JPS63179097A - 部分表面処理用マスキング方法 - Google Patents

部分表面処理用マスキング方法

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JPS63179097A
JPS63179097A JP1213287A JP1213287A JPS63179097A JP S63179097 A JPS63179097 A JP S63179097A JP 1213287 A JP1213287 A JP 1213287A JP 1213287 A JP1213287 A JP 1213287A JP S63179097 A JPS63179097 A JP S63179097A
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JP
Japan
Prior art keywords
masking
actuator
mask
front mask
partial
Prior art date
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Pending
Application number
JP1213287A
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English (en)
Inventor
Hiromichi Yoshida
博通 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、例えば半導体用リードフレームへのスポット
めっきやスポット蒸着などのように、ある正確な間隔ご
とに部分表面処理を行なうためのマスキング法に関する
ものである。
〈従来技術およびその問題点〉 リードフレームは、第3図に示すように、中央部にIC
素子を搭載するアイランド部2と、その周囲にアイラン
ド部2に向って唾出する複数のリード部3を形成したも
ので、アイランド部2は通常支持ピン4にてリードフレ
ーム1の枠体5の所定箇所に支持されている。
このリードフレーム1では、コストダウン等の目的から
、従来の全面めっきに代り、アイランド部2とワイヤボ
ンディング部であるインナリード部3a(リード部3の
先端部)を選択的にAu、 Ag等の貴金属めっきを施
すスポットめっき等の部分めっきが多く用いられてきて
いる。
この部分めっきの方法として、従来、第4図に示すよう
に、めっきを必要とする部分に開孔20を設けたフロン
トマスク(マスキング部材)21と、押え部材であるバ
ックマスク9との間に、被めっき物たるリードフレーム
1を挟持し、前記開孔20からリードフレーム1のめっ
き部1aに向けてノズル10等によりめっき液を吹付け
てめっきを施している。
ここで、従来、フロントマスク21は、必要箇所に開孔
20を設けた一体成形より成るマスクであるが、近年、
Iに、 LSIの高集積化に伴い、リードフレームの一
部分めっきもめっき位置の寸法積度の要求がますます厳
しくなってきており、その要求を満たすためには、フロ
ントマスク21の長さをあまり長くすることができず、
その結果、生産能率の低下をきたすことになる。
フロントマスク21の長さをあまり長くできない理由は
、フロントマスク21の長さが長くなるほど、マスク加
工精度による誤差、温度変化によるフロントマスク21
とリードフレーム1の熱伸縮による誤差、リードフレー
ム1に加わる張力変動による誤差、リードフレーム1の
打抜寸法の誤差等が大きくなるためである。
従って、従来の一体成形よりなるフロントマスクでは、
生産能率を上げるためにフロントマスクを長尺化するの
には限界があった。
また、この第4図に示すマスキング装置は、上述した部
分めっきに限らず、部分蒸着などの部分PVD処理、部
分エツチング処理、部分剥離処理など、マスキングを要
するすべての部分表面処理において共通に用いられ得る
装置であり、これら各部分表面処理において、リードフ
レーム1の複数箇所に同時に部分表面処理を施す場合も
、前述の部分めっきの場合と同様の問題がある。
〈発明の目的〉 本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、前記した従
来技術の問題点を解消し、高寸法積度の部分表面処理を
能率よく行なうための部分表面処理用マスキング法を提
供することにある。
〈発明の構成〉 本発明の第1の態様によれば、マスキング部材保持体と
被表面処理材との間に保持された、被表面処理材の表面
処理すべき部分を決定する開孔をそれぞれ有する複数個
の中空体状のマスキング部材のうち、少なくとも1個以
上のマスキング部材を隣り合うマスキング部材の方向に
変位可能な状態で保持し、かつ該変位可能なマスキング
部材に、該変位を付与することのできるアクチュエータ
を隣接配設し、そのアクチュエータにより隣り合うマス
キング部材間の間隔のA整を行なうことによって被表面
処理材の表面処理すべき部分と前記開孔との位置合わせ
を行うことを特徴とする部分表面処理用マスキング方法
が提供される。
