JPS63232901A - 超音波振動切削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、超音波振動によりバイトを切削方向に振動さ
せて被加工物を切削するという、例えば旋盤、形削り盤
、平削り盤などの超音波振動切削装置に関する。

従来の技術 従来より、旋盤、平削り盤又は形削り盤などの切削装置
においては、超音波振動するバイトにより被加工物の切
削加工を行なうと、切削抵抗が著しく減少してびびりな
どの異常振動がなくなり、被加工物の真円度や表面粗さ
などの加工精度が良好になるとともに、工具の寿命が延
び、更には、難削材の加工が容易になる等の利点を有す
ることが知られている。

第１１図はその一例を示す従来の超音波振動切削装置で
ある。まず、刃物台１に押え板２と締付はボルト３と締
付は治具４とにより曲げ（たわみ）振動するバイトシャ
ンク（バイトホルダー）５が支持されている。ここに、
締付は治具４はバイトシャンク５のノード部分に位置す
るように設定されている。そして、バイトシャンク５の
一方の先端には被加工物６に臨む工具としてのバイト７
が固着されている。又、バイトシャンク５の他端側には
このバイトシャンク５の一点鎖線で図示する振動姿態の
ループ部分に位置させて縦形振動子８と振幅拡大ホーン
９とが接合されている。

このように構成された超音波振動切削装置において、縦
形振動子８を超音波発振装置（図示せず）により駆動す
ると、図示する一点鎖線の如くバイトシャンク５が振動
してバイト７の先端は切削方向に超音波振動し、前述し
たような振動切削効果を発揮する。ここで、より具体的
には、被加工物６の切削速度をＶとし、振動するバイト
７の振動周波数をｆ、振幅をａとすると、ｖ　（２πｆ
ａなる条件下でその効果が発揮される。

これによれば、超音波振動の発生源である縦形振動子８
をバイト７から離れた位置に取付けられるので、汎用の
旋盤に容易に取付けることができるという利点がある。

ところが、第１２図に示すように、バイト７の被加工物
６との接点には、被加工物接線方向の主分力Ｐｃの他に
、バイト７に向かう径方向背分力ｐｔが発生する。この
結果、これらの合力Ｐがバイト７に作用して有害な異常
振動を発生し、単純な接線方向の振動では良好なる振動
切削効果が得られないことが多い。

そこで、例えば特公昭５０−２０２８９号公報に示され
るように、切削抵抗の合力Ｐの方向とバイト７の振動方
向とが一致するようにバイトシャンク５を傾斜させて振
動切削するようにしたちのがある。即ち、第１１図に対
応させて第１３図に示すように、刃物台１０と工具台１
１との間に傾斜台１２を設け、接線方向成分Ｐｃと合力
Ｐとのなす角度θだけバイトシャンク５を傾斜させるよ
うにしたものである。ここに、このような傾斜角度θは
第１１図において、バイト７の振動と直角方向に印加さ
れる背分力と、切削方向分力とを測定することにり求め
る。

このようにバイト７の振動方向を切削抵抗の合力Ｐ方向
に一致させて設ければ、バイト７の軸線方向に背分力Ｐ
ｔが作用せず、良好なる振動切削効果が得られることと
なる。

発明が解決しようとする問題点 ところが、径方向の背分力ｐｔは切削条件、例えば切込
み深さや切削速度の変更や、被加工物の材質の違い変化
などによって変化するものである。

この結果、切削条件を変更する度に、角度の異なる傾斜
台１２に交換したり、又は角度可変の傾斜台１２を用い
て角度調整をし直さなければならない。従って、多様な
工作物への対応を考えると、角度の設定作業が極めて煩
雑なものとなる。

又、背分力ｐｔの検出手段としては、通常は、切削方向
に直角にバイト７に加わる応）Ｊを検出すればよいので
、切込み送り機構部に応力センサを設けているものが多
い。しかるに、第１３図に示したような従来方式のよう
に、バイトシャンク５を傾斜させて切削加工中にバイト
７にかかる応力をモニタしようとすると、切込み機構が
受ける応力はバイト７の振動と直角方向の応力とは異な
ってしまう。即ち、第１１３国力式の場合、バイト７に
かかる応力を検出するためには、切込み送り機構部に設
けるのではなく、バイトシャンク５の軸線方向の応力を
測定しなければならない。ところが、このようなバイト
シャンク５及びその保持機構は超音波振動系を構成して
おり、このような部位中に応力センサを設けるのは困難
である。

