JPS63175730A - Observing device for light wave plane - Google Patents

Observing device for light wave plane

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JPS63175730A
JPS63175730A JP764187A JP764187A JPS63175730A JP S63175730 A JPS63175730 A JP S63175730A JP 764187 A JP764187 A JP 764187A JP 764187 A JP764187 A JP 764187A JP S63175730 A JPS63175730 A JP S63175730A
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Shinichiro Aoshima
紳一郎 青島
Yutaka Tsuchiya
裕 土屋
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Hamamatsu Photonics KK
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Hamamatsu Photonics KK
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J11/00Measuring the characteristics of individual optical pulses or of optical pulse trains

Abstract

PURPOSE:To observe the wave front of a single pulse of a pulse laser in real time by providing the pulse laser, a streak camera, a trigger system which operates the camera, and an optical system which forms an image of a reflecting plate projected with laser light on the photoelectric cathode of the streak camera. CONSTITUTION:When a CPM ring coloring matter laser is used as the pulse laser 1, short light pulses of about 100 femtoseconds in pulse width are obtained. The streak camera 3 is a camera for fast development photography to which a streak tube is applied, and the streak tube has a deflection electrode provided in the converging lens of an image tube and runs an output image by applying a deflection voltage to the electrode. This deflection voltage synchronizes with the generating operation of a single pulse of the pulse laser 1 and is operated with a trigger signal generated by the trigger system 4. The single pulse generated by the pulse laser 1 is spread partially by a half-mirror 11 and guided to the trigger system 4, which generates the trigger pulse. The pulse transmitted through the mirror 11 is reflected by a mirror 12 toward a reflecting plate 2.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、ストリークカメラとパルスレーザを用いてリ
アルタイムで光波面を観測する装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a device for observing a light wavefront in real time using a streak camera and a pulse laser.

(従来の技術) アプライドオプティクス第22巻2号215〜232頁
(1983年2月15日発行)にアブラムソン氏により
コヒーレントな極めて短いパルス幅のレーザあるいはコ
ヒーレンス長の短いレーザを用いることによって光波面
のホログラム記録がなされたことが報告されている。
(Prior art) In Applied Optics, Vol. 22, No. 2, pp. 215-232 (published February 15, 1983), Mr. Abramson describes the method of changing the optical wavefront by using a coherent laser with an extremely short pulse width or a laser with a short coherence length. It has been reported that hologram recording has been made.

第9図は、光波面のホログラム記録装置を示す略図であ
る。
FIG. 9 is a schematic diagram showing a hologram recording device for optical wavefronts.

レーザLを出た光の一部はA−C−Bを経て物体光を形
成する。
A part of the light emitted from the laser L passes through A-C-B to form an object light.

また、レーザLからA−E−D−Bを通る光は参照光を
形成する。
Further, the light from the laser L that passes through A-E-D-B forms a reference light.

このようにして物体光と参照光の干渉縞が記録面Hに形
成される。
In this way, interference fringes between the object beam and the reference beam are formed on the recording surface H.

Hに乾板を置き、現像することによって、ホログラムが
作成される。この時、通常のホログラムと異なり、レー
ザLをコヒーレンス長が短い光源、あるいは、短パルス
光源とし、対象物0を白ペンキを塗ったドアとすること
によって光波固自体を記録再生することが可能となる。
A hologram is created by placing a dry plate on H and developing it. At this time, unlike ordinary holograms, it is possible to record and reproduce the light wave itself by using a light source with a short coherence length or a short pulse light source as the laser L, and using a door painted with white paint as the object 0. Become.

すなわち、前記光源を用いることによって、H上には、
A−E−D−BとA−C−Bを通過してきた光のうち、
互いに光路長がコヒーレンス長内。
That is, by using the light source, on H,
Of the light that has passed through A-E-D-B and A-C-B,
The optical path lengths of each other are within the coherence length.

あるいはパルス幅内で等しい光同志での干渉縞のみが形
成され、光路長の異なる光相互の干渉縞は形成されない
Alternatively, only interference fringes are formed between lights that are equal within the pulse width, and interference fringes between lights that have different optical path lengths are not formed.

さらに詳しく述べれば、対象物O上のeoに達した物体
光は、H上hoにのみ干渉縞を記録する。
More specifically, the object light that reaches eo on object O records interference fringes only on ho on H.

同様にel、e2に達した物体光はそれぞれhl。Similarly, the object beams reaching el and e2 are respectively hl.

h2のみに干渉縞を記録することになる。Interference fringes will be recorded only in h2.