また、本発明の第2の態様によれば、マスキング部材保
持体と被表面処理材との間に保持された、被表面処理材
の表面処理すべき部分を決定する開孔をそれぞれ有する
複数個の中空体状のマスキング部材のうち、少なくとも
1個以上のマスキング部材を隣り合うマスキング部材の
方向に変位可能な状態で保持し、該変位可能なマスキン
グ部材と、前記マスキング保持体との間に弾性体を介装
し、かつ該変位可能なマスキング部材に該変位を付与す
ることのできるアクチュエータを隣接配設し、そのアク
チュエータにより隣り合うマスキング部材間の間隔の調
整を行なうことによって被表面処理材の表面処理すべき
部分と前記開孔との位置合わせを行うことを特徴とする
部分表面処理用マスキング方法が提供される。
以下、本発明の好適実施例について、第1図および第2
図に基づいて説明する。なお、同図中、第4図と同一部
分は同一符号を付してその説明を省略する。
第1図は本発明に適用される部分めっきマスキング装置
の断面図を示し、リードフレームlを、複数個のフロン
トマスク(マスキング部材)8と、一体成形から成るバ
ックマスク9とによって挟持している。
本発明においては、フロントマスク8は、全体が一体成
形されたものではなく、リードフレーム1の各めっき部
1aと同寸法の開孔7を有する複数個の中空体から成る
この各フロントマスク8の一端(上端)はリードフレー
ムlの当接部をなし、他端(下端)には弾性ゴム部材(
弾性体)12が接着剤等によって被着されている。そし
て、各フロントマスク8は、弾性ゴム部材12を介して
、フロントマスク保持体13に接着剤等によって被着さ
れ一端側をリードフレーム1に押圧接触してマスキング
している。
フロントマスク保持体13はプラスチック材、繊維補強
プラスチック材等からなる板状体で、所定箇所にノズル
lOによるめっき液噴流通路用の開孔13aを有してお
り、この開孔13aがリードフレームlのめっき部1a
に対応するように配設されている。
ここで、前記押圧接触において、各フロントマスク8の
開孔7が前記リードフレーム1のめっき部1aに対応し
て位置するように、隣り合うフロントマスク8.8は、
例えば圧電により動作するアクチュエータ14を有して
所定間隔(11:以後マスク間隔という>m隔して配設
されている。
圧電アクチュエータ14は、例えばチタン酸バリウムの
ような強誘電体のセラミック素材を積層形に組合わせた
積層形圧電素子アクチュエータ等であり、電圧を印加す
るとその大きさに応じて圧電素子が伸縮する。従って、
各スポットめっき間の間隔(隣り合う開孔7.7間の間
隔)が、マスク間隔IL1の製作誤差または熱伸縮によ
る変化、リードフレームの打抜き寸法誤差その他の原因
で必要な寸法公差を超えた場合は、圧電アクチュエータ
14を作動させることによって、各フロントマスク8を
フロントマスク保持体13に対して移動させて、寸法公
差内のスポットめっき間隔が得られるようにマスク間隔
I11を自由に調整することができる。
ここで、フロントマスク8の他端に弾性ゴム部材を被着
することにより、フロントマスク8を隣り合うマスクの
方向に変位可能な状態でフロントマスク保持体13に容
易に配設でき、構造的に単純化しやすいという利点を有
する。
このようにフロントマスク8をリードフレームlのめっ
き部1aに対応させて分割させ、それぞれのフロントマ
スク8.8間を個別にアクチュエータ14にて微調整す
ることにより、リードフレーム1の各めっき部1aごと
に高いめっき位置蹟度が得られる。
第2図は、複数個のフロントマスクのうち、一部をフロ
ントマスク保持体上に固定し、残りのフロントマスクを
可動性のものにした場合の実施例を示す。
この実施例においては、各フロントマスク8′は、それ
ぞれリードフレーム1のめっき部1aと同it法の2個
の開孔7′、7′を存する中空体で、例えば、フロント
マスク8′が3個の場合は、両端のフロントマスク8′
のみ可動とし、中央に位置するフロントマスク8′をフ
ロントマスク保持体13上に固定する。可動性のフロン
トマスク8′は、第1図の場合と同様に他端に弾性ゴム
部材12を被着して成るが、固定された中央のフロント
マスク8′は他端を接着剤等にて直接フロントマスク保
持体13上に固着する。
フロントマスク保持体13の両端には固定柱15が取付
固着されており、可動性のフロントマスク8′は圧電ア
クチュエータ14にてそれぞれ固定柱15との間隔IL
2 、 i3を調整することによって、各フロントマス
ク8′間のマスク間距離Ml を調整し、第1図の場合
と同様にスポットめフき間隔を調整することができる。
このようにいくつかのフロントマスク8′のうちの1個
を固定マスクとすることにより、フロントマスク装置の
基準位置を固定マスク上に設定でき、該マスク装置据付
は時の位置決めがやりやすくなるという利点がある。
この第2実施例においては、フロントマスク8′の開孔
7′が2個の場合について述べたが、開孔が1個あるい
は3個以上の場合でも、本発明に通用し得ることはもち
ろんである。
なお、上記第1,2実施例のいずれの場合においても、
フロントマスクa(a ’)をフロントマスク保持体1
