JPS63226641A - Photosensitive composition - Google Patents

Photosensitive composition

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JPS63226641A
JPS63226641A JP29853586A JP29853586A JPS63226641A JP S63226641 A JPS63226641 A JP S63226641A JP 29853586 A JP29853586 A JP 29853586A JP 29853586 A JP29853586 A JP 29853586A JP S63226641 A JPS63226641 A JP S63226641A
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安男 岡本
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/022Quinonediazides
    • G03F7/023Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders
    • G03F7/0233Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binders or the macromolecular additives other than the macromolecular quinonediazides

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  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To obtain a photosensitive compsn. giving a planographic printing plate having high printing resistance by using a polymer having active imino groups, insoluble in water and soluble in an alkali soln. CONSTITUTION:This photosensitive compsn. contains a polymer having active imino groups, insoluble in water and soluble in an alkali soln. The polymer has structural units represented by formula I or II. In the formula I, A is H, halogen atom or 1-4C alkyl group, B is alkylene, phenylene, substd. alkylene or substd. phenylene group, X is a group represented by formula III, Y is a group represented by formula IV or -R<1>, each of (m) and (n) is 0 or 1 but (m) and (n) are not simultaneously 0 and the imino group bonds directly to at least one carbonyl or sulfonyl group in X and Y. In the formula II, E is H, halogen atom, 1-4C alkyl or phenyl group, each of F and G is alkylene or substd. alkylene group, each of (p), (p'), (q) and (q') is 0 or 1 and at least one of (q) and (q') is 1.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は平版印刷版、IC回路やフォトマスクの製造に
適する感光性組成物に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a photosensitive composition suitable for manufacturing lithographic printing plates, IC circuits and photomasks.

更に詳しくは、0−ナフトキノンジアジド化合物等の感
光性化合物とアルカリ性水溶液又は水を主体とするアル
カリ性溶媒に可溶性(以下アルカリ水可溶性という)の
ポリマーからなる感光性組成物に関するものである。
More specifically, it relates to a photosensitive composition comprising a photosensitive compound such as an 0-naphthoquinone diazide compound and a polymer soluble in an alkaline aqueous solution or an alkaline solvent mainly composed of water (hereinafter referred to as alkaline water soluble).

〔従来の技術〕[Conventional technology]

0−ナフトキノンジアジド化合物とノボラック型フェノ
ール樹脂からなる感光性組成物は、非常に優れた感光性
組成物として平版印刷版の製造やフォトレジストとして
工業的に用いられてきた。
A photosensitive composition composed of an 0-naphthoquinone diazide compound and a novolak type phenol resin has been used industrially as an extremely excellent photosensitive composition in the production of lithographic printing plates and as a photoresist.

しかし主体として用いられるノボラック型フェノール樹
脂の性質上基板に対する密着性が悪いこと、皮膜がもろ
いこと、耐摩耗性が劣り、平版印刷版に用いたときの耐
剛力が十分でないこと等の改良すべき点があり応用面で
の限界があった。
However, due to the nature of the novolak-type phenolic resin used as the main material, it has poor adhesion to the substrate, brittle film, poor abrasion resistance, and insufficient stiffness when used in lithographic printing plates, etc., which should be improved. However, there were some limitations in terms of application.

かかる問題を解決するため種々のポリマーが、バインダ
ーとして検討されてきた。たとえば特公昭52−410
50号公報に記載されているポリヒドロキシスチレンま
たはヒドロキシスチレン共重合体は確かに皮膜性が改良
されたが、耐摩耗性が劣るという欠点を有していた。ま
た、特開昭51−34711号公報中にはアクリル酸誘
導体の構造単位を分子構造中に有するポリマーをバイン
ダーとして用いることが提案されているが、かかるポリ
マーは適正な現像条件の範囲が狭いという問題があった
In order to solve this problem, various polymers have been investigated as binders. For example, Tokuko Sho 52-410
Although the polyhydroxystyrene or hydroxystyrene copolymer described in Publication No. 50 did have improved film properties, it had the drawback of poor abrasion resistance. Furthermore, in JP-A-51-34711, it is proposed to use a polymer having a structural unit of an acrylic acid derivative in its molecular structure as a binder, but it is said that such a polymer has a narrow range of appropriate development conditions. There was a problem.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

従って本発明の目的は適正な現像条件の範囲が広く、耐
刷力の大きい平版印刷版を与える感光性組成物を提供す
ることである。本発明の他の目的は基板に対する密着性
が良く、柔軟な皮膜を与える感光性組成物を提供するこ
とである。
Therefore, an object of the present invention is to provide a photosensitive composition that can be used in a wide range of appropriate development conditions and provides a lithographic printing plate with high printing durability. Another object of the present invention is to provide a photosensitive composition that has good adhesion to a substrate and provides a flexible film.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明者らは種々研究を重ねた結果、上記目的を達成す
るために有用な以下に示す感光性組成物を発明するに到
った。
As a result of various studies, the present inventors have come up with the following photosensitive composition useful for achieving the above object.

すなわち本発明は、活性イミノ基を有し、水不溶性かつ
アルカリ水可溶性のポリマーを含むことを特徴とするポ
ジ型感光性組成物を提供するものである。
That is, the present invention provides a positive photosensitive composition characterized by containing a water-insoluble and alkaline water-soluble polymer having an active imino group.

また本発明の好ましい実施態様において、該ポリマーは
下記一般式〔I〕又は[II)で示される構造単位を有
する。
In a preferred embodiment of the present invention, the polymer has a structural unit represented by the following general formula [I] or [II].

(X)、 〔但し、式中Aは水素原子、ハロゲン原子又は炭素数1
〜4のアルキル基を表す。Bはアルキレン基、フェニレ
ン基、置換アルキレン基又は置換すく但し、R1はアル
キル基、フェニル基、置換アルキル基又は置換フェニル
基を表す。)。m及びnは0又は1を表し、m及びnが
共に0であることはない。またイミノ基はX又はYの少
なくとも1つのカルボニル基又はスルホニル基と直接結
合している。〕 (但し、式中Eは水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜
4のアルキル基又はフェニル基を表す。
(X), [However, in the formula, A is a hydrogen atom, a halogen atom, or a carbon number 1
~4 alkyl group. B represents an alkylene group, a phenylene group, a substituted alkylene group, or a substituted alkylene group; and R1 represents an alkyl group, a phenyl group, a substituted alkyl group, or a substituted phenyl group. ). m and n represent 0 or 1, and m and n are never both 0. Further, the imino group is directly bonded to at least one carbonyl group or sulfonyl group of X or Y. ] (However, in the formula, E is a hydrogen atom, a halogen atom, or a carbon number of 1 to
4 represents an alkyl group or a phenyl group.

