JPS63264315A - Molding die - Google Patents

Molding die

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Publication number
JPS63264315A
JPS63264315A JP9733687A JP9733687A JPS63264315A JP S63264315 A JPS63264315 A JP S63264315A JP 9733687 A JP9733687 A JP 9733687A JP 9733687 A JP9733687 A JP 9733687A JP S63264315 A JPS63264315 A JP S63264315A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
cull
molten resin
mold
fins
Prior art date
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Pending
Application number
JP9733687A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomoo Sakamoto
友男 坂本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS63264315A publication Critical patent/JPS63264315A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/02Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce occurrence of voids in a finished item by a method wherein fins, which make the air contained in molten resin fine bubbles, are provided at a cull part. CONSTITUTION:A preheated resin tablet 5, which is charged in a pot 6, is placed on a cull 7. After that, by lowering a plunger 13, the tablet 5 is turned into molten resin 14. Fins 15 are provided on the central bottom and inner wall parts of the cull 7. Since the molten resin 14 is flowed by being directed by the guide 16 at the center of the bottom of the cull 7 into sub-runners 9 and, sent through gaps 18 part at the upper part of agitating fins 17, the molten resin 14 is agitated so as to produce intricate flow therein by fine bubble parts 19 consisting of the fins 15 of the guide 16, the agitating fins 17 and the like, resulting in turning the air in the molten resin 14 into fine bubbles. Since the fine bubbles in the molten resin 14 are 14 are crushed by the large final pouring pressure applied with the plunger, no bubble develops is a hardened molding.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はモールド型、特にカル部分で溶かされたレジン
を、レジン流路を介して各キャビティに移送するトラン
スファモールド用のモールド型に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a mold, and particularly to a mold for a transfer mold in which resin melted in a cull portion is transferred to each cavity via a resin flow path.

(従来の技術〕 レジンモールド型半導体装置の製造における封止(パン
ケージ)にあっては、一般にトランスファモールドプレ
スが用いられている。この装置では、チップ搭載、ワイ
ヤ張りが終了したリードフレームをモールド型(成形型
)の上型と下型との間に挟んだ(型締め)後、上型中央
のボット内に投入されかつ下型中央のカル上に載るレジ
ンタブレットを、プランジャで加圧加熱して溶融させ、
溶けたレジンを上・下型によって形成されたレジン流路
(メインランナ、サブランナ、ゲート)を通してキャビ
ティ内に送り込み、キャビティ内に位置するリードフレ
ーム部分をレジンで被うようになっている。また、キャ
ビティおよびレジン流路内のレジンはキュア処理されて
硬化するので、硬化した成形品は上型と下型とが引き離
された(型開き)後取り出される。
(Prior art) A transfer mold press is generally used for sealing (pancage) in the manufacture of resin molded semiconductor devices.In this equipment, a lead frame with chips mounted and wire tensioned is placed in a mold. After being sandwiched between the upper and lower molds (mold clamping), the resin tablet placed in the bot in the center of the upper mold and placed on the cull in the center of the lower mold is heated under pressure with a plunger. to melt it,
Melted resin is fed into the cavity through the resin flow path (main runner, sub-runner, gate) formed by the upper and lower molds, and the lead frame portion located inside the cavity is covered with resin. Further, since the resin in the cavity and the resin flow path is cured and hardened, the cured molded product is taken out after the upper mold and lower mold are separated (mold opening).

ところで、前記トランスファモールドプレスは、たとえ
ば、工業調査会発行「電子材料J 1983年別冊号、
昭和58年11月15日発行、P2S5−P2S5に記
載されている。この文献には、金型(モールド型)にお
けるランナ、ゲートの形状が直接成形歩留りや後の品質
に影響するボイド。
By the way, the transfer mold press is described, for example, in "Electronic Materials J, 1983 Special Issue," published by Kogyo Research Association.
Published November 15, 1980, described in P2S5-P2S5. This document describes voids that directly affect the molding yield and subsequent quality due to the shape of the runner and gate in the mold.

