JPS63187137A - Photoacoustic measuring apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、光音響測定装置に係り、測定時間を短くし
得る高速光掃引を用いた光音響測定装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a photoacoustic measurement device, and more particularly, to a photoacoustic measurement device using high-speed optical sweep that can shorten measurement time.
[従来技術]
動ゲルプレート上に展開または泳動された試料を定量分
析する装置としてデンシトメータ(微測光光度計)が知
られている。[Prior Art] A densitometer (micrometer photometer) is known as a device for quantitatively analyzing a sample spread or migrated on a moving gel plate.
このデンシトメータは、その測定方法の違いから数種類
あり、なかでも光音響分光法(PAS)を用いたデンシ
トメータは、試料の表面状態の影響を受けないことから
非常に有用な装置として物理、化学、生物学、工学およ
びバイオテクノロジー等の各分野で用いられている。There are several types of densitometers with different measurement methods. Among them, densitometers that use photoacoustic spectroscopy (PAS) are extremely useful devices for physical, chemical, and biological applications because they are not affected by the surface condition of the sample. It is used in various fields such as science, engineering, and biotechnology.
光音響分光法は、固体内部または固体表面に保持された
試料、または、これらに吸着された試料に光を断続また
は変調させて当て、試料に吸収された光子が熱に変換す
る過程を測定するものである。その詳細については、例
えば特開昭57−8436号や特開昭60−23634
1号などに詳記されている。Photoacoustic spectroscopy measures the process by which photons absorbed by the sample are converted into heat by shining intermittent or modulated light onto a sample held inside or on the surface of a solid, or a sample adsorbed on these. It is something. For details, see, for example, JP-A-57-8436 and JP-A-60-23634.
It is detailed in No. 1.
従来の光音響分光法を用いたデンシトメータダ(以後、
光音響測定装置と称する)は、第3図に示すごとく、光
源!、チタッパ!3、光音響セル5.4%へ塙づlv!
fF#賃A マノクロア4パノq 門−hノ1ノアンプ
!5および記録部16等の機器から構成されている。Densitometer using conventional photoacoustic spectroscopy (hereinafter referred to as
As shown in Figure 3, the photoacoustic measuring device (referred to as a photoacoustic measurement device) is a light source! , Chitappa! 3. Photoacoustic cell 5.4%!
fF #Rent A Manocloa 4 Pano q Mon-H No 1 No Amp! 5, a recording section 16, and other devices.
また、ロックインアンプ15にはローパスフィルタ15
aが入っている。このローパスフィルタ15aは、マイ
クロフォン8から供給された光音響信号を直流信号に変
換するためのものである。In addition, the lock-in amplifier 15 includes a low-pass filter 15.
Contains a. This low-pass filter 15a is for converting the photoacoustic signal supplied from the microphone 8 into a DC signal.
この場合、マイクロフォン8から供給される光音響信号
は、通常、低周波(5〜I 00 II z )である
ためローパスフィルタ15aの時定数を0.3〜IOg
ccとしている。In this case, since the photoacoustic signal supplied from the microphone 8 usually has a low frequency (5 to I 00 II z ), the time constant of the low-pass filter 15a is set to 0.3 to IOg.
cc.
[発明が解決しようとする問題点]
ところで、従来の光音響測定装置は高感度な測定ができ
るが、反面、測定時間がかかるという問題があり、試料
を短時間に測定しなければならない場合や不安定な試料
からの信号を測定する場合などには適応できなかった。[Problems to be Solved by the Invention] By the way, conventional photoacoustic measurement devices can perform highly sensitive measurements, but on the other hand, they have the problem of taking a long measurement time. It was not applicable to cases such as measuring signals from unstable samples.
この理由は上述のように、測定系に時定数の大きなロー
パスフィルタ15aが設けられているからである。すな
わち、ローパスフィルタI5λの時定数より短い時間で
試料の測定を行うことができなかった。The reason for this is that, as described above, the measurement system is provided with the low-pass filter 15a having a large time constant. That is, it was not possible to measure the sample in a time shorter than the time constant of the low-pass filter I5λ.
この発明はこのような背景によりなされたもので、その
目的は測定時間を短くし得る高速光掃引を用いた光音響
測定装置を提供することにある。The present invention was made against this background, and its purpose is to provide a photoacoustic measurement device using high-speed optical sweep that can shorten measurement time.
