JPS63235499A - ルテニウムめつき方法 - Google Patents
ルテニウムめつき方法Info
- Publication number
- JPS63235499A JPS63235499A JP6779787A JP6779787A JPS63235499A JP S63235499 A JPS63235499 A JP S63235499A JP 6779787 A JP6779787 A JP 6779787A JP 6779787 A JP6779787 A JP 6779787A JP S63235499 A JPS63235499 A JP S63235499A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soln
- plating
- ruthenium
- ion
- electrolyte
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 19
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 5
- -1 ruthenium ions Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 3
- DKNJHLHLMWHWOI-UHFFFAOYSA-L ruthenium(2+);sulfate Chemical compound [Ru+2].[O-]S([O-])(=O)=O DKNJHLHLMWHWOI-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- SXDBWCPKPHAZSM-UHFFFAOYSA-M bromate Inorganic materials [O-]Br(=O)=O SXDBWCPKPHAZSM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- SXDBWCPKPHAZSM-UHFFFAOYSA-N bromic acid Chemical compound OBr(=O)=O SXDBWCPKPHAZSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- PQSDBPCEDVVCRA-UHFFFAOYSA-N nitrosyl chloride;ruthenium Chemical compound [Ru].ClN=O PQSDBPCEDVVCRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 150000003303 ruthenium Chemical class 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- IIACRCGMVDHOTQ-UHFFFAOYSA-N sulfamic acid Chemical class NS(O)(=O)=O IIACRCGMVDHOTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、装飾品、電気接点あるいは耐摩耗性を必要と
する機械部品等のコーティングに用いられるルテニウム
めっき方法に関する。
する機械部品等のコーティングに用いられるルテニウム
めっき方法に関する。
［従来の技術］
従来、ルテニウムめっきに用いられる電解液としては臭
素酸溶液を用いる浴、ニトロシル塩化ルテニウム又はそ
の錯塩を用いる浴、スルファミン酸鉛塩を基本とする浴
およびＦＡ酸ルテニウムを用いる浴が知られている。
素酸溶液を用いる浴、ニトロシル塩化ルテニウム又はそ
の錯塩を用いる浴、スルファミン酸鉛塩を基本とする浴
およびＦＡ酸ルテニウムを用いる浴が知られている。
［発明が解決しようとする問題点］
上記の浴を用いてルテニウムの電気めっきを行うと、浴
の繰返し使用によって、本来４価のルテニウムイオンが
、めっき通電によってもゼロ価の金属とはなり得ず、３
価から１価に留るものが多くなる。このようにめっき浴
中に低原子価ルテニウムイオンの量がふえるとめっき速
度が低下する。
の繰返し使用によって、本来４価のルテニウムイオンが
、めっき通電によってもゼロ価の金属とはなり得ず、３
価から１価に留るものが多くなる。このようにめっき浴
中に低原子価ルテニウムイオンの量がふえるとめっき速
度が低下する。
例えばめっき浴として硫酸ルテニウム液を用いた場合、
補充金属量が最初の浴の金属量の半分に達した時点、す
なわち０．５サイクルの浴使用時点において眠めっき速
度はめっき開始時の１ｔｔｍ ／２０分から０．２μｍ
／２０分にまで低下し、実用上不満足なものであった
。
補充金属量が最初の浴の金属量の半分に達した時点、す
なわち０．５サイクルの浴使用時点において眠めっき速
度はめっき開始時の１ｔｔｍ ／２０分から０．２μｍ
／２０分にまで低下し、実用上不満足なものであった
。
本発明はこの点を解決しようとするものである。
［問題点を解決するための手段］
本発明は上記問題点を鑑みなされたもので、ルテニウム
含有溶液を用いるルテニウムの電気めっきにおいて、液
中に原子価の低下したルテニウムイオンが増大してめっ
き速度が遅くなった溶液を、一旦乾涸してから再溶解し
て電解液として使用することを特徴とするルテニウムめ
っき方法である。
含有溶液を用いるルテニウムの電気めっきにおいて、液
中に原子価の低下したルテニウムイオンが増大してめっ
き速度が遅くなった溶液を、一旦乾涸してから再溶解し
て電解液として使用することを特徴とするルテニウムめ
っき方法である。
上記において乾個とは液を１５０〜３５０℃に加熱し、
水分を蒸発させて、水分をなくし固形物とすることを指
す。具体的には電着速度が低下した液を、例えば硝子や
磁製の耐蝕性容器に入れ、水分および硫酸分を蒸発させ
るの七ある。
水分を蒸発させて、水分をなくし固形物とすることを指
す。具体的には電着速度が低下した液を、例えば硝子や
磁製の耐蝕性容器に入れ、水分および硫酸分を蒸発させ
るの七ある。
硫酸分を蒸発させるためには１５０℃以上の加熱が必要
であるが、３５０℃を超える加熱温度では酸化ルテニウ
ムの生成を容易とするため、温度管理が必要である。
であるが、３５０℃を超える加熱温度では酸化ルテニウ
ムの生成を容易とするため、温度管理が必要である。
乾個したルテニウム固形物は放冷後、水で溶解して硫酸
ルテニウムの水溶液とする。このようにすることによっ
てルテニウムは酸化され４価のルテニウムイオンとなる
。
ルテニウムの水溶液とする。このようにすることによっ
てルテニウムは酸化され４価のルテニウムイオンとなる
。
なお、上記乾個は、めっき中に増加した硫酸根も分解揮
発するので余分の硫酸根の除去効果もある。
発するので余分の硫酸根の除去効果もある。
［実施例］
＠酸ルテニウムを主成分とする浴を建浴後、通常の浴温
、電流密度およびｐＨ等のめっき条件下でめっきを実施
する。めっきは１μｍ／２０分の速度で行われる。
、電流密度およびｐＨ等のめっき条件下でめっきを実施
する。めっきは１μｍ／２０分の速度で行われる。
ルテニウムが陰極に析出するに相応して、めっき浴中の
金属量が減少するので、この減少金属分を逐時補充する
。この補充金属量が最初のめつき浴含有金属量に一致し
た時点すなわち１サイクル時にはめつき速度は０．２μ
