JPS63195565U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63195565U JPS63195565U JP8411487U JP8411487U JPS63195565U JP S63195565 U JPS63195565 U JP S63195565U JP 8411487 U JP8411487 U JP 8411487U JP 8411487 U JP8411487 U JP 8411487U JP S63195565 U JPS63195565 U JP S63195565U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- backing plate
- plates
- backing
- bonding
- sputtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 claims description 2
- 230000008685 targeting Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図及び第２図は従来のスパツタリング用タ
ーゲツト装置の断面図、第３図は本考案の実施例
の截断側面図である。 １……スパツタリング用ターゲツト装置、４…
…バツキングプレート、４ａ……前方のバツキン
グプレート、４ｂ……後方のバツキングプレート
、５……冷却手段、６……ターゲツト、７……ボ
ンデイング、８……ねじ、９……ねじ穴。
ーゲツト装置の断面図、第３図は本考案の実施例
の截断側面図である。 １……スパツタリング用ターゲツト装置、４…
…バツキングプレート、４ａ……前方のバツキン
グプレート、４ｂ……後方のバツキングプレート
、５……冷却手段、６……ターゲツト、７……ボ
ンデイング、８……ねじ、９……ねじ穴。
Claims (1)
- 冷却手段を備えたスパツタリング用ターゲツト
装置のバツキングプレートの前面にターゲツトを
ボンデイングにより取付けするようにしたものに
於て、該バツキングプレートを前後の２枚のバツ
キングプレートで構成し、両バツキングプレート
をその一方のバツキングプレートに形成したねじ
と他方のバツキングプレートに形成したねじ穴と
の螺合により互に重合したことを特徴とするスパ
ツタリング用ターゲツト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8411487U JPS63195565U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8411487U JPS63195565U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63195565U true JPS63195565U (ja) | 1988-12-15 |
Family
ID=30938320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8411487U Pending JPS63195565U (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63195565U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6096760A (ja) * | 1983-11-01 | 1985-05-30 | Ulvac Corp | スパツタリングタ−ゲツト装置 |
-
1987
- 1987-05-30 JP JP8411487U patent/JPS63195565U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6096760A (ja) * | 1983-11-01 | 1985-05-30 | Ulvac Corp | スパツタリングタ−ゲツト装置 |