F及びGはそれぞれ独立にアルキレン基又は置換1を表
し、q又はq′の少なくとも1つは1である。また、イ
ミノ基は少な(とも1つのカルボニル基又はスルホニル
基と直接結合している。)本発明におけるポリマーは、
その分子構造中に、活性イミノ基を有することが特徴で
あり、その解離により、アルカリ水である現像液に溶解
する。
F and G each independently represent an alkylene group or a substitution 1, and at least one of q or q' is 1. In addition, the polymer in the present invention has a small number of imino groups (both are directly bonded to one carbonyl group or sulfonyl group).
It is characterized by having an active imino group in its molecular structure, and its dissociation causes it to dissolve in a developing solution, which is alkaline water.

本発明における活性イミノ基は、解離度(pKa)が4
〜11、より好ましくは、5〜9の範囲にあるものであ
る。pKaがこの範囲より大きすぎても小さすぎても適
正な現像条件の範囲が狭くなる。
The active imino group in the present invention has a degree of dissociation (pKa) of 4.
-11, more preferably 5-9. If the pKa is either larger or smaller than this range, the range of appropriate development conditions will be narrowed.

かかる本発明におけるポリマーが基板に対する密着性が
良く、耐摩耗性が優れる上、適正な現像条件の範囲が広
い(現像許容性が広い)感光性組成物を与えることはま
さに驚くべきことであった。
It was truly surprising that the polymer of the present invention provides a photosensitive composition that has good adhesion to a substrate, excellent abrasion resistance, and a wide range of appropriate development conditions (broad development tolerance). .

本発明におけるポリマーの好ましい構造は前記一般式C
I)又は(II)で表わされる。
A preferred structure of the polymer in the present invention is the general formula C
I) or (II).

一般式CI)におけるAは、水素原子、/’%ロゲン原
子又はアルキル基であるが、より好ましくは水素原子又
はメチル基である。
A in the general formula CI) is a hydrogen atom, a /'%rogen atom, or an alkyl group, and more preferably a hydrogen atom or a methyl group.

Bは、アルキレン基、フェニレン基、置換アルキレン基
又は置換フェニレン基であ、るが、より好ましくは、フ
ェニレン基又はm=0の場合である。
B is an alkylene group, a phenylene group, a substituted alkylene group or a substituted phenylene group, and more preferably a phenylene group or a case where m=0.

○ −C=N、−No2又は−R1を表わすがより好としで
は、フェニル基、ナフチル基、シクロヘキシル基又は炭
素数1から4のアルキル基が好ましい。
-C=N, -No2 or -R1, more preferably a phenyl group, a naphthyl group, a cyclohexyl group or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.

一般式[IDにおけるEは、水素原子、ハロゲン原子、
炭素数1から4のアルキル基又はフェニル基を表わすが
、より好ましくは、水素原子である。
General formula [E in ID is a hydrogen atom, a halogen atom,
It represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a phenyl group, and more preferably a hydrogen atom.

F及びGはそれぞれ独立にはアルキレン基又は置換アル
キレン基を示すが、より好ましくは、メチレン基又はp
=p’=oの場合である。
F and G each independently represent an alkylene group or a substituted alkylene group, but more preferably a methylene group or a p
This is the case when =p'=o.

本発明におけるポリマーの分子量は、広範囲のものを使
用することができるが、ポリスチレンを標準としてゲル
パーミェーションクロマトグラフィーで測定した時、重
量平均分子量(’llffw )で500〜1..00
0,000であることが好ましく、さらに好ましくは、
4.000〜300.000である。本発明における感
光性組成物中に占める活性イミノ基を有するポリマーの
童は、3〜90重量%、より好ましくは、15〜50重
量%である。
The molecular weight of the polymer in the present invention can range from a wide range, but when measured by gel permeation chromatography using polystyrene as a standard, the weight average molecular weight ('llffw) ranges from 500 to 1. .. 00
Preferably, it is 0,000, more preferably,
It is 4.000 to 300.000. The proportion of the polymer having active imino groups in the photosensitive composition of the present invention is 3 to 90% by weight, more preferably 15 to 50% by weight.

本発明における活性イミノ基を有するポリマーは一般式
CI)または[II)の構造単位だけの繰り返し構造を
有する重合体または、一般式〔I)と(n)の共重合体
でも良いが、通常使用されているビニル系単量体の一種
以上を組み合わせた繰り返し構造を有する多元系共重合
体であっても良い。
The polymer having an active imino group in the present invention may be a polymer having a repeating structure consisting only of the structural units of the general formula CI) or [II), or a copolymer of the general formulas [I) and (n), but the commonly used It may also be a multi-component copolymer having a repeating structure in which one or more of the vinyl monomers listed above are combined.

