JPS63154977A - 磁場計測槽 - Google Patents
磁場計測槽Info
- Publication number
- JPS63154977A JPS63154977A JP61301270A JP30127086A JPS63154977A JP S63154977 A JPS63154977 A JP S63154977A JP 61301270 A JP61301270 A JP 61301270A JP 30127086 A JP30127086 A JP 30127086A JP S63154977 A JPS63154977 A JP S63154977A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- heater
- temperature
- voltage
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 26
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 8
- 230000006698 induction Effects 0.000 abstract 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁場計測を測定精度に温度依存性のある計測素
子、例えば、ホール素子や磁気抵抗素子で行なう計測シ
ステムに係り、特に、磁場の時間的変化の小さい高精度
磁場計測システムに関する。
子、例えば、ホール素子や磁気抵抗素子で行なう計測シ
ステムに係り、特に、磁場の時間的変化の小さい高精度
磁場計測システムに関する。
磁場計測用素子には色々なものがあるが、ホール素子は
小型であること、磁束密度に対する出力電気が大きいな
どの理由で用いられることが多い。
小型であること、磁束密度に対する出力電気が大きいな
どの理由で用いられることが多い。
ホール素子の原理は、磁場中に置かれたＩｎＡｓなどの
材料に電流を流すと磁場と電流双方に直角方向に、印加
磁束密度に比例した電圧を発生し、印′、゛加櫃束密度
と出力電圧の関係を標準となる磁場で′ヮ、ＥＬＴおｉ
−ｊ ｉｆ 、！ヵ、工、□□わ。、。より印加磁束密
度を知ることができる。ホール素子出力電圧Ｅｏ、通電
々流ｉ、磁束密度Ｂとの間には以下の関係がある。
材料に電流を流すと磁場と電流双方に直角方向に、印加
磁束密度に比例した電圧を発生し、印′、゛加櫃束密度
と出力電圧の関係を標準となる磁場で′ヮ、ＥＬＴおｉ
−ｊ ｉｆ 、！ヵ、工、□□わ。、。より印加磁束密
度を知ることができる。ホール素子出力電圧Ｅｏ、通電
々流ｉ、磁束密度Ｂとの間には以下の関係がある。
Ｅｏ＝ ＲＨ−ｉ−Ｂ −（１
）（ＲＨはホール係数） この式でＲＨは素子材質によって決まる定数であるが、
素子の温度によっても変化する。市販されているホール
素子のＲＨの温度係数は０．１〜数％／℃位である。そ
のため、磁束密度の正確な測定のためには、素子の温度
を一定にすること。
）（ＲＨはホール係数） この式でＲＨは素子材質によって決まる定数であるが、
素子の温度によっても変化する。市販されているホール
素子のＲＨの温度係数は０．１〜数％／℃位である。そ
のため、磁束密度の正確な測定のためには、素子の温度
を一定にすること。
および、素子の校正時と測定時で同じ温度である必要が
ある。１０−４オーダーの測定をするためには、ＲＨの
温度係数０．１％／℃の素子を用いて±０．０５℃以内
の一定温度にする必要がある。
ある。１０−４オーダーの測定をするためには、ＲＨの
温度係数０．１％／℃の素子を用いて±０．０５℃以内
の一定温度にする必要がある。
第２図はホール素子の温度を一定にするための恒温槽内
に設置したときの概略構造図である。ホ７−−ル素子１
は非磁性で、かつ、熱伝導の良い材料。
に設置したときの概略構造図である。ホ７−−ル素子１
は非磁性で、かつ、熱伝導の良い材料。
；−・′ ・・
′例えば、銅ブロック２に貼り付けられる。銅プロさツ
ク２には無誘導巻きにされたヒータ３および温度測定用
サーミスタ８も取付けられる。その周囲はやはり非磁性
材料で出来ている囲いが設けられ恒温槽４を形成してい
る。恒温槽４と鋼ブロック２の間は熱絶縁板５で熱絶縁
されている。ホール素子１は通常室温より１０〜２ｏ℃
高い一定温度に保たれる。
ク２には無誘導巻きにされたヒータ３および温度測定用
サーミスタ８も取付けられる。その周囲はやはり非磁性
材料で出来ている囲いが設けられ恒温槽４を形成してい
る。恒温槽４と鋼ブロック２の間は熱絶縁板５で熱絶縁
されている。ホール素子１は通常室温より１０〜２ｏ℃
高い一定温度に保たれる。
第３図は従来の恒温槽温度調節回路とホール電圧測定回
路のブロック図である。銅ブロック２に貼付けられたホ
ール素子１の電流端子には直流定電流袋Ｗ６かむ直流定
電流ｉが供給される。ホール出力電圧Ｅｏは直流電圧計
７により読み取られる。銅ブロック２に取付けられたサ
ーミスタ８は温度差検出用のブリッジ回路９に接続され
