JPS6325881A - Semiconductor memory device - Google Patents
Semiconductor memory deviceInfo
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- JPS6325881A JPS6325881A JP61166686A JP16668686A JPS6325881A JP S6325881 A JPS6325881 A JP S6325881A JP 61166686 A JP61166686 A JP 61166686A JP 16668686 A JP16668686 A JP 16668686A JP S6325881 A JPS6325881 A JP S6325881A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は読み出し動作と書き込み動作を非同期に行う半
導体記憶装置に関し、特に3素子で記憶セルを構成した
ダイナミック型の半導体記憶装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a semiconductor memory device that performs read and write operations asynchronously, and particularly to a dynamic semiconductor memory device in which a memory cell is configured with three elements.
従来、読み出し動作と書き込み動作を非同期に行うダイ
ナミック型の3素子記憶セルとして第2図及び第3図に
示すものが提案されている。2 and 3 have been proposed as dynamic three-element memory cells that perform read and write operations asynchronously.
即ち、第2図のように、記憶セルは3個のMOSトラン
ジスタQ、、q、、Q3で構成し、これに書き込みを行
うワード線W。及びビット線B。That is, as shown in FIG. 2, the memory cell is composed of three MOS transistors Q, , q, , Q3, and a word line W is used to write to the MOS transistors. and bit line B.
と、読み出しを行うワード線WR及びビン) %’A
B 11を夫々接続している。また、読み出しピッ)
h% B RにはMOSトランジスタQ4 、Qs及び
Qb 、 Q7を夫々接続して情報の読み出し回路を構
成している。and word line WR and bin for reading) %'A
B11 are connected to each other. Also, the readout pin)
MOS transistors Q4, Qs and Qb, Q7 are connected to h%BR, respectively, to form an information readout circuit.
この記憶セルは、第3図のように半導体基板1に形成し
た拡散領域2a、 2b上に略X方向に延設した多結
晶シリコン膜3.4で夫々前記書き込み、読み出しのワ
ード線W1.l、W、Iを構成し、またY方向に延設し
たアルミニウム配vA6,7で前記書き込み、読み出し
のビット線Bw、Bえを構成している。図中、5はセル
容1cとMOSトランジスタQ、を構成するための多結
晶シリコン膜であり、コンタクト9によって拡散領域2
bに接続している。また、8はGND (アース)に接
続されるグラウンド線としてのアルミニウム配線であり
、コンタク1−10で拡散領域2aに接続している。更
に11.12は夫々書き込み、読み出しの各ビット線B
w、B*を拡散領域2b、2aに接続するためのコンタ
クトである。As shown in FIG. 3, this memory cell is constructed of a polycrystalline silicon film 3.4 extending approximately in the X direction on diffusion regions 2a and 2b formed in a semiconductor substrate 1, and connected to the write and read word lines W1. The writing and reading bit lines Bw and B are made up of aluminum wirings A6 and 7 extending in the Y direction. In the figure, reference numeral 5 denotes a polycrystalline silicon film for configuring the cell capacitor 1c and the MOS transistor Q.
connected to b. Moreover, 8 is an aluminum wiring as a ground line connected to GND (earth), and is connected to the diffusion region 2a through a contact 1-10. Furthermore, 11 and 12 are write and read bit lines B, respectively.
These are contacts for connecting w and B* to the diffusion regions 2b and 2a.
上述した従来の記憶セルは、第3図のようにグラウンド
線としてのアルミニウム配線8を隣りの記憶セル(図示
せず)と共用しており、このために、書き込み、読み出
しの各ビット線Bw、B*を構成するアルミニウム配線
6,7を互いに隣合わせて延設している。このため、両
ビット′faBw。The conventional memory cell described above shares the aluminum wiring 8 as a ground line with an adjacent memory cell (not shown) as shown in FIG. Aluminum wirings 6 and 7 constituting B* are extended adjacent to each other. Therefore, both bits 'faBw.
B1間の容量CXにより書き込みビット線B。が変化し
たときに読み出しビット線B、Iがノイズを受は易い状
態にある。Write bit line B due to capacitance CX between B1. When the read bit lines B and I change, the read bit lines B and I are in a state where they are susceptible to noise.
ところで、この記憶セルでは、セルの内容がL(Low
)の時読み出しビット線BえはH()Iigh)となる
が、このH状態を保っているのはトランジスタQ4であ
り、このトランジスタQ4は電流能力をそれほど大きく
できない。即ち、セルの内容がHの時、読み出しビット
線BRはLとなるが、このLはトランジスタQ4.Qz
、Q+ の比で決定されているため、トランジスタQ
4の電流能力を増すとこれに伴ってトランジスタQ、、
Q、も大型化し、セルの大型化を招くことになる。By the way, in this memory cell, the content of the cell is L (Low
), the read bit line Be becomes H()Iigh), but it is the transistor Q4 that maintains this H state, and the current capacity of this transistor Q4 cannot be increased very much. That is, when the content of the cell is H, the read bit line BR becomes L, and this L is caused by the transistor Q4. Qz
, Q+, so the transistor Q
When increasing the current capacity of transistor Q, the current capacity of transistor Q is increased.
