JPS63158771U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例による減圧弁を下半分
は断面で示す全体正面図、第２図は同要部となる
減圧弁本体を下半分は断面で示す全体正面図、第
３図は同キヤツプの全体正面図、第４図は同減圧
弁の使用態様を示す分解斜視図、第５図は同減圧
弁の他の使用態様を示す斜視図、第６図は従来の
半導体ウエハー用真空ピンセツトの使用状態説明
図である。 符号の説明、１１…減圧弁、１２…減圧弁本体
、１３…キヤツプ、１４，１５…環状シール材、
１８，３０…摘み筒部、２０…排気孔、２１…摺
動筒部、２２…外ネジ、２４…ネジ筒部、２５…
内ネジ、２６…小径筒部、２８，２９…環状溝、
３１，３２…連結用コネクタ、３３，３５，３７
…中継用コネクタ、３４，３８…中継用パイプ、
３６…真空チヤツク、３９…吸着ノズル。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 流路の上流側と下流側との管路に各々連結され
   る接続部を両端側に有する筒状体で、当該筒状体
   の一方側の外周には軸線方向に沿つて延在する排
   気孔が穿設されると共に、他方側の外周には外ネ
   ジが設けられた減圧弁本体と、筒状体で前記外ネ
   ジに螺合する内ネジが一方側の内周に設けられる
   と共に、他方側の内周には少くとも前記排気孔が
   延在する軸線方向の巾より間隔を置いて二本の環
   状溝が設けられたキヤツプと、前記外ネジに内ネ
   ジを螺合してキヤツプを減圧弁本体に対して前進
   又は後退させた際に、当該減圧弁本体の外周に摺
   接するように前記した各環状溝に装着させた環状
   シール材とで構成され、前記キヤツプの前進又は
   後退によつて排気孔の開口率を可変せしめたこと
   を特徴とする真空チヤツク用減圧弁。