度测量装置 | |
| JPH03291551A (ja) | 溶液成分測定装置 | |
| JPS6066137A (ja) | 液体屈折率センサヘツド | |
| JPH0216436A (ja) | 光ファイバ型温湿度センサ | |
| JPH01193629A (ja) | 光ファイバ型煙検知センサ | |
| KR101894183B1 (ko) | 광 도파로 센서 및 이를 이용한 농도 측정 시스템 | |
| KR20230018560A (ko) | Otdr을 적용한 온도감지장치 | |
| Takeo et al. | Application of a fiber optic refractometer for monitoring skin condition | |
| JPH01219526A (ja) | 光学式温度検出装置 |