JPS63149159A - Ink jet recording head - Google Patents
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- B41J2002/14217—Multi layer finger type piezoelectric element
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ内のイ
ンクをインクノズルから液滴状に噴射すせるマルチノズ
ル式インクジェット記録ヘッドに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a multi-nozzle inkjet recording head that uses piezoelectric effects to eject ink in an ink cavity from ink nozzles in the form of droplets.
圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクをイン
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ていた。第５図は従来技術によるマルチノズル式インク
ジェット記録ヘッドの１面図である。図において、■は
内部に液室を有する圧電素子円筒体である。液室２の一
方はインク供給路３、他方はインク通路４となっており
、インク通路４の先にはノズル５が形成されている。イ
ンクはインク供給口６から供給されて共通供給室７に溜
められている。この記録ヘッドにおいては、圧電素子円
筒体１は工ボキシ樹脂製本体８内に埋設されている。し
かして、圧電素子円筒体１を選択駆動することにより、
当該圧電素子円筒体１の液室２が体積を収縮されて、そ
の液室２内のインクがノズル５を介して噴射させられる
。It has been known for a long time that the piezoelectric effect is used to eject ink in an ink cavity from an ink nozzle in the form of droplets. FIG. 5 is a front view of a multi-nozzle inkjet recording head according to the prior art. In the figure, ■ is a piezoelectric element cylinder having a liquid chamber inside. One side of the liquid chamber 2 is an ink supply path 3, and the other side is an ink passage 4. A nozzle 5 is formed at the end of the ink passage 4. Ink is supplied from an ink supply port 6 and stored in a common supply chamber 7. In this recording head, a piezoelectric element cylindrical body 1 is embedded in a main body 8 made of plastic boxy resin. Therefore, by selectively driving the piezoelectric element cylinder 1,
The volume of the liquid chamber 2 of the piezoelectric element cylindrical body 1 is contracted, and the ink within the liquid chamber 2 is ejected through the nozzle 5.
また、別の従来技術によるインクジェット記録ヘッドの
断面構造を第６図に示す。第６図の１１はヘッドであシ
、ヘッド１１には圧力室１２、インク通路１３、ノズル
１４が形成され、圧力２＆１１１．；−よびインク通路
１３にはインクを供給するためのインク供給管１５が接
続されている。インク供給も１５はさらにインク供給源
１６に連らなっている。一方、圧力室１２の背面は金属
からなる可撓性プレート１７およびそれに接合された電
気−機械変換素子（圧電素子〕１８で構成されている。Further, FIG. 6 shows a cross-sectional structure of an inkjet recording head according to another conventional technique. Reference numeral 11 in FIG. 6 is a head, and the head 11 is formed with a pressure chamber 12, an ink passage 13, a nozzle 14, and pressures 2 &111.;- and the ink passage 13 are connected to an ink supply pipe 15 for supplying ink. The ink supply 15 is further connected to an ink supply source 16. On the other hand, the back surface of the pressure chamber 12 is composed of a flexible plate 17 made of metal and an electro-mechanical transducer (piezoelectric element) 18 bonded thereto.
この構成において、記録し々い時には、ノズル１４より
インクが流失しないようにインク供給圧力はインクの表
面張力と平衡状態を保つように調整されている。記録時
忙は情報信号に応じて圧電素子１８に電圧パルスを与え
ると、可撓性プレート１７は圧力室１２の内側に向って
曲がる。この時の可撓性プレート１７の変形によって、
圧力室１２内に生ずる急激な体積変化がノズル１４に達
すると、その変化音に応じてインクの小滴が飛び出し記
録紙等に印字される。インクの補給は可撓性プレート１
７が元の位置に戻るときに生ずる負の圧力によってイン
ク供給源１６からインク供給管１５を通してなされる。In this configuration, the ink supply pressure is adjusted to maintain equilibrium with the surface tension of the ink so that the ink does not flow out from the nozzle 14 when recording is finished. During recording, when a voltage pulse is applied to the piezoelectric element 18 in response to an information signal, the flexible plate 17 bends toward the inside of the pressure chamber 12. Due to the deformation of the flexible plate 17 at this time,
When the rapid volume change occurring within the pressure chamber 12 reaches the nozzle 14, small droplets of ink fly out in response to the sound of the change and are printed on recording paper or the like. Replenish ink with flexible plate 1
7 returns to its original position due to the negative pressure created through the ink supply tube 15 from the ink supply source 16.