[問題点を解決するための手段]
この発明によれば、被測定物である試料に光を照射して
前記試料から発生する音響を検出し、この音響信号に基
づいて前記試料の成分を分析する光音響測定装置におい
て、連続した光ビームを発生させる光ビーム発生手段と
、前記試料上に連続した前記光ビームの照射点を前記試
料に沿って掃引させる光ビーム掃引手段とを具備したこ
とを特徴とする。[Means for Solving the Problems] According to the present invention, a sample, which is an object to be measured, is irradiated with light to detect the sound generated from the sample, and the components of the sample are analyzed based on this acoustic signal. A photoacoustic measuring device comprising a light beam generating means for generating a continuous light beam, and a light beam sweeping means for sweeping the irradiation point of the continuous light beam onto the sample along the sample. Features.
[作用]
上記構成によれば、光ビーム発生手段から連続的に発生
した光ビームは、断続や変調することなく連続光として
光ビーム掃引手段により、その照射点が試料上に沿って
掃引される。[Operation] According to the above configuration, the light beam continuously generated from the light beam generating means is swept as a continuous light without interruption or modulation, and the irradiation point is swept along the sample by the light beam sweeping means. .
[実施例]
以下図面を参照してこの発明の一実施例について説明す
る。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図は、この発明の一実施例である光音響測定装置の
構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a photoacoustic measurement device that is an embodiment of the present invention.
図において、!はヘリウムネオンレーザを使用した光源
である。2はアルミ蒸着された反射面を有する板状の反
射部材であり、一端が連結部材CLを介してモータ3の
回転軸に取り付けられている。この場合、光源!から放
射されたレーザ光は、反射部材2に反射されて光音響セ
ル5に入射する。In the figure! is a light source that uses a helium-neon laser. Reference numeral 2 denotes a plate-shaped reflective member having a reflective surface coated with aluminum, and one end of which is attached to the rotating shaft of the motor 3 via a connecting member CL. In this case, the light source! The laser light emitted from the photoacoustic cell 5 is reflected by the reflecting member 2 and enters the photoacoustic cell 5 .
モータ3は、その回転により反射部材2を動かすもので
ある。この場合、反射部材2をY方向に回転させると、
光音響セル5上に照射する照射点は図面右から左へ掃引
される。The motor 3 moves the reflecting member 2 by its rotation. In this case, when the reflecting member 2 is rotated in the Y direction,
The irradiation point on the photoacoustic cell 5 is swept from right to left in the drawing.
モータ制W部4は、モータ3に駆動電圧を供給するため
のものであり、モータ3へ供給する電圧値の設定はモー
タ制御部4に設けられた可変抵抗器4aにより行なわれ
る。この可変抵抗″?44aの抵抗値を変化させること
でレーザ光の掃引速度が鳳0〜30cm/seeの範囲
で変化する。The motor control W section 4 is for supplying a driving voltage to the motor 3, and the setting of the voltage value to be supplied to the motor 3 is performed by a variable resistor 4a provided in the motor control section 4. By changing the resistance value of this variable resistor 44a, the sweep speed of the laser beam can be changed within a range of 0 to 30 cm/see.
光音響セル5は、薄層クロマトグラフプレートζ−メ−
117ウー→1ナーn1−1表1すn\出&/棚コイ鱈
1口ν、−口字状に形成された薄板5aと、この薄板5
aの右側開口端に密着された支持部材5bとを有してお
り、薄板5aの上面は石英ガラス等で形成された窓部材
で密閉されている。薄層クロマトグラフプレート5cは
薄板5aの中に挿入され、その後、支持部材5bを薄板
5aに密着させている。なお、薄層クロマトグラフプレ
ート5cは着脱自在であり、光音響セル5の内容積は薄
層クロマトグラフプレート5cを挿入しない状態で6.