かかる多元系共重合体の場合、一般式(I)またはCI
[]で示される構造単位を単独もしくは合わせて、10
モル%以上含むことが好ましく、20モル%以上含むこ
とがさらに好ましい。一般式(I)または〔■〕で示さ
れる構造単位と組み合わせて用いられる構造単位として
は、例えば、エチレン、プロピレン、インブチレン、ブ
タジェン、イソブチレンなどのエチレン不飽和オレフィ
ン類、例えばスチレン、α−メチルスチレン、0−メチ
ルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン
、0−クロロスチレン、p−クロロスチレンなどのスチ
レン類、例えば、アクリル酸、アクリル酸メチル、アク
リル酸エチノペアクリル酸1so−プチノペアクリル酸
n−プチノ吠アクリル酸ヘキシル、アクリル酸オクチル
、アクリル酸2−ヒドロキシエチル、アクリル酸2−シ
アノエチル、アクリル酸グリシジノペアクリル酸ジメチ
ルアミノエチルなどのアクリル酸およびそのエステル類
、例えばメタクリル酸、メタクリル酸メチル、メタクリ
ル酸エチル、メタクリル酸n−ブチノペメタクリル酸1
so−ブチル、メタクリル酸tert −ブチノベメタ
クリル酸ヘキシノペメタクリル酸2−エチルヘキシノペ
メタクリル酸うウリノペメタクリル酸トリデシル、メタ
クリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ペンジノペメタ
クリル酸2−ヒドロキシエチル、メタクリル酸2−ヒド
ロキシプロピノペメタクリル酸ジメチルアミノエチル、
メタクリル酸ジエチルアミノエチル、メタクリル酸グリ
シジノペメタクリル酸テトラヒドロフルフリル、メタク
リル酸アリルなどのメタクリル酸およびそのエステル類
、例えば酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル
、カプロン酸ビニノペ安息香酸ビニルなどのビニルエス
テル類、例えば、アクリロニトリル、メタクリル酸アリ
ルなどのニトリル類、例えばメチルビニルエーテル、エ
チルビニルエーテル、インブチルビニルエーテル、β−
クロロエチルビニルエーテ/に、シクロヘキシルビニル
エーテルなどのビニルエーテル類、例えばアクリルアミ
ド、N−メチルアクリルアミド、NlN−ジメチルアク
リルアミド、N−tert−ブチルアクリルアミノド、
N−オクチルアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミ
ドなどのアクリルアミド類、例えばN−ビニルピローノ
ペN−ビニルカルバゾール、N−ビニルインドール、N
−ビニルピロリドンなどのN−ビニル化合物などのビニ
ル系単量体の不飽和二重結合を開裂せしめた構造で示さ
れるもの、その他特開昭58−203433号公報に開
示されているフェノール性水酸基を有する置換スチレン
類をあげることができる。
In the case of such a multicomponent copolymer, general formula (I) or CI
Structural units shown in [ ] alone or in combination, 10
It is preferably contained in an amount of mol % or more, and more preferably 20 mol % or more. Structural units used in combination with the structural unit represented by general formula (I) or [■] include, for example, ethylenically unsaturated olefins such as ethylene, propylene, imbutylene, butadiene, and isobutylene, such as styrene, α-methyl Styrenes such as styrene, 0-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, 0-chlorostyrene, p-chlorostyrene, e.g. acrylic acid, methyl acrylate, acrylic acid etynopea, acrylic acid 1so-putino Acrylic acid and its esters such as hexyl acrylate, octyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-cyanoethyl acrylate, glycidinopacrylate dimethylaminoethyl acrylate, e.g. methacrylic acid , methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butinope methacrylate methacrylic acid 1
so-butyl, tert-butynope methacrylate, hexynope methacrylate, 2-ethylhexynope methacrylate, urinope methacrylate, tridecyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, pendinope methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, methacrylic acid 2-hydroxypropinope dimethylaminoethyl methacrylate,
Methacrylic acid and its esters such as diethylaminoethyl methacrylate, glycidinope methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, allyl methacrylate, vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl caproate, vinyl benzoate, etc. , for example, nitriles such as acrylonitrile and allyl methacrylate, such as methyl vinyl ether, ethyl vinyl ether, inbutyl vinyl ether, β-
Chloroethyl vinyl ether/to vinyl ethers such as cyclohexyl vinyl ether, such as acrylamide, N-methylacrylamide, NlN-dimethylacrylamide, N-tert-butylacrylamide,
Acrylamides such as N-octylacrylamide and diacetone acrylamide, such as N-vinylpyronopene N-vinylcarbazole, N-vinylindole, N
-Those with a structure in which the unsaturated double bonds of vinyl monomers such as N-vinyl compounds such as vinylpyrrolidone are cleaved, and other phenolic hydroxyl groups disclosed in JP-A No. 58-203433. Examples include substituted styrenes having

次に本発明における活性イミノ基を有するポリマーの代
表的な具体例を示す。
Next, typical examples of polymers having active imino groups in the present invention will be shown.

〔例示化合物〕[Exemplary compounds]

Nα5Nα6 Nα5Nα6 Nα7 次に、本発明における活性イミノ基を有するポリマーの
代表的な合成例を示すが、本発明はこれらの例によって
なんら限定されるものではない。
Nα5Nα6 Nα5Nα6 Nα7 Next, typical synthesis examples of the polymer having an active imino group in the present invention will be shown, but the present invention is not limited to these examples in any way.

合成例1 10.0 g (0,044モル)、メタクリル酸メチ
ル4.46 g (0,044モル)を(2−メトキシ
エタノール22mβ中で、V−65[2,2’−アゾビ
ス−(2,4−ジメチルバレロニトリル〕0.0213
gを開始剤として、共重合を行なった。
Synthesis Example 1 10.0 g (0,044 mol) and 4.46 g (0,044 mol) of methyl methacrylate were dissolved in V-65[2,2'-azobis-(2 ,4-dimethylvaleronitrile]0.0213
Copolymerization was carried out using g as an initiator.

60℃で7時間撹拌したのち、2−メトキシエタノール
60ml!を加えて、水21中に再沈した。
After stirring at 60°C for 7 hours, 60ml of 2-methoxyethanol was added! was added and reprecipitated into water 21.

得られたポリマーをテトラヒドロフラン100m1に溶
解したのち、メタノール1.5A中に再沈することによ
り例示化合物No、 1のポリマー10.2gを得た。
The obtained polymer was dissolved in 100 ml of tetrahydrofuran, and then reprecipitated in 1.5 A of methanol to obtain 10.2 g of polymer of Exemplified Compound No. 1.

(1Jw = 200000、収率70%)ポリマーの
組成比は’H−NMRより決定した。
(1Jw = 200000, yield 70%) The composition ratio of the polymer was determined by 'H-NMR.