ところで、この第５図に示した従来技術のインクジェッ
ト記録ヘッドにおいては、ノズル５からインクを噴射さ
せる手段として圧電素子円筒体１が用いられているが、
この圧電素子円筒体１は圧電材料からなる円筒体と、こ
の円筒体の内面および外側に設けられた内側電極および
外側電極とから構成されている。インクジェット記録ヘ
ッドを小形化するためには、それに応じて圧電素子円筒
体１も小形化しなければならない。しかしながら、小形
化すなわち外径および内径が極端に不さい圧電材料製円
筒体を製作し、さらにその内側（内壁面）に内側電極を
形成することは製作技術上非常釦困難である。たとえは
、ノズル口を４０μ島×４０μ島の大きさに形成し、か
つ１闘間隔に配置できるほど小形に形成するととは不可
能に近い。つまり、圧電素子円筒体１の外径は最大Ｑ、
５ ｘｍ、であシ、内径に至ってはそれよりもさらに小
さくなる。しかも、その内壁面に内側電極を形成しなけ
ればならない。このようなことは、現在の製作技術をも
ってしても不可能である。そのために、圧電素子円筒体
１はある程度の大きさに構成されるが、その結釆第５図
に示したように必要なノズル部の幅Ｌ１に比較して本体
８０幅り、が極めて大きくなってしまうという欠点を有
している。さらにエポキシ樹脂製本体８内に小形の圧電
素子円筒体１を埋設すること、および極細のインク供給
路３、インク通路４、ノズル５を形成することは可能で
あるが、実際には非常に困難である。By the way, in the conventional inkjet recording head shown in FIG. 5, the piezoelectric element cylinder 1 is used as a means for ejecting ink from the nozzle 5.
This piezoelectric element cylindrical body 1 is composed of a cylindrical body made of a piezoelectric material, and an inner electrode and an outer electrode provided on the inner and outer sides of this cylindrical body. In order to downsize the inkjet recording head, the piezoelectric element cylinder 1 must also be downsized accordingly. However, it is extremely difficult in terms of manufacturing technology to miniaturize the cylinder, that is, to manufacture a cylinder made of piezoelectric material with extremely small outer and inner diameters, and to form an inner electrode on the inside (inner wall surface) of the cylinder. For example, it is almost impossible to form the nozzle openings to a size of 40μ islands x 40μ islands and to form them so small that they can be arranged at one spacing. In other words, the outer diameter of the piezoelectric element cylinder 1 is the maximum Q,
5 x m, the inner diameter is even smaller than that. Moreover, an inner electrode must be formed on the inner wall surface. Such a thing is impossible even with current manufacturing technology. For this reason, the piezoelectric element cylinder 1 is constructed to have a certain size, but as shown in FIG. 5, the width of the main body 80 is extremely large compared to the necessary width L1 of the nozzle part. It has the disadvantage of being Furthermore, although it is possible to embed a small piezoelectric element cylinder 1 in the epoxy resin main body 8 and to form an extremely thin ink supply path 3, ink passage 4, and nozzle 5, it is actually extremely difficult to do so. It is.
また第６図の圧電素子１８としては、従来からＰＺＴ
（チタン酸ジルコン酸鉛）系の圧電セラミックが使用さ
れていた。かかる構成の欠点は記録ヘッドが大型であっ
てエネルギー消費が大きく、かつ圧力室部分にはＰＺＴ
からなる圧電素子’に１枚１枚接着等の方法で貼付しな
ければならないため、労力がかがクコスト高となる。Furthermore, the piezoelectric element 18 in FIG. 6 has conventionally been made of PZT.