ブリスタ、マイクロクランクなどに関連するため、その
使用については使用するエポキシ樹脂やリードフレーム
形状、成形条件とからめて慎重に決める必要がある旨記
載されている。また、同文献には耐湿性の向上のため、
内部ボイドやマイクロクラックをなくすことが不可欠で
あることも記載されている。
Since it is related to blisters, microcranks, etc., it is stated that its use must be carefully determined in consideration of the epoxy resin used, the shape of the lead frame, and molding conditions. In addition, in the same document, in order to improve moisture resistance,
It is also stated that it is essential to eliminate internal voids and microcracks.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

従来のトランスファ用のモールド型においては、ポット
とタブレットの隙間に介在する空気(エアー)や、もと
もとタブレット内に存在するエアーが、プランジャで圧
縮された際、レジンとともに巻き込まれてキャビティま
で大きな泡の状態で運ばれ、キャビティ内で最終注入圧
力が加わってもつぶれることなく残留してしまい、これ
がボイドの原因となるということが本発明者によってあ
きらかにされた。すなわち、本発明者は、トランスファ
モールドの際、最終注入圧力を加えない状態、換言する
ならば、レジンがキャビティ内に注入されかつレジンが
硬化しない前のものを観察して見た。この最終注入圧力
を加える前のレジン注入状態では、キャビティ内部はレ
ジンで充填されたとは言えポーラスであり、細かいエア
ーが多数存在する。そこで、本発明者は、キャビティ内
のボイドを低減するには、キャビティ内に送り込まれる
レジン内の空気塊(気泡)の大きさを、最終注入圧力に
よって潰すことができる大きさにしておくことによって
、完成品におけるボイドの発生率を低減できることに気
が付き本発明を成した。
In conventional transfer molds, when the air that exists in the gap between the pot and the tablet, or the air that originally exists inside the tablet, is compressed by the plunger, it gets caught up with the resin and creates large bubbles that reach the cavity. The inventors have clarified that the material is transported in a state in which it remains in the cavity without being crushed even when the final injection pressure is applied, and this causes voids. That is, the present inventor observed a state in which no final injection pressure was applied during transfer molding, in other words, a state in which the resin was injected into the cavity and before the resin had hardened. In the resin injection state before this final injection pressure is applied, although the inside of the cavity is filled with resin, it is porous and contains a large amount of fine air. Therefore, in order to reduce the voids inside the cavity, the inventor of the present invention decided to set the size of the air masses (bubbles) in the resin fed into the cavity to a size that can be crushed by the final injection pressure. The inventors realized that it was possible to reduce the incidence of voids in finished products and developed the present invention.

本発明の目的は、ボイド発生を低減できるモールド型を
堤供することにある。
An object of the present invention is to provide a mold that can reduce the occurrence of voids.

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
The above and other objects and novel features of the present invention include:
It will become clear from the description of this specification and the accompanying drawings.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、本発明のモールド型は、レジンタブレットを
!!置するカル部分に、溶けたレジン中に含まれる空気
を細泡化する作用をするフィンが設けられている。
In other words, the mold of the present invention is a resin tablet! ! The cull part where the resin is placed is equipped with fins that work to make the air contained in the melted resin into fine bubbles.

〔作用〕[Effect]

上記した手段によれば、本発明のモールド型にあっては
、カル部分にフィンが設けられている。
According to the above means, in the mold of the present invention, the fins are provided in the cull portion.

このため、レジンの輸送路入口であるポットに投入され
てカル上に截ったレジンは、プランジャで押し出される
際、カルのフィン部分で撹拌されて層流から乱流に変わ
る結果、この流れの変化によってレジン内の気泡は細泡
化されてそれぞれ細かな泡となる。この結果、キャビテ
ィ内に至った微小な気泡は、前記プランジャによる最終
注入圧力によって押し潰され、硬化したレジンパッケー
ジ内における気泡(ボイド)の発生は抑止される。
For this reason, when the resin is put into the pot, which is the entrance of the resin transport path, and is cut onto the cull, when it is pushed out by the plunger, it is stirred by the fins of the cull, and as a result, the flow changes from laminar to turbulent. Due to this change, the air bubbles in the resin become finer and smaller. As a result, the minute air bubbles that have reached the inside of the cavity are crushed by the final injection pressure from the plunger, and the generation of air bubbles (voids) within the cured resin package is suppressed.

したがって、耐湿性の優れたモールド品が製造されるこ
とになる。
Therefore, a molded product with excellent moisture resistance can be manufactured.

〔実施例〕〔Example〕

以下図面を参照して本発明の一実施例について説明する
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例によるモールド型におけるカ
ル部を示す平面図、第2図は第1図の■−■線に沿う断
面間、第3図は同じくカル部におけるレジンの流れ方を
示す模式的平面図、第4図は同じくモールド型の要部を
示す断面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a cull in a mold according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line ■-■ in FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view showing how resin flows in the cull. FIG. 4 is a schematic plan view showing the same, and FIG. 4 is a sectional view showing the main parts of the mold.

この実施例においては、モールド型の下型のカル部分に
特徴がある。このカル部分を説明する前に、第5図を参
照しながらモールド型全体について節単に説明する。
This embodiment is characterized by the cull portion of the lower die of the mold. Before explaining this cull portion, the entire mold will be briefly explained with reference to FIG.