このようにして作成されたホログラムに、前記参照光だ
けを照射すると、その参照光は、ホログラムH上の各部
分に記録された干渉縞によって回折され、その干渉縞を
形成した光を再生する。
When the hologram thus created is irradiated with only the reference light, the reference light is diffracted by the interference fringes recorded on each part of the hologram H, and the light that formed the interference fringes is reproduced.

したがって、この時、観測点をHにそって変えていった
時、第10図に示すように、光波面を観測することがで
きる。
Therefore, at this time, when the observation point is changed along H, the optical wavefront can be observed as shown in FIG.

第10図は、このようにして観測された光波面であり、
ミラーで反射される様子をとらえたものである。
Figure 10 shows the optical wavefront observed in this way,
This is a picture of how it is reflected by a mirror.

(従来技術の問題点) 前記学会誌に示されている装置では、ホログラム技術を
用いているため波面をリアルタイムで観測することがで
きない。
(Problems with the Prior Art) The device shown in the academic journal uses hologram technology and cannot observe wavefronts in real time.

本発明の目的は、リアルタイムで光の波面を観察するこ
とができる光波面を観測する装置を提供することにある
An object of the present invention is to provide an apparatus for observing a light wavefront that can observe a light wavefront in real time.

(問題点を解決するための手段) 前記目的を達成するために本発明による光波面を観測す
る装置は、パルスレーザと、ストリークカメラと、前記
パルスレーザの動作に同期して前記ストリークカメラを
動作させるトリガ系と、前記パルスレーザの光パルスが
被観測波面を形成する要素を介して投影される反射板と
、前記レーザ光によって照射される反射板の像を前記ス
トリークカメラの光電陰極に結像する光学系から構成さ
れている。
(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, an apparatus for observing a light wavefront according to the present invention includes a pulse laser, a streak camera, and an operation of the streak camera in synchronization with the operation of the pulse laser. a trigger system that causes the pulsed laser beam to be projected onto the photocathode of the streak camera; It consists of an optical system that

前記反射板は平面の拡散反射板とすることができる。The reflector may be a flat diffuse reflector.

(実施例) 本発明を図面等を参照して、さらに詳しく説明する。(Example) The present invention will be explained in more detail with reference to the drawings and the like.

第1図は、本発明による光波面を観測する装置の第1の
実施例の主要部分の平面図、第2図は、前記実施例装置
の主要部分の側面図である。
FIG. 1 is a plan view of the main parts of a first embodiment of an apparatus for observing a light wavefront according to the present invention, and FIG. 2 is a side view of the main parts of the apparatus of the embodiment.

パルスレーザ1として、CPMリング色素レーザを使用
する。
As the pulse laser 1, a CPM ring dye laser is used.

これによれば、パルス幅100フェムト秒程度の短い光
パルスが得られる。   ・ ストリークカメラ3はストリーク管を応用した高速現象
撮影用のカメラである。
According to this, a short optical pulse with a pulse width of about 100 femtoseconds can be obtained. - Streak Camera 3 is a camera for high-speed phenomenon photography that uses a streak tube.

ストリーク管はイメージ管の集束レンズ内に偏向電極を
設け、この電極に偏向電圧(単掃引)を印加して出力像
を走らせるようにしたものである。
In a streak tube, a deflection electrode is provided within the focusing lens of an image tube, and a deflection voltage (single sweep) is applied to this electrode to cause an output image to run.

この偏向電圧は、前記パルスレーザ1の単一パルスの発
生動作に同期してトリガ系4の発生するトリガ信号によ
り動作させられる。
This deflection voltage is operated by a trigger signal generated by a trigger system 4 in synchronization with the single pulse generation operation of the pulsed laser 1.

パルスレーザ1の発生する単一パルスはノ\−フミラー
11により一部分離されてトリガ系4に導かれここでト
リガパルスが発生させられる。前記/%−フミラー11
を透過したパルスは、ストリークカメラ3の入射面の上
側に設けられているミラー12(第2図参照)により反
射板2の方向に反射させられる。
A single pulse generated by the pulsed laser 1 is partially separated by a nof mirror 11 and guided to a trigger system 4, where a trigger pulse is generated. Said/%-Fumirar 11
The pulses transmitted through the streak camera 3 are reflected toward the reflecting plate 2 by a mirror 12 (see FIG. 2) provided above the incident surface of the streak camera 3.

反射板2として平板状の拡散反射面を用いる。A flat diffuse reflection surface is used as the reflection plate 2.