(lead zirconate titanate)-based piezoelectric ceramic was used. The disadvantage of this configuration is that the recording head is large and consumes a lot of energy, and the pressure chamber is made of PZT.
Since each piece must be attached to the piezoelectric element' by a method such as gluing, the labor and cost are high.
また、第６図の構造においてノズルをマルチ化する際に
も前記と同様の欠点がある。Furthermore, the same drawback as described above occurs when the nozzles are multiplied in the structure shown in FIG.
この発明は以上の点に鑑みて力され、記録ヘッドの小形
化とノズルのマルチ化および製造コストの低減が可能々
インクジェット記録ヘッドの提供を目的とする。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an inkjet recording head that can be made smaller, have multiple nozzles, and reduce manufacturing costs.
前記の目的は、ドクターブレード法または押出し法で厚
さが０．１〜０．５闘前後の圧電セラミックグリーンシ
ートを得、このグリーンシートから所定形状のカバープ
レート、インク供給路プレート、インクキャビティプレ
ート、台板を採取し、プレス打抜き加工もしくはレーザ
加工６一
によってインク供給路プレートにはインク通路、インク
キャビティプレートにはインクキャビティ溝、インク供
給路湾、インクノズル溝を形成せしめ、さらに所定プレ
ートの所定部分にスクリーン印刷などでｐｔ、ｐｄある
いはｐｄ−Ａｇペーストを塗布して電極形成を行った後
、前記各プレートラ順次＃［層して熱圧浩ヲ行い、これ
を焼成して一体化することによって達成することができ
る。The above purpose is to obtain a piezoelectric ceramic green sheet with a thickness of about 0.1 to 0.5 mm using a doctor blade method or an extrusion method, and to form a cover plate, an ink supply path plate, and an ink cavity plate in a predetermined shape from this green sheet. , the base plate is taken, and an ink passage is formed on the ink supply passage plate, an ink cavity groove, an ink supply passage bay, and an ink nozzle groove are formed on the ink cavity plate by press punching or laser machining. After forming electrodes by applying PT, PD or PD-Ag paste to predetermined areas by screen printing, etc., each of the plates is sequentially layered and heat-pressed, and then baked and integrated. This can be achieved by
このような構成において、２つの電極間に電圧を印加す
る七、両電極間の圧電セラミックが膨張してインクキャ
ビティ溝の体積を減少させ、その結果インクキャビティ
溝のインクがインクキャビティ溝に連通ずるインクノズ
ル溝を経て、インクノズルから一液一滴状に噴射され、
記録担体上にもたらされる。非常に微細なインクキャビ
ティ溝、インクノズルなどは本体を複数の平らなプレー
トで構成しているため、プレス打抜き加工もしくはレー
ザ加工を用いて形成でき、各プレートの積層および焼成
条件を制御すれば工業的に十分製造可能である。In such a configuration, applying a voltage between the two electrodes causes the piezoelectric ceramic between the two electrodes to expand and reduce the volume of the ink cavity groove, so that the ink in the ink cavity groove communicates with the ink cavity groove. Each drop of liquid is ejected from the ink nozzle through the ink nozzle groove,
provided on a record carrier. The extremely fine ink cavity grooves, ink nozzles, etc. can be formed using press punching or laser processing because the main body is made up of multiple flat plates, and by controlling the lamination and firing conditions of each plate, it can be formed in an industrial manner. It is possible to manufacture the product in a satisfactory manner.
以下、本発明の構成を図面に基いて説明する。 Hereinafter, the configuration of the present invention will be explained based on the drawings.
第１図は本発明に関するインクジェット記録ヘッドの構
成部材を示したものである。FIG. 1 shows the constituent members of an inkjet recording head related to the present invention.
同図（Ａ）は公知のドクターブレード法などで得た圧電
セラミックグリーンシート１９である。FIG. 2A shows a piezoelectric ceramic green sheet 19 obtained by a known doctor blade method.