ている。
路のブロック図である。銅ブロック２に貼付けられたホ
ール素子１の電流端子には直流定電流袋Ｗ６かむ直流定
電流ｉが供給される。ホール出力電圧Ｅｏは直流電圧計
７により読み取られる。銅ブロック２に取付けられたサ
ーミスタ８は温度差検出用のブリッジ回路９に接続され
ている。
ブリッジ回路は二個の精密固定抵抗と温度設定用の精密
可変抵抗器より構成されており、それにサーミスタ８が
接続される。ブリッジ回路９には直流定電圧装置１０よ
り直流定電圧が供給されている。精密可変抵抗器による
設定温度とサーミスタ７の温度の差のブリッジ出力直流
電圧は、直流電力゛増幅器１１で増幅され、無誘導巻き
にされたヒータ３に加えられる。
可変抵抗器より構成されており、それにサーミスタ８が
接続される。ブリッジ回路９には直流定電圧装置１０よ
り直流定電圧が供給されている。精密可変抵抗器による
設定温度とサーミスタ７の温度の差のブリッジ出力直流
電圧は、直流電力゛増幅器１１で増幅され、無誘導巻き
にされたヒータ３に加えられる。
このように従来はヒータの供給電力として直流電流が用
いられていた。ヒータは無誘導巻きに巻かれているが完
全に無誘導というわけには行かず、どうしても、ヒータ
電流による磁場の発生がさけられなかった。この磁場の
値は、従来の測定器のような１０−１〜１０″″２オ一
ダー程度の測定精度ではあまり問題にならなかったが、
現在の、電子線加速器の偏向マグネットの磁場分布の計
測のように、１０−’〜１ｏ−６オーダーの精度を要求
されるときには大きな問題であり、計測できない程の影
響を与える。
いられていた。ヒータは無誘導巻きに巻かれているが完
全に無誘導というわけには行かず、どうしても、ヒータ
電流による磁場の発生がさけられなかった。この磁場の
値は、従来の測定器のような１０−１〜１０″″２オ一
ダー程度の測定精度ではあまり問題にならなかったが、
現在の、電子線加速器の偏向マグネットの磁場分布の計
測のように、１０−’〜１ｏ−６オーダーの精度を要求
されるときには大きな問題であり、計測できない程の影
響を与える。
また、ヒータの温度調節器に用いる直流増幅器も安定度
の良い物は相当高価である。
の良い物は相当高価である。
本発明の目的は、１〇一番〜１０−６オーダーの精度の
計測を安定に、しかも経済的に行うために成された。
計測を安定に、しかも経済的に行うために成された。
上記目的を達成するために本発明では次のような技術手
段を用いた。
段を用いた。
ヒータの直流電流による発生磁場が測定に悪影響を与え
るのであるから、その影響を除くためにヒータを交流電
流で加温することにした。また。
るのであるから、その影響を除くためにヒータを交流電
流で加温することにした。また。
ホール電圧を読み取る電圧計の前段にアナログ、あるい
はデジタルのローパス、バイパスあるいはバンドパスの
フィルタを挿入した。また、無誘導巻きに成っているヒ
ータを高導電率および非磁性の金属で包み込むか、ある
いは、仕切る事によりホール素子と隔絶することとした
。
はデジタルのローパス、バイパスあるいはバンドパスの
フィルタを挿入した。また、無誘導巻きに成っているヒ
ータを高導電率および非磁性の金属で包み込むか、ある
いは、仕切る事によりホール素子と隔絶することとした
。
このような技術手段を用いることで１０一番〜１０−６
オーダーの磁場計測が容易に高精度でできるようになっ
た。
オーダーの磁場計測が容易に高精度でできるようになっ
た。
〔作用〕
ヒータに交流電流を通電したことによるホール素子出力
電圧ＥＯは、被測定磁場による出力電圧Ｅとヒータから
の漏洩磁束による周波数成分子。
電圧ＥＯは、被測定磁場による出力電圧Ｅとヒータから
の漏洩磁束による周波数成分子。
の交流電圧成分ＥＦＱが重畳された形
Ｅｏ＝Ｅ＋ＥＦ。
で出力される。
この電圧Ｅｏから周波数ｆｏ酸成分落とすフィルタ回路
を通す、これによりＥｏ−Ｅ＋−ｏ＝＝Ｅとなり、フィ
ルタ回路の出力には被測定磁場による電圧Ｅのみが出力
されることになる。これはヒータからの漏洩磁束に周波
数成分を持たせたことにより可能と成ったわけである。
を通す、これによりＥｏ−Ｅ＋−ｏ＝＝Ｅとなり、フィ
ルタ回路の出力には被測定磁場による電圧Ｅのみが出力
されることになる。これはヒータからの漏洩磁束に周波
数成分を持たせたことにより可能と成ったわけである。
以上では、被測定磁場が直流成分の場合で説明したが、
交流成分を持っていても、ヒータ電力の周波数と同じで
ないかぎり、各種フィルタを使用い分は分離測定するこ
とができる。また、アナログフィルタのみでなくデジタ
ルフィルタを用いることもできる。
交流成分を持っていても、ヒータ電力の周波数と同じで
ないかぎり、各種フィルタを使用い分は分離測定するこ
とができる。また、アナログフィルタのみでなくデジタ
ルフィルタを用いることもできる。
ヒータを高導電率の非磁性の金属で包むことはヒータに
よる交流会の漏洩磁束をシールドしてホール素子に届か
ないようにするための手段で、この方法は測定磁場が直
