JPS63210735A - 力学量検出素子 - Google Patents
力学量検出素子Info
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- JPS63210735A JPS63210735A JP62043164A JP4316487A JPS63210735A JP S63210735 A JPS63210735 A JP S63210735A JP 62043164 A JP62043164 A JP 62043164A JP 4316487 A JP4316487 A JP 4316487A JP S63210735 A JPS63210735 A JP S63210735A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
- G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
- G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
- G01L3/10—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
- G01L3/101—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means
- G01L3/105—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means involving inductive means
-
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S73/00—Measuring and testing
- Y10S73/02—Magnetostrictive
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
り棗上夏■ユ±Ｉ
本発明は、非晶質磁性合金（アモルファス磁性合金）の
応力−磁気効果を利用する力学量検出素子に関するもの
である。
応力−磁気効果を利用する力学量検出素子に関するもの
である。
え米五韮
゛力、トルクなどを計測するカー常置センサにおいて、
非晶質磁性合金の応力−磁気効果を利用するセンサが、
近年注目されつつあり、この力学量センサによれば、■
力の非接触検出が可能である、■力の電気類への変換を
直接的に行うことができる。■センサとしての装置構造
が簡単で、小型化が達成される。■非晶質磁性合金は高
強度、高靭性材であって、耐食性に優れるとともに、完
全弾性体でもあるため、耐環境性に優れ、広範囲の使用
条件に耐え得る等の利点が得られる。
非晶質磁性合金の応力−磁気効果を利用するセンサが、
近年注目されつつあり、この力学量センサによれば、■
力の非接触検出が可能である、■力の電気類への変換を
直接的に行うことができる。■センサとしての装置構造
が簡単で、小型化が達成される。■非晶質磁性合金は高
強度、高靭性材であって、耐食性に優れるとともに、完
全弾性体でもあるため、耐環境性に優れ、広範囲の使用
条件に耐え得る等の利点が得られる。
その−例として、応力−磁気効果が敏感な正の磁歪を有
する非晶質磁性合金の薄帯（リボン）０１を回転軸０２
に巻き付け、トルクＴによって回転軸０２に生ずる゛捩
りひずみ′°を薄帯０１に導入せしめ、応力−磁気効果
による薄帯０１の磁気特性の変化を検出し、もってトル
クＴを検出するトルクセンサが知られている（第１図参
照）。磁歪が正の非晶質磁性合金では、引張り応力を与
えると、引張り方向の磁気弾性エネルギーが低下し、そ
の方向で磁化が容易になる現象があり、この現象を応力
−磁気効果と称しているが、前記トルクセンサにおいて
は、該応力−磁気効果を利用して、薄帯０１の全面に、
周方向０３に対する傾斜角α（α〉４５°）の方向に一
様な磁化容易軸（−軸磁気異方性）Ｋｕを与えている。
する非晶質磁性合金の薄帯（リボン）０１を回転軸０２
に巻き付け、トルクＴによって回転軸０２に生ずる゛捩
りひずみ′°を薄帯０１に導入せしめ、応力−磁気効果
による薄帯０１の磁気特性の変化を検出し、もってトル
クＴを検出するトルクセンサが知られている（第１図参
照）。磁歪が正の非晶質磁性合金では、引張り応力を与
えると、引張り方向の磁気弾性エネルギーが低下し、そ
の方向で磁化が容易になる現象があり、この現象を応力
−磁気効果と称しているが、前記トルクセンサにおいて
