JPS63182715A - 位置決め制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

〔発明の分野〕 本発明は速度制御ループを有する位置決め制御装置に関
し、特にその速度制御パターンの発生に特徴を有する位
置決め制御装置に関するものである。

【従来技術とその問題点】

（従来技術） 従来位置決め制御装置は例えば第６図に示すように、速
度制御ユニットによる速度指令ループと位置制御信号に
よる位置指令ループに基づいて位置制御が行われている
。ここで例えば制御対象としては、駆動手段であるモー
タ１に連結されたボールネジ駆動機構２の回転によって
左右に移動するテーブル３とする。ボールネジ駆動機構
２にはモータ１の回転によってテーブル３と共に左右に
移動するりニアエンコーダ等の位置検出器４が接続され
ている。さてテーブル３の位置を指定する位置指令信号
Ｘ１を加え合わせ点５に加えて位置検出器４からの実際
の位置信号Ｘｉと減算して位置偏差ΔＸを速度指令発生
回路６に与える。速度指令発生回路６は位置偏差ΔＸを
それに対応した速度指令信号Ｎ”に変換するものであっ
て、その出力は加え合わせ点７に与えられる。一方モー
タ１にはその回転数に対応した速度信号Ｎｉを与える速
度発電器８が接続され、速度信号Ｎｉが加え合わせ点７
に加えられている。そして加え合わせ点７より得られる
速度偏差ΔＮが速度制御ユニット９に与えられる。速度
制御ユニット９は速度偏差ΔＮに対応した電流や電圧等
の駆動信号を発生しモータ１に与える制御ユニットであ
る。 このような従来の位置決め制御装置においてテーブル３
をある位置に制御する場合には、第７図（ａｌ、　（ｂ
ｌに示すように位置偏差ΔＸ及び実際の速度値Ｎｔが変
化する。即ち動作開始時には位置偏差ΔＸは大きくそれ
に対応した速度指令信号Ｎ１も大きな値となる。従って
速度実際値Ｎｉは動作開始後に急激に立上り、徐々に速
度指令信号Ｎ１に沿った速度信号となって、所定時間後
には微小な偏差を持ってモータ３が停止し位置制御を実
現している。 又他の従来の位置決め制御装置として例えば第８図に示
すように、ランプ階段状の位置Ｉ旨令信号を与えて制御
対象を制御する位置決め制御装置も提案されている（日
経メカニカル１９８６年８月１１日号、第９５〜１００
頁参照）。これは位置指令Ｘ９を位置偏差カウンタｌＯ
に与えてランプ状の位置指令信号Ｘ−によって制御する
ものである。位置偏差カウンタ１０は例えば位置指令Ｘ
９のレベルに対応した数のパルスを発生するパルス発生
器１１とアップダウンカウンタ１２及びアップダウンカ
ウンタ１２の計数値をアナログ値に変換するＤ／Ａ変換
器１３とから成り立っている。パルス発生器１１の出力
はアップダウンカウンタ１２のアップカウント端子に与
えられており、前述した位置検出器４のパルス出力はそ
のダウンカウント端子に与えられている。位置偏差カウ
ンタ１０の位置偏差信号ΔＸは速度指令発生回路６に与
えられ、更にその出力が加え合わせ点７を介して速度制
御ユニット９に与えられて位置決め制御装置が構成され
ることは第６図の装置と同様である。さて所定の位置偏
差Ｘ“を位置偏差カウンタ１０に与えたときには、パル
ス発生器１１のクロックパルスをそのまま計数すると第
９図（ａ）に示すようなランプ状の位置指令信号Ｘ−が
得られ、位置検出器４からの出力によってその計数値が
ダウンカウントされるため、アップダウンカウンタ１２
より第９図（ａ）のΔＸに対応する計数値が得られる。 そしてΔＸに対応する計数値がＤ／Ａ変換されて速度指
令発生回路６に加えられる。即ちアナログ変換出力が零
となるまで第９図（ａ）に示すようなランプ状の位置指
令信号が速度指令発生回路６に与えられる。従って第９
図（ａ）、　（ｂ）に示すように位置実際値Ｘｉの立上
り時と目標値に達する直前で速度指令信号Ｎ“が増加及
び減少し、その間では一定速度で制御対象を移動させて
目標値に到達させることができる。尚第９図（ｂ）のＮ