本発明で使用する圧電セラミックはとくに圧電歪定数（
ｄ３３）の犬であることが要求されるので、組成として
はｐｔｌ（Ｚｒ、 Ｔｉ ）Ｏｘ −ｐｂ （ＮｉＮｂ
）０．＋ （ｐｂ、５ｒ）ＣＺｒｓＴｉ、５ｂ）Ｏｓあ
るいは（ｐｂ、５ｒ）（Ｚｒ、Ｔｉ、Ｎｂ）０３系など
が適している。圧電セラミックグリーンシートの厚さは
通常０．１〜Ｑ、 ５ ｍｍ程度であるならばその目的
に応じて長さ９幅とともに任意に制御できる。また、本
発明に関する圧電セラミックグリーンシートは押出し法
でも製造可能である。The piezoelectric ceramic used in the present invention has a piezoelectric strain constant (
d33), the composition is ptl(Zr, Ti)Ox-pb(NiNb
)0. + (pb, 5r) CZrsTi, 5b) Os or (pb, 5r) (Zr, Ti, Nb) 03 systems are suitable. The thickness of the piezoelectric ceramic green sheet is usually about 0.1 to Q.5 mm, and the length and width can be controlled as desired depending on the purpose. Furthermore, the piezoelectric ceramic green sheet according to the present invention can also be produced by an extrusion method.
同図の）は第１図（４）の圧電セラミックグリーンシー
トから切断加工で採取したカバープレート２０である。) in the same figure is a cover plate 20 obtained by cutting the piezoelectric ceramic green sheet shown in FIG. 1 (4).
さらに同図（０はインク供給路プレート２１、同図（２
）はインクキャピテイプレート２４である。Furthermore, the same figure (0 is the ink supply path plate 21, the same figure (2
) is the ink capacity plate 24.
インク供給路プレート２１にはプレス打抜き加工あるい
はレーザ加工によって、−刀の主面から他方の主面およ
びこの主面と垂直な一側面に開口するインク通路２２が
形成され、一方の主面にはＰｊｅ ｐｃｉあるいはｐ
ｄ−Ａｇペーストが内部電極２３としてスクリーン印刷
法などで印刷されている。インクキャビティプレート２
４には、プレス打抜きあるいはレーザ加工によってイン
ク供給路プレートのインク通路２２と重々るインク供給
溝２６と、このインク供給溝２６に連通して一方の主面
から他方の主面に開口するインクキャビティ溝２５、イ
ンク供給溝２６、このインクキャビティ溝に連通して前
記主面と垂直な一側面に開口するインクノズル溝２７が
形成されている。第１図■は台板２８であり、インクキ
ャビティプレート２４に接しない他方の主面にはインク
キャビティ溝２５と同寸法の内部電極２９が印刷されて
いる。An ink passage 22 is formed in the ink supply passage plate 21 by press punching or laser processing, and the ink passage 22 opens from the main surface of the blade to the other main surface and one side perpendicular to this main surface. Pje pci or p
A d-Ag paste is printed as the internal electrode 23 by a screen printing method or the like. Ink cavity plate 2
4 includes an ink supply groove 26 that overlaps with the ink passage 22 of the ink supply passage plate by press punching or laser processing, and an ink cavity that communicates with the ink supply groove 26 and opens from one main surface to the other main surface. A groove 25, an ink supply groove 26, and an ink nozzle groove 27 that communicates with the ink cavity groove and opens on one side perpendicular to the main surface are formed. 1 is the base plate 28, and an internal electrode 29 having the same size as the ink cavity groove 25 is printed on the other main surface not in contact with the ink cavity plate 24. As shown in FIG.