3rrlである。The photoacoustic cell 5 is a thin layer chromatography plate ζ-
117 Woo → 1 na n1-1 Table 1 n\out &/shelf carp cod 1 mouth ν, - Thin plate 5a formed in a mouth shape, and this thin plate 5
The thin plate 5a has a supporting member 5b in close contact with the right open end of the thin plate 5a, and the upper surface of the thin plate 5a is sealed with a window member made of quartz glass or the like. The thin layer chromatography plate 5c is inserted into the thin plate 5a, and then the support member 5b is brought into close contact with the thin plate 5a. Note that the thin layer chromatography plate 5c is removable, and the internal volume of the photoacoustic cell 5 is 6.5cm without the thin layer chromatography plate 5c inserted.
It is 3rrl.
光検出器6aおよび6bは、それぞれ反射部材2により
反射されたレーザ光を検出する光検出器であり、それぞ
れ光音響セル5上の両端部分に所定の間隔で配置されて
いる。光検出器6aの光検出信号は、表示カウンタ7お
よびアナログ/ディジタル変換器(以後A/D変換器と
称する)10に供給される。この場合、測定状態におい
てモー・り3は連続して回転しているので、A/D変換
器10は、光検出Vs6aにレーザ光が入射すると同時
にA/D変換を開始する。また、光検出器6a、6bに
はフォトトランジスタ等が使用される。The photodetectors 6a and 6b are photodetectors that each detect the laser beam reflected by the reflection member 2, and are respectively arranged at both ends of the photoacoustic cell 5 at a predetermined interval. A photodetection signal from the photodetector 6a is supplied to a display counter 7 and an analog/digital converter (hereinafter referred to as an A/D converter) 10. In this case, since the mower 3 is continuously rotating in the measurement state, the A/D converter 10 starts A/D conversion at the same time as the laser beam is incident on the photodetector Vs6a. Furthermore, phototransistors and the like are used for the photodetectors 6a and 6b.
7はレーザ光の掃゛引速度すなわちモータ3の回転速度
を測定して、その速度を表示するための表示カウンタで
ある。この表示カウンタ7は、レーザ光が検出器6a、
6bの間を通過する時間を所定のクロックをカウントす
ることにより掃引速度を計測する。Reference numeral 7 denotes a display counter for measuring the scanning speed of the laser beam, that is, the rotational speed of the motor 3, and displaying the speed. This display counter 7 has a laser beam detector 6a,
The sweep speed is measured by counting the time it takes to pass between 6b and 6b using a predetermined clock.
8は光音響セル5上の左端部分に配置されたマイクロフ
ォンである。このマイクロフォン8は、薄層クロマトグ
ラフプレート5C上に滴下または展開された試料(例え
ばマラカイトグリーン、カーボンブラック等)にレーザ
光が当たることにより発生ずる音響を電気的信号に変換
するものである。このマイクロフォン8から出力される
光音響信号はプリアンプ9へ供給される。また、マイク
ロフォン8にはエレクトレットコンデンサマイクロフォ
ン等が使用される。8 is a microphone placed on the left end portion of the photoacoustic cell 5. This microphone 8 converts into an electrical signal the sound generated when a laser beam hits a sample (for example, malachite green, carbon black, etc.) dropped or spread on the thin layer chromatography plate 5C. The photoacoustic signal output from this microphone 8 is supplied to a preamplifier 9. Further, as the microphone 8, an electret condenser microphone or the like is used.
プリアンプ9はマイクロフォン8から供給された光音響
信号を所定の電圧値まで増幅するものであり、電圧比で
およそ72〜79 d 13増幅する。The preamplifier 9 amplifies the photoacoustic signal supplied from the microphone 8 to a predetermined voltage value, and amplifies the photoacoustic signal by approximately 72 to 79 d13 in voltage ratio.
プリアンプ9の出力電圧はA/D変換510へ供給され
る。The output voltage of preamplifier 9 is supplied to A/D converter 510.
A/D変換器■0は、プリアンプ9から供給される出力
電圧(アナログ電圧)を一定の間隔で読み込み、このア
ナログ値を8ビツトデイジタル値に変換するものである
。A/D変換器IOのザンブリングタイムはIO〜l0
00μsecの間で連続可変となっている。また、A/
D変換器!0の変換開始時刻は、光検出器6aから光検
出信号が供給された時刻から行う。このA/D変換it
Oの出力電圧は計測部!Iへ供給される。The A/D converter (2) 0 reads the output voltage (analog voltage) supplied from the preamplifier 9 at regular intervals and converts this analog value into an 8-bit digital value. Zumbling time of A/D converter IO is IO~l0
It is continuously variable within 00 μsec. Also, A/
D converter! The conversion start time of 0 starts from the time when the photodetection signal is supplied from the photodetector 6a. This A/D conversion it
The output voltage of O is the measurement part! Supplied to I.