問題点を解決するための手段 厚み方向に分極され均等に２分割された１枚又は複数枚
の電歪素子本体の両面に金属材を締着具により一体的に
締着したたわみ振動子を設けるとともに、このたわみ振
動子の一方の出力端部にバイトを設けてなる超音波振動
切削装置としての構成下に、たわみ振動子中の２分割さ
れた電歪素子に対して同相で印加される軸方向振動応力
を電気的に検出する差動検出手段を設け、更には、この
差動検出手段による検出信号が零となるようにたわみ振
動子の軸線の傾きを設定する。

ここに１本明細書においては、「背分力検出信号」をバ
イト先端の振動と直角方向にバイトにかかる応力、即ち
たわみ振動子の軸方向振動応力の検出信号を意味するも
のと定義する。

作用 ２分割された電歪素子に同時に同方向の応力が印加され
た時に圧電現象により信号電圧を発生させるように構成
したものであり、被加工物の切削時にたわみ振動子が軸
方向に背分力を受ければ軸方向振動応力を受けることに
なり、差動検出手段によりたわみ振動子にかかる背分力
の有無が判別される。そこで、この検出信号が零となる
ようにたわみ振動子の傾きを調整させるものである実施
例 本発明の第一の実施例を第１図な、いし第７図に基づい
て説明する。まず、本実施例で用いるたわみ振動子２０
の基本的構造及び振動動作について第２図ないし第４図
を参照して説明する。このようなたわみ振動子２０は例
えば本出願人により既に特願昭６０−２５２５２６号に
より提案されているものと同等のものである。まず、第
３図に示すように厚み方向に分極された円環状の電歪素
子本体２２が設けられ、この電歪素子本体２２の一面に
は絶縁部２３を中心として電極２４．２５が２分割され
て形成され、他面には共通電極２６が全面電極として形
成され、これらにより電歪素子２７が構成されている。

このような構成の電歪素子２７を例えば２個用意し、そ
れらの絶縁部２３を一致させてＵ字形に形成した第４図
のような２枚の電極板２８．２９を間にして前記電極２
４゜２５を対向させ、かつ、中心部に絶縁筒３ｏを挿通
する。そして、一方の電歪素子２７の共通電極２６面側
には出力端部３１を細く形成するとともに振動振幅拡大
用のエクスポネンシャル段部３２を形成した金属材３３
が接合されている。又、他方の電歪素子２７の共通電極
２６面側には共通電極板３４が接合され、この共通電極
板３４には金属材３５が接合されている。そして、これ
らの部材は締着具としてのボルト３６により一体的に固
定されている。即ち、前記金属材３５には前記ボルト３
６を挿通する孔３７が形成され、前記金属材３３にはボ
ルト３６が螺合するねじ部３８が形成されている。この
ようにして、本実施例で用いる複合振動子構造のたわみ
振動子２０が構成されている。

ここで、このようなたわみ振動子２０の電極２４．２５
や共通電極２６は、電極板２８．２９や共通電極板３４
を介して、例えば後述するような駆動制御回路に接続さ
れて、励振駆動される。

簡単に説明すれば、共通電極板３４を共通として、電極
板２８．２９と共通電極Ｆｉ、３４とに互いに位相量を
制御できる駆動電源を接続し、その駆動周波数を軸方向
共振周波数に調整する。その位相差を零にした時には、
同相並列駆動となり、出力端部３１は軸方向共振振動と
なって縦形振動子と同様な振動姿態で振動する。しかる
に、一方の電極板２８に対し他方の電極板２９に印加す
る駆動電圧の位相を反転、即ち逆相の電圧を印加すると
、出力端部３１は軸に直角で、かつ、電歪素子２７の分
割方向（即ち、第２図図示状態では上下方向）にたわみ
共振振動を行なうことになる。

ここで、電歪素子２７は円環形で一体のものを用い、そ
の分極は厚み方向に与えているが、２分割された各々の
電極２４．２５部分には厚み方向で互いに逆向きに分極
を与えるようにしてもよい。