以上の第１図に示した各プレートの厚さは、カバープレ
ート２０は０．１〜Ｑ、２ｉｘ、インク供給路プレート
２１は０．３〜Ｑ、５ｍｍ、インクキャビティプレート
２４は０．１〜０．２ ｍｉｘおよび台板２８は０．２
〜Ｑ、 ４ ｔｎｍの範囲が好ましいものである。さら
にインクキャビティ溝、インクノズル溝などの加工方法
として、プレス加工とレーザ加工に限定したのは、前記
方法が圧電セラミックグリーンシートの材料特性を損ね
ずに本発明で要求する微細加工を可能とするためであ乞
。The thickness of each plate shown in FIG. 1 above is 0.1 to Q, 2ix for the cover plate 20, 0.3 to Q, 5 mm for the ink supply path plate 21, and 0.1 to Q, 5 mm for the ink cavity plate 24. 0.2 mix and base plate 28 are 0.2
A range of ˜Q, 4 tnm is preferred. Furthermore, the processing methods for ink cavity grooves, ink nozzle grooves, etc. are limited to press processing and laser processing because these methods enable the fine processing required by the present invention without impairing the material properties of the piezoelectric ceramic green sheet. Begging for something.
次に、第１図に示した各プレートを台板２８、インクキ
ャビティプレート２４、インク供給路プレート２１、カ
バーブレー）２０の順に積層し、温度６０°〜１２００
Ｃ、圧力８０〜２００に９／ａｄの条件で感温プレスを
行い、各々のプレートを熱圧着させる。熱圧着された積
層体を電気炉に挿入し、４００〜６００ ’Ｏに数時間
保持して圧電セラミックグリーンシートに含まれている
有機バインダーを除去した後、さらに１１５０〜１２５
０″Ｏまで昇温させ、この温度で数時間保持することに
よシ各々のプレートが一体化し、インクジェット記録ヘ
ッドが得られる。Next, each of the plates shown in FIG.
C. Temperature-sensitive pressing is performed at a pressure of 80 to 200 and 9/ad to bond each plate by thermocompression. The thermocompression-bonded laminate is inserted into an electric furnace and kept at 400-600'O for several hours to remove the organic binder contained in the piezoelectric ceramic green sheet, and then further heated at 1150-125'O.
By raising the temperature to 0''O and maintaining it at this temperature for several hours, each plate is integrated and an inkjet recording head is obtained.
第２図は以上の工程で得たインクジェット記録ヘッドの
構成の一例であり、同図囚はその横断面図、同図ω）は
その縦断面図である。同図囚において２５はインクキャ
ビティ溝、２７Ａはインクノズル、２３と２９は電圧印
加用電極である。同図（６）の２２はインク通路でメジ
、図示していない外部のインク供給タンクと接続されて
いる。そして同図の）の２６はインク供給溝、２７はイ
ンクノズルである。FIG. 2 shows an example of the structure of an inkjet recording head obtained through the above steps, with the figure (bottom) being a cross-sectional view thereof, and the figure ω) being a longitudinal cross-sectional view thereof. In the figure, 25 is an ink cavity groove, 27A is an ink nozzle, and 23 and 29 are voltage application electrodes. Reference numeral 22 in FIG. 6(6) is an ink passage, which is connected to an external ink supply tank (not shown). In the same figure, 26 is an ink supply groove, and 27 is an ink nozzle.
しかして、このように構成されたインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、電極２３．２９間に電圧を印加すると、
両電極２３．２９間の圧電セラミック部が膨張してイン
クキャビティ溝２５の体積を減少させ、その結果インク
キャビティ溝２５のインクが昌該インクキャビティ溝２
５に連通ずるインクノズル溝２７を経テ、インクノズル
２７Ａから液滴状に噴射され、図示していない記録担体
上にもたらされる。Therefore, in the inkjet recording head configured as described above, when a voltage is applied between the electrodes 23 and 29,
The piezoelectric ceramic portion between the electrodes 23 and 29 expands and reduces the volume of the ink cavity groove 25, so that the ink in the ink cavity groove 25 is removed from the ink cavity groove 2.
The ink is ejected in the form of droplets from the ink nozzle 27A through the ink nozzle groove 27 communicating with the ink nozzle 5, and is brought onto a recording carrier (not shown).