ｉは速度実際値である。 （発明が解決しようとする問題点） しかしながら第６図に示す従来例によれば、動作開始時
には加速度が急激に大きくなり、しかもその大きさは位
置偏差に対応して大幅に変化する。 しかるに制御対象の機構系によっては加速度によって寿
命が大きく異なるものもあるが、この方式では加速度を
全く制御することができず機構系で要求される加速度と
することができないという問題点があった。特にボール
ネジところがり軸受けを使用して高真空化で位置を制御
するＸＹテーブルでは、摩擦係数の変動が大きいのでそ
の加速度を適切に管理し又最高速度も制限しなければ寿
命が大幅に短くなるため、このような装置に適用するこ
とができなかった。又動作開始時には速度が急激に上昇
するが、その後徐々に低下するため最適の速度変化パタ
ーンで目標位置に到達させることができないという問題
点もあった。 又第８図の従来例では、位置偏差カウンタ１０のパルス
発生器１１のパルス周期を異ならせることによってラン
プ状の位置指令信号Ｘ−の傾き角θを任意の値にするこ
とができる。従って速度制御ループの応答特性を把握し
ておけば加減速時の加速度をほぼ一定値に制限すること
ができる。しかしながら加速時と減速時の加速度を夫々
側々に制御することが困難であった。又第９図に示され
ているように移動距離の如何にかかわらず常に台形の速
度制御パターンで移動させるため、ある距離を移動させ
るのに最適の速度制御パターンで移動させることができ
ない。従って移動に要する時間を最短時間とすることが
できないという問題点もあった。 〔発明の目的〕 本発明はこのような従来の位置決め制御装置の問題点に
鑑みてなされたものであって、位置指令信号が与えられ
たときには常に所定の加速度で制御対象を駆動すると共
に最短の駆動時間で所定の目標位置に到達できるように
することを技術的課題とする。 〔発明の構成と効果〕 （問題点を解決するための手段） 本発明は制御対象を駆動しその位置を変化させる駆動手
段と、速度偏差に基づいて駆動手段に駆動信号を与える
速度制御ユニットと、制御対象の位置を検知する位置検
出手段と、位置検出手段の検出出力と位置指令信号との
差である位置偏差に基づいて速度制御ユニットに速度指
令信号を与える速度指令発生手段と、を有する位置決め
制御装置であって、速度指令発生手段は、位置偏差信号
を一定時間保持する保持手段と、制御対象により規定さ
れる最大速度及び移動時の加速度に基づいて定めれらる
一定加速度での加速及び減速の速度制御パターンを記憶
する記憶手段と、保持手段に保持された位置偏差に対応
して記憶手段に保持されている速度制御パターンを読出
す読出し制御信号を出力するアナログ信号処理手段と、
アナログ信号処理手段の読出し制御信号に基づきその信
号に対応した速度で記憶手段の記憶データを読出し制御
信号に反比例するレベルに変換して読出す読出手段と、
読出手段によって読出された速度制御信号を制御対象に
より規定される最大速度に対応した値以下に制限するリ
ミッタ手段と、を有することを特徴とするものである。 （作用） このように本発明による位置決め制御装置では、制御対
象によって許容されている加速度と最大速度によって定
められた最適の速度制御パターンが定まるので、記憶手
段に正規化された最適の速度　　　。 パターンを記憶させている。そして位置偏差に対応して
所定の読出し制御信号を発生し、読出し制御信号に基づ
いて記憶手段からその正規化パターンを読出すことによ
って移動距離に対応した速度パターンを発生させて速度
制御を行うようにしている。そして正規化された速度パ
ターンを拡大するような制御を行う場合にも最大速度を
越えないようにリミッタ手段によって最大速度を限定し
て速度制御を行っている。 〔発明の効果〕 そのため本発明によれば、位置指令信号が与えられたと
きには常にあらかじめ定められた加速度で加速及び減速
し最適の速度パターンで制御対象を制御することができ
る。従って位置決め信号に基づいて最短時間で制御対象
を所定位置に移動させることができる。又移動距離が遠
い場合にも所定の最大速度に達した後、定速度制御を行