この場合、２個の電極板２８．２９には同一の電圧を印
加することにより、たわみ振動が発生する。

又、電歪素子２７は分離させた半円環状素子として構成
し、前述の如く、それらの厚み方向の分極を同−又は反
転させるようにしてもよい。

これが、本実施例で用いるたわみ振動子２ｏの動作原理
である。そして、このようなたわみ振動子２０は第５図
ないし第７図に示すように上向きに略コ字状に形成した
ホルダー２１により支持されている。なお、これらの図
では、前述のような構造のたわみ振動子２０を略図的に
示す。このようなたわみ振動子２０は、例えば第６図（
ｂ）に振動変位分布の特性Ａを示すように、その軸方向
に１波長でたわみ共振するように構成されている。

そして、たわみ振動子２ｏには左右両側の４箇所のノー
ド位置Ｎ　ＩＴ　　Ｎ２１　　Ｎｌ’＋　　Ｎ２′に位
置させて円錐状凹み３９が形成されている。この内、ノ
ード位置Ｎｌ’ＩＮ２′の円錐状凹み３９に対してはホ
ルダー２１に固定された２個のとがり先ピン４０が係止
し、ノード位置Ｎ、、Ｎ、の円錐状凹み３９に対しては
ホルダー２１に進退自在に取付けられた２本のとがり先
ボルト４１の先端が係止しており、これらのとがり先ボ
ルト４１を締付けることにより、たわみ振動子２０はホ
ルダー２１によって左右両側より固定支持されている。

つまり、たわみ振動子２ｏは４箇所のノード位置にて点
当り状態で支持されている。

そして、たわみ振動子２ｏは出力端部３１より第１のノ
ード位置Ｎ　ｌ　Ｉ　Ｎ　１′　付近までエクスポネン
シャル段部３２を含めて細径形状にステップホーンとし
て構成されており、出力端部３１でのたわみ振動変位が
拡大されるように設定されている。

そして、このようなたわみ振動子２０の出力端部３１に
は被加工物４２の切削加工を行なう工具であるバイト４
３が直接取付けられている。

このように、出力端部３１にバイト４３を取付けたたわ
み振動子２０をホルダー２１に支持させた状態で用い、
このたわみ振動子２０をたわみ振動させると、出力端部
３１のバイト４３は第６図（ａ）に示す状態で上下方向
に大きく共振振動を行なう。よって、矢印方向に回転し
ている被加工物４２にバイト４３の先端を押し当てれば
、被加工物４２の振動切削加工が行なわれることになる
。

ところで、「背分力検出信号」をバイト４３先端の振動
と直角方向にバイト４３にかかる応力の検出信号を意味
するものと定義した場合、振動子の軸線を傾斜させない
限り、背分力検出手段としては、抵抗線歪計（ストレン
ゲージ）或いは圧電センサなどを切込み送り機構（図示
せず）中に設け、たわみ振動子２０の軸線方向応力を検
知する方式を用いることも可能である。

しかるに、振動子の軸線を第１３図の従来例で示したよ
うに傾斜させて背分力の補正を行なおうとすると、検出
された信号はもはや背分力検出信号ではなくなる。しか
して、本実施例では、背分力検出信号の検出に、専用の
センサを別個に設けたりする必要なく、たわみ振動子２
０の駆動用の電歪素子２７自身をセンサとして電気的な
差動検出手段により検出するというものである。この差
動検出手段を含む結線図を第１図に示す。ここでは、た
わみ振動子２０における２分割された電歪素子２７ａ、
２７ｂが何れも厚み方向に対して矢印で示すように互い
に逆方向に残留分極が与えられているものとする。まず
、各々の電極板２８゜２９は検出トランス４４の１次巻
線４５の両端に接続されている。この１次巻線４５の中
点タップ４６は増幅器４７の出力側に接続されている。

この増幅器４７の入力側には発振器４８が接続され、そ
の一端が接地されている。一方、検出トランス４４の２
次巻線４９の両端には検出抵抗Ｒｓが接続され、その一
端が接地されている。更に、この検出抵抗Ｒｓには増幅
器５０を介して同期検波器５１が接続されている。この
同期検波器５１はタイミングパルスにより同期検波動作
して検出抵抗Ｒｓの両端の検出電圧Ｅｓに対応した直流
成分の出力、即ち背分力検出信号Ｄｓを出力端子５２か
ら出力するものである。

