JPS63154462A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS63154462A JPS63154462A JP61304588A JP30458886A JPS63154462A JP S63154462 A JPS63154462 A JP S63154462A JP 61304588 A JP61304588 A JP 61304588A JP 30458886 A JP30458886 A JP 30458886A JP S63154462 A JPS63154462 A JP S63154462A
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- JP
- Japan
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- vacuum tank
- actuator
- cylinder chamber
- chamber
- pipe
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- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 23
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 9
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要）
本発明は例えばウェハやフォトマスク等の物体を固定し
て搬送するｌζめの搬送装置において、物体を固定する
ための真空ホースや駆動電源ライン等を引廻すことによ
って塵埃を発生する従来装置の問題点を解決するため、
。
て搬送するｌζめの搬送装置において、物体を固定する
ための真空ホースや駆動電源ライン等を引廻すことによ
って塵埃を発生する従来装置の問題点を解決するため、
。
台車本体の各停止位置毎に設けられた負仙部材の作用に
よって台車本体に設けられた室を負圧状態にして物体を
クランプし、台車本体以外の部分に設けられた動力源に
よって台車本体を移動せしめる構成とすることにより、 上記真空ホースや駆動電源ラインを用いることなく物体
をクランプし、台車本体を移動ｕしめるようにしたもの
である。
よって台車本体に設けられた室を負圧状態にして物体を
クランプし、台車本体以外の部分に設けられた動力源に
よって台車本体を移動せしめる構成とすることにより、 上記真空ホースや駆動電源ラインを用いることなく物体
をクランプし、台車本体を移動ｕしめるようにしたもの
である。
本発明は搬送装置、特に、半導体装置を製造する工程に
おいて、ウェハやフィトマスク等の物体を固定しである
ステーションから別のステーションへ搬送する装置に関
する。このような゛ト導体装冒を製造する環境として、
塵埃の少ない清潔な製造場所が望まれる。
おいて、ウェハやフィトマスク等の物体を固定しである
ステーションから別のステーションへ搬送する装置に関
する。このような゛ト導体装冒を製造する環境として、
塵埃の少ない清潔な製造場所が望まれる。
ウェハやフォトマスク等、楯械的にその外周をクランプ
すると面に傷等を生じる可能例のある物体を搬送する場
合、従来、真空チャック笠の方法によってその物体の裏
面を吸着して搬送することが行なわれている。
すると面に傷等を生じる可能例のある物体を搬送する場
合、従来、真空チャック笠の方法によってその物体の裏
面を吸着して搬送することが行なわれている。
第６図はこのような方法を用いた従来装置の一例の概略
図を示す。同図中、１は台車本体で、駆動用モータ２、
ビニョン３、ガイド４、吸着パッド５等が設けられてい
る。、６はモータ２等に電源を供給するための駆動電源
ライン、７は吸着バッド５内部を真空にするための真空
ホースである。
図を示す。同図中、１は台車本体で、駆動用モータ２、
ビニョン３、ガイド４、吸着パッド５等が設けられてい
る。、６はモータ２等に電源を供給するための駆動電源
ライン、７は吸着バッド５内部を真空にするための真空
ホースである。
ここで、吸着バッド５の上につ１ハ８をｉａ、Ｖ１シ、
かつ、真空ホース７によって吸着パッド５内部を真空に
してつＩハ８を吸着バッド５に吸着せしめる。この状態
である作業を行ない、別のステーションへＷ！送するに
際しては駆動電源ライン６がらモータ２へ電源を供給し
てモータ２を駆動せしめる。これにより、ビニョン３が
ラック９に沿って回転し、本体１はガイド４を案内とし
て所定位置まで変位し、この状態で又ある作業を行なう
。