モールド型(金型)1は、第1図に示すように、下型2
と上型3(!:からなっている。被モールド物、すなわ
ち、組立が終了したリードフレーム4は、この上・下型
3.2間に挟持される。上型3の中央にはレジンタブレ
ット5が投入される円筒状のボット6が設けられている
。また、このボット6に対応する下型2上には、カル7
と呼ぶ窪みが設けられている。前記ボントロ内に投入さ
れた予備加熱されたレジンタブレット5は、このカル7
上に載る。また、前記カル7がらはランナ8と呼ぶレジ
ン流路が延びている。このランナ8はサブランナ9.ゲ
ート10と呼称されているレジン流路と続いて各キャビ
ティ11に続く。なお、キャビティ11は前記上型3に
も設けられ、上・下型3゜2のキャビティ11でモール
ド空間を形成する。
As shown in FIG.
and an upper mold 3 (!:).The object to be molded, that is, the assembled lead frame 4, is held between the upper and lower molds 3.2.A resin tablet is placed in the center of the upper mold 3. A cylindrical bot 6 into which the bot 5 is introduced is provided.A cylindrical bot 6 is provided on which the bot 6 is placed.
There is a depression called. The preheated resin tablet 5 put into the Bontro is
be placed on top. Further, a resin flow path called a runner 8 extends from the cull 7 . This runner 8 is sub-runner 9. A resin flow path, referred to as a gate 10 , continues into each cavity 11 . The cavity 11 is also provided in the upper mold 3, and the cavities 11 in the upper and lower molds 3°2 form a mold space.

また、サブランナ9およびキャビティ11の終端には、
極めて狭い空間からなるエアーベント12が設けられて
いる。これらエアーベント】2はモールド時の空気が抜
ける通路となっている。
Moreover, at the end of the subrunner 9 and the cavity 11,
An air vent 12 consisting of an extremely narrow space is provided. These air vents 2 serve as passages through which air escapes during molding.

モールド時には、上・下型3,2間にリードフレーム4
が挟まれ、その後、予備加熱されたレジンタブレット5
がポット6内に投入される。ついで前記ボット6内をプ
ランジャ13が降下する結果、溶は始めたレジンタブレ
ット5はプランジ+13による圧縮とも相俟って溶融レ
ジン】4となってカル7からランナ8内に流れ込み、つ
いで、サブランナ9.ゲート10を通ってキャビティ1
1内に送り込まれる。溶融レジン14は一定時間後には
、キュアされて硬化する。そこで、下型2と上型3は開
かれ、モールド品が取り出され、−回のモールド作業が
終了する。
During molding, a lead frame 4 is placed between the upper and lower molds 3 and 2.
is sandwiched, and then preheated resin tablet 5
is put into pot 6. Then, as a result of the plunger 13 descending inside the bot 6, the resin tablet 5 that has started melting is combined with the compression by the plunger +13 to become a molten resin 4, which flows from the cull 7 into the runner 8, and then into the sub-runner 9. .. Cavity 1 through gate 10
sent into 1. The molten resin 14 is cured and hardened after a certain period of time. Then, the lower mold 2 and the upper mold 3 are opened, the molded product is taken out, and the -th molding operation is completed.

ところで、従来のカル7は、第3図に示されるように、
単純な円形窪み構造となっているため、プランジャ13
によって加圧されて流れ出す溶融レジン14は、矢印に
示すように比較的円滑に流れ出してランナ8内に進むた
め、レジンタブレット5とボット6との間に存在してい
た空気は、カル7やランナ8等の内壁面に沿って流れる
確率が高く、大きな空気塊のままキャビティ11内に進
み、これがモールド時のボイド発生の原因となる。
By the way, the conventional Cal 7, as shown in Fig. 3,
Because it has a simple circular hollow structure, the plunger 13
The molten resin 14 that flows out under pressure flows out relatively smoothly as shown by the arrow and advances into the runner 8, so the air that existed between the resin tablet 5 and the bot 6 is removed from the cull 7 and the runner. There is a high probability that the air will flow along the inner wall surface of the tube 8, etc., and will proceed into the cavity 11 as a large air mass, which will cause voids to occur during molding.

