JPS6319866A - Rectifying element - Google Patents

Rectifying element

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JPS6319866A
JPS6319866A JP61164199A JP16419986A JPS6319866A JP S6319866 A JPS6319866 A JP S6319866A JP 61164199 A JP61164199 A JP 61164199A JP 16419986 A JP16419986 A JP 16419986A JP S6319866 A JPS6319866 A JP S6319866A
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JP
Japan
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redox
rectifying element
film
substance
neutral red
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Pending
Application number
JP61164199A
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Japanese (ja)
Inventor
Tomotsugu Kamiyama
智嗣 上山
Satoru Isoda
悟 磯田
Akiyoshi Ogura
小椋 明美
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To produce a rectifying element capable of approimating the size thereof to the ultrafine size at molecular level by means of using redox material as component material of electric circuit element. CONSTITUTION:Electrodes 2a, 2b are formed on a substrate 1 to be covered with a neutral red film 3. Then, the part of neutral red film covering the electrode 2a is removed by ion sputtering process etc. to form the neutral red film 3 only on the electrode 2b. Next, a toluidine blue film 4 is formed to be adhesion-bonded onto the neutral red film 3 covering the electrode 2a. Through these procedures, when the electrodes 2a and 2b are impressed with voltage V, the electrons flow from the neutral red 3 to the toluidine blue 4 due to the difference in redox potential to display the rectifying characteristics.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、集積回路分野における整流素子に関するも
ので、酸化還元物質を該素子の構成材料として用いるこ
とにより、そのサイズを分子レベルの超微細な大きさく
数十〜数百人)に近づけることができ、高密度、高速化
を図ることができるようにしたものである。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] This invention relates to a rectifying element in the field of integrated circuits, and by using a redox substance as a constituent material of the element, the size of the rectifying element can be reduced to ultra-fine size at the molecular level. It is designed to be able to accommodate large numbers of people (from several tens to hundreds of people), and to achieve high density and high speed.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、集積回路に用いられている整流素子としては、第
5図に示すM OS構造のものがあった。
Conventionally, a rectifying element used in an integrated circuit has a MOS structure as shown in FIG.

図において、11はp形シリコン基板、12はn影領域
、13はp影領域、14はn影領域、15は5in2膜
、16.17は電極であり、これら2つの電極16.1
7間でp−n接合(p影領域13−n影領域14接合)
が形成され、これにより整流特性が実現されている。
In the figure, 11 is a p-type silicon substrate, 12 is an n-shade region, 13 is a p-shade region, 14 is an n-shade region, 15 is a 5in2 film, 16.17 is an electrode, and these two electrodes 16.1
p-n junction between 7 (p shadow area 13 - n shadow area 14 junction)
is formed, thereby realizing rectifying characteristics.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

従来のMO3構造の整流素子は以上のように構成されて
いるため、微細加工が可能であり、現在では上記構造の
整流素子あるいはこれとi(以の構造のトランジスタ素
子を用いたLSIとして、256にビットLSIが実用
化されている。
Since the conventional MO3 structure rectifying element is configured as described above, microfabrication is possible, and at present, the rectifying element with the above structure or this and i (as an LSI using a transistor element with the following structure), 256 Bit LSI has been put into practical use.

ところで、集積回路のメモリ容量と演算速度を上昇させ
るには、素子そのものの微細化が不可欠であるが、Si
を用いる素子では0.2μm程度の超微細パターンで電
子の平均自由行程と素子サイズとがほぼ等しくなり、素
子の独立性が保たれなくなるという限界を抱えている。
Incidentally, in order to increase the memory capacity and operation speed of integrated circuits, it is essential to miniaturize the elements themselves, but Si
In devices using ultra-fine patterns of about 0.2 μm, the mean free path of electrons becomes almost equal to the device size, which has the limitation that independence of the devices cannot be maintained.

このように、日々発展を続けているシリコンテクノロジ
ーも、微細化の点ではいずれは壁に突きあたることが予
想され、新しい原理に基づく電気回路素子であって0.
2μmの壁を破ることのできるものが求められている。
In this way, silicon technology, which continues to develop day by day, is expected to eventually hit a wall in terms of miniaturization, and electric circuit elements based on new principles are 0.
There is a need for something that can break through the 2 μm wall.