(以下同様) 合成例2 N−メタクリリルスルホンアミド15.78 g(0,
070モル)、メタクリル酸ベンジル12.35g(0
,070モル)を、酢酸エチル47m1中■−650,
173gを開始剤として、共重合を行なった。60℃で
6時間撹拌したのち、ヘキサン1.5β中に再沈し、得
られたポリマーをテトラヒドロフラン−150m1に溶
解し、メタノール21中に再沈することにより、例示化
合物Nα2のポリ7−23.4gを得た。(Nw = 
65000、収率83%) 合成例3 N−メタクリリルスルホンアミド11.28 g(0,
055モル)、アクリル酸エチル1−3.74 g(0
,15モル)を、酢酸エチル65用I!中で、■−65
 0.235gを開始剤として共重合を行なった。60
℃で6時間撹拌したのち、酢酸エチル50m1を加え、
ヘキサン2!中に再沈した。得られたポリマーを酢酸エ
チル150mfに溶解し、ヘキサン1.52中に再沈す
ることにより、例示化合物3のポリマー23.9 gを
得た。(1〜=60000、収率96%) 合成例4 N−メタクリリルスルホンアミド11.27 g(0,
050モル)、アクリル酸−n−ブチル13.74g(
0,107モル)を酢酸エチル65m1中でV−650
,195gを開始剤として共重合を行なった。60℃で
6時間撹拌したのち、ヘキサン1.5β中に再沈し、例
示化合物4のポリマー20.6 g (iw =830
00、収率82%)合成例5 マレイミド14.58g(0,15モル)、メタクリル
酸メチル15.04g(0,15モル)を1−アセトキ
シ−2−メトキシエタン69rr+f中V−650,3
71gを開始剤として共重合を行なった。60℃で2時
間撹拌したのち、1−アセトキシ−2−メトキシエタン
50m1を加え、水2β中に再沈することにより、例示
化合物5のポリマー 23.7 gを得た。(−M′賀
=59000、収率80%) 合成例6 マレイミド9.75g(0,10モル〉、メタクリル酸
ベンジル17.62g(0,10モル)を、1−アセト
キシ−2−メトキシエタン64m1中で■−65 0.
125gを開始剤として共重合を行なった。60℃で4
時間撹拌したのち、1−アセトキシ−2−メトキシエタ
ン30mA’を加え、水21中に再沈した。得られたポ
リマーを1−アセトキシ−2−メトキシエタン150m
I!に溶解し、水21中に再沈することにより例示化合
物6のポリマー22.5 gを得た。(mw = 84
 G OO1収率82%) 合成例7 N−メタクリリルスルホンアミド11.28 g(0,
055モル)、アクリル酸エチル3.30 g(0,0
33モル)、アクリル酸−n−ブチル5.77g(0,
050モル)を酢酸エチル75m1中で■−65 0.
171gを開始剤として共重合を行なった。60℃で6
時間撹拌したのち、ヘキサン1.5β中に再沈し、例示
化合物7のポリマー18.7gを得た。(mw = 7
6000、収率92%)本発明に使用されるポジ型に作
用する感光性化=合物としては、0−ナフトキノンジア
ジド化合物が好ましく、特公昭43−28403号公報
に記載されている1、2−ジアゾナフトキノンスルホン
酸クロライドとピロガロール−アセトン樹脂とのエステ
ルであるものが最も好ましい。その他の好適なオルトキ
ノンジアジド化合物としては、米国特許第3.046.
120号および同第3.188.210号明細書中に記
載されている1、2−ジアゾナフトキノンスルホン酸ク
ロライドとフェノール−ホルムアルデヒド樹脂とのエス
テルがある。その他の有用な0−ナフトキノンジアジド
化合物としては、数多くの特許に報告され、知られてい
る。たとえば、特開昭47−5303号、同昭48−6
3802号、同昭48−63803号、同昭48−96
575号、同昭49−38701号、同昭48−133
54号、特公昭41−11222号、同昭45−961
0号、同昭49−17481号公報、米国特許第2、7
97.213号、同第3.454.400号、同第3.
544.323号、同第3.573.917号、同第3
.674.495号、同第3、785.825号、英国
特許第1.227.602号、同第1、251.345
号、同第1.267、005号、同第1.329.88
8号、同第1.330.932号、ドイツ特許第854
.890号などの各明細書中に記載されているものをあ
げることができる。
(Similarly below) Synthesis Example 2 N-methacrylylsulfonamide 15.78 g (0,
070 mol), benzyl methacrylate 12.35 g (0
,070 mol) in 47 ml of ethyl acetate -650,
Copolymerization was carried out using 173 g as an initiator. After stirring at 60°C for 6 hours, the resulting polymer was reprecipitated in 1.5β of hexane, dissolved in 150ml of tetrahydrofuran, and reprecipitated in methanol 21 to obtain poly7-23. of exemplified compound Nα2. 4g was obtained. (Nw =
65000, yield 83%) Synthesis Example 3 N-methacrylylsulfonamide 11.28 g (0,
055 mol), ethyl acrylate 1-3.74 g (0
, 15 mol) for ethyl acetate 65 I! Inside, ■-65
Copolymerization was carried out using 0.235 g as an initiator. 60
After stirring at °C for 6 hours, 50 ml of ethyl acetate was added.
Hexane 2! It sank back inside. The obtained polymer was dissolved in 150 mf of ethyl acetate and reprecipitated in 1.52 mf of hexane to obtain 23.9 g of a polymer of Exemplified Compound 3. (1~=60000, yield 96%) Synthesis example 4 N-methacrylylsulfonamide 11.27 g (0,
050 mol), n-butyl acrylate 13.74 g (
0,107 mol) of V-650 in 65 ml of ethyl acetate.
, 195 g was used as an initiator. After stirring at 60°C for 6 hours, it was reprecipitated in 1.5β hexane to obtain 20.6 g of polymer of Exemplified Compound 4 (iw = 830
00, yield 82%) Synthesis Example 5 14.58 g (0.15 mol) of maleimide and 15.04 g (0.15 mol) of methyl methacrylate were mixed in V-650.3 in 1-acetoxy-2-methoxyethane 69rr+f.
Copolymerization was carried out using 71 g as an initiator. After stirring at 60° C. for 2 hours, 50 ml of 1-acetoxy-2-methoxyethane was added and the mixture was reprecipitated in 2β of water to obtain 23.7 g of a polymer of Exemplary Compound 5. (-M' = 59000, yield 80%) Synthesis Example 6 9.75 g (0.10 mol) of maleimide and 17.62 g (0.10 mol) of benzyl methacrylate were added to 64 ml of 1-acetoxy-2-methoxyethane. Inside■-65 0.
Copolymerization was carried out using 125 g as an initiator. 4 at 60℃
After stirring for an hour, 30 mA' of 1-acetoxy-2-methoxyethane was added, and the mixture was reprecipitated into water 21. The obtained polymer was mixed with 150 m of 1-acetoxy-2-methoxyethane.
I! 22.5 g of a polymer of Exemplified Compound 6 was obtained by dissolving it in water and reprecipitating it in water 21. (mw = 84
GOO1 yield: 82%) Synthesis Example 7 N-methacrylylsulfonamide 11.28 g (0,
055 mol), ethyl acrylate 3.30 g (0,0
33 mol), n-butyl acrylate 5.77 g (0,
-650 mol) in 75 ml of ethyl acetate.
Copolymerization was carried out using 171 g as an initiator. 6 at 60℃
After stirring for an hour, the mixture was reprecipitated into 1.5β hexane to obtain 18.7 g of a polymer of Exemplified Compound 7. (mw = 7
6000, yield 92%) As the photosensitizing compound that acts on the positive type used in the present invention, 0-naphthoquinonediazide compounds are preferred, and 1 and 2 described in Japanese Patent Publication No. 43-28403 Most preferred are esters of -diazonaphthoquinone sulfonic acid chloride and pyrogallol-acetone resin. Other suitable orthoquinonediazide compounds include U.S. Patent No. 3.046.
120 and 3.188.210 are esters of 1,2-diazonaphthoquinonesulfonic acid chloride and phenol-formaldehyde resins. Other useful 0-naphthoquinone diazide compounds are known and reported in numerous patents. For example, JP-A-47-5303, JP-A-48-6
No. 3802, No. 63803, No. 48-63, No. 48-96
No. 575, No. 49-38701, No. 133-1973
No. 54, Special Publication No. 11222/1973, 961/1973
No. 0, Publication No. 49-17481, U.S. Patent Nos. 2 and 7
No. 97.213, No. 3.454.400, No. 3.
No. 544.323, No. 3.573.917, No. 3
.. 674.495, British Patent No. 3, 785.825, British Patent No. 1.227.602, British Patent No. 1, 251.345
No. 1.267, 005, No. 1.329.88
No. 8, No. 1.330.932, German Patent No. 854
.. Examples include those described in various specifications such as No. 890.