ミラー12と反射板の間には、断面が凹であるシリンド
リカルレンズ14が配置されており光ビームは拡大され
て反射板2に照射させられる。
A cylindrical lens 14 having a concave cross section is arranged between the mirror 12 and the reflecting plate, and the light beam is expanded and irradiated onto the reflecting plate 2.

前記レーザ光によって照射される反射板2の像は結像レ
ンズ13によりストリークカメラ3の光電陰極に結像さ
せられる。
The image of the reflection plate 2 irradiated with the laser beam is formed on the photocathode of the streak camera 3 by the imaging lens 13.

ストリークカメラ3の入射スリットと同軸上にある平面
板2のライン部分は結像レンズ3により、ストリークカ
メラ3のスリット上に結像されている。
A line portion of the plane plate 2 coaxial with the entrance slit of the streak camera 3 is imaged onto the slit of the streak camera 3 by an imaging lens 3.

この時結像レンズ13と平面板2までの距離をLとし、
結像レンズ13の像側焦点距離をfとし、さらに、入射
スリット長さをSoとすると、平面板上のラインの長さ
Sの情報に関し、光波面を観測することができる。
At this time, the distance between the imaging lens 13 and the flat plate 2 is L,
If the image-side focal length of the imaging lens 13 is f and the length of the entrance slit is So, then the light wavefront can be observed with respect to the information on the length S of the line on the plane plate.

但し   S = (L −f ) S o / fと
なる。
However, S = (L - f) S o / f.

ハーフミラ−11で反射された光はトリガ系4に入射し
、ストリーク掃引のタイミングを合わせて掃引される。
The light reflected by the half mirror 11 enters the trigger system 4 and is swept in synchronization with the streak sweep timing.

得られたストリーク像は計測用テレビジョンカメラ5と
解析装置6とにより観測される。
The obtained streak image is observed by a measurement television camera 5 and an analysis device 6.

前記反射板2は、ストリークカメラ3の光電陰極面と正
確に平行に設置されており、光波面の情報は平面板で散
乱9反射された超短パルス光が、ストリークカメラへ入
射する時間遅れの情報に変換されて観測されることにな
る。
The reflector plate 2 is installed exactly parallel to the photocathode surface of the streak camera 3, and information on the light wavefront is scattered by the plane plate 9. It will be converted into information and observed.

次に第3図を参照して、前記実施例において観測される
ストリーク像を説明する。
Next, with reference to FIG. 3, the streak image observed in the above embodiment will be explained.

第1図で示したようにレーザ光の光路の途中に、断面が
凹であるシリンドリカルレンズ14を配置すると、反射
!Fi2の中心部分には光が速(到達し、端の部分は中
心部分に比べて相対的に遅く到達することになる。
As shown in FIG. 1, if a cylindrical lens 14 with a concave cross section is placed in the middle of the optical path of the laser beam, it will be reflected! Light reaches the central part of Fi2 at a high speed, and the end parts arrive relatively slowly compared to the central part.

したがって、第3図に示すように中心に対して左右がΔ
tだけ遅れて現れるストリーク像が得られる。
Therefore, as shown in Figure 3, the left and right sides of the center are Δ
A streak image that appears with a delay of t is obtained.

この時のストリークカメラの時間分解能から、反射板に
到達した光パルスの波面の観測を行うことができる。
Based on the temporal resolution of the streak camera at this time, it is possible to observe the wavefront of the optical pulse that has reached the reflector.

この時、第2図で示すように、入射スリットと平面板の
視野を結ぶ軸上の情報ではなく、平面板とθの角をなす
、平面板の被観測ラインを含む平面、すなわち光軸を含
む平面の波面の情報が得られる。
At this time, as shown in Figure 2, the information is not on the axis connecting the input slit and the field of view of the plane plate, but on the plane that includes the observed line of the plane plate, which forms an angle θ with the plane plate, that is, the optical axis. Information on the wavefront of the included plane can be obtained.

前記実施例装置においてさらにストリークカメラ3と、
結像レンズ13を一体で上下させることにより凹レンズ
などによって広がった光の平面板位置での光波面の3次
元的観測が可能となる。
The embodiment device further includes a streak camera 3;
By moving the imaging lens 13 up and down as a unit, it becomes possible to three-dimensionally observe the light wavefront at the position of the flat plate of light spread by a concave lens or the like.

第4図は、本発明による光波面を観測する装置の第2の
実施例を示す略図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a second embodiment of an apparatus for observing optical wavefronts according to the present invention.