3上に誤差なく移動させるために弾性ゴム部材12を被
着した場合について述べたが、本発明においては弾性ゴ
ム部材に限らず、弾性を有する部材なら何でもよく、ゴ
ム部材以外の弾性高分子材も使用可能であるし、また金
属体の弾性変形(曲げなど)を利用することも可能であ
る。またフロントマスク保持体13を固定させずにスタ
イド面を設けるなどによりに可動部材とすることによっ
て、フロントマスク8(8’)を移動可能な状態に保持
することも可能である。
また、アクチュエータとしては、上述の圧電体を用いた
圧電アクチュエータ14に限るものではなく、希望する
変位を与えられるものであれば何でもよく、空気圧シリ
ンダ、油圧シリンダ、ソレノイド、電動シリンダ、リニ
アモータ、形状記憶合金なども使用可能であり、またモ
ータなどの回転運動を直線運動に変える形式のアクチュ
エータでも使用可能である。その他、金属の熱伸縮を直
接利用するか、またはそれをバイメタルなどで拡大利用
するアクチュエータの使用も可能である。
なお、アクチュエータによる部分表面処理間隔の必要調
整変位長は、必要寸法精度、マスクの全長(マスク保持
列全長)、各種誤差要因の影響程度などによって異るが
、ICリードフレームなどの場合で0.旧〜1.0 m
m程度である。
なお、上記第1.2実施例とも部分めっきマスキングに
ついて述べたが、ここで用いたマスキング装置は、部分
めっきに限らず、部分蒸着などの部分pvo処理、部分
エツチング処理、部分剥離処理など、マスキングを要す
るすべての部分表面処理においても共通に用いられ得る
ものである。
〈発明の効果〉 以上詳述したように本発明によれば、部分表面処理用マ
スキング部材を複数個に分割して構成し、これら各マス
キング部材をアクチュエータにて移動調整することによ
って、被表面処理材の部分表面処理部に対応させてマス
キング部材を移動調整することができるので、部分表面
処理精度が良好で製品の品質向上化が図れる。また一度
に表面処理のできるマスキング部材全長を従来より大幅
に長くすることが可能となり、生産能率を大幅に向上さ
せることができる等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は、本発明に適用される部分めっき
マスキング装置の断面図である。 第3図はリードフレームの平面図である。 第4図は部分めっきマスキング装置の従来例を示す断面
図である。 符号の説明 1・・・リードフレーム、 la−一めっき部、 2−アイランド部、 3−リード部、 3a−インナリード部、 4−支持ビン、 5・−枠体、 7−開孔、 8−フロントマスク(マスキング部材)、9−バックマ
スク、 lO−ノズル、 12−弾性ゴム部材(弾性体)、 13−フロントマスク保持体、 14−アクチュエータ、 15−固定柱 FIG、1 FIG、2 Fl(7,3 Fl(3,4

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)マスキング部材保持体と被表面処理材との間に保
    持された、被表面処理材の表面処理すべき部分を決定す
    る開孔をそれぞれ有する複数個の中空体状のマスキング
    部材のうち、少なくとも1個以上のマスキング部材を隣
    り合うマスキング部材の方向に変位可能な状態で保持し
    、かつ該変位可能なマスキング部材に、該変位を付与す
    ることのできるアクチュエータを隣接配設し、そのアク
    チュエータにより隣り合うマスキング部材間の間隔の調
    整を行なうことによって被表面処理材の表面処理すべき
    部分と前記開孔との位置合わせを行うことを特徴とする
    部分表面処理用マスキング方法。
  2. (2)マスキング部材保持体と被表面処理材との間に保
    持された、被表面処理材の表面処理すべき部分を決定す
    る開孔をそれぞれ有する複数個の中空体状のマスキング
    部材のうち、少なくとも1個以上のマスキング部材を隣
    り合うマスキング部材の方向に変位可能な状態で保持し
    、該変位可能なマスキング部材と、前記マスキング保持
    体との間に弾性体を介装し、かつ該変位可能なマスキン
    グ部材に、該変位を付与することのできるアクチュエー
    タを隣接配設し、そのアクチュエータにより隣り合うマ
    スキング部材間の間隔の調整を行なうことによって被表
    面処理材の表面処理すべき部分と前記開孔との位置合わ
    せを行うことを特徴とする部分表面処理用マスキング方
    法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006326798A (ja) * 2005-05-30 2006-12-07 Kanbara Yukie シート切断補助具
WO2014188897A1 (ja) * 2013-05-20 2014-11-27 東京エレクトロン株式会社 基板の処理方法及びテンプレート
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