そこで、この実施例のカル7にあっては、第1図および
第2図に示すように、カル7の中央底や内壁部分にそれ
ぞれフィン15が設けである。これらフィン15におい
て、カル7の底中央に設けられるフィン15は、舟型の
流線構造となっていて、l容赳自レジン14をランナ8
側に流すガイドlGとなっている。また、前記カル7の
内周に設けられるフィン15は、細長の突出した撹拌フ
ィンI7となっていて、溶融レジン14はカル7の中心
に向かって流れる。また、各カル7間は半円状の曲面を
構成している。したがって、第3図に示されるように、
溶融レジン14は各撹拌フィン17で流れを阻止され、
かつ撹拌フィン17間の曲面で流れ方向を規制されるた
め、矢印に示すように、溶融レジン14は渦を巻く、ま
た、第2図に示されるように、前記撹拌フィン17は下
型2のパーティング面よりもeだけ低く形成されている
ことから、プランジャ13の底面との間に空隙18が発
生するようになっている。
Therefore, in the cull 7 of this embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, fins 15 are provided at the center bottom and inner wall portions of the cull 7, respectively. In these fins 15, the fin 15 provided at the center of the bottom of the cull 7 has a boat-shaped streamline structure, and the resin 14 is attached to the runner 8.
It is a guide lG that flows to the side. Further, the fins 15 provided on the inner periphery of the cull 7 are elongated protruding stirring fins I7, and the molten resin 14 flows toward the center of the cull 7. Moreover, the space between each cull 7 constitutes a semicircular curved surface. Therefore, as shown in Figure 3,
The flow of the molten resin 14 is blocked by each stirring fin 17,
Since the flow direction is regulated by the curved surface between the stirring fins 17, the molten resin 14 swirls as shown by the arrow, and as shown in FIG. Since it is formed to be lower than the parting surface by e, a gap 18 is generated between it and the bottom surface of the plunger 13.

このような構造のカル7にあっては、プランジャ13に
よって押し潰されて加圧された溶融レジン14は、カル
7の底中央のガイド16に方向付けされてサブランナ9
内に流れ込む以外に、前記撹拌フィン17の上部の空隙
18部分をも通ってランチ8内に送り込まれるため、溶
融レジン14はこれらガイド16および撹拌フィン17
等のフィン15によって構成される空気細泡部19で複
雑な流れを呈するように撹拌され、溶融レジン14内に
存在する空気は微小な気泡となる。
In the cull 7 having such a structure, the molten resin 14 crushed and pressurized by the plunger 13 is directed to the guide 16 at the center of the bottom of the cull 7, and is directed to the sub-runner 9.
In addition to flowing into the launcher 8 , the molten resin 14 also passes through the gap 18 at the top of the stirring fin 17 and is fed into the launch 8 .
The air in the molten resin 14 is stirred to form a complicated flow in the air bubble section 19 formed by the fins 15, and the air existing in the molten resin 14 becomes minute bubbles.

この結果、微小な気泡しか含まない溶融レジン14によ
ってキャビティ11は充填される。また、前記プランジ
ャ13によって、キャビティll内等の溶融レジン14
内−には、大きな最終注入圧力(通常は70kg/cm
” 〜80kH/cm” )が加えられる。このため、
キャビティ11内等の微小な気泡は、その圧力によって
押し潰され、その体積が数十分の1となって巨視的には
消滅し、硬化したモールド内に気泡(ボイド)が発生し
なくなる。
As a result, the cavity 11 is filled with the molten resin 14 containing only minute bubbles. Also, the plunger 13 causes the molten resin 14 inside the cavity 11 to be removed.
Inside, a large final injection pressure (typically 70 kg/cm
"~80kHz/cm") is added. For this reason,
The minute air bubbles in the cavity 11 and the like are crushed by the pressure, and their volume becomes several tenths of that, disappearing macroscopically, and no air bubbles (voids) are generated in the hardened mold.

なお、モールド型1内で溶融レジン14が硬化した後、
モールド型1の型開きが行われ、モールド品が取り出さ
れる。
Note that after the molten resin 14 has hardened within the mold 1,
The mold 1 is opened and the molded product is taken out.

このような実施例によれば、っぎのような効果が得られ
る。
According to such an embodiment, the following effects can be obtained.

(1)本発明のモールド型はキャビティへの溶融レジン
の注入時、空気細泡部で溶融レジン内の空気を最終注入
圧力で消失してしまう程度の大きさ以下の気泡とするた
め、ボイドの発生が抑止できるという効果が得られる。
(1) When the mold of the present invention injects molten resin into the cavity, the air in the molten resin is reduced to bubbles with a size smaller than the size that disappears at the final injection pressure, so that voids are eliminated. The effect is that the occurrence can be suppressed.

(2)上記(1)により、本発明のモールド型にょれば
、ボイド発生の低減からモールドの歩留り向上が達成で
きるという効果が得られる。
(2) According to the above (1), the mold of the present invention has the effect that the mold yield can be improved by reducing the generation of voids.