また0−ナフトキノンジアジド化合物を用いずにポジ型
に作用する感光性化合物又は感光性混合物として、例え
ば特公昭56−2696号の明細書に記載されているオ
ルトニトロカルビノールエステル基を有するポリマー化
合物も本発明に使用することができる。
In addition, as a photosensitive compound or photosensitive mixture that acts in a positive manner without using an 0-naphthoquinone diazide compound, for example, a polymer compound having an orthonitrocarbinol ester group, which is described in the specification of Japanese Patent Publication No. 56-2696, is also used. It can be used in the present invention.

更に光分解により酸を発生する化合物と、酸により解離
するC−0−C基又はC−0−3i基を有する化合物と
の感光性混合物も本発明に使用することができる。
Furthermore, a photosensitive mixture of a compound that generates an acid upon photolysis and a compound having a C-0-C group or a C-0-3i group that dissociates with an acid can also be used in the present invention.

例えば光分解により酸を発生する化合物と、アセタール
又は0、N−アセタール化合物との組合せく特開昭48
−89003号)、オルトエステル又はアミドアセター
ル化合物との組合せく特開昭51−120714号)、
主鎖にアセタール又はケタール基を有するポリマーとの
組合せ(特開昭53−133429号)、エノールエー
テル化合物との組合せ(特開昭55−12995号)、
N−アシルイミノ炭酸化合物との組合せ(特開昭55−
126236号)、主鎖にオルトエステル基を有するポ
リマーとの組合せ(特開昭56−17345号)、シリ
ルエステル化合物との組合せ(特開昭60−10247
号)及びシリルエーテル化合物との組合せく特開昭60
−37549号、特開昭60−121446号)などが
挙げられる。
For example, the combination of a compound that generates an acid upon photolysis and an acetal or 0,N-acetal compound is
-89003), combination with orthoester or amide acetal compound JP-A-51-120714),
combination with a polymer having an acetal or ketal group in the main chain (JP-A-53-133429); combination with an enol ether compound (JP-A-55-12995);
Combination with N-acyliminocarbonate compound (JP-A-55-
126236), a combination with a polymer having an orthoester group in the main chain (JP-A-56-17345), a combination with a silyl ester compound (JP-A-60-10247)
No.) and combination with silyl ether compound JP-A-60
-37549, JP-A-60-121446), etc.

本発明の感光性組成物中に占めるこれらのポジ型に作用
する感光性化合物又は感光性混合物の量は10〜50重
量%で、より好ましくは20〜40重量%である。
The amount of these positively acting photosensitive compounds or photosensitive mixtures in the photosensitive composition of the present invention is 10 to 50% by weight, more preferably 20 to 40% by weight.

本発明の組成物中には、本発明におけるポリマーの他に
フェノールホルムアルデヒド樹脂、クレゾールホルムア
ルデヒド樹脂、フェノール変性キシレン樹脂、ホリヒド
ロキシスチレン、ポリハロゲン化ヒドロキシスチレン等
、公知のアルカリ可溶性の高分子化合物を含有させるこ
とができる。
In addition to the polymer of the present invention, the composition of the present invention contains known alkali-soluble polymer compounds such as phenol formaldehyde resin, cresol formaldehyde resin, phenol-modified xylene resin, polyhydroxystyrene, and polyhalogenated hydroxystyrene. can be done.

かかるアルカリ可溶性の高分子化合物は全組成物の70
重量%以下の添加量で用いられる。
Such alkali-soluble polymer compound accounts for 70% of the total composition.
It is used in an amount of less than % by weight.

本発明の組成物中には、感度を高めるために環状酸無水
物、露光後直ちに可視像を得るための焼出し剤、画像着
色剤として染料やその他のフィラーなどを加えることが
できる。環状酸無水物としては米国特許第4.115.
128号明細書に記載されているように無水フタル酸、
テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸
、3,6−ニンドオキシーΔ4−テトラヒドロ無水フタ
ル酸、テトラクロル無水フタル酸、無水マレイン酸、ク
ロル無水マレイン酸、α−フェニル無水マレイン酸、無
水コハク酸、ピロメリット酸等があ2゜これらの環状酸
無水物を全組成物中の1から15重量%含有させること
によって感度を最大3倍程度に高めることができる。露
光後直ちに可視像を得るための焼出し剤としては露光に
よって酸を放出する感光性化合物と塩を形成し得る有機
染料の組合せを代表としてあげることができる。具体的
には特開昭50−36209号公報、特開昭53−81
28号公報に記載されている0−ナフトキノンジアジド
−4−スルホン酸ハロゲニドと塩形成性有機染料の組合
せや特開昭53−36223号公報、特開昭54−74
728号公報に記載されているトリハロメチル化合物と
塩形成性有機染料の組合せをあげることができる。画像
の着色剤として前記の塩形成性有機染料以外に他の染料
も用いることができる。塩形成性有機染料を含めて好適
な染料として油溶性染料および塩基染料をあげることが
できる。具体的には、オイルイエロー#101、オイル
イエロー#130、オイルピンク#312、オイルグリ
ーンBG、オイルブルーBO3,オイルブルー#603
、オイルブラックBY、オイルブラックBS、オイルブ
ラックT−505(以上、オリエント化学工業株式会社
製)、クリスタルバイオレット(CI42555)、メ
チルバイオレット(CI42535)、ローダミンB(
CI45170B)、マラカイトグリーン(CI420
00)、メチレンブルー(CI52015)などをあげ
ることができる。
The composition of the present invention may contain a cyclic acid anhydride to increase sensitivity, a printout agent to obtain a visible image immediately after exposure, a dye as an image coloring agent, and other fillers. As a cyclic acid anhydride, US Pat. No. 4.115.
128, phthalic anhydride,
Tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 3,6-nindooxy-Δ4-tetrahydrophthalic anhydride, tetrachlorophthalic anhydride, maleic anhydride, chloromaleic anhydride, α-phenylmaleic anhydride, succinic anhydride, pyromellitic acid By containing these cyclic acid anhydrides in an amount of 1 to 15% by weight based on the total composition, the sensitivity can be increased up to about 3 times. Typical print-out agents for obtaining a visible image immediately after exposure include a combination of a photosensitive compound that releases an acid upon exposure and an organic dye that can form a salt. Specifically, JP-A-50-36209, JP-A-53-81
The combination of 0-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid halide and a salt-forming organic dye described in JP-A No. 28, JP-A-53-36223, JP-A-Sho 54-74
The combination of a trihalomethyl compound and a salt-forming organic dye described in Japanese Patent No. 728 can be mentioned. In addition to the above-mentioned salt-forming organic dyes, other dyes can also be used as image coloring agents. Suitable dyes include oil-soluble dyes and basic dyes, including salt-forming organic dyes. Specifically, oil yellow #101, oil yellow #130, oil pink #312, oil green BG, oil blue BO3, oil blue #603.
, Oil Black BY, Oil Black BS, Oil Black T-505 (manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.), Crystal Violet (CI42555), Methyl Violet (CI42535), Rhodamine B (
CI45170B), malachite green (CI420
00), methylene blue (CI52015), etc.