反射板2に斜め方向から超短パルス波面を断面が凹であ
るシリンドリカルレンズ14を介して照射しこの反射板
2の像をレンズ13によりストリーク管3の表面に結像
させて観測するようにしたものである。
An ultrashort pulse wavefront is irradiated onto the reflecting plate 2 from an oblique direction through a cylindrical lens 14 having a concave cross section, and an image of the reflecting plate 2 is formed on the surface of the streak tube 3 by a lens 13 for observation. It is something.

以上の装置により、リアルタイムで光波面を観測するこ
とができる。この光波面から光学要素の面精度を測定す
ることができる。これまでの実施例では光ビームが光学
要素の一部を通過した際の光波面の観測を行なうことが
でき、光学要素全体についてはビームをスキャンしたり
、光学要素を移動したりする必要がある。そこで以下の
ようにして一度に光学要素全体を通過した際の光波面の
観測が行なえる。
With the above device, it is possible to observe optical wavefronts in real time. The surface accuracy of the optical element can be measured from this light wavefront. In the previous embodiments, it is possible to observe the optical wavefront when a light beam passes through a part of the optical element, but for the entire optical element, it is necessary to scan the beam or move the optical element. . Therefore, it is possible to observe the light wavefront when it passes through the entire optical element at once in the following manner.

第5図は、本発明による光波面を観測する装置の第3の
実施例の主要部分の側面図である。
FIG. 5 is a side view of the main parts of a third embodiment of an apparatus for observing optical wavefronts according to the present invention.

ミラー12と反射板2の間にビームエキスパンダ15が
配置されている。
A beam expander 15 is arranged between the mirror 12 and the reflection plate 2.

レーザービームは拡大させられて平行光となって反射板
2に達する。
The laser beam is expanded and becomes parallel light, which reaches the reflecting plate 2.

他の構成は前述した実施例と異ならない。Other configurations are the same as those of the previously described embodiments.

このときのストリーク像は、第6図に示すようになる。The streak image at this time is as shown in FIG.

第7図は、第5図に示した第3の実施例装置により凸レ
ンズ16の測定例を示す配置図である。
FIG. 7 is a layout diagram showing an example of measurement of the convex lens 16 using the third embodiment apparatus shown in FIG.

第7図で示すように、この系のビームエキスパンダ15
と、反射板2の間に被観測対象物である凸レンズ16が
挿入されている。
As shown in FIG. 7, the beam expander 15 of this system
A convex lens 16, which is an object to be observed, is inserted between the reflector 2 and the reflector 2.

この時、凸レンズ16と反射板2との距離が凸レンズ1
6の焦点距離以下であれば凸レンズ16によって集光さ
れる途中の光波面が、また焦点距離以上であれば、一度
集光されて発散していく光波面が観測される。
At this time, the distance between the convex lens 16 and the reflecting plate 2 is
If the focal length is less than or equal to the focal length of the convex lens 16, a light wavefront that is being focused by the convex lens 16 is observed, and if the focal length is greater than or equal to the focal length, a light wavefront that is once focused and then diverging is observed.

第8図に前記第3の実施例装置による光波面の観測例を
示す。両端は凸レンズ16を通過しなかった部分であり
、第6図の両端に対応する。なお、この部分は、アパー
チャなどでカットできる。
FIG. 8 shows an example of observation of a light wavefront by the apparatus of the third embodiment. Both ends are portions that did not pass through the convex lens 16, and correspond to both ends in FIG. Note that this part can be cut using an aperture or the like.

(発明の効果) 以上詳しく説明したように、本発明による光波面を観測
する装置は、パルスレーザと、ストリークカメラと、前
記パルスレーザの動作に同期して前記ストリークカメラ
を動作させるトリガ系と、前記パルスレーザの光パルス
が被観測波面を形成する要素を介して投影される反射板
と、前記レーザ光によって照射される反射板の像を前記
ストリークカメラの光電陰極に結像する光学系から構成
されている。
(Effects of the Invention) As described in detail above, the device for observing a light wavefront according to the present invention includes a pulse laser, a streak camera, and a trigger system that operates the streak camera in synchronization with the operation of the pulse laser. Consisting of a reflector on which the light pulse of the pulsed laser is projected via an element forming an observed wavefront, and an optical system that forms an image of the reflector illuminated by the laser beam onto the photocathode of the streak camera. has been done.

したがって、反射板に投影されたパルスレーザの単一パ
ルスの波面の観測をリアルタイムで行うことができる。
Therefore, the wavefront of a single pulse of the pulsed laser projected onto the reflector can be observed in real time.