い再び減速することによって最短時間で制御対象を移動
させることができる。 〔実施例の説明〕 まず本発明の所定速度パターンによる位置制御の原理に
ついて説明する。第２図（ａ）〜ｔｃ）は台形状の速度
指令信号■９を与えたときの位置変化及び位置と速度と
の関係を示すグラフである。第２図（ａｌに示すように
ある制御対象を時刻０”’ｔ＋の間では一定の加速度ａ
で加速させ、時刻Ｅ１〜ｔ２の間では一定速度Ｖｃで移
動させると共に、その後の時刻も２〜ｔ３の間では加速
度−すの減速をさせるような台形状の速度制御パターン
を用いるものとする。 このような制御パターンでは、駆動を開始してから所定
位置に達するまでの時間ｔ０は第２図（ａ）より以下の
式で表される。 ここでＸ＋、Ｘｚは夫々始点から加速を終了するまでの
距離、及び減速を開始するまでの距離である。ここで距
離Ｘ、は次式で表される。 同様にして減速運動を開始した後目標位置Ｘ。に達する
までの距離Ｘｏ−Ｘｚは次式で表される。 従って式（２１，（３１を（１）式に代入して次式が得
られる。 ａ　　　　　ｂ　　　　　　　　　　　　Ｖｃｂ 第３図は式（４）の関係を示すものである。この図より
明らかなように第２図（ａ）の速度パターンでは目標位
置Ｘ０に到達するまでの時間ｔ０が最小となる唯一の定
速度Ｖｃｏが存在する。即ち（４）式をＶｃで微分する
ことによって次式が得られる。 即ち定速度Ｖｃｏは次式で与えられる。 又このときの移動時間ｔ０は次式で与えられる。 ｔｏ＝ｉ　　　　　　　・−・−（６１又加速時間Ｅａ
ｒ減速時間ｔ、は夫々Ｖ　Ｃ／　ａ　＋　　Ｖ　ｃ／ｂ
であり、 が成り立つ。そして定速度としてＶｃｏを用いると、加
速時間１．と減速時間ｔｂの和は式（５）を代入して次
のように示される。 ｔ、十ｔ、＝　ｋ　Ｖｃ。 ＝Ｆ口こ運　　　　　　・・−・−（８）式（６）と（
８）の値は等しいので定速度状態のない速度制御パター
ン、即ち定速期間の速度Ｖｃｏまで加速した後直ちに減
速する速度制御パターンが移動時間【。が最短のパター
ンとなる。 従って本発明では第４図に示すように速度制御パターン
を正規化パターンＩとして記憶手段に記憶させておき、
移動距離がその正規化パターンの移動距離より短い場合
には、そのパターンをそのまま縮小することによって正
規化パターンと相似の速度制御を行うようにしている。 一方速度の最大値が定められているためこの正規化パタ
ーンをそのまま拡大して速度制御を行うことはできない
。第４図において正規化パターンの移動距離ｉ１より移
動距離の大きい場合には正規化パターンの最高速度Ｖｃ
ｏに達した後、定速運動を行いその後正規化パターンに
沿って時刻ｔ４まで減速するようにした制御パターンで
の移動距離１２は夫々次式で表される。 ｌ　ｒ　　＝　Ｖｃｏｔｏ／　２　　　　　　　　　　
　　・−−−＝（９１そして拡大パターンでの移動距離
１２を正規化パターンの移動距離１１の１倍Ｃ１ｔ　＝
ｎＩＩ）とすると、＋９）、　（１０）式より次式が成
り立つ。 従って移動距離が正規化パターンより大きいときには記
憶手段からの続出速度を２／　（ｎ＋１）倍。 読出した後の増幅率をその逆数とし、最大速度をＶｃｏ
に制御すれば中間に定速制御状態を有するパターンで目
標移動量２．を得ることができる。 （実施例の構成） 次に本発明の実施例の構成について第１図を参照しつつ
説明する。本図において従来例と同一部分は同一符号を
付している。さて位置指令信号Ｘ９は加え合わせ点２０
に与えられる。加え合わせ点２０には前述したように制
御対象の位置を検出するリニアエンコーダ等の位置検出
手段である位置検出器４から実際の位置信号Ｘｉが与え
られている。加え合わせ点２０では位置指令信号Ｘ′″
とＸｉとを減算することによって位置偏差ΔＸを得るも
のであって、その出力は速度指令発生回路２１のＡ／Ｄ
変換器２２に与えられる。Ａ／Ｄ変換器２２はラッチ機
能付きの変換器であって、チップセレクト信号として起
動信号ａが与えられており、起動時にはＡ／Ｄ変換出力
を内部のラッチ回路に保持してラッチ出力をＤ／Ａ変換