ｍ ／２０分に低下する。
金属量が減少するので、この減少金属分を逐時補充する
。この補充金属量が最初のめつき浴含有金属量に一致し
た時点すなわち１サイクル時にはめつき速度は０．２μ
ｍ ／２０分に低下する。
このめっき速度が低下した全めっき液１文を３９、硝子
ビーカーに入れ、マントルヒーターにて３００℃で３時
間加温して乾個する。乾個後室温まで放冷し、純水５０
０ｍ１を入れ溶解する。溶解液を濾紙で濾過後、仝液量
を１父にする。この液を用いてめっきをすると、１μｍ
の皮膜を２１分で得ることができ、めっき能力は殆ど回
復していた。
ビーカーに入れ、マントルヒーターにて３００℃で３時
間加温して乾個する。乾個後室温まで放冷し、純水５０
０ｍ１を入れ溶解する。溶解液を濾紙で濾過後、仝液量
を１父にする。この液を用いてめっきをすると、１μｍ
の皮膜を２１分で得ることができ、めっき能力は殆ど回
復していた。
実施例では建浴液仝量を乾個する場合を示したが、建浴
液の一部を適宜扱き出して乾個処理して戻すこともでき
、連続化も可能であ、る。
液の一部を適宜扱き出して乾個処理して戻すこともでき
、連続化も可能であ、る。
［発明の効果］
本発明は、原子価の低下したルテニウムイオンの母が増
えて、めっき速度が低下した電解浴を、簡単な方法によ
って原液と同程度のめつき速度を有づる電解浴にまで回
復することができる。したがって、効率良くルテニウム
めっき作業を行うことができる。
えて、めっき速度が低下した電解浴を、簡単な方法によ
って原液と同程度のめつき速度を有づる電解浴にまで回
復することができる。したがって、効率良くルテニウム
めっき作業を行うことができる。
Claims (1)
- ルテニウム含有溶液を用いるルテニウムの電気めつきに
おいて、液中に原子価の低下したルテニウムイオンが増
大してめつき速度が遅くなった溶液を、一旦乾涸してか
ら再溶解して電解液として使用することを特徴とするル
テニウムめつき方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6779787A JPS63235499A (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | ルテニウムめつき方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6779787A JPS63235499A (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | ルテニウムめつき方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63235499A true JPS63235499A (ja) | 1988-09-30 |
Family
ID=13355302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6779787A Pending JPS63235499A (ja) | 1987-03-24 | 1987-03-24 | ルテニウムめつき方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63235499A (ja) |
-
1987
- 1987-03-24 JP JP6779787A patent/JPS63235499A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2821271C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum elektrolytischen Abscheiden von Metallen auf einem Feststoffelektrolyten und beschichteter Feststoffelektrolyt | |
| KR890000696A (ko) | 전해용 음극 및 이의 제조방법 | |
| FR2529582A1 (fr) | Procede perfectionne de revetement electrolytique de surfaces non metalliques | |
| DE2537100C2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Bleidioxidelektrode und ihre Verwendung zur Durchführung von Elektrolysen | |
| JP2003534459A (ja) | 過マンガン酸塩エッチング溶液の電気化学再生用のカソード | |
| US3117023A (en) | Method of making a non-corroding electrode | |
| CA1044754A (en) | Process for making titanium supported lead electrode | |
| US1352331A (en) | Process of electroplating non-conducting substances with copper | |
| US3006821A (en) | Manufacture of silver chloride electrodes | |
| DE2647527A1 (de) | Bad und verfahren zum erzeugen von palladiumueberzuegen | |
| JPS63235499A (ja) | ルテニウムめつき方法 | |
| GB1069005A (en) | A process for coating titanium surfaces | |
| JPS5852037B2 (ja) | 着色アルミニウム材の製造法 | |
| JPH0423000B2 (ja) | ||
| JPS63203800A (ja) | タングステン合金めっき用電極の製造方法 | |
| JPS5964788A (ja) | 電解用電極およびその製造方法 | |
| JPH044698B2 (ja) | ||
| CN115260544B (zh) | 多重交联的3d凝胶材料的快速成型方法 | |
| US3634216A (en) | Electrodeposition of lead dioxide | |
| DE2038271C3 (ja) | ||
| DE2537724B2 (de) | Verwendung eines Verfahrens zum elektrochemischen Aufrauhen von Aluminium bei der Herstellung von Flachdruckplattenträgern | |
| CN106242314A (zh) | 一种玻璃镀铜工艺 | |
| Bushrod et al. | Stress in anodically formed lead dioxide | |
| El Din et al. | Dendrite formation and electrocrystallization of silver from molten salts | |
| US2715096A (en) | Antimony plating |