計測部11は、A/D変換器IOから供給される電圧値
データに基づいて試料のデンジトゲラムをディスプレイ
上に表示するものである。この計測部!lは、同一の試
料を繰り返し収集したデータを積算した後、これらを積
算平滑化する機能を有している。また、この計測部11
には通常マイクロコンピュータ等が使用される。The measurement unit 11 displays the sample densitogelium on a display based on voltage value data supplied from the A/D converter IO. This measurement part! 1 has a function of integrating and smoothing data obtained by repeatedly collecting the same sample. In addition, this measuring section 11
A microcomputer or the like is usually used.
次に、この回路の動作について説明する。Next, the operation of this circuit will be explained.
ここで、測定開始前の初期設定を以下のように行う。Here, initial settings before starting measurement are performed as follows.
■モータ3を連続回転さする。■Rotate motor 3 continuously.
■反射部材2の移動速度すなわちレーザ光の掃引速度は
分析する試料やS/N比によって望ましい値、例えば1
2.4cm/secとする。■The moving speed of the reflecting member 2, that is, the sweeping speed of the laser beam, is set to a desirable value depending on the sample to be analyzed and the S/N ratio, for example, 1.
It is set to 2.4 cm/sec.
■プリアンプ9の電圧増幅率は、例えば78dBとする
。(2) The voltage amplification factor of the preamplifier 9 is, for example, 78 dB.
■A/DA/D変換器10タ収集時間は、例えば500
μ5ec一定とする。■A/DA/D converter 10 data collection time is, for example, 500
Let μ5ec be constant.
■計測部IIの積算するデータ長を例えば1キロバイト
とする。(2) Let the data length accumulated by the measurement unit II be, for example, 1 kilobyte.
■薄層クロマトグラフプレート5Cには試料としてマラ
カイトグリーンが、直径2.3mmの広がりとなるよう
に滴下する。(2) Malachite green as a sample is dropped onto the thin layer chromatography plate 5C so that it spreads to a diameter of 2.3 mm.
次に、第1図において、光源Iからレーザ光が照射され
ると、レーザ光は反射部材2で反射されて光検出器6a
に入射する。この結果、光検出器6aがレーザ光を検出
する。これにより光検出器6aが光検出信号をA/D変
換器10へ供給し、11 / l’% rhtム’−
四へlj^/ rs yM 1に−1111υ鵬小1
工1て、A/D変換器!0は検出信号を読み取ると、
500μsec間隔毎にデータの取り込みを開始する。Next, in FIG. 1, when a laser beam is irradiated from a light source I, the laser beam is reflected by a reflection member 2 and is detected by a photodetector 6a.
incident on . As a result, the photodetector 6a detects the laser beam. As a result, the photodetector 6a supplies a photodetection signal to the A/D converter 10, and 11/l'% rhtm'-
4 to lj^/rs yM 1 to -1111υPeng Elementary School 1
First, the A/D converter! 0 reads the detection signal,
Data acquisition is started every 500 μsec.
掃引しているレーザ光が、薄層クロマトグラフプレー)
5c上に展開されたマラカイトグリーンに当たると、こ
のマラカイトグリーンから音響が発生ずる。この音響は
マイクロフォン8により電気的な光音響信号に変換され
た後、プリアンプ9へ供給され、ここで増幅される。増
幅された光音響信号は、A/D変換m 10に供給され
、ここでディジタル値に変換される。ディジタル値に変
換された光音響信号は計測部11へ供給され記憶される
。そして、レーザー光が薄層クロマトグラフプレート5
cを通過して光検出i6bに入射すると、この光検出器
6bから光検出信号が表示カウンタ7へ供給され、その
時の掃引速度が記録される。The sweeping laser beam is a thin layer chromatography plate)
When it hits the malachite green spread out on 5c, a sound is generated from this malachite green. This sound is converted into an electrical photoacoustic signal by a microphone 8, and then supplied to a preamplifier 9, where it is amplified. The amplified photoacoustic signal is supplied to an A/D converter m10, where it is converted into a digital value. The photoacoustic signal converted into a digital value is supplied to the measuring section 11 and stored. Then, the laser beam is applied to the thin layer chromatography plate 5.