この発明は、かかる状況に鑑みてなされたもので、酸化
還元物質を電気回路素子の構成材料として用いることに
より、そのサイズを分子レベルの超微細な大きさまで近
づけることのできる電気回路素子を、特にそのうちの整
流素子を得ることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and particularly aims to create an electric circuit element whose size can be brought close to ultra-fine size at the molecular level by using a redox substance as a constituent material of the electric circuit element. The purpose is to obtain a rectifying element among them.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

ところで、生体内には、電子を定められた方向へ運ぶ電
子伝達能を有する蛋白質(以下、電子伝達蛋白質と記す
)が複数種類存在しており、該電子伝達蛋白質は、例え
ば生体膜中に一定の配向性をもって埋め込まれ、分子間
で電子伝達が起こるように特異的な分子間配置をとって
いる。
By the way, in living organisms, there are multiple types of proteins (hereinafter referred to as electron transfer proteins) that have the ability to transfer electrons in a predetermined direction. It is embedded with a specific orientation, and has a specific intermolecular arrangement so that electron transfer occurs between molecules.

この電子伝達蛋白質は、電子伝達時に酸化還元(レドッ
クス)反応を伴い、各電子伝達蛋白質のレドックス電位
の負の準位から正の順位へと電子を流すことができるも
のであり、これを利用すれば電子の動きを分子レベルで
制御することができると考えられる。
These electron transfer proteins involve an oxidation-reduction (redox) reaction during electron transfer, allowing electrons to flow from the negative level of the redox potential of each electron transfer protein to the positive level. It is thought that the movement of electrons can be controlled at the molecular level.

また、最近の知見によれば、生体内に存在している電子
伝達蛋白質以外の電子伝達物質を組み合わせて電子伝達
が可能な電子伝達複合体を形成することが可能であるこ
とが示されている。
Furthermore, recent findings indicate that it is possible to form an electron transfer complex capable of electron transfer by combining electron transfer substances other than electron transfer proteins that exist in living organisms. .

従って、適当なレドックス電位を持つ電子伝達物質を2
種類(A及びB)用い、A−Bと2層接着接合すれば、
それらのレドックス電位の差異を利用して整流特性を生
ずる接合を形成できると考えられる。本件発明者はこの
ことに着目してこの発明を創作したものである。
Therefore, if an electron carrier with an appropriate redox potential is
If you use types (A and B) and bond two layers with A-B,
It is thought that it is possible to form a junction that produces rectifying characteristics by utilizing the difference in their redox potentials. The present inventor created this invention by paying attention to this fact.

そこで本発明に係る整流素子は、第1の酸化還元物質で
作成された第1酸化還元物質膜と、上記第1酸化還元物
質のレドックス電位と異なるレドックス電位を有する第
2の酸化還元物質で作成され上記第1酸化還元物質膜に
接着接合された第2酸化還元物質膜と、それぞれ上記第
1.第2酸化還元物質膜に電気的に接続される第1.第
2の電極とを設けて構成したものである。
Therefore, the rectifying element according to the present invention is made of a first redox substance film made of a first redox substance and a second redox substance having a redox potential different from the redox potential of the first redox substance. and a second redox material film adhesively bonded to the first redox material film; The first oxide film is electrically connected to the second redox material film. It is configured by providing a second electrode.

〔作用〕[Effect]

この発明においては、レドックス電位の異なる少なくと
も2種類の酸化還元物質により整流特性を発生させる。
In this invention, rectification characteristics are generated by at least two types of redox substances having different redox potentials.

即ち、第4図(a)、 (blのA−B型酸化還元物質
複合体の模式図とそのレドックス電位の関係を用いて説
明すると、異なるレドックス電位を有する2つの酸化還
元物質A、Bを接合してなる複合体は、電子は、図中実
線矢印で示すようにレドックス電位の負の準位から正の
準位へは容易に流れるが、逆方向(図中破線矢印方向)
へは流れにくく整流特性を呈し、この複合体を用いるこ
とによりn型半導体とp型半導体とを接合してなるp−
n接合と類似の性質を示す整流素子を得ることができる
That is, to explain using the schematic diagram of the A-B type redox substance complex shown in FIG. In the composite formed by joining, electrons easily flow from the negative level of the redox potential to the positive level as shown by the solid line arrow in the figure, but in the opposite direction (in the direction of the broken line arrow in the figure)
By using this composite, p- type semiconductor and p-type semiconductor are joined.
A rectifying element exhibiting properties similar to those of an n-junction can be obtained.