これらの差動構成の検出トランス４４や検出抵抗Ｒｓ等
により、電歪素子２７ａ、２７ｂをセンサとする差動検
出手段５３が構成されている。

このような構成において、駆動周波数をたわみ振動子２
０のたわみ共振周波数に調節した発振器４８からの信号
は増幅器４７により増幅されて検出トランス４４の１次
巻線４５の中点タップ４６に印加される。このようにし
て、たわみ振動子２０を励振させると、検出トランス４
４の１次巻線４５を通して、各々同相の駆動電圧が電極
板２８゜２９に印加される。つまり、逆方向に分極され
た電歪素子２７ａ、２７ｂで考えると、駆動出力が逆用
で印加されることになる。この結果、分割された一方の
電歪素子２７ａ又は２７ｂが伸びた時には他方の電歪素
子２７ｂ又は２７ａは縮むことになり、たわみ振動子２
０は共振振動を発生する。

これにより、出力端部３１に設けられたバイト４３は、
ノード部分のステップにより軸と直角方向（上下方向）
に大きく振動して、回転する被加工物４２に押し当てる
ことにより切削加工が行なわれる。

このような動作に際し、検出抵抗Ｒｓには両方の電歪素
子２７　ａ、　　２７　ｂに同時に同方向の応力が印加
された時にその圧電現象により信号電圧を発生する。従
って、単なるたわみ振動に対しては両方の電歪素子２７
ａ、２７ｂは伸縮方向が逆であるので、その振動方向成
分の負荷に対しては、検出抵抗Ｒｓの両端に検出信号（
背分力検出信号）Ｅｓは検出されない。しかるに、実際
の切削加工時に、背分力が印加されるとたわみ振動子２
ｏは軸方向振動応力を受けるので、検出抵抗Ｒｓの両端
に検出信号Ｅｓが発生する。従って、たわみ振動子２０
にかかる背分力の有無が検出信号Ｅｓが零であるか否か
により判別される。更に、本実施例では、このような検
出抵抗Ｒｓに生じた検出信号Ｅｓを増幅器５０により増
幅した後、同期検波器５１に入力させることにより、発
振器４８の発振周波数に合致したタイミングパルスにて
同期検波動作を行なう。これにより、たわみ振動子２０
の軸方向振動応力の正逆、即ち被加工物４２よリムイト
４３刃先に向かう背分力か、又はバイト４３刃先から被
加工物４２へ向かう背分力であるかが、この同期検波器
５１からの出力Ｄｓにより弁別できる。

よって、検出抵抗Ｒｓの両端に生ずる検出信号Ｅｓに基
づく出力Ｄｓの値をモニターしながら、その出力Ｄｓ（
Ｅｓでも同じ）が零となるように、被加工物４２に対す
るたわみ振動子２０の軸線の角度設定を行なうようにす
ればよい。

ところで、電歪素子２７が分割線を境にして厚み方向に
対して残留分極の方向を同方向とさせた電歪素子２７ａ
、２７ｂを持つたわみ振動子２０を用いる場合には、第
８図に示すような結線図構成とすればよい。即ち、たわ
み振動子２０の電極板２８．２９に対して出カドランス
５４の２次巻線５５の両端を各々接続し、この２次巻線
５５の中点タップ５６に検出抵抗Ｒｓを接続して他端を
接地する。出カドランス５４の１次巻線５７には増幅器
５８及び発振器５９を接続して他端を接地する。又、前
記検出抵抗Ｒｓには増幅器６０及び同期検波器６１を接
続する。同期検波器６１にはタイミングパルスを人力さ
せ、出力端子６２からは検出抵抗Ｒｓの両端の検出電圧
Ｅｓに対応した出力Ｄｓを出力させるものである。この
場合も、差動構成の出カドランス５４や検出抵抗Ｒｓ等
により、電歪素子２７ａ、２７ｂをセンサとする差動検
出手段６３が構成されている。

即ち、発振器５９の発振信号を増幅器５８で増幅してな
る励振出力は、両方の電歪素子２７ａ。

２７ｂに逆相で印加される。これにより、一方の電歪素
子２７ａ又は２７ｂが伸びた時には他方の電歪素子２７
ｂ又は２７ａは縮むことになり、たわみ共振振動を励起
し、バイト４３の刃先が軸線に直角な方向に振動する。