第２図に示した構成においては、第３図に詳細に示すよ
うに、ノズル２７Ａの大＊さｕｓ。In the configuration shown in FIG. 2, the size of the nozzle 27A is as shown in detail in FIG.
μｍＸ１００μｍ、ノズル２７Ａ、２７Ａの間隔Ｃは例
えば０．２５ ｍｘに形成されている。さらにインクキ
ャビティ溝２５の厚さＬ ｎ ０．１ ｍｍ 。The distance C between the nozzles 27A and 27A is, for example, 0.25 mx. Furthermore, the thickness of the ink cavity groove 25 is L n 0.1 mm.
インクキャビティ溝２５の幅Ｂ。はＱ、 ２ｚｘに形成
されている。このように非常に微細なインクキャビティ
溝、インクノズルなどはプレス打抜き加工もしくはレー
ザ加工を用いて形成でき、さらに各プレートの積層およ
び焼成条件を制御することで工業的に十分製造可能であ
る。Width B of the ink cavity groove 25. is formed at Q, 2zx. In this way, extremely fine ink cavity grooves, ink nozzles, etc. can be formed using press punching or laser processing, and can be manufactured industrially by controlling the lamination and firing conditions of each plate.
さらに、本発明においては第４図に示す構成のインクジ
ェット記録ヘッドも提供できる。第４図忙おいては、イ
ンクキャビティ溝２５の上下に２３，２３Ａおよび２９
，２９Ａの電極を配設し、２３と２３Ａ、２９と２９Ａ
で一組の電圧印加用電極としたものである。第４図に示
す構成は第２図に示す構成の場合より電極間の圧電体の
厚さが薄くなるので、インクキャビティ溝２５の体積減
少をよシ低い電圧で可能にできるという利点を有する。Furthermore, the present invention can also provide an inkjet recording head having the configuration shown in FIG. In Fig. 4, there are 23, 23A and 29 above and below the ink cavity groove 25.
, 29A electrodes are arranged, 23 and 23A, 29 and 29A
A set of electrodes for voltage application is used. The configuration shown in FIG. 4 has the advantage that the thickness of the piezoelectric material between the electrodes is thinner than in the configuration shown in FIG. 2, so that the volume of the ink cavity groove 25 can be reduced with a lower voltage.
以上説明したように、本発明においては圧電セラミック
グリーンからカバープレート、インク通路をもつインク
供給プレート、複数列のインクキャビティ溝、インクノ
ズル溝、インク供給溝をもつインクキャビティプレート
および台板を得、さらに各プレートの所要部分に電極ペ
ーストを印刷した後、前記の各々のプレートを積層し焼
成することによって記録ヘッドを構成するようにしたの
で、コンバク）Ｋ構成できかつ製作が容易であるインク
ジェット記録ヘッドを提供することができる。As explained above, in the present invention, a cover plate, an ink supply plate having ink passages, an ink cavity plate and a base plate having multiple rows of ink cavity grooves, ink nozzle grooves, and ink supply grooves are obtained from piezoelectric ceramic green. Furthermore, after printing electrode paste on the required portions of each plate, the recording head is constructed by laminating and firing the respective plates, resulting in an inkjet recording head that can have a combination structure and is easy to manufacture. can be provided.
