JPS63166548U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63166548U JPS63166548U JP5876487U JP5876487U JPS63166548U JP S63166548 U JPS63166548 U JP S63166548U JP 5876487 U JP5876487 U JP 5876487U JP 5876487 U JP5876487 U JP 5876487U JP S63166548 U JPS63166548 U JP S63166548U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- belt
- wafer
- varied
- same time
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Framework For Endless Conveyors (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Description
第１図は本案の一実施例の平面図、第２図は第
１図の―断面正面図である。 １……プーリ軸受、２……プーリ軸右、３……
プーリ軸左、４……固定ピン、５……固定穴Ａ、
６……ベルト、７……ベルトプーリ、８……駆動
モータ、９……ウエハ、１０……ピン穴、１１…
…固定穴Ｂ、１２……ウエハ案内板。
１図の―断面正面図である。 １……プーリ軸受、２……プーリ軸右、３……
プーリ軸左、４……固定ピン、５……固定穴Ａ、
６……ベルト、７……ベルトプーリ、８……駆動
モータ、９……ウエハ、１０……ピン穴、１１…
…固定穴Ｂ、１２……ウエハ案内板。
Claims (1)
- 半導体製造装置等でウエハ搬送系にベルトを使
用し、ウエハ案内を設定する装置において、ベル
ト間隔をウエハ案内部材と同時に可変できるよう
に構成したことを特徴とするベルト搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5876487U JPS63166548U (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5876487U JPS63166548U (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63166548U true JPS63166548U (ja) | 1988-10-31 |
Family
ID=30889626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5876487U Pending JPS63166548U (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63166548U (ja) |
-
1987
- 1987-04-20 JP JP5876487U patent/JPS63166548U/ja active Pending