JPS6317161B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6317161B2 JPS6317161B2 JP10277480A JP10277480A JPS6317161B2 JP S6317161 B2 JPS6317161 B2 JP S6317161B2 JP 10277480 A JP10277480 A JP 10277480A JP 10277480 A JP10277480 A JP 10277480A JP S6317161 B2 JPS6317161 B2 JP S6317161B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring tool
- spherical surface
- concave spherical
- measuring
- curvature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B5/213—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures for measuring radius of curvature
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、凹球面の曲率半径を正確かつ簡単
に測定する測定方法に関するのである。
に測定する測定方法に関するのである。
従来、凹球面の曲率半径を測定するには、三次
元測定機による方法、ニユートンリングを利用す
る方法、球面計による方法等があつた。
元測定機による方法、ニユートンリングを利用す
る方法、球面計による方法等があつた。
上記三次元測定機においては、測定機自体の価
格が非常に高価で、又非常に大きなスペースを用
し、更に測定精度も±2μmを保証するのが困難で
あつた。
格が非常に高価で、又非常に大きなスペースを用
し、更に測定精度も±2μmを保証するのが困難で
あつた。
又、ニユートンリングを用いる方法に於いて
は、凹球面の面粗度が鏡面近くになつていないと
干渉縞がでず、測定不可能であるし、１個の原器
によつて測定しうる曲率半径の範囲もごく限られ
たものになるといつた欠点があつた。
は、凹球面の面粗度が鏡面近くになつていないと
干渉縞がでず、測定不可能であるし、１個の原器
によつて測定しうる曲率半径の範囲もごく限られ
たものになるといつた欠点があつた。
又、球面計による測定方法は、第１図に示すよ
うなものであり、被測定物１を球面計２の測定リ
ング３の上に乗せ、当該被測定物１の凹球面１ａ
に、触針移動用錘り４により絶えず上方向に力を
受けている目盛付触針５を接触させる。この時、
目盛付触針５が測定リング３の上端より凹球面１
ａに接触するまで移動した距離ｈを目盛読み取り
用望遠鏡６によつて読み取り、このｈの量から曲
率半径を求めるようにしたものである。
うなものであり、被測定物１を球面計２の測定リ
ング３の上に乗せ、当該被測定物１の凹球面１ａ
に、触針移動用錘り４により絶えず上方向に力を
受けている目盛付触針５を接触させる。この時、
目盛付触針５が測定リング３の上端より凹球面１
ａに接触するまで移動した距離ｈを目盛読み取り
用望遠鏡６によつて読み取り、このｈの量から曲
率半径を求めるようにしたものである。
しかし、上記方法により曲率半径を求めるよう
にすると、第２図に示すような半球状の凹球面７
ａを有し、底部に穴８を有する被測定物７に対し
ては精度よく測定するのが不可能であつた。
にすると、第２図に示すような半球状の凹球面７
ａを有し、底部に穴８を有する被測定物７に対し
ては精度よく測定するのが不可能であつた。
この発明は上記従来の欠点に鑑み、凹球面の曲
率半径を正確かつ簡単に測定できるようにした測
定方法を提供するものであり、以下この発明の詳
細を図面に示す実施例に従つて説明すると次の通
りである。
率半径を正確かつ簡単に測定できるようにした測
定方法を提供するものであり、以下この発明の詳
細を図面に示す実施例に従つて説明すると次の通
りである。
即ち、この発明は第３図に示すように、測定す
る凹球面の呼び径、例えば９／16″に対し、称呼
寸法差が±0μm、＋5μm、＋10μmというように数
μm飛びの高精度（面粗度及び真円度）の球体Ａ
を用意する。そして、この複数個のどの球体に対
しても、同直径で円筒度の良い円筒部１０ａを研
削加工し、複数個の測定具１０を形成する。
る凹球面の呼び径、例えば９／16″に対し、称呼
寸法差が±0μm、＋5μm、＋10μmというように数
μm飛びの高精度（面粗度及び真円度）の球体Ａ
を用意する。そして、この複数個のどの球体に対
しても、同直径で円筒度の良い円筒部１０ａを研