結像光学像や前記反射板の信号を調節することにより、
適当な倍率のストリーク像を得ることができる。
By adjusting the formed optical image and the signal of the reflector,
A streak image with an appropriate magnification can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明による光波面を観測する装置の第1の
実施例の主要部分の平面図である。 第2図は、前記実施例装置の主要部分の側面図である。 第3図は、前記実施例装置による観測波面の像を示す略
図である。 第4図は、第2の実施例のストリークカメラと入射波面
の泣面関係を示す平面図である。 第5図は、本発明による光波面を観測する装置の第3の
実施例の主要部分の側面図である。 第6図は、前記実施例装置による観測波面の像を示す略
図である。 第7図は、第5図に示した光波面を観測する第3の実施
例装置で光路に挿入された凸レンズの形成する波面を被
測する例を示す側面図である。 第8図は、前記凸レンズの影響を受けた観測波面の像を
示す略図である。 第9図は、光波面のホログラム記録装置を示す略図であ
為。 第10図は、前記ホログラム記録装置で観測された光波
面を示す図である。 1・・・パルスレーザ 2・・・反射板(平板状の拡散反射面)3・・・ストリ
ークカメラ 4・・・ストリークカメラのトリガ系 5・・・テレビジョンカメラ 6・・・解析装置 11・・・ハーフミラ− 12・・・ミラー 13・・・結像レンズ 14・・・シリンドリカルレンズ 15・・・ビームエキスパンダ 16・・・凸レンズ 特許出願人 浜松ホトニクス株式会社 代理人 弁理士  井 ノ ロ  壽 第3図 第5図 第7図
FIG. 1 is a plan view of the main parts of a first embodiment of an apparatus for observing a light wavefront according to the present invention. FIG. 2 is a side view of the main parts of the apparatus of the embodiment. FIG. 3 is a schematic diagram showing an image of a wavefront observed by the apparatus of the embodiment. FIG. 4 is a plan view showing the relationship between the streak camera of the second embodiment and the incident wavefront. FIG. 5 is a side view of the main parts of a third embodiment of an apparatus for observing optical wavefronts according to the present invention. FIG. 6 is a schematic diagram showing an image of a wavefront observed by the apparatus of the embodiment. FIG. 7 is a side view showing an example in which a wavefront formed by a convex lens inserted into an optical path is measured by the third embodiment apparatus for observing the optical wavefront shown in FIG. FIG. 8 is a schematic diagram showing an image of the observed wavefront affected by the convex lens. FIG. 9 is a schematic diagram showing a hologram recording device for optical wavefronts. FIG. 10 is a diagram showing a light wavefront observed by the hologram recording device. 1... Pulse laser 2... Reflection plate (flat plate-like diffuse reflection surface) 3... Streak camera 4... Trigger system of streak camera 5... Television camera 6... Analysis device 11. ...Half mirror 12...Mirror 13...Imaging lens 14...Cylindrical lens 15...Beam expander 16...Convex lens Patent applicant Hamamatsu Photonics Co., Ltd. Agent Patent attorney Hisada Inoro Figure 3 Figure 5 Figure 7

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)パルスレーザと、ストリークカメラと、前記パル
スレーザの動作に同期して前記ストリークカメラを動作
させるトリガ系と、前記パルスレーザの光パルスが被観
測波面を形成する要素を介して投影される反射板と、前
記レーザ光によって照射される反射板の像を前記ストリ
ークカメラの光電陰極に結像する光学系から構成した光
波面を観測する装置。
(1) A pulse laser, a streak camera, a trigger system that operates the streak camera in synchronization with the operation of the pulse laser, and a light pulse of the pulse laser is projected via an element forming an observed wavefront. A device for observing a light wavefront, comprising a reflector and an optical system that forms an image of the reflector irradiated by the laser beam onto a photocathode of the streak camera.
(2)前記反射板は平面の拡散反射板である特許請求の
範囲第1項記載の光波面を観測する装置。
(2) The apparatus for observing a light wavefront according to claim 1, wherein the reflecting plate is a flat diffuse reflecting plate.
JP764187A 1987-01-16 1987-01-16 Device for observing light wavefront Expired - Lifetime JPH0695044B2 (en)

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JP764187A JPH0695044B2 (en) 1987-01-16 1987-01-16 Device for observing light wavefront

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Publication Number Publication Date
JPS63175730A true JPS63175730A (en) 1988-07-20
JPH0695044B2 JPH0695044B2 (en) 1994-11-24

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012160936A1 (en) 2011-05-23 2012-11-29 Canon Kabushiki Kaisha Wavefront measuring apparatus, wavefront measuring method, and object measuring apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012160936A1 (en) 2011-05-23 2012-11-29 Canon Kabushiki Kaisha Wavefront measuring apparatus, wavefront measuring method, and object measuring apparatus

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