本発明の組成物は、上記各成分を溶解する溶媒に溶かし
て支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒としては、
エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メチルエチ
ルケトン、エチレングリコールモノメチルエーテル、プ
ロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリ
コールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテ
ート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート、トルエン、酢酸エチルなどがあり、これらの溶媒
を単独あるいは混合して使用する。
The composition of the present invention is applied onto a support after being dissolved in a solvent that dissolves each of the above components. The solvent used here is
These include ethylene dichloride, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, ethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-methoxyethyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, toluene, and ethyl acetate. Solvents may be used alone or in combination.

そして、上記成分中の濃度(固形分)は、2〜50重量
%である。また、塗布量は用途により異なるが、例えば
感光性平版印刷版についていえば一般的に固形分として
0.5〜3.0g/m″が好ましい。塗布量が少くなる
につれ感光性は大になるが、感光膜の物性は低下する。
The concentration (solid content) of the above components is 2 to 50% by weight. The amount of coating varies depending on the application, but for example, for photosensitive planographic printing plates, it is generally preferable to have a solid content of 0.5 to 3.0 g/m''.As the amount of coating decreases, the photosensitivity increases. However, the physical properties of the photoresist film deteriorate.

本発明の感光性組成物を用いて平版印刷版を製造する場
合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウム
板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸化
アルミニウム板、砂目室てしたアルミニウム板、シリケ
ート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、ス
テンレス板、クローム処理鋼板、親水化処理したプラス
チックフィルムや紙を挙げることができる。
When producing a lithographic printing plate using the photosensitive composition of the present invention, the support may be a hydrophilized aluminum plate, such as a silicate-treated aluminum plate, an anodized aluminum plate, a grained aluminum plate, There is an aluminum plate with electrodeposited silicate, and other examples include zinc plate, stainless steel plate, chromium-treated steel plate, and hydrophilized plastic film and paper.

本発明の感光性組成物にたいする現像液とじては、珪酸
ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、第
ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニリ
ン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナトリ
ウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水溶
液が適当であり、それらの濃度が0.1〜10重量%、
好ましくは0.5〜5重量%になるように添加される。
Developers for the photosensitive composition of the present invention include sodium silicate, potassium silicate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, tribasic sodium phosphate, dibasic sodium phosphate, tribasic ammonium phosphate, Aqueous solutions of inorganic alkaline agents such as ammonium diphosphate, sodium metasilicate, sodium bicarbonate, aqueous ammonia, etc. are suitable, and their concentrations are 0.1 to 10% by weight,
It is preferably added in an amount of 0.5 to 5% by weight.

また、該アルカリ性水溶液には、必要に応じ界面活性剤
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。
Moreover, a surfactant and an organic solvent such as alcohol can be added to the alkaline aqueous solution as necessary.

〔実施例〕〔Example〕

つぎに、実施例をあげて本発明をさらに詳細に説明する
。なお、下記実施例におけるパーセントは、他に指定の
ない限り、すべて重量%である。
Next, the present invention will be explained in more detail by giving examples. All percentages in the examples below are by weight unless otherwise specified.

実施例1〜7 厚さ0.30aumのアルミニウム板をナイロンブラシ
と400メツシユのパミストンの水懸濁液を用いその表
面を砂目立てした後、よく水で洗浄した。
Examples 1 to 7 The surface of an aluminum plate having a thickness of 0.30 um was grained using a nylon brush and a water suspension of 400 mesh pumice stone, and then thoroughly washed with water.

10%水酸化ナトリウムに70℃で60秒間浸漬してエ
ツチングした後、流水で水洗後20%HNO。
After etching by immersing in 10% sodium hydroxide at 70°C for 60 seconds, washing with running water and 20% HNO.

で中和洗浄、水洗した。これをVA=12.7Vの条件
下で正弦波の交番波形電流を用いて1%硝酸水溶液中で
160クローン/ dmsの陽極特電気量で電解粗面化
処理を行った。その表面粗さを測定したところ、0.6
μ(Ra表示)であった、ひきつづいて30%のH2S
O,水溶液中に浸漬し55℃で2分間デスマットした後
、20%H2SO<水溶液中、電流密度2A/dm″に
おいて厚さが2.7 g /m′になるように陽極酸化
した。
Neutralized and washed with water. This was subjected to electrolytic surface roughening treatment in a 1% nitric acid aqueous solution under the condition of VA=12.7V using a sinusoidal alternating waveform current at an anode special electric charge of 160 clones/dms. When the surface roughness was measured, it was found to be 0.6
μ (expressed as Ra), followed by 30% H2S
After being immersed in an aqueous solution of O and desmutted at 55°C for 2 minutes, it was anodized to a thickness of 2.7 g/m' at a current density of 2 A/dm in 20% H2SO<aqueous solution.

このようにして得られたアルミニウム支持体上に次の感
光液をホワイラーを用いて塗布し、100℃で2分間乾
燥させた。
The following photosensitive solution was applied onto the thus obtained aluminum support using a whiler and dried at 100° C. for 2 minutes.