第１図は本発明の記録ヘッドの構成部材を示す斜視図で
あり、同図囚は圧電セラミックグリーンシート、同図の
）はカバープレート、同図（０はインク供給路プレート
、同図０はインクキャビティプレートおよび同図■は台
板である。第２図は本発明の構成を示すものであシ同図
■はその横断面図、同図（Ｂ）はその縦断面図である、
第３図は本発明の実施例の一部拡大断面図である、第４
図は本発明の第２の構成における横断面図を示したもの
である、第５図と第６図は従来技術によるインクジェッ
ト記録ヘッドの断面図である。
１：圧電素子円筒体、２：液室、３：インク供給室、４
：インク通路、５：インクノズル１．６：インク供給口
、７：インク共通供給案、８：エポキシ樹脂本体、１１
：ヘッド本体、１２：圧力室、１３：インク通路、１４
：インクノズル、１５：インク供給管、１６：インク供
給源、１７：可撓性プレート、１８：圧電素子、１９：
圧電セラミックグリーンシート、２ｏ：カバープレート
、２１：インク供給路プレート、２２：インク通路、２
３．２３Ａ、２９，２９Ａ：電極、２４：インクキャビ
ティプレート、２５：インクキャビティ溝、２６：イン
ク供給溝、２７：インクノズル溝、２８：台板。
第Ｚ 閃
υ
第５ 図
第３閃
葛７ｉ閃FIG. 1 is a perspective view showing the constituent members of the recording head of the present invention, in which 0 is a piezoelectric ceramic green sheet, 0 is a cover plate, 0 is an ink supply path plate, and 0 is a cover plate. The ink cavity plate and the figure (■) are the base plate. Figure 2 shows the structure of the present invention, the figure (■) is its cross-sectional view, and the figure (B) is its longitudinal cross-section.
FIG. 3 is a partially enlarged sectional view of an embodiment of the present invention;
The figure shows a cross-sectional view of the second configuration of the present invention, and FIGS. 5 and 6 are cross-sectional views of an inkjet recording head according to the prior art. 1: Piezoelectric element cylindrical body, 2: Liquid chamber, 3: Ink supply chamber, 4
: Ink passage, 5: Ink nozzle 1.6: Ink supply port, 7: Ink common supply plan, 8: Epoxy resin body, 11
: Head body, 12: Pressure chamber, 13: Ink passage, 14
: ink nozzle, 15: ink supply pipe, 16: ink supply source, 17: flexible plate, 18: piezoelectric element, 19:
Piezoelectric ceramic green sheet, 2o: cover plate, 21: ink supply path plate, 22: ink passage, 2
3.23A, 29, 29A: Electrode, 24: Ink cavity plate, 25: Ink cavity groove, 26: Ink supply groove, 27: Ink nozzle groove, 28: Base plate. No. Z Sen υ No. 5 Figure 3 No. 7 I Sen
Claims (1)
および該主面と垂直な一側面に開口するインク通路を有
し、該インク通路のない前記一方の主面にインクキャビ
ティ溝に対応する複数の電極を有するインク供給路プレ
ートと、前記インク通路と重なるインク供給溝と、この
インク供給溝に連通して一方の主面から他方の主面に開
口するインクキャビティ溝および、このインクキャビテ
ィ溝に連通して前記主面と垂直な一側面に開口するイン
クノズル溝を有するインクキャビティプレートと、 このインクキャビティプレートに接しない他方の主面に
前記インクキャビティ溝に対応する電極を有する台板と
を、 圧電セラミックグリーンシートから形成し、これらプレ
ートを順次積層し焼成することにより一体化したことを
特徴とするインクジェット記録ヘッド。[Scope of Claims] A cover plate, and an ink passage opening from one main surface in contact with the cover plate to the other main surface and one side perpendicular to the main surface, the one side having no ink passage. an ink supply path plate having a plurality of electrodes corresponding to the ink cavity grooves on its main surface; an ink supply groove that overlaps with the ink passage; and an ink supply channel plate that communicates with the ink supply groove and opens from one main surface to the other main surface. an ink cavity plate having an ink cavity groove and an ink nozzle groove communicating with the ink cavity groove and opening on one side perpendicular to the main surface; and an ink cavity groove on the other main surface not in contact with the ink cavity plate. An inkjet recording head characterized in that: a base plate having electrodes corresponding to the base plate is formed from a piezoelectric ceramic green sheet, and these plates are integrated by sequentially stacking and firing the plates.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29595286A JPS63149159A (en) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | Ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29595286A JPS63149159A (en) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | Ink jet recording head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149159A true JPS63149159A (en) | 1988-06-21 |
Family
ID=17827225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29595286A Pending JPS63149159A (en) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | Ink jet recording head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63149159A (en) |
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-
1986
- 1986-12-12 JP JP29595286A patent/JPS63149159A/en active Pending
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