JPS63161330U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63161330U JPS63161330U JP5514487U JP5514487U JPS63161330U JP S63161330 U JPS63161330 U JP S63161330U JP 5514487 U JP5514487 U JP 5514487U JP 5514487 U JP5514487 U JP 5514487U JP S63161330 U JPS63161330 U JP S63161330U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass flow
- flow controller
- test gas
- gas outlet
- test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例のマスフローコント
ローラの要部を断面図、第2図は従来のマスフロ
ーコントローラの要部断面図である。 (符号の説明)、1……マスフローコントロー
ラ、100a……マスフローコントローラ本体、
2……供給ガス入口、3……供給ガス出口、4…
…センサー、5……バイパス、6……流量制御用
バルブ、10……カバー、10a……検査ガス入
口、10b……検査ガス出口、13……ガス検知
器。
ローラの要部を断面図、第2図は従来のマスフロ
ーコントローラの要部断面図である。 (符号の説明)、1……マスフローコントロー
ラ、100a……マスフローコントローラ本体、
2……供給ガス入口、3……供給ガス出口、4…
…センサー、5……バイパス、6……流量制御用
バルブ、10……カバー、10a……検査ガス入
口、10b……検査ガス出口、13……ガス検知
器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 供給ガス入口と、センサーと、バイパスと、流
量制御用バルブと供給ガス出口を備えたマスフロ
ーコントローラ本体と、該マスフローコントロー
ラ本体を覆うカバーを有するマスフローコントロ
ーラにおいて、 上記カバーに検査ガス入口と検査ガス出口と、
該検査ガス出口より検査ガスに混じつて排出され
る供給ガスを検知するガス検知器を設けてあるこ
とを特徴とするマスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5514487U JPH0639294Y2 (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | マスフロ−コントロ−ラ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5514487U JPH0639294Y2 (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | マスフロ−コントロ−ラ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63161330U true JPS63161330U (ja) | 1988-10-21 |
JPH0639294Y2 JPH0639294Y2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=30882782
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5514487U Expired - Lifetime JPH0639294Y2 (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | マスフロ−コントロ−ラ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0639294Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4461329B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2010-05-12 | 旭有機材工業株式会社 | 流体制御装置 |
WO2006025550A1 (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-09 | Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. | 流体制御装置 |
-
1987
- 1987-04-10 JP JP5514487U patent/JPH0639294Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0639294Y2 (ja) | 1994-10-12 |