削加工し、複数個の測定具１０を形成する。
次に、この各測定具１０を、第４図に示す如
く、順次被測定物１１の凹球面１１ａに挿入し、
測定具１０の球体部１０ｂを凹球面１１ａに接触
させ、その時の測定具１０の最高位置をダイヤル
ゲージ１２等で読み取る。この時、称呼寸法差が
±0μmの測定具１０の最高位置を測定した時の値
をダイヤルゲージ１２の０にセツトし、各称呼寸
法差の測定具１０の高さを読み取る。
く、順次被測定物１１の凹球面１１ａに挿入し、
測定具１０の球体部１０ｂを凹球面１１ａに接触
させ、その時の測定具１０の最高位置をダイヤル
ゲージ１２等で読み取る。この時、称呼寸法差が
±0μmの測定具１０の最高位置を測定した時の値
をダイヤルゲージ１２の０にセツトし、各称呼寸
法差の測定具１０の高さを読み取る。
次に、この測定値と、測定具球径との関係をグ
ラフにプロツトして行くと、第５図及び第６図に
示すように測定する凹球面１１ａの凹球面径より
大きい球径の測定具１０を入れた時には、測定具
１０と凹球面１１ａとの間に隙間ｌが生じるた
め、プロツトした点の勾配が急に変化し、その位
置Ｐから測定する凹球面１１ａの曲率半径を簡単
に測定することができる。この時、各測定具１０
の円筒部１０ａの相互差を50μm以内に揃えてお
けば、測定値が直線上に乗り、凹球面の曲率半径
を精度よく測定できる。
ラフにプロツトして行くと、第５図及び第６図に
示すように測定する凹球面１１ａの凹球面径より
大きい球径の測定具１０を入れた時には、測定具
１０と凹球面１１ａとの間に隙間ｌが生じるた
め、プロツトした点の勾配が急に変化し、その位
置Ｐから測定する凹球面１１ａの曲率半径を簡単
に測定することができる。この時、各測定具１０
の円筒部１０ａの相互差を50μm以内に揃えてお
けば、測定値が直線上に乗り、凹球面の曲率半径
を精度よく測定できる。
従つて、この測定具１０を利用すると、第２図
に示したような、底穴８を有する凹球面７ａに対
しても、その曲率半径を容易に測定でき、その繰
返し精度を1μm以内にすることができる。又この
測定具１０を利用すれば、第７図及び第８図に示
すような被測定物１３，１４の凹球面１３ａ，１
４ａの曲率半径を測定することもできる。
に示したような、底穴８を有する凹球面７ａに対
しても、その曲率半径を容易に測定でき、その繰
返し精度を1μm以内にすることができる。又この
測定具１０を利用すれば、第７図及び第８図に示
すような被測定物１３，１４の凹球面１３ａ，１
４ａの曲率半径を測定することもできる。
尚、上記説明は、測定具として、寸法差を数
μm飛びに揃えた高精度の球体の１部を円筒状に
加工したものを使用した例について説明したが、
測定する凹球面が第７図及び第８図に示すような
形状でなく、第４図に示すような平面上の所定個
所に設けたものを測定する場合には、測定具とし
て、単に寸法差を数μm飛びに揃えた高精度の球
体を使用してもよい。
μm飛びに揃えた高精度の球体の１部を円筒状に
加工したものを使用した例について説明したが、
測定する凹球面が第７図及び第８図に示すような
形状でなく、第４図に示すような平面上の所定個
所に設けたものを測定する場合には、測定具とし
て、単に寸法差を数μm飛びに揃えた高精度の球
体を使用してもよい。
以上説明したように、この発明は寸法差を数
μm飛びに揃えた高精度の球体、或は当該球体の
一部を円筒状に加工し、その円筒部の直径の相互
差を数十μm以内に加工してなる測定具を使用し、
この各測定具を凹球面内に順次挿入して行き、こ
の時の各測定具の最高位置を測定し、この測定値
と測定具球径との関係をグラフにプロツトして行
き、プロツトした点の勾配が急に変化する点を検
出することにより、凹球面の曲率半径を測定する
ようにしたから、凹球面の曲率半径を簡単かつ確
実に測定することができるようになる。
μm飛びに揃えた高精度の球体、或は当該球体の
一部を円筒状に加工し、その円筒部の直径の相互
差を数十μm以内に加工してなる測定具を使用し、
この各測定具を凹球面内に順次挿入して行き、こ
の時の各測定具の最高位置を測定し、この測定値
と測定具球径との関係をグラフにプロツトして行
き、プロツトした点の勾配が急に変化する点を検
出することにより、凹球面の曲率半径を測定する
ようにしたから、凹球面の曲率半径を簡単かつ確
実に測定することができるようになる。
第１図は、球面計を利用した曲率半径の測定例
を示す図面、第２図は底部に穴を有する半球状の
凹球面を示す断面図、第３図はこの発明に係る測
定具を示す斜視図、第４図及び第５図はこの発明
に係る測定具により曲率半径を測定する時の状態
を示す図面、第６図はこの発明に係る測定具によ
る測定値をグラフにプロツトした例を示す図面、
第７図及び第８図は本発明により測定しうる被測