しかして、切削動作時にこれらの両方の電歪素子２７ａ
、２７ｂに均等な軸方向振動応力が印加されると、各々
同相の電圧を発生するので、検出抵抗Ｒｓの両端には背
分力検出信号としての検出電圧Ｅｓが発生する。この検
出電圧（背分力検出信号）Ｅｓは増幅器６０、同期検波
器６１により軸方向振動応力として直流成分状態でＤｓ
とじて検出出力される。

つづいて、本発明の第二の実施例を第９図により説明す
る。本実施例は、第一の実施例を更に改良したものであ
る。即ち、第１図に示した実施例においては、検出トラ
ンス４４の１次巻線４５の中点タップ４６に対する差動
特性と、電歪素子２７ａ、２７ｂの差動特性とが一致し
ていないと、たわみ振動子２０に軸方向振動が印力Ｕさ
れていない時でも検出信号Ｅｓが発生し、背分力検出信
号Ｄｓが出力されると判定されるという検出誤差を生じ
得る。しかして、本実施例ではこのような検出誤差をな
くすようにしたものである。

まず、発振器６４に接続した増幅器６５の出力は、出カ
ドランス６６によるインピーダンスマツチングと、直列
接続したインダクタ６７により共やく整合がとられ、こ
のようなマツチング状態で各々検出トランス８８．６９
の１次巻線を介して電極板２８．２９に接続されている
。そして、一方の検出トランス６８の２次側に発生する
検出電圧Ｅｓ、は、一方の電歪素子２７ａに流れる電流
に比例したものであり、増幅器７０に入力されている。

他方の検出トランス６９の２次側に発生する検出電圧Ｅ
ｓ、は、他方の電歪素子２７ｂに流れる電流に比例した
ものであり、電圧制御増幅器７１に入力されている。そ
して、これらの増幅器７０と電圧制御増幅器７１からの
出力が差動増幅器７２の２人力とされている。この差動
増幅器７２からの出力はサンプルホールド回路構成の同
期検波器７３に人力されている。この同期検波器７３は
前記発振器６４の駆動周波数に同期したタイミングパル
スによりタイミングがとられて連続的に瞬時オンするス
イッチ７４と、前記差動増幅器７２の瞬時出力電圧を前
記スイッチ７４のオンタイミングでホールドするコンデ
ンサ７５と、増幅器７６とにより構成され、背分力検出
信号Ｄｓ出力用の出力端子７７が引出されている。つま
り、本実施例では各々の電歪素子２７ａ、２７ｂ毎の検
出トランス６８，６９、増幅器７０．電圧制御増幅器７
１、差動増幅器７２等により差動検出手段７８が構成さ
れている。

このような構成において、各々の電歪素子２７ａ、２７
ｂに流れる電流が等しければ、増幅器７０と電圧制御増
幅器７１の増幅度が等しい時に検出電圧である背分力検
出信号Ｄｓは零となる。しかし、電歪素子２７ａと２７
ｂとの差動回路を含めたバランスが崩れている時には、
軸方向振動応力が印加されていない状態であっても、背
分力検出信号Ｄｓが発生し、誤差の原因となってしまう
。

そこで、本実施例では、たわみ振動子２０が無負荷でた
わみ振動している時に、背分力検出信号ＤＳが零となる
ように電圧制御増幅器７１の増幅度を調整すると、振動
子を含めたバランスが修正される。このようにバランス
修正させた状態で、振動切削動作時にたわみ振動子２０
に軸方向振動応力が印加されると、これが背分力検出信
号Ｄｓとして有効に検出される。つまり、電歪素子２７
ａ。

２７ｂ自身を含めた差動特性の不一致による検出誤差が
解消される。

ところで、以上の説明においては、バイト４３の先端は
たわみ振動子２０の軸線と直角に振動するものとして説
明したが、先端の振動は必ずしも直角であるとは限らず
、例えばバイトの交換や刃先の研ぎ方、形状などによっ
ては僅かにずれることは多々あり、これは超音波振動の
微妙な欠点でもある。しかるに、本実施例方式によれば
、第１０図に示すように、バイト４３の刃先の振動方向
が軸線と直角な方向からずれたとしても、その振動方向
が切削抵抗の合力方向と一致するように制御し得ること
は上述してきた説明からも明らかである。即ち、バイト
４３の刃先の振動方向が軸に直角な方向からずれている
時で匂、それが被加工物２からの背分力を含めた合力の
方向と一致しないと、上述の場合と同様に軸方向振動応
力がたわみ振動子２０に印加されるため、背分力検出信
号Ｄｓにより振動方向の異常が発見される。即ち、バイ
ト４３の振動方向の軸線と直角方向からのずれを含めて
被加工物４２の反作用の方向と一致させ、良好な振動切
削条件に設定することができる。