ナフトキノン−(1,2)−0,7,5gジアジド−(
2) −5−スルホニル クロリドとクレゾールノボラック 樹脂のエステル化反応生成物 m−クレゾールノボラック樹脂    1.40 gテ
トラヒドロ無水フタル酸      0.15 g第1
表に記載のポリマー       0.70 g2−(
p−ブトキシフェニル) −0,02g4.6−ビス(
トリクロル メチル)−3−トリアジン ナフトキノン−1,2−ジアジド−0,03g4−スル
ホン酸クロライド クリスタルバイオレット       0.01 gオ
イルブルー#603        0.015g(オ
リエント化学工業株式会社製) エチレンジクロリド        18g2−メトキ
シエチルアセテート   12g乾燥後の塗布量は2.
1g/m″であった。これらの感光性平版印刷版をそれ
ぞれ2KIllのメタルハライドランプで1mの距離よ
りポジ透明原画を通して40秒間露光した。露光した感
光性平版印刷版を4%メタケイ酸ナトリウム水溶液に1
分間浸漬して現像しその後は常法に従って処理して、平
版印刷版を得た。こうして得られた平版印刷版をオフセ
ット印刷機にかけて印刷し耐剛性のテストを行なった。
Naphthoquinone-(1,2)-0,7,5g diazide-(
2) Esterification reaction product of -5-sulfonyl chloride and cresol novolak resin m-cresol novolak resin 1.40 g Tetrahydrophthalic anhydride 0.15 g 1st
Polymer listed in the table 0.70 g2-(
p-butoxyphenyl) -0,02g4.6-bis(
Trichloromethyl)-3-triazinenaphthoquinone-1,2-diazide-0,03g 4-sulfonic acid chloride Crystal violet 0.01 g Oil Blue #603 0.015g (manufactured by Orient Chemical Industry Co., Ltd.) Ethylene dichloride 18g 2-methoxyethyl acetate The amount of application after drying is 2.
1 g/m''. Each of these photosensitive lithographic printing plates was exposed to light for 40 seconds using a 2 KIll metal halide lamp from a distance of 1 m through a positive transparent original.The exposed photosensitive lithographic printing plates were soaked in a 4% aqueous sodium metasilicate solution. 1
The plate was immersed for a minute, developed, and then processed according to a conventional method to obtain a lithographic printing plate. The lithographic printing plate thus obtained was printed on an offset printing machine to perform a rigidity test.

耐刷性の劣るものは少ない枚数で画像部が摩耗してイン
キが付着しな(なり、正常な印刷物が得られなくなる。
If the printing durability is poor, the image area will wear out and ink will not adhere to it after a small number of sheets are printed, making it impossible to obtain normal printed matter.

また適性現像条件の範囲の広さく現像許容性)を調べる
ため、前記の現像液に5分間浸漬して現像して1分間浸
漬して現像した場合との調子再現性の変化を調べた。は
とんど変化がなかったものを○、大きく変化したものを
×、その中間をΔで表示した。また感光性組成物の基板
に対する密着性や、柔軟性を調べるために、露光後画像
部にダイヤモンド針で一定荷重をかけてキズをつけ、現
像後印刷してキズのつき易さを調べた。キズがつきにく
いものを○、きわめてつき易いものを×1その中間を△
で表示した。これらの結果を第1表に示す。
In addition, in order to investigate the wide range of suitable development conditions (development acceptability), changes in tone reproducibility were investigated when developing by immersing in the developer for 5 minutes and developing by immersing for 1 minute. ○ indicates that there was almost no change, × indicates that there was a large change, and ∆ indicates that there is a significant change. In addition, in order to examine the adhesion and flexibility of the photosensitive composition to the substrate, the image area was scratched after exposure by applying a constant load with a diamond needle, and after development, the composition was printed and the ease of scratching was examined. ○ for items that are hard to get scratched, 1 for items that are extremely easy to get scratched, △ for those in between.
It was displayed in These results are shown in Table 1.

第1表からあきらかなように本発明の感光性組成物は、
きわめてすぐれた性能を有することがわかる。
As is clear from Table 1, the photosensitive composition of the present invention is
It can be seen that it has extremely excellent performance.

実施例8〜11 実施例1〜7と同様にして作製した支持体上に次の感光
液をホワイラーを用いて塗布し、100℃で2分間乾燥
させた。
Examples 8 to 11 The following photosensitive liquids were applied onto supports prepared in the same manner as in Examples 1 to 7 using a whiler, and dried at 100°C for 2 minutes.

0ナフトキノン−(1,2)−0,90gジアジρ−(
2) −5−スルホニル クロリドとピロガロール− アセトン樹脂とのエステル化物 (米国特許第3.635.709号明細書実施例1に記
載されているもの) 0例示化合物 Nα1        第2表に記載0
クレゾールノボラツク樹脂    2.1gから第(m
−クレゾール、p−2表の例示化 クレゾールの比5対5)     合物Nα1の添加量
を引いた 量 02−トリクロロメチル−5−0,04g(4−ヒドロ
キシスチリル)− 1,3,4−オキサジアゾール 0無水フタル酸            0.20 g
O油溶性染料(CI42595)     0.03g
oエチレンジクロライド       15goメチル
セロソルブ          8g乾燥後の塗布量は
2.5g/rn″であった。これらの感光性平版印刷版
を実施例1〜7と同様な方法で評価した結果を第2表に
示す。第2表から、本発明の感光性組成物が優れた性能
を有することがわかる。
0 naphthoquinone-(1,2)-0,90g diazirho-(
2) Esterified product of -5-sulfonyl chloride and pyrogallol-acetone resin (described in Example 1 of US Patent No. 3.635.709) 0 Exemplary compound Nα1 Listed in Table 2 0
Cresol novolak resin 2.1g to (m)
-Cresol, ratio of exemplified cresol in table p-2 5:5) Amount minus the amount of compound Nα1 added 02-Trichloromethyl-5-0,04g (4-hydroxystyryl)-1,3,4- Oxadiazole 0 Phthalic anhydride 0.20 g
O oil-soluble dye (CI42595) 0.03g
o Ethylene dichloride 15go Methyl cellosolve 8gThe coating amount after drying was 2.5g/rn''.These photosensitive lithographic printing plates were evaluated in the same manner as Examples 1 to 7, and the results are shown in Table 2. It can be seen from Table 2 that the photosensitive composition of the present invention has excellent performance.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の活性イミノ基を有するポリマーを加えた感光性
組成物は、良好な現像性、耐刷性を有し、基板に対する
密着性も優れている。
The photosensitive composition containing the polymer having an active imino group of the present invention has good developability and printing durability, and also has excellent adhesion to a substrate.

昭和  年  月  日 3.補正をする者 事件との関係  出願人 名 称   (520)富士写真フィルム株式会社4、
代理人 5、補正命令の日付  自 発 (1)特許請求の範囲を別紙の通り訂正する。
Showa year month day 3. Relationship to the case of the person making the amendment Applicant name (520) Fuji Photo Film Co., Ltd. 4;
Agent 5, date of amendment order Voluntary (1) Amend the scope of claims as shown in the attached sheet.