かつ、真空ホース７によって吸着パッド５内部を真空に
してつＩハ８を吸着バッド５に吸着せしめる。この状態
である作業を行ない、別のステーションへＷ！送するに
際しては駆動電源ライン６がらモータ２へ電源を供給し
てモータ２を駆動せしめる。これにより、ビニョン３が
ラック９に沿って回転し、本体１はガイド４を案内とし
て所定位置まで変位し、この状態で又ある作業を行なう
。
このような従来装置は、搬送中、特にｍ送距離が長い場
合、駆動電源ライン６及び真空ホース７を床等に引さヂ
っで動くため、これらの部分における摺動によって塵埃
を発生し易い。これ【よ１ｊｉに清瀬でなければならな
い半導体装置の製造場所において、大きな問題点となっ
ていた。
合、駆動電源ライン６及び真空ホース７を床等に引さヂ
っで動くため、これらの部分における摺動によって塵埃
を発生し易い。これ【よ１ｊｉに清瀬でなければならな
い半導体装置の製造場所において、大きな問題点となっ
ていた。
本発明装置は、例えばｍ１図に示す如く、台Φ本体１０
に設けられ、物体８を載置されることによってその開口
面が塞がれる室１１と、台車本体１０の各停止位置毎に
設けられた作動部材２０によって法学１１を負圧状態に
する一方、該負圧状態を解除する圧力発生解除手段１３
．１４．１５と、上記台車本体１０以外の部分に固定さ
れた動力源１７と関連して作用し上記台車本体１０を」
二記各停止位置間において移動せしめられる移動手段１
９とを設けてなる。
に設けられ、物体８を載置されることによってその開口
面が塞がれる室１１と、台車本体１０の各停止位置毎に
設けられた作動部材２０によって法学１１を負圧状態に
する一方、該負圧状態を解除する圧力発生解除手段１３
．１４．１５と、上記台車本体１０以外の部分に固定さ
れた動力源１７と関連して作用し上記台車本体１０を」
二記各停止位置間において移動せしめられる移動手段１
９とを設けてなる。
クランプ時、アクチュエータ２０の作動によってピスト
ン１３を下動させてシリンダ室１１を負圧状態にしてウ
ェハ８をクランプし、クランプ解除時、アクチュエータ
２０のｆｌ［によってビス１〜ン１３を上動さＵてシリ
ンダ室１１の負圧状態を解除してウェハ８のクランプを
解除する。一方、台車本体１０はリニアモータ１７の一
次側尋体と二次側導体１９との作用によって各ステーシ
ョン間を移動する−０ 〔実施例〕 第１図は本発明装置の一実施例の概略図を示す、。
ン１３を下動させてシリンダ室１１を負圧状態にしてウ
ェハ８をクランプし、クランプ解除時、アクチュエータ
２０のｆｌ［によってビス１〜ン１３を上動さＵてシリ
ンダ室１１の負圧状態を解除してウェハ８のクランプを
解除する。一方、台車本体１０はリニアモータ１７の一
次側尋体と二次側導体１９との作用によって各ステーシ
ョン間を移動する−０ 〔実施例〕 第１図は本発明装置の一実施例の概略図を示す、。
同図中、１０は台車本体で、左右２個所にシリンダ室１
１が設けられており、又、シリンダ室１１の上面に孔あ
きパツキン１２が設けられている。
１が設けられており、又、シリンダ室１１の上面に孔あ
きパツキン１２が設けられている。
パツキン１２の孔１２ａ（第２図）はシリンダ室１１に
連通している。１３はピストンで、０リング１３ａ（第
２図）を設けられており、シリンダ室１１内を上手動し
１９るように支持されている。
連通している。１３はピストンで、０リング１３ａ（第
２図）を設けられており、シリンダ室１１内を上手動し
１９るように支持されている。
１４はレバーであり、ピストン１３の下面に固定されて
Ｊ３す、レバ−１４上面とシリンダ室１１下面との間に
バネ１５が設けられている。
Ｊ３す、レバ−１４上面とシリンダ室１１下面との間に
バネ１５が設けられている。
１６（よ車で、本体１０の下部に設けられている。
１７はリニアモーター次側導体で、床面１８上に固定さ
れてる。リニアモーター次側導体１７は各ステーション
毎に設けられている。、１９はリニアモータ１７の二次
側導体で、−次側導体１７に対向するように本体１０の
下部に設けられている。
れてる。リニアモーター次側導体１７は各ステーション
毎に設けられている。、１９はリニアモータ１７の二次
側導体で、−次側導体１７に対向するように本体１０の
下部に設けられている。
２０はアクチュエータで、本体１０に設けられているレ
バー１４に対向するように床面１８に７．Ｑ ４−Ｊら
ており、ウェハ８をクランプする必要のない時にはアク
チＩエータ２０は１・げられており、バネ１５は自然長
の状態を保持している。アクチュエータ２０は各ステー
ション毎に設けられている。
バー１４に対向するように床面１８に７．Ｑ ４−Ｊら