器２３に与える。 Ｄ／Ａ変換器２３はこの出力を再びアナログ信号に変換
するものである。Ａ／Ｄ変換器２２及びＤ／Ａ変換器２
３は与えられた位置偏差信号ΔＸの値を一定時間保持す
る保持手段を構成している。 そしてこの位置偏差信号ΔＸは比較器２４とアナログ信
号処理部２５．２６に与えられる。アナログ信号処理部
２５は入力信号の逆数及び平方根となるべ（信号処理す
るものであり、その出力は読出し制御信号としてアナロ
グスイッチ２７を介してＶ／Ｆ変換器２８に与えられる
。又最高速度Ｖｃｏに対応する基準電圧レベルを有する
基準電圧源２９が比較器２４とアナログ信号処理部２６
に与えられている。アナログ信号処理部２６は位置偏差
信号ΔＸと基準電圧の比をｎとして２／（ｎ＋１）のア
ナログ演算を行うものであって、その出力は読出し制御
信号としてアナログスイッチ２７の一方の入力端子に与
えられている。比較器２４は基準電圧とＤ／Ａ変換器２
３の出力レベルを比較し、Ｄ／Ａ変換器２３の出力が小
さければ速度制御パターンが正規化パターンを縮小した
ものとなるのでアナログスイッチ２７をアナログ信号処
理部２５側に切換え、Ｄ／Ａ変換器２３の出力が基準電
圧より大きければ速度制御パターンは正規化パターンを
拡大したものとなるので、アナログスイッチ２７をアナ
ログ信号処理部２６側に切換えるものである。比較器２
４及びアナログ信号処理部２５．２６は位置偏差に対応
して速度制御パターンを読出す読出信号を発生するアナ
ログ信号処理部を構成している。Ｖ／Ｆ変換器２８は読
出し制御信号の電圧レベルに対応した周波数のクロック
パルス信号を発生する発振器であって、そのクロックパ
ルス出力をカウンタ３０に与える。カウンタ３０はクロ
ックパルスを計数して計数出力をアドレス信号として記
憶手段３１に与える。記憶手段３１は例えばリードオン
リメモリ　（以下ＲＯＭという）から構成されており、
前述のように制御対象の許容される最大加速度と最大許
容速度から定まる第４図に示すような正規化パターンＩ
を記憶するものである。そしてＲＯＭのアドレスの歩進
に対応して三角形状の速度制御信号が読出され、その出
力がＤ／Ａ変換器３２に与えられる。 Ｄ／Ａ変換器３２は読出された正規化パターンのデジタ
ル信号を再びアナログ信号に変換するものである。又速
度指令発生回路２１は基準電圧を発生する基準電圧源３
３を有しており、その出力は除算回路３４に与えられる
。除算回路３４は読出し制御信号を基準電圧で除算する
ことによってＤ／Ａ変換の基準電圧を得るものであって
、その出力はＤ／Ａ変換器３２に基準信号として与えら
れている。Ｄ／Ａ変換器３２はこの基準信号に基づいて
夫々の制御系に対応したアナログ信号を得るものである
。Ｖ／Ｆ変換器２８とカウンタ３０及び基準電圧源３３
と除算回路３４は続出し制御信号に対応した速度でその
信号に反比例するレベルに変換して記憶手段のデータを
読出す読出手段を構成している。Ｄ／Ａ変換器３２の出
力はリミッタ回路３５に与えられる。リミッタ回路３５
は制御対象毎に異なる最大限界速度Ｖｃｏに対応したレ
ベルの閾値を有し、闇値を越える人力を闇値に制限する
ものであって、それ以下の出力を速度指令信号Ｎ”とし
て切換スイッチ３６を介して加え合わせ点７に与えてい
る。加え合わせ点７には前述したように速度制御ユニッ
ト９が接続され、速度発電器８の速度信号Ｎｉ　との速
度偏差ΔＮに基づいてモータ３の速度制御が成される。 又速度発電器８の出力は零速度検出器３７にも与えられ
ている。零速度検出器３７は速度がほとんどＯとなる状
態を検出するものであって、検出時にはカウンタ３０を
リセットすると共に切換スイッチ３６に切換信号を与え
る。尚Ａ／Ｄ変換器２２に与えられる位置偏差ΔＸは又
微動停止用速度指令発生回路３８に与えられており、微
動制御では切換スイッチ３７によって切換られてその出
力が速度制御ユニット９に与えられる。 第５図はアナログ信号処理部２５．２６の詳細な構成の
一例を示す回路図である。アナログ信号処理部２５はＤ