は、該応力−磁気効果を利用して、薄帯０１の全面に、
周方向０３に対する傾斜角α（α〉４５°）の方向に一
様な磁化容易軸（−軸磁気異方性）Ｋｕを与えている。
しかるに、回転軸０２にトルク丁が作用すると、第２図
図示の如く、回転軸０２の軸心線方向に対して角度±４
５°の方向に式σ−１６、Ｔ（ただし、ｄは回転軸０２
の外径でπｄ３ ある）で表わされる応力σが生じ、応力−磁気効果によ
り、＋σの方向にも一戦磁気異方性が誘導され、結果と
して合成された磁化容易軸Ｋｕ’ が与えられる。
図示の如く、回転軸０２の軸心線方向に対して角度±４
５°の方向に式σ−１６、Ｔ（ただし、ｄは回転軸０２
の外径でπｄ３ ある）で表わされる応力σが生じ、応力−磁気効果によ
り、＋σの方向にも一戦磁気異方性が誘導され、結果と
して合成された磁化容易軸Ｋｕ’ が与えられる。
しかして、一般に磁性体の透磁率は、磁界方向に対する
磁化容易軸の方向によって変化することから、前記磁化
容易軸の変化（Ｋｕ−＋ Ｋｕ’ ）を透磁率の変化と
して捉え、トルク丁の大きさを検出することかできる。
磁化容易軸の方向によって変化することから、前記磁化
容易軸の変化（Ｋｕ−＋ Ｋｕ’ ）を透磁率の変化と
して捉え、トルク丁の大きさを検出することかできる。
そこで、例えば励磁コイル（−次コイル）、検出コ、イ
ル（二次コイル）を用いて、透磁率（または磁束密度）
の変化を電圧変化として検出すると、第３図図示の如き
トルク−出力曲線が得られる。
ル（二次コイル）を用いて、透磁率（または磁束密度）
の変化を電圧変化として検出すると、第３図図示の如き
トルク−出力曲線が得られる。
−°シ よ と ロ −
ところが、通常使用されている非晶質磁性合金では、直
線性（リニアリティ）が悪く、力学量検出可能範囲Ｉが
狭いために、低トルク範囲の検出素子どして利用される
に留まっており、また該非晶質磁性合金の応力−出力曲
線は第４図図示の如くであり、応力−〇の近傍で曲線の
勾配が大きいために、その部分で感度が非常に高く、第
１図において、回転軸０２の表面に薄帯０１を接着剤接
合する際の接着力によって薄帯０１に生ずる応力分布が
均一でないことともあいまって、回転軸０２に作用する
トルクが零である場合に、本来零になるはずの検出出力
が、該回転＠０２の停止角度の違いによって比較的大き
な値で検出されてしまう。
線性（リニアリティ）が悪く、力学量検出可能範囲Ｉが
狭いために、低トルク範囲の検出素子どして利用される
に留まっており、また該非晶質磁性合金の応力−出力曲
線は第４図図示の如くであり、応力−〇の近傍で曲線の
勾配が大きいために、その部分で感度が非常に高く、第
１図において、回転軸０２の表面に薄帯０１を接着剤接
合する際の接着力によって薄帯０１に生ずる応力分布が
均一でないことともあいまって、回転軸０２に作用する
トルクが零である場合に、本来零になるはずの検出出力
が、該回転＠０２の停止角度の違いによって比較的大き
な値で検出されてしまう。
また、非晶質磁性合金の薄帯を液体超急冷法により製造
する場合、薄帯全面に亘って均一な冷却条件で、あるい
は常時均一な冷却条件で冷却を実施することができない
ため、不均質な残留応力の発生を避は難く、得られた複
数枚の薄帯を力学量検出素子として用いるに当り、残留
応力の相違による磁気特性の゛ばらつき″が生じる不具
合がある。
する場合、薄帯全面に亘って均一な冷却条件で、あるい
は常時均一な冷却条件で冷却を実施することができない
ため、不均質な残留応力の発生を避は難く、得られた複
数枚の薄帯を力学量検出素子として用いるに当り、残留
応力の相違による磁気特性の゛ばらつき″が生じる不具
合がある。
ｅｆするためのニー゛ヨ゛よび・
本発明の目的は、応力−磁気特性曲線の直線性が良好で
、力学量検出可能範囲が拡大され、広範囲の力学量変化
を検知することが可能であって、応力＝０近傍における
該特性曲線の勾配がゆるやかなる力学量検出素子を提供
する点にある。
、力学量検出可能範囲が拡大され、広範囲の力学量変化
を検知することが可能であって、応力＝０近傍における
該特性曲線の勾配がゆるやかなる力学量検出素子を提供
する点にある。
本発明の他の目的は、力学量検出素子の磁気特性の“ば
らつき”を低減化する点にある。
らつき”を低減化する点にある。
例えば、高速回転する銅ドラム上に溶融合金を連続供給
して、これを超急冷し、薄帯形状で提供される非晶質磁
性合金は、その組織中に結晶粒界が存在せず、従来の結
晶質合金に比して機械的。
して、これを超急冷し、薄帯形状で提供される非晶質磁