流、あるいは、極低周波成分のみの場合に有効な手段で
ある。
よる交流会の漏洩磁束をシールドしてホール素子に届か
ないようにするための手段で、この方法は測定磁場が直
流、あるいは、極低周波成分のみの場合に有効な手段で
ある。
ヒータに印加する交流電流の周波数ＩＯは、測定磁場の
周波数成分より十分高い周波数を用いる方がフィルタの
設計、製作が容易である。
周波数成分より十分高い周波数を用いる方がフィルタの
設計、製作が容易である。
本発明の実施例を第１図と第２図により説明する。本実
施例は直流磁束密度を１０一番〜１０−’のオーダーで
ホール素子により計測するためのものである。
施例は直流磁束密度を１０一番〜１０−’のオーダーで
ホール素子により計測するためのものである。
ａ場を測定するホール素子、および、その温度を一定に
保つための恒温槽の構造は第２図に示す従来技術のもの
と全く同じである。しかし、温度調節回路およびホール
素子出力電圧読み取り用の回路部分が違っている。
保つための恒温槽の構造は第２図に示す従来技術のもの
と全く同じである。しかし、温度調節回路およびホール
素子出力電圧読み取り用の回路部分が違っている。
第１図に本発明の恒温槽温度調節回路とホール電圧測定
回路のブロック図を示す、＃！ブロック２に貼付けられ
たホール素子１の電流端子には直流定電流装置６から定
電流ｉが供給される。ホール出力電圧Ｅｏは前置増幅器
１２に入力され、その出力電圧はフィルタ回路１３に入
力され、その出力電圧は直流電圧計７によって読みとら
れる。
回路のブロック図を示す、＃！ブロック２に貼付けられ
たホール素子１の電流端子には直流定電流装置６から定
電流ｉが供給される。ホール出力電圧Ｅｏは前置増幅器
１２に入力され、その出力電圧はフィルタ回路１３に入
力され、その出力電圧は直流電圧計７によって読みとら
れる。
銅ブロック２に取付けられたサーミスタ８は温度差検出
用のブリッジ回路９に接続されている。
用のブリッジ回路９に接続されている。
ブリッジ回路９の構成は従来技術と同じであるが交流定
電圧装［１４から周波数ｆｏ （１，０００〜１０．０
ＯＯＨ２程度）の交流定電圧が供給されている。
電圧装［１４から周波数ｆｏ （１，０００〜１０．０
ＯＯＨ２程度）の交流定電圧が供給されている。
ブリッジ回路の設定温度とサーミスタの温度の差のブリ
ッジ出力交流電圧は、交流電力増幅器１５で増幅され、
無誘導巻きにされたヒータ３に加えられる。すなわち、
ヒータから漏洩する磁束は交流定電圧装置１４から供給
した周波数ｆｏの成分のみを持っていることになる。そ
のため、ホール素子出力電圧に含まれる周波数ｆｏの電
圧は漏洩磁束であり、被測定磁束密度とは関係がないこ
とがわかる。そのため、ホール素子出力電圧を前置増幅
器１２で増幅したのち、フィルタ回路を通して、周波数
ｉｏの成分をとりのぞけば、直流電圧計７では被淵定磁
束のみを読みとることができる。
ッジ出力交流電圧は、交流電力増幅器１５で増幅され、
無誘導巻きにされたヒータ３に加えられる。すなわち、
ヒータから漏洩する磁束は交流定電圧装置１４から供給
した周波数ｆｏの成分のみを持っていることになる。そ
のため、ホール素子出力電圧に含まれる周波数ｆｏの電
圧は漏洩磁束であり、被測定磁束密度とは関係がないこ
とがわかる。そのため、ホール素子出力電圧を前置増幅
器１２で増幅したのち、フィルタ回路を通して、周波数
ｉｏの成分をとりのぞけば、直流電圧計７では被淵定磁
束のみを読みとることができる。
ホール素子は高い周波数磁場に対しては感度が低くなる
（約１０に＆以上）、そのため、ヒータ電源に１０に＆
以上の交流を用いるのも一つの方法である。そうするこ
とによりフィルタ回路を用いる必要がなくなる。しかし
、１０ＫＨｚ以上の周波数帯域を持つ交流電力増幅器を
必要とする。この方法はフィルタを用いる必要がないの
で、より高精度な計測が行えるかも知れない。
（約１０に＆以上）、そのため、ヒータ電源に１０に＆
以上の交流を用いるのも一つの方法である。そうするこ
とによりフィルタ回路を用いる必要がなくなる。しかし
、１０ＫＨｚ以上の周波数帯域を持つ交流電力増幅器を
必要とする。この方法はフィルタを用いる必要がないの
で、より高精度な計測が行えるかも知れない。
次に、ホール素子出力電圧を直流電圧計で読みとるとき
だけヒータ電力を遮断する方法がある。
だけヒータ電力を遮断する方法がある。
すなわち、電圧を読み取る数分の一秒間だけヒータ電力
を零にする。この方法を用いるためには、ヒータ用の電
力増幅器とホール素子出力電圧読み取り用の直流電圧計
をパソコン等で制御する必要がある。すなわち、ＧＰ−
ＩＢインターフェースを備えた機器である必要がある。
を零にする。この方法を用いるためには、ヒータ用の電
力増幅器とホール素子出力電圧読み取り用の直流電圧計
をパソコン等で制御する必要がある。すなわち、ＧＰ−
ＩＢインターフェースを備えた機器である必要がある。
本発明の実施例では被測定磁場が直流磁場である場合を
説明したが実施例からも容易に推察がつくようにヒータ