／Ａ変換器２３の出力の逆数をとる逆数回路４０及び平
方根回路４１が直列に接続されている。又アナログ信号
処理部２６は図示のように除算回路４２及び加算器４３
を有しており、基準電圧源２９の基準電圧が除算回路４
２．加算器４３に与えられＤ／Ａ変換出力が除算回路４
２に与えられている。除算回路４２は基準電圧に基づい
てＤ／Ａ変換出力を除算するものであって、位置偏差と
正規化パターンの偏差との比（ｎ＞を加算器４３に与え
る。この比を式（１１）式に示すようにｎとすると加算
器４３は−（ｎ＋１）の信号を出力する。そして加算出
力は逆数回路４４に与えられ、更に逆数変換出力が増幅
率２の増幅器４５に与えられている。従って除算回路４
２の出力をｎとして加算器より２／　（ｎ＋１）の出力
を得ることができる。 （実施例の動作） 次に本実施例の動作について説明する。会式（５）。 （６＋、　（７１で示したような位置偏差Ｘ０に対して
最大定速度をＶｃｏとし、第４図の曲線Ｉに示すように
移動時間ｔ０である正規化された速度制御パターンに基
づく移動を基準移動パターンとする。そしである位置信
号に対して移動距離Ｘ。ｌをＸ０／４としその出力が加
え合わせ点２０に与えられたときには、その偏差がＸ０
／４がそのままＡ／Ｄ変換器２２に与えられ、起動信号
によってデジタル量に変換されてラッチされる。この出
力がＤ／Ａ変換器２３を介して再びアナログ量に変換さ
れ、比較器２４とアナログ信号処理部２５．２６に与え
られる。この場合には偏差が基準値以下であるのでアナ
ログスイッチ２７はアナログ信号処理部２５側に切換え
られている。Ｄ／Ａ変換出力はアナログ信号処理部２５
の逆数回路４０に加えられ、逆数に変換された後平方根
回路４１によって平方根が取られるため、正規化パター
ンでの速度制御の場合に比べて２倍の読出し制御信号が
アナログスイッチ２７を介してＶ／Ｆ変換器２８に加わ
る。 従ってＶ／Ｆ変換器２８の出力周波数は正規化パターン
の場合に比べて２倍となり、ＲＯＭ３１に与えられるア
ドレスが最大値に達するまでの時間は基準移動パターン
の時間ｔ。の２のｔ。／２となる。 一方読出し制御信号は除算回路３４にも与えられる。除
算回路３４は基準信号によって読出し制御信号を除算す
るので、Ｄ／Ａ変換器３２に基準信号として正規化パタ
ーンのＡの信号が与えられる。 従ってこのときの速度制御パターンは、第４図の曲線■
に示すように時間ｔ。／２で全ての正規化パターンの読
出しを終了するため、正規化パターンをそのまま縮小し
た形状の速度制御パターンとなり、加速度を所定値に保
ちつつ最短時間（ｔ、／　２　）で制御対象を所望の位
置に移動させることができる。 又位置偏差ΔＸが基準値より大きいとき、例えばΔＸ＝
２Ｘ、とすると、その偏差がＡ／Ｄ変換器２２及びＤ／
Ａ変換器２３によって保持されて比較器２４とアナログ
信号処理部２５．２６に加わる。この場合にはＤ／Ａ変
換出力が基準値以上であるのでアナログスイッチ２７が
アナログ信号処理部２６側に切換えられる。アナログ信
号処理部２６ではＤ／Ａ変換出力を基準値と比較しその
倍数ｎに対応した出力２／（ｎ＋１）が得られる。 従ってこの場合には基準パターンの２７３の出力がＶ／
Ｆ変換器２８に加わりその出力周波数は２／３倍となる
。このクロックパルスをカウンタ３０によって計数する
ためＲＯＭ２７の続出時間は３７２倍となる。又Ｄ／Ａ
変換器３１に与えられる基準電圧も３７２倍となるため
、第４図に２点鎖線で示すように正規化パターンをその
まま拡大した出力がＤ／Ａ変換器３１より出力される。 しかし制御対象の最大制御可能速度Ｖｃｏが規定されて
いるため、リミッタ回路３５によってその最大値が制限
され、台形状の速度制御パターン■となる。この制御パ
ターンによって制御対象を制御すれば所定の加速度で制
御され、しかも最大速度をＶｃｏに達すると定速度とな
り、その後一定の加速度で減速されることとなる。この
場合も加速度を所定値に保ちつつ最小の時間で目標位置
に到達させることができる。 尚本実施例は位置指令信号を保持する保持手段としてラ