性合金は、その組織中に結晶粒界が存在せず、従来の結
晶質合金に比して機械的。
化学的、電磁気的に優れた強磁性材であって、特に鉄を
主成分とする非晶質磁性合金は、応力−磁気特性におい
て優れた直線性（リニアリティ）を示す。
主成分とする非晶質磁性合金は、応力−磁気特性におい
て優れた直線性（リニアリティ）を示す。
ところで、前記非晶質磁性合金は、液体Ｍ４造を凍結す
ることによって得た材料であるから、その原子分布状態
が液相状態に類似し、結晶体（結晶合金）に比して低密
度であって、原子間引力は結晶体に比して大きいものと
想定される。この想定に従うならば、第４図に示した特
性曲線ａにおける応力＝０は、見掛は上の値であって、
例えば、第５図図示の如く、特性曲線ａに連なる曲線す
が潜在すると考えることができ、この潜在曲線す部分を
応力≧０の範囲に持ち来たし、第６図図示の特性曲線Ｃ
を得ることができるならば、応力−磁気特性が著しく向
上する。
ることによって得た材料であるから、その原子分布状態
が液相状態に類似し、結晶体（結晶合金）に比して低密
度であって、原子間引力は結晶体に比して大きいものと
想定される。この想定に従うならば、第４図に示した特
性曲線ａにおける応力＝０は、見掛は上の値であって、
例えば、第５図図示の如く、特性曲線ａに連なる曲線す
が潜在すると考えることができ、この潜在曲線す部分を
応力≧０の範囲に持ち来たし、第６図図示の特性曲線Ｃ
を得ることができるならば、応力−磁気特性が著しく向
上する。
本発明者等は、斯かる想定の下で、実験を行なった結果
、正の磁歪を有する非晶質磁性合金製薄帯に予め圧縮ひ
ずみ（圧縮応力）を与えることによって前記特性向ａＣ
を実現できることを確認した。
、正の磁歪を有する非晶質磁性合金製薄帯に予め圧縮ひ
ずみ（圧縮応力）を与えることによって前記特性向ａＣ
を実現できることを確認した。
圧縮ひずみを与える方法としては、■非晶質磁性合金で
形成された薄帯の表面に塗膜を付し、塗膜との熱膨張特
性の違いを利用する方法、■力学量検出対象物の表面に
接む剤をもって薄帯を粘着し、接着剤との熱膨張特性の
違いを利用する方法、■薄帯の表面に金属メッキを施し
、メッキ被膜に生ずる内部応力を利用する方法等が考え
られる。
形成された薄帯の表面に塗膜を付し、塗膜との熱膨張特
性の違いを利用する方法、■力学量検出対象物の表面に
接む剤をもって薄帯を粘着し、接着剤との熱膨張特性の
違いを利用する方法、■薄帯の表面に金属メッキを施し
、メッキ被膜に生ずる内部応力を利用する方法等が考え
られる。
本発明では、斯かる他の材料との接合関係を利用するこ
となく、薄帯の表面に直接外力を印加して加工を施し、
薄帯に予め圧縮ひずみを付与することとした。外力の印
加方法としては、研摩布紙による表面研摩法、薄帯表面
に球状微粒物を噴射させるショット・ピーニング法１合
成樹脂、ゴム。
となく、薄帯の表面に直接外力を印加して加工を施し、
薄帯に予め圧縮ひずみを付与することとした。外力の印
加方法としては、研摩布紙による表面研摩法、薄帯表面
に球状微粒物を噴射させるショット・ピーニング法１合
成樹脂、ゴム。
その他の材料で形成した部片をもって薄帯表面を擦る“
しごき加工法”等を挙げることができる。
しごき加工法”等を挙げることができる。
これ等の加工法による外力の印加程度を変えることによ
って薄帯に与える圧縮ひずみ預を調整し、本発明の前記
目的を達成することが可能である。
って薄帯に与える圧縮ひずみ預を調整し、本発明の前記
目的を達成することが可能である。
なお、研摩布紙による表面研摩は、薄帯の表面を１．２
回撫でる程度で良く、膜厚２５μｍ程度の薄帯にあって
は、研摩口を２〜３μｍ以下に抑えるべきである。また
、研摩布紙の粒度は＃３２０（大）〜＃ １０００ （
小）程度が適当である。
回撫でる程度で良く、膜厚２５μｍ程度の薄帯にあって
は、研摩口を２〜３μｍ以下に抑えるべきである。また
、研摩布紙の粒度は＃３２０（大）〜＃ １０００ （
小）程度が適当である。
民晟璽ユ
■単ロール法（液体超急冷法）による
ＦＯ５ＩＢｎ、ｖＳ ＝ １５ Ｃ２の薄帯（寸法：厚
さ２５μ７Ｈ，長さ１０ｃｍ、幅２５ｍｍ＞を複数枚用
意した。
さ２５μ７Ｈ，長さ１０ｃｍ、幅２５ｍｍ＞を複数枚用
意した。
■粒度＃８００〜１０００の研摩布紙を用いて薄帯の片
面を研摩した。研＠ｍ（研摩によって削除した肉厚〉は
、ｏ−０，Ｏ［３μｍの範囲で薄帯毎にこれを変化させ
た ■研摩量が相違する各薄帯の比透磁率を外力を作用させ
ない状態で調べたところ、第７図の結果が得られた。