ており、ウェハ８をクランプする必要のない時にはアク
チＩエータ２０は１・げられており、バネ１５は自然長
の状態を保持している。アクチュエータ２０は各ステー
ション毎に設けられている。
ここで、あるステーションにおいてつＩハ８をクランプ
するに際し、先ず、レバー１４はアクチュエータ２０の
上方への移動によってバネ１５の付勢力に抗して上方へ
押」−げられ、これにより、ピストン１３は上方へ押上
げられてシリンダ室１１の上面を塞ぐ。次に、第３図に
示す如く、ウェハ８を本体１０のバッ：■：ン１２上に
載首する。
するに際し、先ず、レバー１４はアクチュエータ２０の
上方への移動によってバネ１５の付勢力に抗して上方へ
押」−げられ、これにより、ピストン１３は上方へ押上
げられてシリンダ室１１の上面を塞ぐ。次に、第３図に
示す如く、ウェハ８を本体１０のバッ：■：ン１２上に
載首する。
このとき、ウェハ８の裏面は平坦であるので、ウェハ８
とパツキン１２との気密をある程度保持し得る。
とパツキン１２との気密をある程度保持し得る。
この状態でアクチュエータ２０が下方へ移動すると、レ
バー１４はバネ１５の付勢力によって下方へ押下げられ
、これにより、ピストン１３は下方へ押下げられてシリ
ンダ室１１内（ピストン１３とウェハ８との間）は負圧
になる。これにより、ウェハ８はパツキン１２を介して
本体１０に吸着される。この場合、シリンダ室１１内は
負圧になっているのでピストン１３は必要以上に下方に
下がることはない。
バー１４はバネ１５の付勢力によって下方へ押下げられ
、これにより、ピストン１３は下方へ押下げられてシリ
ンダ室１１内（ピストン１３とウェハ８との間）は負圧
になる。これにより、ウェハ８はパツキン１２を介して
本体１０に吸着される。この場合、シリンダ室１１内は
負圧になっているのでピストン１３は必要以上に下方に
下がることはない。
このようにウェハ８を本体１０にクランプした状態で、
本体１ｏはリニアモータ１７により各ステーション間を
移動覆る。ウェハ８のクランプを解除する場合はアクチ
ュエータ２０を上１ノに押上げ、シリンダ室１１の負圧
を解除する。
本体１ｏはリニアモータ１７により各ステーション間を
移動覆る。ウェハ８のクランプを解除する場合はアクチ
ュエータ２０を上１ノに押上げ、シリンダ室１１の負圧
を解除する。
ここで、パツキン１２の孔１２ａの面積（吸る孔面積）
をＳ、バネ１５の力を「、シリンダ室１１の断面積をＡ
、大気圧をＰ ｉ 、ウェハ８吸盾時のシリンダ室１１
の圧力（負圧）をＰｏとすると、 △（Ｐ＋ Ｐｏ）＝ｆ なる関係が成立し、ウェハ８の保持力Ｆは、Ｆ＝Ｓ （
Ｐ＋ −Ｐｏ ） となる。この保持力「がウェハ８の小量Ｍと本体１０の
加速磨αによる反力Ｍαよりも人になるように、パツキ
ン１２の吸２孔而積Ｓ、バネ１５の力「、シリンダ室１
１の断面り１八を大々決定づる１゜この場合、ピストン
１３のストロークを大ぎくとれるようにシリンダ室１１
を構成すれば、シリンダ室１１内の気圧もれに要する時
間を長くでき、あるステーションから別のステーション
までウェハ８のクランプを確実に行ない得る。。
をＳ、バネ１５の力を「、シリンダ室１１の断面積をＡ
、大気圧をＰ ｉ 、ウェハ８吸盾時のシリンダ室１１
の圧力（負圧）をＰｏとすると、 △（Ｐ＋ Ｐｏ）＝ｆ なる関係が成立し、ウェハ８の保持力Ｆは、Ｆ＝Ｓ （
Ｐ＋ −Ｐｏ ） となる。この保持力「がウェハ８の小量Ｍと本体１０の
加速磨αによる反力Ｍαよりも人になるように、パツキ
ン１２の吸２孔而積Ｓ、バネ１５の力「、シリンダ室１
１の断面り１八を大々決定づる１゜この場合、ピストン
１３のストロークを大ぎくとれるようにシリンダ室１１
を構成すれば、シリンダ室１１内の気圧もれに要する時
間を長くでき、あるステーションから別のステーション
までウェハ８のクランプを確実に行ない得る。。
第４図は本発明装置の他の実施例の概略図を示し、同図
中、第１図と同一構成部分には同一番号を付してその説
明を省略する。同図中、３０は台車本体で、内部に真空
タンク３１が設けられている。真空タンク３１の上面に
は連通管３１ａが設けられており、パツキン１２の孔１
２ａ（第２図）に連通している。３２は弁部で本体３０
の下面に設けられており、内部に弁３２ａ（第５図）が
設けられている。前記真空タンク３１の１・面には連通
管３１ｂが設けられており、弁部３２の内部に連通して
いる。
中、第１図と同一構成部分には同一番号を付してその説
明を省略する。同図中、３０は台車本体で、内部に真空
タンク３１が設けられている。真空タンク３１の上面に
は連通管３１ａが設けられており、パツキン１２の孔１
２ａ（第２図）に連通している。３２は弁部で本体３０
