JPS63165850U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63165850U JPS63165850U JP1987058198U JP5819887U JPS63165850U JP S63165850 U JPS63165850 U JP S63165850U JP 1987058198 U JP1987058198 U JP 1987058198U JP 5819887 U JP5819887 U JP 5819887U JP S63165850 U JPS63165850 U JP S63165850U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- handle
- carrier body
- attached
- movable arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Pile Receivers (AREA)
Description
第1図ないし第4図は本考案の一実施例を示す
もので、第1図は取手を上面に取着したキヤリア
の外観斜視図、第2図は取手を取外したキヤリア
本体の斜視図、第3図は取手と係合部の状態を示
す斜視図、第4図は取手の係止爪とキヤリア本体
に形成された係合部との係合状態を示す断面図、
第5図ないし第9図は本考案のそれぞれ異なる他
の実施例を示すもので、第5図は取手の係止爪と
キヤリア本体に形成された係合部との係合状態を
示す断面図、第6図は取手の可動腕部の付勢状態
を示す正面図、第7図は取手を示す正面図、第8
図は引出し式取手を備えたキヤリアの外観斜視図
、第9図は回動式取手を備えたキヤリアの一部外
観斜視図、第10図は従来のキヤリアの外観斜視
図である。 1……キヤリア、2……ウエハあるいはマスク
ブランクス等(被処理物)、3……収納部、4…
…キヤリア本体、4a,4b,4c,4d……キ
ヤリア本体の面、5……取手、6……取手被装着
部、7……握持部となる取手本体、8……固定腕
、9……付勢部材としての圧縮ばね、10……可
動腕、8a,10a……係止爪、11a,11b
……係合部、23……ロツクレバー(ロツク機構
)、5′……スライド式取手、5″……回動式取
手。
もので、第1図は取手を上面に取着したキヤリア
の外観斜視図、第2図は取手を取外したキヤリア
本体の斜視図、第3図は取手と係合部の状態を示
す斜視図、第4図は取手の係止爪とキヤリア本体
に形成された係合部との係合状態を示す断面図、
第5図ないし第9図は本考案のそれぞれ異なる他
の実施例を示すもので、第5図は取手の係止爪と
キヤリア本体に形成された係合部との係合状態を
示す断面図、第6図は取手の可動腕部の付勢状態
を示す正面図、第7図は取手を示す正面図、第8
図は引出し式取手を備えたキヤリアの外観斜視図
、第9図は回動式取手を備えたキヤリアの一部外
観斜視図、第10図は従来のキヤリアの外観斜視
図である。 1……キヤリア、2……ウエハあるいはマスク
ブランクス等(被処理物)、3……収納部、4…
…キヤリア本体、4a,4b,4c,4d……キ
ヤリア本体の面、5……取手、6……取手被装着
部、7……握持部となる取手本体、8……固定腕
、9……付勢部材としての圧縮ばね、10……可
動腕、8a,10a……係止爪、11a,11b
……係合部、23……ロツクレバー(ロツク機構
)、5′……スライド式取手、5″……回動式取
手。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 複数のウエハあるいはマスクブランクス等
を収容する収納部を有したキヤリア本体と、この
キヤリア本体に取着されたキヤリア本体を運搬可
能にする取手とを具備してなるキヤリアにおいて
、上記取手をキヤリア本体の異なる面の少なくと
も2箇所の面に設けたことを特徴とするキヤリア
。 (2) 取手が、キヤリア本体に対して取外し自在
であることを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第1項記載のキヤリア。 (3) 取手が、キヤリア本体に対して突没自在で
あることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
1項記載のキヤリア。 (4) 取手は、握持部となる取手本体と、この取
手本体の一端部に取着された固定腕と、この固定
腕に対向すべく上記取手本体の他端部に回動自在
かつ付勢部材により上記固定腕と平行状態になる
よう常時付勢された可動腕とを有し、上記固定腕
および可動腕の先端部に形成された係止爪をキヤ
リア本体に形成された係合部に係合させることに
より取着することを特徴とする実用新案登録請求
の範囲第2項記載のキヤリア。 (5) 可動腕は、可動腕の不用意な回動を阻止す
るロツク機構が付いていることを特徴とする実用
新案登録請求の範囲第4項記載のキヤリア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987058198U JPS63165850U (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987058198U JPS63165850U (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63165850U true JPS63165850U (ja) | 1988-10-28 |
Family
ID=30888568
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987058198U Pending JPS63165850U (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63165850U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003077880A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ウエハの洗浄搬送方法とウエハ洗浄搬送用治具 |
JP2017045823A (ja) * | 2015-08-26 | 2017-03-02 | 株式会社ディスコ | 収容カセット |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5761832B2 (ja) * | 1980-03-22 | 1982-12-27 | Nippon Steel Corp | |
JPS5947739A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-17 | Hitachi Ltd | ウエハ処理用治具 |
JPS6132076B2 (ja) * | 1979-09-27 | 1986-07-24 | Dainippon Toryo Kk |
-
1987
- 1987-04-17 JP JP1987058198U patent/JPS63165850U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6132076B2 (ja) * | 1979-09-27 | 1986-07-24 | Dainippon Toryo Kk | |
JPS5761832B2 (ja) * | 1980-03-22 | 1982-12-27 | Nippon Steel Corp | |
JPS5947739A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-17 | Hitachi Ltd | ウエハ処理用治具 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003077880A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ウエハの洗浄搬送方法とウエハ洗浄搬送用治具 |
JP2017045823A (ja) * | 2015-08-26 | 2017-03-02 | 株式会社ディスコ | 収容カセット |
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