〔実施例〕〔Example〕

以下、この発明の実施例を図について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図+d)はこの発明の一実施例による整流素子を示
し、図において、lは絶縁特性を持つ基板、2a、  
2bはそれぞれ基板1上に所定の間隔を置いて設けられ
た電極、3は酸化還元物質膜であるニュートラルレッド
膜、4は同じくトルイジンブルー膜である。またニュー
トラルレッド、トルイジンブルーのレドックス電位はそ
れぞれ一325mV、+115mVである。
FIG. 1+d) shows a rectifying element according to an embodiment of the present invention, in which l is a substrate with insulating properties, 2a,
2b are electrodes provided on the substrate 1 at predetermined intervals, 3 is a neutral red film which is a redox substance film, and 4 is also a toluidine blue film. Further, the redox potentials of neutral red and toluidine blue are -325 mV and +115 mV, respectively.

次に、本実施例の製造方法を第1図(a+〜(dlに基
づいて説明する。
Next, the manufacturing method of this embodiment will be explained based on FIG. 1 (a+ to (dl).

まず、第1図(81に示すように、基板1上に電橋2a
、2bを形成する。次に第1図(b)に示すように、上
記基板1上に上記電極2a、2bを覆ってニュートラル
レッド膜3を形成する。ここでこの膜3の形成には、酸
化還元物質からなる膜を基板上に形成する方法であると
ころの下記■〜■の方法 すなわち、 ■ 官能基をもった化合物を基板表面に不可逆的に化学
・物理吸着させる方法(第2図(a)又は(b))■ 
基板表面の酸化物層を利用する方法即ち、まずアルカリ
処理により電極表面に一〇H基を作り、これと有機ケイ
素化合物であるクロロシランやアルコキシシランとの反
応により、−0−3i−結合を通じて、官能基を固定す
る方法(第2図(C)) ■ カーボン基板表面に適当な化学的処理を施し、化学
結合可能な−COOH基、−NH2基。
First, as shown in FIG. 1 (81), place the electric bridge 2a on the board 1.
, 2b. Next, as shown in FIG. 1(b), a neutral red film 3 is formed on the substrate 1, covering the electrodes 2a and 2b. Here, this film 3 is formed by the methods described in the following ■ to ■, which are methods of forming a film made of a redox substance on a substrate.・Physical adsorption method (Figure 2 (a) or (b)) ■
A method that utilizes the oxide layer on the surface of the substrate. First, 10H groups are created on the electrode surface by alkali treatment, and this is reacted with organosilicon compounds such as chlorosilane or alkoxysilane to form -0-3i- bonds. Method for fixing functional groups (Fig. 2 (C)) ■ Appropriate chemical treatment is applied to the surface of the carbon substrate to form -COOH groups and -NH2 groups that can be chemically bonded.

−cocz基を導入し、これらの置換基を利用したアミ
ド結合を介して目的官能基を固定する方法(第2図(d
)) ■ 酸化還元樹脂を適当なを機溶剤に熔かし、基板表面
にコーティングし、乾固させて官能基をもった薄膜を作
成する方法 ■ 蒸着法によりtffi体及び高分子などの薄膜を電
極表面に生成する方法 ■ 及びスパッタリング法により単量体及び高分子など
の薄膜を電極表面に生成する方法■ 電気泳動を利用し
て電着する方法(@着法)■ ステアリン酸などと混合
してLB膜を作り重陽上に引上げる方法(LB腹膜法。
A method of introducing a -cocz group and fixing a desired functional group via an amide bond using these substituents (see Figure 2 (d)
)) ■ A method of melting a redox resin in a suitable organic solvent, coating it on the substrate surface, and drying it to create a thin film with functional groups.■ Creating a thin film of tffi and polymers by vapor deposition method. A method of forming a thin film of monomers and polymers on the electrode surface using a sputtering method. A method of electrodeposition using electrophoresis (@deposition method). A method of creating an LB membrane and raising it above the hyaluronic acid (LB peritoneal method).