の下面に設けられており、内部に弁３２ａ（第５図）が
設けられている。前記真空タンク３１の１・面には連通
管３１ｂが設けられており、弁部３２の内部に連通して
いる。
３３はアクチュエータで、本体１０の弁部３２に対向す
るように床面１８に設けられており、内部に連通管３３
ａ（第５図）を設けられている。
るように床面１８に設けられており、内部に連通管３３
ａ（第５図）を設けられている。
管３３ａは床面１８に設けられた管３４に）１！通して
いる。アクチュエータ３３は各ステーション毎１に設け
られている。
いる。アクチュエータ３３は各ステーション毎１に設け
られている。
ここで、あるステーションにおいてウェハ８をクランプ
するに際し、先ｆウェハ８を本体３０に載置する。次に
、第５図に示す如く、弁３２８Ｇよアクチュエータ３３
の上方への移動によって上りへ押上げられ、これにより
、真空タンク３０ま連通管３１ｂ、弁部３２、アクチュ
エータ３３の連通管３３ａを介して管３４に連通ずる。
するに際し、先ｆウェハ８を本体３０に載置する。次に
、第５図に示す如く、弁３２８Ｇよアクチュエータ３３
の上方への移動によって上りへ押上げられ、これにより
、真空タンク３０ま連通管３１ｂ、弁部３２、アクチュ
エータ３３の連通管３３ａを介して管３４に連通ずる。
この状（Ｉ！で管３４により真空引きが行なわれると、
真空タンク３１内は真空状態となり、゛これにより、ウ
ェハ８はパツキン１２を介して本体３０に吸着される。
真空タンク３１内は真空状態となり、゛これにより、ウ
ェハ８はパツキン１２を介して本体３０に吸着される。
ウェハ８の吸着が終了すると、アクチユエータ３３は下
方に移動され、これにより、弁３２ａは下方へ押下げら
れ、真空タンク３１内は真空状ｆぶを保持される。
方に移動され、これにより、弁３２ａは下方へ押下げら
れ、真空タンク３１内は真空状ｆぶを保持される。
第１図に示すものと同様、この状態で各ス１−ジョン間
を移動する。つ１ハ８のクランプを解除する場合、アク
チュエータ３３．０上方への移動により弁３２ａが上方
へ押上げられ、前述と同様に、真空タンク３１は管３４
に連通する。この状態で管３４により真空タンク３１の
真空が解除され、ウェハ８のクランプが解除される。
を移動する。つ１ハ８のクランプを解除する場合、アク
チュエータ３３．０上方への移動により弁３２ａが上方
へ押上げられ、前述と同様に、真空タンク３１は管３４
に連通する。この状態で管３４により真空タンク３１の
真空が解除され、ウェハ８のクランプが解除される。
本発明によれば、従来装置のような真空ホースや駆動電
源ライン等を用いる必要はなく、従って、これら床等に
引きすることはないのでＩＰ埃を発生することは全くな
く、特に清潔でなければならない半導体装置の製造場所
に最適である等の特長を有する。
源ライン等を用いる必要はなく、従って、これら床等に
引きすることはないのでＩＰ埃を発生することは全くな
く、特に清潔でなければならない半導体装置の製造場所
に最適である等の特長を有する。
第１図は本発明Ｓ！置の一実施例の概略図、第２図は本
発明装置の要部の拡大断面図、第３図はウェハを本体に
装着した平面図、第４図は本発明装置の他の実施例の概
略図、第５図は第４図の装置の要部の断面図、第６図は
従来装置の一例の概略図である１゜図中において、 ８はウェハ、 １０．３０は台車本体、 １１はシリンダ室、 １２は孔あきパツキン、 １２８はパツキン１２の孔、 １３はピストン、 １４はレバー、 １５はバネ、 １７はリニアモータ（−次側導体）、 １８は床面、 １つはりニアモータニ次［ＩＪ１１導体、２０．３３は
アクチュエータ、 ３１は真空タンク、 ３１ａ、３１ｂ、３３ａは連通管、 ３２は弁部、 ３２ａは弁、 ３４は管である。 本発明装置の一実施例の概略図 第１図 したニー面図 本発明装置の要部の拡大断面図 第 ３ 図
第２図
発明装置の要部の拡大断面図、第３図はウェハを本体に
装着した平面図、第４図は本発明装置の他の実施例の概
略図、第５図は第４図の装置の要部の断面図、第６図は
従来装置の一例の概略図である１゜図中において、 ８はウェハ、 １０．３０は台車本体、 １１はシリンダ室、 １２は孔あきパツキン、 １２８はパツキン１２の孔、 １３はピストン、 １４はレバー、 １５はバネ、 １７はリニアモータ（−次側導体）、 １８は床面、 １つはりニアモータニ次［ＩＪ１１導体、２０．３３は
アクチュエータ、 ３１は真空タンク、 ３１ａ、３１ｂ、３３ａは連通管、 ３２は弁部、 ３２ａは弁、 ３４は管である。 本発明装置の一実施例の概略図 第１図 したニー面図 本発明装置の要部の拡大断面図 第 ３ 図
第２図
Claims (3)