When the light passes through c and enters the photodetector i6b, a photodetection signal is supplied from the photodetector 6b to the display counter 7, and the sweep speed at that time is recorded.
以上により第一回目のデータ収集が終了する。This completes the first data collection.
以後この過程を9回繰り返してデータを収集し、その都
度、計測部11に記憶させる。10回のデ−タの積算後
、計測部11はデータの平滑化を行いディスプレイ上に
デンジトゲラムを表示する。Thereafter, this process is repeated nine times to collect data, and the data is stored in the measurement unit 11 each time. After integrating the data 10 times, the measurement unit 11 smoothes the data and displays Densitogerum on the display.
第2図にマラカイトグリーン 0.75μ7のデンジト
ゲラムBを示す。また、一点鎖線で示した波形はマラカ
イトグリーンの光学的なデンジトゲラムのシュミレーシ
ョン波形へである。Fig. 2 shows malachite green 0.75 μ7 Densitogelum B. Furthermore, the waveform indicated by the dashed line is a simulation waveform of malachite green optical densitogelium.
この結果から、測定時間は一回の掃引で約0゜5sec
であり、従来の光音響測定装置に比べておよそ1/10
0短縮された。From this result, the measurement time is approximately 0°5 seconds for one sweep.
This is approximately 1/10 compared to conventional photoacoustic measurement equipment.
It was shortened by 0.
以上により、試料に連続した光を照射することで、ロー
パスフィルタ等を設ける必要がなくなり、高速でデータ
が計測部11へ人力される。この結果、測定時間が短く
なり、迅速に測定しなればならない試料や不安定な試料
の測定が可能となる。As described above, by irradiating the sample with continuous light, there is no need to provide a low-pass filter or the like, and data is manually input to the measurement unit 11 at high speed. As a result, the measurement time is shortened, making it possible to measure samples that must be measured quickly or unstable samples.
なお、本発明の実施例において、光源lにヘリウムネオ
ンレーザを使用したが、この他にアルゴンレーザ、色素
レーザ、半導体レーザまたは炭酸ガスレーザ等を使用し
てもよい。また、光源1から照射されたレーザ光を光音
響セル5に掃引させるために反射部材2を動かしたが、
光源1を直接動かすような方法を用いてもよい。例えば
、以下に示す方法が考えられる。In the embodiments of the present invention, a helium-neon laser is used as the light source l, but other lasers such as an argon laser, a dye laser, a semiconductor laser, or a carbon dioxide laser may also be used. In addition, the reflection member 2 was moved in order to sweep the laser light irradiated from the light source 1 to the photoacoustic cell 5.
A method of directly moving the light source 1 may also be used. For example, the following methods can be considered.
■ラツク・ビニオン機槽を用いて光源lをラックに取り
付け、この光源Iを移動させる方法。■A method of attaching light source I to a rack using a rack/binion machine tank and moving this light source I.
■ウオームギヤ機溝を用いてウオームに光源Iを取り付
け、この光源lを移動させる方法。■A method of attaching the light source I to the worm using the worm gear groove and moving the light source I.
■ラックとピンの組み合わせによってラックまたはピン
に光源Iを取り付け、光源lを移動さU・る方法。■A method of attaching the light source I to a rack or pin using a combination of racks and pins and moving the light source I.
■水平移動リール機構を用いて光源1を移動させる方法
。■A method of moving the light source 1 using a horizontal movement reel mechanism.
なお、上記した各項目の方法においては、光源Iを移動
するようにしたが、反射部!/12を移動させる方法に
用いることもできる。In addition, in the method of each item mentioned above, the light source I was moved, but the reflection part! It can also be used to move /12.
また、本発明の実施例において、A/D変換器10には
8ビツトのものを使用したが、この他に、例えば12ビ
ツトのものを使用してもよい。また、測定データの収集
回数を10回にしたが、これは任意であり、更にA/D
変換器10のデータ取り込み間隔時間500μsecも
任意である。Further, in the embodiment of the present invention, an 8-bit A/D converter 10 is used, but a 12-bit converter may be used instead. In addition, the number of times the measurement data was collected was set to 10, but this is optional, and the A/D
The data acquisition interval time of the converter 10 of 500 μsec is also arbitrary.