Q also becomes larger, leading to an increase in the size of the cell.
このため、読み出しビット線B、がHの時のH保持能力
は弱(、外部ノイズに対して極めて弱い状態にある。し
たがって、隣接された書き込みビットvAB wからの
前記したノイズによって読み出しビット線Blにおける
正常な読み出しが阻害され、誤動作が生じることになる
。Therefore, when the read bit line B is at H, the H holding ability is weak (it is extremely vulnerable to external noise. Therefore, the above-mentioned noise from the adjacent write bit vAB w causes the read bit line Bl to Normal readout of the data will be inhibited, resulting in malfunction.
本発明の半導体記憶装置は上記問題を解消し、書き込み
ビット線からのノイズが原因とされる誤動作を防止して
正常な読み出しを可能とするものである。The semiconductor memory device of the present invention solves the above problems, prevents malfunctions caused by noise from the write bit line, and enables normal reading.
本発明の半導体記憶装置は、書き込みビット線と読み出
しビット線との間に、書き込みビット線と読み出しビッ
ト線との間の容量を低減させるグラウンド線を延設した
構成としている。The semiconductor memory device of the present invention has a configuration in which a ground line is extended between a write bit line and a read bit line to reduce the capacitance between the write bit line and the read bit line.
次に、本発明を図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be explained with reference to the drawings.
第1図は本発明の一実施例における記憶セルの平面レイ
アウト図であり、その回路は第2図の通りである。FIG. 1 is a plan layout diagram of a memory cell in one embodiment of the present invention, and its circuit is as shown in FIG.
第1図に示すように、半導体基板1に形成した拡散領域
2a、2b上に図示X方向に延設した多結晶シリコン膜
3.4で夫々書き込み、読み出しのワード線W。、W、
を構成し、また図示Y方向に延設したアルミニウム配線
6.7で占き込み。As shown in FIG. 1, word lines W for writing and reading are formed by polycrystalline silicon films 3.4 extending in the X direction shown on the diffusion regions 2a and 2b formed in the semiconductor substrate 1, respectively. ,W,
, and the aluminum wiring 6.7 extended in the Y direction shown in the figure.
読み出しのビット線Bw、BRを構成している。They constitute read bit lines Bw and BR.
また、セル容量CとMOSトランジスタQ1を構成する
ための多結晶シリコン膜5を前記拡散領域2a上及び拡
散領域2bの一部上に形成しており、コンタクト9によ
って拡散領域2bに接続している。また、グラウンド(
アース)に接続されるアルミニウム配線8を図示Y方向
に延設してこれをグラウンド線GNDとして構成し、こ
れを前記書き込み、読み出しの各ビット線B。+BRと
平行にしかもこれら両ビット線B。+B11の間に延設
している。このグラウンド線GNDはコンタクト10に
おいて拡散領域2aに接続している。更に前記書き込み
、読み出しの各ビット線Bw、B*は夫々コンタクト1
1.12によって拡散領域2b、2aに接続している。Further, a polycrystalline silicon film 5 for forming a cell capacitor C and a MOS transistor Q1 is formed on the diffusion region 2a and a part of the diffusion region 2b, and is connected to the diffusion region 2b by a contact 9. . Also, the ground (
An aluminum wiring 8 connected to the ground (ground) is extended in the Y direction in the figure to constitute a ground line GND, and is connected to each of the write and read bit lines B. Both bit lines B are parallel to +BR. +B11. This ground line GND is connected to the diffusion region 2a at a contact 10. Furthermore, each of the write and read bit lines Bw and B* is connected to contact 1.
1.12 to the diffusion regions 2b, 2a.
この構成によれば記憶セルの回路は第2図のようにこれ
までと同じであるが、書き込み、読み出しの両ビット線
Bt、+、Bm線の間にグラウンド線GNDを延設した
ことにより、このグラウンド線GNDが両ビット線Bw
、B*を電気的に遮断するシールドとして機能される。According to this configuration, the memory cell circuit is the same as before as shown in FIG. 2, but by extending the ground line GND between the write and read bit lines Bt, +, and Bm lines, This ground line GND is both bit line Bw
, B*.
このため、両ビット線B。、81間の容量を解消し、書
き込みビット線B。における変化によっても読み出しビ
ット線B、にノイズが発生することがない。Therefore, both bit lines B. , 81 and eliminates the capacitance between the write bit line B. Noise is not generated on the read bit line B even due to a change in .