(3)上記(1)および(2)により、耐湿性の優れた
モールド品を安価に提供することができるという相乗効
果が得られる。
(3) The above (1) and (2) provide a synergistic effect in that a molded product with excellent moisture resistance can be provided at a low cost.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない、たとえば、前記空気細泡
部の構造は、フィン以外の構造でも良い。また、空気細
泡部はカル以外のレジン流路に設けても前記実施例同様
な効果が得られる。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the above Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. For example, the structure of the air bubble portion may be a structure other than a fin. Further, even if the air bubble portion is provided in a resin flow path other than the cull, the same effect as in the above embodiment can be obtained.

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置製造にお
けるレジンモールド技術に適用した場合について説明し
たが、それに限定されるものではない。
In the above description, the invention made by the present inventor was mainly applied to the resin molding technology in semiconductor device manufacturing, which is the background field of the invention, but the invention is not limited thereto.

本発明は少なくとも物品の一部あるいは全部をレジンで
モールドする技術には適用できる。
The present invention can be applied to a technique in which at least part or all of an article is molded with resin.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡羊に説明すれば、下記のとおりであ
る。
A simple explanation of the effects obtained by typical inventions disclosed in this application is as follows.

本発明のモールド型は、空気細泡部でレジン中に含まれ
る空気の微細気泡化を図っているため、パンケージ内に
充填されたレジン中の気泡を小さくできる。また、この
気泡は最終注入圧力によって消滅する。したがって、本
発明によれば、モールド品におけるボイドの発生が抑止
でき、耐湿性の優れたモールドが達成できる結果、品質
の優れたモールド品を安価に提供することができる。
Since the mold of the present invention aims to make the air contained in the resin into fine bubbles in the air bubble portion, it is possible to reduce the size of the air bubbles in the resin filled in the pan cage. Also, this bubble disappears due to the final injection pressure. Therefore, according to the present invention, the generation of voids in a molded product can be suppressed, and a mold with excellent moisture resistance can be achieved, so that a molded product with excellent quality can be provided at a low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例によるモールド型におけるカ
ル部を示す平面図、 第2図は第1図のn−n線に沿う断面図、第3図は同じ
くカル部に烏けるレジンの流れ方を示す模式的平面図、 第4図は同じくモールド型の要部を示す断面図、第5図
は従来のカル部におけるレジンの流れ方を示す模式的平
面図である。 l・・・モールド型、2・・・下型、3・・・上型、4
・・・リードフレーム、5・・・レジンタブレット、6
・・・ボット、7・・・カル、8・・・ランナ、9・・
・サブランナ、IO・・・ゲート、11・・・キャビテ
ィ、12・・・エアーベント、13・・・プランジャ、
14・・・溶融レジン、15・・・フィン、16・・・
ガイド、17・・・撹拌フィン、18・・・空隙、19
・第  3  図 第  4  図 第  5  図
FIG. 1 is a plan view showing a cull in a mold according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line nn in FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a sectional view showing the main parts of the mold, and FIG. 5 is a schematic plan view showing how resin flows in a conventional cull. l...mold mold, 2...lower mold, 3...upper mold, 4
...Lead frame, 5...Resin tablet, 6
...bot, 7...cal, 8...runner, 9...
・Subrunner, IO...gate, 11...cavity, 12...air vent, 13...plunger,
14... Molten resin, 15... Fin, 16...
Guide, 17... Stirring fin, 18... Gap, 19
・Figure 3 Figure 4 Figure 5

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、溶けたレジンを案内するレジン流路と、このレジン
流路に連通するキャビティと、を有するモールド型であ
って、前記レジン流路の一部にレジン流を撹拌してレジ
ン中に含まれている空気を細かい泡にする空気細胞部が
設けられていることを特徴とするモールド型。 2、前記空気細胞部はレジンタブレットを入れるカル部
分に設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載のモールド型。
[Scope of Claims] 1. A mold having a resin flow path for guiding melted resin and a cavity communicating with the resin flow path, wherein the resin flow is stirred in a part of the resin flow path. A mold type characterized by being provided with air cells that turn the air contained in the resin into fine bubbles. 2. The mold according to claim 1, wherein the air cell portion is provided in a cull portion into which a resin tablet is placed.
JP9733687A 1987-04-22 1987-04-22 Molding die Pending JPS63264315A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04147814A (en) * 1990-10-11 1992-05-21 Daiichi Seiko Kk Mold for resin seal molding

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04147814A (en) * 1990-10-11 1992-05-21 Daiichi Seiko Kk Mold for resin seal molding

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