面を研摩した。研＠ｍ（研摩によって削除した肉厚〉は
、ｏ−０，Ｏ［３μｍの範囲で薄帯毎にこれを変化させ
た ■研摩量が相違する各薄帯の比透磁率を外力を作用させ
ない状態で調べたところ、第７図の結果が得られた。
〈試験結果の評価〉
■第７図より、研摩量が増すと薄帯の比透磁率が直線的
に減少することが判る。この事は、研摩量を変えること
によって薄帯の透磁率を調整し得ることを意味しており
、鐸帯間の磁気特性の゛ばらつき°′を低減化させ得る
ことが明らかである。
に減少することが判る。この事は、研摩量を変えること
によって薄帯の透磁率を調整し得ることを意味しており
、鐸帯間の磁気特性の゛ばらつき°′を低減化させ得る
ことが明らかである。
■研摩口が増すと薄帯の比透磁率が減少することから、
第６図における特性曲線ａ→特性曲線すの変化（応力−
〇における値参照）が予測される。
第６図における特性曲線ａ→特性曲線すの変化（応力−
〇における値参照）が予測される。
筬旌五ユ
■試験例１における薄帯と同じ薄帯を用意し、何等処理
を施さないものを薄帯１とし、研摩布紙（＃ ８００〜
１０００ ）による０、１５μｍの片面研摩を施したも
のを薄帯２とし、研摩布紙（＃８００〜１０００）によ
る０、３μｍの片面研摩を施したものを薄帯３とした。
を施さないものを薄帯１とし、研摩布紙（＃ ８００〜
１０００ ）による０、１５μｍの片面研摩を施したも
のを薄帯２とし、研摩布紙（＃８００〜１０００）によ
る０、３μｍの片面研摩を施したものを薄帯３とした。
■薄帯１，２．３を試片として、第８図に示す装置を用
いて応力−磁気特性を調べた。その結果を、応力−比透
磁率曲線として第９図に示す。
いて応力−磁気特性を調べた。その結果を、応力−比透
磁率曲線として第９図に示す。
第８図において、４は、試片の上辺を全幅に亘って把持
する懸吊具を示し、試片の上辺には、その全幅に亘って
把持具５が取着され、鉤６に係止される重錘７によって
試片に対して可変な引張り力が印加される。
する懸吊具を示し、試片の上辺には、その全幅に亘って
把持具５が取着され、鉤６に係止される重錘７によって
試片に対して可変な引張り力が印加される。
また、試片の両側には、コイル（０，１９，φのフォル
マル銅線８０Ｔ）８を設置し、１にＨｚ、１．１■の正
弦波交流を与え、インダクタンスをインピーダンス・ア
ナライザーで求め、これを比透磁率に変換することによ
り得た。
マル銅線８０Ｔ）８を設置し、１にＨｚ、１．１■の正
弦波交流を与え、インダクタンスをインピーダンス・ア
ナライザーで求め、これを比透磁率に変換することによ
り得た。
この比透磁率は前述の如く、薄帯１，２．３に与えられ
る引張り応力の大小によって変化する。
る引張り応力の大小によって変化する。
それ故、逆に誘起電圧を測定することにより、引張り力
の大きさく重錘７の荷重）を知ることができる。
の大きさく重錘７の荷重）を知ることができる。
第９図の応力−比透磁率曲線は、薄帯１，２゜３につき
、重錘７の荷重を変化させ、荷重の大きさを比透磁率の
変化として捉えたものである。
、重錘７の荷重を変化させ、荷重の大きさを比透磁率の
変化として捉えたものである。
〈試験結果の評価〉
■薄帯１の特性曲線と、薄帯２，３の特性曲線とを対比
すれば、薄帯の表面研摩が有効であることが判る。すな
わち、第６図の特性曲線Ｃと同様に、直線範囲の拡大さ
れた曲線が得られる。
すれば、薄帯の表面研摩が有効であることが判る。すな
わち、第６図の特性曲線Ｃと同様に、直線範囲の拡大さ
れた曲線が得られる。
■薄帯２，３の特性曲線を対比すると、研Ｉｆ量の多い
方が効果的であり、研摩量が多くなるほど、すなわち印
加力によって発生させる内部応力が増すほど曲線が右方
へ移動し、応カーＯ近傍での曲線の勾配がゆるやかにな
るとともに応力検出可能範囲工が増大する（Ｉ２ ＜Ｉ
ｓ ）ことが判る。
方が効果的であり、研摩量が多くなるほど、すなわち印
加力によって発生させる内部応力が増すほど曲線が右方
へ移動し、応カーＯ近傍での曲線の勾配がゆるやかにな
るとともに応力検出可能範囲工が増大する（Ｉ２ ＜Ｉ
ｓ ）ことが判る。
ｌ１五１浬
以上の説明から明らかな様に、正の磁歪を有する非晶質
磁性合金で形成された薄帯の表面に外力を印加して加工
を施し、もって薄帯の少なくとも一部に予め圧縮ひずみ
を付与してなる力学Φ検出素子が提案された。
磁性合金で形成された薄帯の表面に外力を印加して加工
を施し、もって薄帯の少なくとも一部に予め圧縮ひずみ
を付与してなる力学Φ検出素子が提案された。