- （１）台車本体（１０、３０）に設けられ、物体（８）
を載置されることによってその開口面が塞がれる室（１
１、３１）と、 該台車本体（１０、３０）の各停止位置毎に設けられた
作動部材（２０、３３）によつて該室（１１、３１）を
負圧状態にする一方、該負圧状態を解除する圧力発生解
除手段、（１３、１４、１５、３２、３２ａ）と、 上記台車本体（１０、３０）以外の部分に固定された動
力源（１７）と関連して作用し上記台車本体（１０、３
０）を上記各停止位置間において移動せしめられる移動
手段（１９）とを設けてなることを特徴とする搬送装置
。 - （２）該室（１１）はシリンダ室、該作動部材（２０）
はアクチュエータであり、該アクチュエータ（２０）に
より該シリンダ室（１１）に設けられたピストン（１３
）を下動させて該シリンダ室（１１）を負圧状態にし、
該物体（８）を該シリンダ室（１１）の上面開口部に設
けられた孔あきパッキン（１２）を介して該台車本体（
１０）にクランプし、一方、該ピストン（１３）を上動
させて該シリンダ室（１１）の該負圧状態を解除して該
クランプを解除するように構成してなることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の搬送装置。 - （３）該室（３１）は真空タンク、該作動部材（３３）
は該台車本体（３０）以外の部分に設けられた管（３４
）に連通する管（３３ａ）を有するアクチュエータであ
り、該アクチュエータ（３３）により該真空タンク（３
１）に設けられた弁（３２ａ）を上動して該真空タンク
（３１）と該管（３４）とを連通させて該管（３４）を
真空引きして該真空タンク（３１）を負圧状態にし、該
物体（８）を該真空タンク（３１）の上面開口部に設け
られた孔あきパッキン（１２）を介して該台車本体（３
０）にクランプし、一方、該管（３４）から真空タンク
（３１）の真空を解除して該クランプを解除するように
構成してなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61304588A JPS63154462A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61304588A JPS63154462A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63154462A true JPS63154462A (ja) | 1988-06-27 |
| JPH0523230B2 JPH0523230B2 (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17934803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61304588A Granted JPS63154462A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63154462A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008068859A1 (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-12 | Hirata Corporation | 搬送装置 |
| EP3653551A1 (de) * | 2018-11-16 | 2020-05-20 | Schneider Electric Industries SAS | Transportsystem |
-
1986
- 1986-12-19 JP JP61304588A patent/JPS63154462A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008068859A1 (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-12 | Hirata Corporation | 搬送装置 |
| EP3653551A1 (de) * | 2018-11-16 | 2020-05-20 | Schneider Electric Industries SAS | Transportsystem |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0523230B2 (ja) | 1993-04-02 |
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