このため、読み出しビット線BRに接続されているトラ
ンジスタQ、(第2図参照)の電流能力が小さくても読
み出しビット線B、におけるH状、態を安定に保持する
ことができ、読み出しの誤動作を防止することができる
。これにより、トランジスタQ4を大きくする必要はな
く、これに対応して記憶セルのトランジスタQ、、Q、
を大き(する必要もなく、記憶セルのサイズの縮小にを
効となる。Therefore, even if the current capacity of the transistor Q (see Figure 2) connected to the read bit line BR is small, the H state in the read bit line B can be stably maintained, resulting in read malfunction. can be prevented. Thereby, there is no need to increase the size of transistor Q4, and correspondingly transistors Q, ,Q,
It is effective in reducing the size of the storage cell without the need to increase the size of the memory cell.
なお、グラウンド線GNDを書き込み、読み出しの両ビ
ット′4iABW、BNの間に配設した場合でも、第1
図と第3図との比較から判るように記憶セルのサイズを
大型化することはない。Note that even if the ground line GND is placed between the write and read bits '4iABW and BN, the first
As can be seen from the comparison between this figure and FIG. 3, the size of the memory cell is not increased.
(発明の効果〕
以上説明したように本発明は、書き込みビット線と読み
出しビット線との間に、書き込みビット線と読み出しビ
ット線との間の容量を低減させるグラウンド線を延設し
ているので、書き込みビット線における変化によっても
読み出しビット線にノイズが生じることはなく、誤動作
のない安定した読み出し動作を実現するとともに、微小
サイズの記憶セルを得ることができる。(Effects of the Invention) As explained above, the present invention extends the ground line between the write bit line and the read bit line to reduce the capacitance between the write bit line and the read bit line. Therefore, even changes in the write bit line do not generate noise in the read bit line, and a stable read operation without malfunction can be realized, and a micro-sized memory cell can be obtained.
第1図は本発明の一実施例の平面レイアウト図、第2図
は記憶セルの回路図、第3図は従来の記憶セルの平面レ
イアウト図である。
1・・・半4体基板、2a、2b・・・拡散領域、3,
4゜5・・・多結晶シリコン膜、6,7.8・・・アル
ミニウム膜、W8・・・書き込みワード線、wR・・・
読み出しワード線、Bい・・・書き込みビット線、BR
・・・読み出しビット線、GND・・・グラウンド線。FIG. 1 is a plan layout diagram of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram of a memory cell, and FIG. 3 is a plan layout diagram of a conventional memory cell. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Half-quad board, 2a, 2b...Diffusion region, 3,
4゜5...Polycrystalline silicon film, 6,7.8...Aluminum film, W8...Write word line, wR...
Read word line, BR...Write bit line, BR
...Read bit line, GND...ground line.
Claims (2)
読み出しを非同期に行うようにした半導体記憶装置にお
いて、前記記憶セルの書き込みビット線と読み出しビッ
ト線との間にグラウンド線を延設したことを特徴とする
半導体記憶装置。(1) Configure a memory cell with three transistors, write,
1. A semiconductor memory device in which reading is performed asynchronously, characterized in that a ground line is extended between a write bit line and a read bit line of the memory cell.
延設し、これら両ビット線の間にこれらと平行にグラウ
ンド線を延設してなる特許請求の範囲第1項記載の半導
体記憶装置。(2) A semiconductor memory device according to claim 1, wherein a write bit line and a read bit line extend in parallel, and a ground line extends between and in parallel with these bit lines.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61166686A JPS6325881A (en) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | Semiconductor memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61166686A JPS6325881A (en) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | Semiconductor memory device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6325881A true JPS6325881A (en) | 1988-02-03 |
Family
ID=15835853
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61166686A Pending JPS6325881A (en) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | Semiconductor memory device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6325881A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH029086A (en) * | 1988-06-27 | 1990-01-12 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | Semiconductor storage device |
EP1028431A2 (en) * | 1999-02-10 | 2000-08-16 | Lucent Technologies Inc. | Shielded bitlines for static rams |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5454588A (en) * | 1977-10-08 | 1979-04-28 | Cho Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai | Semiconductor ic |
-
1986
- 1986-07-17 JP JP61166686A patent/JPS6325881A/en active Pending
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EP1028431A2 (en) * | 1999-02-10 | 2000-08-16 | Lucent Technologies Inc. | Shielded bitlines for static rams |
EP1028431A3 (en) * | 1999-02-10 | 2001-05-23 | Lucent Technologies Inc. | Shielded bitlines for static rams |
KR100688738B1 (en) * | 1999-02-10 | 2007-02-28 | 루센트 테크놀러지스 인크 | Shielded bitlines for static rams |
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