印加電力の周波数成分ｉｏ以外の周波数成分を持ってい
ても、ローパスフィルタ、バイパスフィルタ、バンドパ
スフィルタを使い分けることにより分離可能であり、高
精度な磁場計測が行えることが分かる。
説明したが実施例からも容易に推察がつくようにヒータ
印加電力の周波数成分ｉｏ以外の周波数成分を持ってい
ても、ローパスフィルタ、バイパスフィルタ、バンドパ
スフィルタを使い分けることにより分離可能であり、高
精度な磁場計測が行えることが分かる。
なお実施例ではホール素子を用いる場合をのべたが、他
の磁場測定素子、例えば磁気抵抗素子を用いる場合にも
適用できることは明白である。
の磁場測定素子、例えば磁気抵抗素子を用いる場合にも
適用できることは明白である。
本発明によれば、ヒータからの漏洩磁束は周波数ｆｏの
成分を持つため、フィルタ回路により分離することが容
易である。特に、デジタルフィルタとデジタルボルトメ
ータを用いれば、１０−’オーダーの計測は容易になさ
れる。
成分を持つため、フィルタ回路により分離することが容
易である。特に、デジタルフィルタとデジタルボルトメ
ータを用いれば、１０−’オーダーの計測は容易になさ
れる。
第１図は本発明の一実施例の恒温槽温度調節回路とホー
ル電圧測定回路のブロック図、第２図はホール素子を恒
温槽内に設置したときの概略構造図、第３図は従来の恒
温槽温度調節回路とホール電圧測定回路のブロック図で
ある。 １・・・ホール素子、２・・・銅ブロック、３・・・ヒ
ータ、４・・・恒温槽。
ル電圧測定回路のブロック図、第２図はホール素子を恒
温槽内に設置したときの概略構造図、第３図は従来の恒
温槽温度調節回路とホール電圧測定回路のブロック図で
ある。 １・・・ホール素子、２・・・銅ブロック、３・・・ヒ
ータ、４・・・恒温槽。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、温度依存性のある磁場計測素子用の恒温槽において
、 加温用ヒータに交流電流を通電することを特徴とする磁
場計測槽。 ２、特許請求の範囲第１項において、 前記加温用ヒータを無誘導巻きとしたことを特徴とする
磁場計測槽。 ３、特許請求の範囲第２項において、 前記加温用ヒータを高導電率のシールド板で仕切り、あ
るいは包んだことを特徴とする磁場計測槽。 ４、特許請求の範囲第１項において、 前記磁場計測素子の出力から、アナログフィルタあるい
はデジタルフィルタにより、ヒータ加温用の交流電流の
周波数成分を除去する回路を具備したことを特徴とする
磁場計測槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61301270A JPS63154977A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 磁場計測槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61301270A JPS63154977A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 磁場計測槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63154977A true JPS63154977A (ja) | 1988-06-28 |
Family
ID=17894795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61301270A Pending JPS63154977A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 磁場計測槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63154977A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007304026A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Shimadzu Corp | フラックスゲート式磁気センサ |
| WO2014155886A1 (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-02 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置およびロータリエンコーダ |
-
1986
- 1986-12-19 JP JP61301270A patent/JPS63154977A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007304026A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Shimadzu Corp | フラックスゲート式磁気センサ |