のうち■〜■、■〜■のいずれかの方法を用いることが
できる。次に第1図(C1に示すように、上記ニュート
ラルレッド膜3のうち上記電極2aを覆っている部分を
イオンスパッタリングなどによって除去することにより
、上記電極2b上のみにニュートラルレッド膜3を形成
する。これは、始めからマスキングによって上記電極2
b上のみにニュートラルレッド膜を成膜して形成しても
よい。
Among them, any one of methods ① to ② and ② to ② can be used. Next, as shown in FIG. 1 (C1), by removing the portion of the neutral red film 3 that covers the electrode 2a by ion sputtering or the like, a neutral red film 3 is formed only on the electrode 2b. This is done by masking the electrode 2 from the beginning.
A neutral red film may be formed only on b.

そして最後に、第1図(diに示すように、トルイジン
ブルー膜4を電極2aを覆ってニュートラルレッド膜3
に接着接合するよう上記■〜■のいずれかの方法によっ
て形成し、本実施′例の整流素子を得ることができる。
Finally, as shown in FIG.
The rectifying element of this embodiment can be obtained by forming the rectifier element by any one of the methods (1) to (4) above so as to adhesively bond the rectifying element to the rectifying element.

このような構成になる素子では、電極2aと電極2b間
に電圧■を印加したとき、第4図(al、 fblを用
いて述べた作用と同様に、電子はレドックス電位の差異
によりニュートラルレッド3からトルイジンブルー4へ
流れる。第3図はこのときの電圧−電流(V−I)特性
を示し、本素子は整流特性を呈することがわかる。
In an element having such a configuration, when a voltage (■) is applied between the electrode 2a and the electrode 2b, the electrons change to neutral red 3 due to the difference in redox potential, similar to the effect described using FIG. 4 (al, fbl). to Toluidine Blue 4. Fig. 3 shows the voltage-current (V-I) characteristics at this time, and it can be seen that this element exhibits rectifying characteristics.

従って、上記構成により分子レベルの超微細な大きさの
整流素子を実現でき、該素子を用いて高密度、高速度化
が可能な集積回路を得ることができる。
Therefore, with the above configuration, it is possible to realize a rectifying element with an ultra-fine size on a molecular level, and by using this element, it is possible to obtain an integrated circuit that can achieve high density and high speed.

なお、上記実施例では酸化還元物質として、酸化還元色
素であるニュートラルレッド、トルイジンブルーを用い
たが、これはもちろん他の酸化還元色素1例えばメチレ
ンブルー、メチルカプリブルー、ガロシアニン、インド
フェノール、インジゴ、フェノサフラニンなどであって
もよく、またフタロシアニン、ポルフィリン、アヌレン
などの誘導体である有機金属錯体、あるいはポリ−2−
ビニルフェノチアジンなどの酸化還元樹脂であってもよ
い。
In the above examples, neutral red and toluidine blue, which are redox dyes, were used as redox substances, but of course other redox dyes such as methylene blue, methyl capri blue, gallocyanine, indophenol, indigo, and phenol can also be used. It may also be safranin, an organometallic complex such as a derivative of phthalocyanine, porphyrin, annulene, or poly-2-
It may also be a redox resin such as vinylphenothiazine.