本発明の力学量検出素子は、予め圧縮ひずみが付与され
ていない非晶質磁性合金部片（力学量検出素子）に比し
て応力−磁気特性が改善され、力学母検出可能範囲が拡
大されているため、応用範囲が大きい。
ていない非晶質磁性合金部片（力学量検出素子）に比し
て応力−磁気特性が改善され、力学母検出可能範囲が拡
大されているため、応用範囲が大きい。
また、本発明の力学量検出素子によれば、表面加工の程
度を調整して、製造される各力学は検出素子間の磁気特
性の“ばらつき″を低減化することができる。
度を調整して、製造される各力学は検出素子間の磁気特
性の“ばらつき″を低減化することができる。
さらに、本発明の力学量検出素子においては、薄帯の表
面を研摩布紙で研摩する等の、極めて簡単な方法でこれ
を）ｑることができ、製作経費の低減化に寄与し得る。
面を研摩布紙で研摩する等の、極めて簡単な方法でこれ
を）ｑることができ、製作経費の低減化に寄与し得る。
第１図、第２図は非晶質磁性合金製薄帯を軸の周囲に接
合して、軸に与えられるトルクを検出する場合の原理を
説明する図、第３図は非晶質磁性合金製薄板を用いたト
ルクセンサによる軸トルク測定例としてのトルク−出力
曲線を示すグラフ、第４図は非晶質磁性合金の応力−磁
気特性を示すグラフ、第５図、第６図は本発明の詳細な
説明するための応力−磁気特性を示ずグラフ、第７図は
非晶質磁性合金製薄帯の表面研摩Ｍとその比透磁率）の
関係を示すグラフ、第８図は力学量検出素子の応力−磁
気特性を調べるための装置を示す図、第９図は公知に係
る力学量検出素子および本発明の力学量検出素子の応力
−磁気特性を示すグラフである。 １．２．３・・・薄帯、４・・・懸吊具、５・・・把持
具、６・・・鉤、７・・・重錘、８・・・コイル。 代理人 弁理士 江 原 望 外２名第１図 第２図 Ｌｌｌ Ｕｌ 第３図 第４図 ０ 応１カ（Ｋｇ
／ｍｍ”ｌ第５図 第６図 第７図 研摩量（ρｍ） 第 ８ 図 第９図 之、力（Ｋｇ／ｍｍ”１
合して、軸に与えられるトルクを検出する場合の原理を
説明する図、第３図は非晶質磁性合金製薄板を用いたト
ルクセンサによる軸トルク測定例としてのトルク−出力
曲線を示すグラフ、第４図は非晶質磁性合金の応力−磁
気特性を示すグラフ、第５図、第６図は本発明の詳細な
説明するための応力−磁気特性を示ずグラフ、第７図は
非晶質磁性合金製薄帯の表面研摩Ｍとその比透磁率）の
関係を示すグラフ、第８図は力学量検出素子の応力−磁
気特性を調べるための装置を示す図、第９図は公知に係
る力学量検出素子および本発明の力学量検出素子の応力
−磁気特性を示すグラフである。 １．２．３・・・薄帯、４・・・懸吊具、５・・・把持
具、６・・・鉤、７・・・重錘、８・・・コイル。 代理人 弁理士 江 原 望 外２名第１図 第２図 Ｌｌｌ Ｕｌ 第３図 第４図 ０ 応１カ（Ｋｇ
／ｍｍ”ｌ第５図 第６図 第７図 研摩量（ρｍ） 第 ８ 図 第９図 之、力（Ｋｇ／ｍｍ”１
Claims (4)
- （１）正の磁歪を有する非晶質磁性合金の応力−磁気効
果を利用する力学量検出素子において、非晶質磁性合金
で形成された薄帯の表面に外力を印加する処理を施し、
もって薄帯の少なくとも一部に予め圧縮ひずみを付与し
てなる力学量検出素子。 - （２）前記外力を印加する処理が機械的加工であること
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載された力学量
検出素子。 - （３）前記外力を印加する処理が薄帯の両面に施されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載され
た力学量検出素子。 - （４）前記機械的加工が研磨加工であって、これを研摩
布紙で行うことを特徴とする特許請求の範囲第２項に記
載された力学量検出素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62043164A JPS63210735A (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | 力学量検出素子 |
| US07/160,742 US4872350A (en) | 1987-02-27 | 1988-02-26 | Mechanical quantity sensor element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62043164A JPS63210735A (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | 力学量検出素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63210735A true JPS63210735A (ja) | 1988-09-01 |