定物の例を示す図面である。 １０……測定具、１０ａ……円筒部、１０ｂ…
…球体部、１，７，１１，１３，１４……被測定
物、１ａ，７ａ，１１ａ，１３ａ，１４ａ……凹
球面、Ａ……高精度の球体。
を示す図面、第２図は底部に穴を有する半球状の
凹球面を示す断面図、第３図はこの発明に係る測
定具を示す斜視図、第４図及び第５図はこの発明
に係る測定具により曲率半径を測定する時の状態
を示す図面、第６図はこの発明に係る測定具によ
る測定値をグラフにプロツトした例を示す図面、
第７図及び第８図は本発明により測定しうる被測
定物の例を示す図面である。 １０……測定具、１０ａ……円筒部、１０ｂ…
…球体部、１，７，１１，１３，１４……被測定
物、１ａ，７ａ，１１ａ，１３ａ，１４ａ……凹
球面、Ａ……高精度の球体。
Claims (1)
- １ 寸法差を数μm飛びに揃えた高精度の球体、
或は当該球体の一部を円筒状に加工し、その円筒
部の直径の相互差を数十μm以内に加工してなる
測定具を使用し、この各測定具を凹球面内に順次
挿入していき、この時の各測定具の最高位置を測
定し、この測定値と測定具球径との関係をグラフ
にプロツトして行き、プロツトした点の勾配が急
に変化する点を検出することにより、凹球面の曲
率半径を求めるようにしたことを特徴とする凹球
面の曲率半径測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10277480A JPS5728201A (en) | 1980-07-25 | 1980-07-25 | Measuring mehtod for radius of curvature of concave spherical surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10277480A JPS5728201A (en) | 1980-07-25 | 1980-07-25 | Measuring mehtod for radius of curvature of concave spherical surface |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5728201A JPS5728201A (en) | 1982-02-15 |
| JPS6317161B2 true JPS6317161B2 (ja) | 1988-04-12 |
Family
ID=14336497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10277480A Granted JPS5728201A (en) | 1980-07-25 | 1980-07-25 | Measuring mehtod for radius of curvature of concave spherical surface |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5728201A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0244021U (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-27 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS609302U (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-22 | 株式会社東芝 | マイクロ波集積回路 |
| JP5367231B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2013-12-11 | 昭和電工株式会社 | 中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法及び装置、並びに円盤状基板の製造方法 |
| CN102818498B (zh) * | 2012-09-14 | 2014-11-12 | 中煤科工集团重庆研究院有限公司 | 围岩移动传感器 |
-
1980
- 1980-07-25 JP JP10277480A patent/JPS5728201A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0244021U (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5728201A (en) | 1982-02-15 |
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