また、上記実施例では酸化還元物質膜を2層累積した場
合について説明したが、これは3層以上異積させてもよ
く、上記実施例と同様の効果が得られる。
Further, in the above embodiment, the case where two layers of redox substance films are stacked has been described, but three or more layers may be stacked differently, and the same effect as in the above embodiment can be obtained.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように、この発明によれば、相互にレドックス電
位の異なる酸化還元物質で第1.第2の電子伝達物質膜
を形成し、各酸化還元’Thffのレドックス電位の差
異を利用して整流素子を構成したので、整流素子サイズ
を分子レベルの超微細な大きさに近づけることができ、
該素子を用いて集積回路の高密度化、高速度化が可能な
集積回路を得ることができる。
As described above, according to the present invention, redox substances having mutually different redox potentials are used as the first oxidation-reduction substances. By forming a second electron carrier film and constructing a rectifying element by utilizing the difference in redox potential of each oxidation-reduction 'Thff, the size of the rectifying element can be brought close to ultra-fine size at the molecular level.
Using this element, it is possible to obtain an integrated circuit that can achieve higher density and higher speed integrated circuits.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例による整流素子を製造する
方法を示す工程別断面図、第2図は酸化還元物質を基板
上に成膜する方法の具体例を示す図、第3図は上記整流
素子の電圧−電流特性を示す図、第4図(a)はA−B
型酸化還元物質複合体を示す模式図、第4図(b)はそ
のレドックス電位状態を示す図、第5図は従来のM O
S構成の整流素子の一例を示す断面構成図である 図において、■は基板、2a、  2bは電極、3はニ
ュートラルレッド膜、4はトルイジンブルー膜である。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
FIG. 1 is a cross-sectional view of each step showing a method for manufacturing a rectifying element according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view showing a specific example of a method of forming a film of a redox substance on a substrate, and FIG. A diagram showing the voltage-current characteristics of the above rectifying element, FIG. 4(a) is A-B
Fig. 4(b) is a diagram showing its redox potential state, and Fig. 5 is a schematic diagram showing a type of redox substance complex.
In the figure, which is a cross-sectional configuration diagram showing an example of a rectifying element having an S configuration, ■ is a substrate, 2a and 2b are electrodes, 3 is a neutral red film, and 4 is a toluidine blue film. Note that the same reference numerals in the figures indicate the same or equivalent parts.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)第1の酸化還元物質で作成された第1酸化還元物
質膜と、 上記第1酸化還元物質のレドックス電位と異なるレドッ
クス電位を有する第2の酸化還元物質で作成され、上記
第1酸化還元物質膜に接着接合された第2酸化還元物質
膜と、 上記第1、第2酸化還元物質膜にそれぞれ電気的に接続
された第1、第2の電極とを備え、上記各酸化還元物質
のレドックス電位の差異を利用して整流特性を発生させ
るようにした整流素子。
(1) a first redox substance film made of a first redox substance; a second redox substance having a redox potential different from the redox potential of the first redox substance; a second redox material film adhesively bonded to the reducing material film; and first and second electrodes electrically connected to the first and second redox material films, respectively; A rectifying element that generates rectifying characteristics by utilizing the difference in redox potential between.
(2)上記第1、第2の電極は金属電極であることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の整流素子。
(2) The rectifier element according to claim 1, wherein the first and second electrodes are metal electrodes.
(3)上記酸化還元物質は、ビオロゲン類、フラビン類
、有機金属錯体、酸化還元色素、又はこれらの物質と他
の有機物との結合体であることを特徴とする特許請求の
範囲第1項又は第2項記載の整流素子。
(3) The above-mentioned redox substance is viologens, flavins, organometallic complexes, redox pigments, or combinations of these substances and other organic substances, or 2. The rectifying element according to item 2.
(4)上記酸化還元色素は、メチレンブルー、メチルカ
ブリブルー、ガロシアニン、インドフェノール、インジ
ゴ、フェノサフラニン、ニュートラルレッド、又はトル
イジンブルーであることを特徴とする特許請求の範囲第
3項記載の整流素子。
(4) The rectifying element according to claim 3, wherein the redox dye is methylene blue, methylcabri blue, galocyanine, indophenol, indigo, phenosafranin, neutral red, or toluidine blue.
(5)上記有機金属錯体は、フタロシアニン、ポルフィ
リン、又はアヌレンの誘導体であることを特徴とする特
許請求の範囲第3項記載の整流素子。
(5) The rectifying element according to claim 3, wherein the organometallic complex is a derivative of phthalocyanine, porphyrin, or annulene.
(6)上記他の有機物は、ポリビニルアルコールである
ことを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の整流素子
(6) The rectifying element according to claim 3, wherein the other organic substance is polyvinyl alcohol.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02257674A (en) * 1989-03-29 1990-10-18 Mitsubishi Electric Corp Rectifying device
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CN1084349C (en) * 1998-06-19 2002-05-08 清华大学 Process for preparing poly-beta-hydroxy-butyrate

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