(2)明細書中、下記個所の誤記をそれぞれ訂正する。(2) Correct the following errors in the description.

特許請求の範囲 (1)  活性イミノ基を有し、水不溶性かつアルカリ
水可溶性のポリマーを含むことを特徴とするポジ型感光
性組成物。
Claims (1) A positive photosensitive composition comprising a polymer having an active imino group and being insoluble in water and soluble in alkaline water.

(2)活性イミノ基の解離度(pKa)が4〜11であ
る特許請求の範囲第(1)項記載の感光性組成物。
(2) The photosensitive composition according to claim (1), wherein the degree of dissociation (pKa) of the active imino group is 4 to 11.

(3)活性イミノ基が少くとも1個のカルボニル基又は
スルホニル基と直接結合している特許請求の範囲第(1
)項又は第(2)項記載の感光性組成物。
(3) Claim No. 1 in which the active imino group is directly bonded to at least one carbonyl group or sulfonyl group.
) or (2).

(4)ポリマーが下記一般式〔■〕又はCII)で示さ
れる構造単位を有する特許請求の範囲第(3)項記載の
感光性組成物。
(4) The photosensitive composition according to claim (3), wherein the polymer has a structural unit represented by the following general formula [■] or CII).

! fcH,−C+− ζ (B)。! fcH, -C+- ζ (B).

(X) 、。(X),.

昌 Y             [1 〔但し、式中Aは水素原子、ハロゲン原子又は炭素数1
〜4のアルキル基を表す。Bはアルキレン基、・フェニ
レン基、置換アルキレン基又は置換フェニレン基を表す
。Xは一〇−1(I 又は−R1を表す(但し、R1はアルキル基、フェニル
基、置換アルキル基又は置換フェニル基を表す。)。m
及びnは0又は1を表し、m及びnが共に0であること
はない。またイミノ基はX又はYの少なくとも1つのカ
ルボニル基又はスルホニル基と直接結合している。〕(
F)P(G)、・ (但し、式中Eは水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜
4のアルキル基又はフェニル基を表す。F及びGはそれ
ぞれ独立にアルキレン基又びq′は0又は1を表し、q
又はq′の少なくとも1つは1である。また、イミノ基
は少なくとも1つのカルボニル基又はスルホニル基と直
接結合している。)
Chang Y [1 [However, in the formula, A is a hydrogen atom, a halogen atom, or a carbon number of 1
~4 alkyl group. B represents an alkylene group, a phenylene group, a substituted alkylene group, or a substituted phenylene group. X represents 10-1 (I or -R1 (however, R1 represents an alkyl group, a phenyl group, a substituted alkyl group, or a substituted phenyl group).m
and n represent 0 or 1, and m and n are never both 0. Further, the imino group is directly bonded to at least one carbonyl group or sulfonyl group of X or Y. 〕(
F) P(G), (where E is a hydrogen atom, a halogen atom, or a carbon number of 1 to
4 represents an alkyl group or a phenyl group. F and G each independently represent an alkylene group, q' represents 0 or 1, and q
or at least one of q' is 1. Further, the imino group is directly bonded to at least one carbonyl group or sulfonyl group. )

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)活性イミノ基を有し、水不溶性かつアルカリ水可
溶性のポリマーを含むことを特徴とするポジ型感光性組
成物。
(1) A positive photosensitive composition having an active imino group and containing a water-insoluble and alkaline water-soluble polymer.
(2)活性イミノ基の解離度(pKa)が4〜11であ
る特許請求の範囲第(1)項記載の感光性組成物。
(2) The photosensitive composition according to claim (1), wherein the degree of dissociation (pKa) of the active imino group is 4 to 11.
(3)活性イミノ基が少くとも1個のカルボニル基又は
スルホニル基と直接結合している特許請求の範囲第(1
)項又は第(2)項記載の感光性組成物。
(3) Claim No. 1 in which the active imino group is directly bonded to at least one carbonyl group or sulfonyl group.
) or (2).
(4)ポリマーが下記一般式〔 I 〕又は〔II〕で示さ
れる構造単位を有する特許請求の範囲第(3)項記載の
感光性組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕 〔但し、式中Aは水素原子、ハロゲン原子又は炭素数1
〜4のアルキル基を表す。Bはアルキレン基、フェニレ
ン基、置換アルキレン基又は置換フェニレン基を表す。 Xは▲数式、化学式、表等があります▼、 ▲数式、化学式、表等があります▼又は▲数式、化学式
、表等があります▼を表す。Yは▲数式、化学式、表等
があります▼、 ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼、−C≡N、−NO_2 又は−R^1を表す(但し、R^1はアルキル基、フェ
ニル基、置換アルキル基又は置換フェニル基を表す。)
。m及びnは0又は1を表し、m及びnが共に0である
ことはない。またイミノ基はX又はYの少なくとも1つ
のカルボニル基又はスルホニル基と直接結合している。 〕 ▲数式、化学式、表等があります▼〔II〕 (但し、式中Eは水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜
4のアルキル基又はフェニル基を表す。F及びGはそれ
ぞれ独立にアルキレン基又は置換アルキレン基を表す。 Xは▲数式、化学式、表等があります▼、 ▲数式、化学式、表等があります▼又は▲数式、化学式
、表等があります▼を表す。P、P′、q及 びq′は0又は1を表し、q又はq′の少なくとも1つ
は1である。また、イミノ基は少なくとも1つのカルボ
ニル基又はスルホニル基と直接結合している。)
(4) The photosensitive composition according to claim (3), wherein the polymer has a structural unit represented by the following general formula [I] or [II]. ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ [I] [However, in the formula, A is a hydrogen atom, a halogen atom, or a carbon number of 1
~4 alkyl group. B represents an alkylene group, a phenylene group, a substituted alkylene group or a substituted phenylene group. X represents ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼, ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ or ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼. Y has ▲mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼, ▲mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼, ▲mathematical formulas, chemical formulas,
There are tables, etc. ▼, -C≡N, -NO_2 or -R^1 (However, R^1 represents an alkyl group, phenyl group, substituted alkyl group, or substituted phenyl group.)
. m and n represent 0 or 1, and m and n are never both 0. Further, the imino group is directly bonded to at least one carbonyl group or sulfonyl group of X or Y. ] ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ [II] (However, in the formula, E is a hydrogen atom, a halogen atom, or a carbon number of 1 to
4 represents an alkyl group or a phenyl group. F and G each independently represent an alkylene group or a substituted alkylene group. X represents ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼, ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ or ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼. P, P', q and q' represent 0 or 1, and at least one of q or q' is 1. Further, the imino group is directly bonded to at least one carbonyl group or sulfonyl group. )
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