JPS63199167U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63199167U JPS63199167U JP8822487U JP8822487U JPS63199167U JP S63199167 U JPS63199167 U JP S63199167U JP 8822487 U JP8822487 U JP 8822487U JP 8822487 U JP8822487 U JP 8822487U JP S63199167 U JPS63199167 U JP S63199167U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- furnace body
- sensor
- predetermined distance
- viewing window
- Prior art date
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- Granted
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図と第２図は本考案の一実施例を示すもの
で、第１図は正面図、第２図は第１図の―線
矢視図、第３図と第４図は本考案の他の実施例を
示すもので、第３図はプレートをその長径方向に
断面した断面図、第４図はプレートをその短径方
向に断面した断面図、第５図は従来の単結晶引上
装置の概略構成図である。 １……炉本体、１ａ……覗窓、１９……シリコ
ン単結晶、２０……センサ、３０……プレート、
３０ａ……長孔。
で、第１図は正面図、第２図は第１図の―線
矢視図、第３図と第４図は本考案の他の実施例を
示すもので、第３図はプレートをその長径方向に
断面した断面図、第４図はプレートをその短径方
向に断面した断面図、第５図は従来の単結晶引上
装置の概略構成図である。 １……炉本体、１ａ……覗窓、１９……シリコ
ン単結晶、２０……センサ、３０……プレート、
３０ａ……長孔。
Claims (1)
- チヨクラルスキー法により単結晶を引上げ成長
させる際に、炉本体から所定距離離間して単結晶
の直径を測定するセンサが設けられ、かつこのセ
ンサによつて上記炉本体の内部を監視するために
、上記炉本体に覗窓が設けられてなる単結晶引上
装置において、上記覗窓に、中央に長孔を形成し
た複数のプレートが互いに所定間隔をあけて設け
られたことを特徴とする単結晶引上装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987088224U JPH0538060Y2 (ja) | 1987-06-08 | 1987-06-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987088224U JPH0538060Y2 (ja) | 1987-06-08 | 1987-06-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63199167U true JPS63199167U (ja) | 1988-12-21 |
| JPH0538060Y2 JPH0538060Y2 (ja) | 1993-09-27 |
Family
ID=30946145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987088224U Expired - Lifetime JPH0538060Y2 (ja) | 1987-06-08 | 1987-06-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0538060Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63162869U (ja) * | 1987-04-14 | 1988-10-24 |
-
1987
- 1987-06-08 JP JP1987088224U patent/JPH0538060Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63162869U (ja) * | 1987-04-14 | 1988-10-24 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0538060Y2 (ja) | 1993-09-27 |