ところで、背分力検出信号Ｄｓは、バイト４３の刃先の
振動と直角方向に刃先に向かう振動応力が加わった時と
、逆に、刃先から被加工物４２側に向かう時とでは、そ
の極性が逆となる。従って、切削加工中は背分力検出信
号Ｄｓが零となるよにたわみ振動子２０の軸線の被加工
物４２に対する　″傾斜角度をサーボモータなどによる
フィードバック制御機構により自動追尾制御させればよ
い。

なお、上述した説明では、旋盤への適用例で説明したが
、この他、例えば平削り盤や形削り盤などの加工機械に
も同様に適用できる。

又、たわみ振動子構造としても、例示した円形断面状の
ものに限らず、例えば方形断面形状を持つたわみ振動子
であってもよい。

発明の効果 本発明は、上述したようにたわみ振動子中の駆動用の電
歪素子に同相で印加される軸方向振動応力を差動検出手
段により検出するようにしたので、電歪素子自身をセン
サとして利用して、バイト先端の振動の傾きを含めた振
動方向と切削抵抗の合力方向とのずれを軸方向振動応力
によって背分力検出信号として検出することができ、よ
って、この背分力検出信号に基づきこの信号値が零とな
るように被加工物と振動子軸線との間の相対傾斜角度の
設定を行なえばよく、最適なる振動切削効果を発揮させ
ることができ、更には、切削加工中に切削条件が変化し
ても、その変化に応じてリアルタイムで傾斜角度補正を
行なわせることもでき、常に切削仕上面が良好となる最
良の振動切削効果を得ることができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第７図は本発明の第一の実施例を示すもの
で、第１図はたわみ振動子構造を含めて示す結線回路図
、第２図はたわみ振動子の基本的構造を示す断面図、第
３図は電歪素子の斜視図、第４図は電極板の斜視図、第
５図は支持状態を示す概略斜視図、第６図は振動姿態を
含めて示す縦断側面図、第７図は平面図、第８図は変形
例を示す駆動系及び検出系の結線回路図、第９図は本発
明の第二の実施例を示す結線回路図、第１０図は異なる
振動方向状態時を示す概略側面図、第１１図は従来例を
示す側面図、第１２図は力方向を示す側面図、第１３図
はその背分力補正の従来方式を示す側面図である。 ２０・・・たわみ振動子、２７ａ、２７ｂ・・・電歪素
子、３１・・・出力端部、３３・・・金属材、３５・・
・金属材、３６・・・ボルト（締着具）、４２・・・被
加工物、４３・・・バイト、５３・・・差動検出手段、
６３・・・差動検出手段、７８・・・差動検出手段、Ｄ
ｓ・・・背分力検出信号 出　願　人　　　多賀電気株式会社 こもＺ図 −３７図 ″　ｌ○プ ＪＥ、　、／Ｚコ返矧リ すＣビ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、厚み方向に分極され均等に２分割された１枚又は複
   数枚の電歪素子本体の両面に金属材を締着具により一体
   的に締着したたわみ振動子を設け、このたわみ振動子の
   一方の出力端部にバイトを設け、２分割された前記電歪
   素子に対して同相で印加される軸方向振動応力を検出す
   る差動検出手段を設けたことを特徴とする超音波振動切
   削装置。 ２、厚み方向に分極され均等に２分割された１枚又は複
   数枚の電歪素子本体の両面に金属材を締着具により一体
   的に締着したたわみ振動子を設け、このたわみ振動子の
   一方の出力端部にバイトを設け、２分割された前記電歪
   素子に対して同相で印加される軸方向振動応力を検出す
   る差動検出手段を設け、この差動検出手段による検出信
   号が零となるように前記わたみ振動子の軸線の傾きを設
   定したことを特徴とする超音波振動切削装置。