| WO2014155886A1 (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-02 | 日本電産サンキョー株式会社 | 磁気センサ装置およびロータリエンコーダ |
| JP2014194360A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-09 | Nidec Sankyo Corp | 磁気センサ装置およびロータリエンコーダ |
| CN105074392A (zh) * | 2013-03-28 | 2015-11-18 | 日本电产三协株式会社 | 磁传感器装置以及旋转编码器 |
| CN105074392B (zh) * | 2013-03-28 | 2017-11-14 | 日本电产三协株式会社 | 磁传感器装置以及旋转编码器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2542057A (en) | Method and apparatus for measuring the conductivity of an electrolyte | |
| Cochran et al. | Specific heat measurements in 1–10 K range using continuous warming method | |
| Abel et al. | Temperature measurements using small quantities of cerium magnesium nitrate | |
| US3609549A (en) | Corrosion-measuring device | |
| CN115113126B (zh) | 一种用于测试和标定金属霍尔探针的装置及方法 | |
| Ball et al. | An improved thermometric method of measuring local power dissipation | |
| US3402607A (en) | Coupled inductance level indicator for liquid metals | |
| US3078412A (en) | Apparatus for indicating the metal oxide content of a liquid metal | |
| JPS63154977A (ja) | 磁場計測槽 | |
| Larsen | 50 microdegree temperature controller | |
| US3759083A (en) | Sensing element response time measuring system | |
| US2772395A (en) | Method and apparatus for the measurement of low resistance | |
| US2673326A (en) | Apparatus and method for testing magnetic material | |
| US2959733A (en) | Hall effect magnetometer | |
| RU2194242C2 (ru) | Устройство формирования выходного сигнала индуктивного дифференциального измерительного преобразователя | |
| Zrudsky et al. | A high resolution dynamic technique of thermoelectric power measurements | |
| JPS5979860A (ja) | 電流測定装置 | |
| Fantom | Improved coaxial calorimetric rf power meter for use as a primary standard | |
| Mulady | A 0.001 per cent Hall-effect probe | |
| Murgatroyd et al. | A sensitive differential thermometer | |
| Derebasi et al. | Computerised DC bridge method of thermistor measurement of localised power loss in magnetic materials | |
| JPS58137774A (ja) | ホ−ル効果装置 | |
| Fitzgibbon et al. | A New Solution Calorimeter | |
| JPH0814971A (ja) | 電磁流量計 | |
| SU702325A1 (ru) | Измерительный преобразователь электрических и магнитных величин |