ッチ回路付きＡ／Ｄ変換器２２とＤ／Ａ変換器２３とを
用いたが、アナログ信号をそのまま保持するサンプルホ
ールド回路を用いてもよいことはいうまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による位置決め制御装置の回
路構成を示すブロック図、第２図は本発明の詳細な説明
するための速度変化２位置変化及び位置と速度の関係を
示すグラフ、第３図は最高速度と所要時間との関係を示
すグラフ、第４図は本実施例による速度制御パターンを
示すグラフ、第５図は本実施例によるアナログ信号処理
部２５゜２６を示す回路図、第６図は従来の位置決め制
御装置の一例を示すブロック図、第７図はその時間に対
する位置偏差と速度の関係を示すグラフ、第８図は従来
の他の位置決め制御Ｉｌ装置の例を示すブロック図、第
９図はその時間に対する位置偏差と速度の関係を示すグ
ラフである。 １・−一−−−−モータ（駆動手段）　　　３−−−−
−−テーブル（制御対象）　　４−・−・−・−位置検
出器　　５．　７．　２０−・・・−加え合わせ点　　
６，２１・・・−速度指令発生回路　　９−・・−速度
制御ユニット　　１０−−−−−−位置偏差カウンタ　
　２２・−・・−Ａ／Ｄ変換器２３．３２−・−・−Ｄ
／Ａ変換器　　２５．２６−・・−アナログ信号処理部
　　２　Ｂ−−−−−一・Ｖ／Ｆ変換器３０−−−−−
−一カウンタ　　３１−−−−−−−ＲＯＭ　（記憶手
段）３４．４２・−・−割算回路　　３５−・・−リミ
ッタ回路　　３６−・−一−−−切換スイッチ特許出願
人　　　立石電機株式会社 代理人　弁理士　岡本宜喜（他１名） 第２図 第３図 第４図 ＲＯＭ　７ド゛入　　　ｉ尺 第５図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）制御対象を駆動しその位置を変化させる駆動手段
   と、 速度偏差に基づいて前記駆動手段に駆動信号を与える速
   度制御ユニットと、 前記制御対象の位置を検知する位置検出手段と、前記位
   置検出手段の検出出力と位置指令信号との差である位置
   偏差に基づいて前記速度制御ユニットに速度指令信号を
   与える速度指令発生手段と、を有する位置決め制御装置
   において、 前記速度指令発生手段は、 位置偏差信号を一定時間保持する保持手段と、前記制御
   対象により規定される最大速度及び移動時の加速度に基
   づいて定めれらる一定加速度での加速及び減速の速度制
   御パターンを記憶する記憶手段と、 前記保持手段に保持された位置偏差に対応して前記記憶
   手段に保持されている速度制御パターンを読出す読出し
   制御信号を出力するアナログ信号処理手段と、 前記アナログ信号処理手段の読出し制御信号に基づきそ
   の信号に対応した速度で前記記憶手段の記憶データを読
   出し制御信号に反比例するレベルに変換して読出す読出
   手段と、 前記読出手段によって読出された速度制御信号を前記制
   御対象により規定される最大速度に対応した値以下に制
   限するリミッタ手段と、を有することを特徴とする位置
   決め制御装置。
2. （２）前記アナログ信号処理手段は、位置偏差の逆数を
   とる逆数回路とその出力の平方根をとる平方根回路とを
   有し、位置偏差が前記記憶手段に記憶されている速度制
   御パターンの移動距離以下であるときに該平方根回路の
   出力を読出し制御信号とするものであることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の位置決め制御装置。
3. （３）前記アナログ信号処理手段は、前記記憶手段に記
   憶されている速度制御パターンの移動距離を越える位置
   偏差が与えられたときにその比をｎとして与えられる位
   置偏差の２／（ｎ＋１）倍のレベルを読出し制御信号と
   して出力する信号処理手段であることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の位置決め制御装置。