Family
ID=12656231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62043164A Pending JPS63210735A (ja) | 1987-02-27 | 1987-02-27 | 力学量検出素子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4872350A (ja) |
| JP (1) | JPS63210735A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02221830A (ja) * | 1989-02-22 | 1990-09-04 | Kubota Ltd | 磁歪式トルクセンサ |
| JPH02280023A (ja) * | 1989-04-20 | 1990-11-16 | Kubota Corp | 磁歪式トルクセンサ軸の製造方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7363827B2 (en) * | 2005-10-21 | 2008-04-29 | Stoneridge Control Devices, Inc. | Torque sensor system including an elliptically magnetized shaft |
| US7469604B2 (en) * | 2005-10-21 | 2008-12-30 | Stoneridge Control Devices, Inc. | Sensor system including a magnetized shaft |
| JP5313703B2 (ja) * | 2009-01-16 | 2013-10-09 | 内山工業株式会社 | エンコーダ付駆動伝達用ベルト及びその製造方法、並びに、回転検出システム |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4053331A (en) * | 1974-09-20 | 1977-10-11 | University Of Pennsylvania | Method of making amorphous metallic alloys having enhanced magnetic properties by using tensile stress |
| JPS5934780B2 (ja) * | 1977-12-16 | 1984-08-24 | 松下電器産業株式会社 | 非晶質磁性合金薄板の熱処理法 |
| JPS6054386B2 (ja) * | 1979-03-01 | 1985-11-29 | 工業技術院長 | 薄帯状非晶質合金の磁気特性を改良する方法 |
| EP0146382B1 (en) * | 1983-12-17 | 1990-03-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Torque sensor of noncontact type |
-
1987
- 1987-02-27 JP JP62043164A patent/JPS63210735A/ja active Pending
-
1988
- 1988-02-26 US US07/160,742 patent/US4872350A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02221830A (ja) * | 1989-02-22 | 1990-09-04 | Kubota Ltd | 磁歪式トルクセンサ |
| JPH02280023A (ja) * | 1989-04-20 | 1990-11-16 | Kubota Corp | 磁歪式トルクセンサ軸の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4872350A (en) | 1989-10-10 |
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