また、マイクロフォン8により集音した光音響信号をプ
リアンプ9で増幅した後、デジタル値に変換するので、
信号の劣化がほとんど生じない。In addition, since the photoacoustic signal collected by the microphone 8 is amplified by the preamplifier 9 and then converted to a digital value,
Almost no signal deterioration occurs.
この結果、再現性および測定精度が向上する。また、短
時間で測定できることから、同−試料上に何回もレーザ
ー光を掃引できるので、データの積算平滑化を行うこと
が可能となる。これにより、再現性がさらに向上すると
いう利点が得られる。As a result, reproducibility and measurement accuracy are improved. Furthermore, since the measurement can be carried out in a short time, the laser beam can be swept over the same sample many times, making it possible to perform integrated smoothing of the data. This provides the advantage of further improving reproducibility.
[発明の効果]
堕上説明したようにこの発明によれば、被測定物である
試料に光を照射して前記試料から発生ずる音響を検出し
、この音響信号に基づいて前記試料の成分を分析する光
音響測定装置において、連続した光ビームを発生させる
光ビーム発生手段と、前記試料上に連続した前記光ビー
ムの照射点を前記試料に沿って掃引させる光ビーム掃引
手段とを具備したので、測定時間を短くでき、再現性や
測定精度の向上が得られ、さらに物質表面または表面下
層部の三次元イメージングができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, light is irradiated onto a sample as an object to be measured, sound generated from the sample is detected, and the components of the sample are determined based on this acoustic signal. The photoacoustic measuring device for analysis is equipped with a light beam generating means for generating a continuous light beam, and a light beam sweeping means for sweeping the irradiation point of the continuous light beam onto the sample along the sample. , measurement time can be shortened, reproducibility and measurement accuracy can be improved, and three-dimensional imaging of the material surface or subsurface layer can be performed.
第1図はこの発明の一実施例の構成を示すブロック図、
第2図は同実施例の動作を説明するための波形図、第3
図は従来の光音響測定装置の構成を示すブロック図であ
る。
!・・・・・・光源(光ビーム発生手段)、2・・・・
・・反射部材、3・・・・・・モータ、4・・・・・・
モータ制御部(2,3,4は光ビーム掃引手段)。FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a waveform diagram for explaining the operation of the same embodiment;
The figure is a block diagram showing the configuration of a conventional photoacoustic measuring device. ! ......Light source (light beam generating means), 2...
...Reflector, 3...Motor, 4...
Motor control unit (2, 3, 4 are light beam sweeping means).
Claims (1)
る音響を検出し、この音響信号に基づいて前記試料の成
分を分析する光音響測定装置において、連続した光ビー
ムを発生させる光ビーム発生手段と、前記試料上に連続
した前記光ビームの照射点を前記試料に沿って掃引させ
る光ビーム掃引手段とを具備したことを特徴とする光音
響測定装置。A light beam that generates a continuous light beam in a photoacoustic measurement device that irradiates light onto a sample, which is an object to be measured, detects the sound generated by the sample, and analyzes the components of the sample based on this acoustic signal. A photoacoustic measuring device comprising: a generating means; and a light beam sweeping means for sweeping a continuous irradiation point of the light beam onto the sample along the sample.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62020007A JPS63187137A (en) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | Photoacoustic measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62020007A JPS63187137A (en) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | Photoacoustic measuring apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63187137A true JPS63187137A (en) | 1988-08-02 |
Family
ID=12015066
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62020007A Pending JPS63187137A (en) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | Photoacoustic measuring apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63187137A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8256901B2 (en) | 2005-04-21 | 2012-09-04 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image projection apparatus and method of cooling an image projection apparatus |
US9072429B2 (en) | 2010-03-18 | 2015-07-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for driving capacitive electromechanical transduction apparatus |
-
1987
- 1987-01-30 JP JP62020007A patent/JPS63187137A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8256901B2 (en) | 2005-04-21 | 2012-09-04 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image projection apparatus and method of cooling an image projection apparatus |
US9072429B2 (en) | 2010-03-18 | 2015-07-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for driving capacitive electromechanical transduction apparatus |
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