JP3232632B2 - Inkjet print head - Google Patents

Inkjet print head

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JP3232632B2
JP3232632B2 JP6239292A JP6239292A JP3232632B2 JP 3232632 B2 JP3232632 B2 JP 3232632B2 JP 6239292 A JP6239292 A JP 6239292A JP 6239292 A JP6239292 A JP 6239292A JP 3232632 B2 JP3232632 B2 JP 3232632B2
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piezoelectric
ink
print head
ink jet
nozzle
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秀明 曽根原
稔 碓井
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セイコーエプソン株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット式プリ
ンタに用いる印字ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a print head used in an ink jet printer.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のインクジェット式印字ヘッドは、
図5に示す様に、インクタンクを構成する容器の壁面に
複数のノズル開口を形成すると共に、各ノズル開口と対
応するように伸縮方向を一致させて圧電体を配設して構
成されている。この印字ヘッドは、駆動信号を圧電素子
に印加して圧電体を伸縮させ、この時に発生するインク
の動圧によりインク滴をノズル開口から吐出させて印刷
用紙にドットを形成するものである。この様なヘッド
は、ガラス(プラスチック)の基板とガラス(プラスチ
ック)薄板等の弾性振動板との間に複数のインク溜部
(インクキャビティ)を形成し、電極を両面に形成した
圧電体の板をインクキャビティの面積程度に切断した
後、各インクキャビティの上に弾性振動板を挟んで接着
した構造を有している。
2. Description of the Related Art A conventional ink jet print head is:
As shown in FIG. 5, a plurality of nozzle openings are formed on a wall surface of a container constituting the ink tank, and a piezoelectric body is arranged so as to correspond to each nozzle opening so that the direction of expansion and contraction is matched. . In this print head, a drive signal is applied to a piezoelectric element to expand and contract a piezoelectric body, and ink droplets are ejected from nozzle openings by dynamic pressure of ink generated at this time to form dots on printing paper. Such a head has a plurality of ink reservoirs (ink cavities) formed between a glass (plastic) substrate and an elastic vibration plate such as a thin glass (plastic) plate, and a piezoelectric plate having electrodes formed on both surfaces. Is cut to about the area of an ink cavity, and then bonded to each ink cavity with an elastic vibration plate interposed therebetween.
【0003】又、PZT等の圧電体と金属板、セラミッ
クとの積層材とで構成された梁状部材の長手方向の両端
が支持されている圧力発生部材と、飛翔媒体であるイン
クとこのインクの吐出口であるノズルとを有し、印加電
圧により圧力発生器から圧力を発生させ、インクをノズ
ルから吐出させるオンデマンド型のインクジェットヘッ
ドが特公昭60−8953号公報で開示されている。こ
のヘッドは、圧力発生部材がノズル形成基板に対してほ
ぼ直角に変位することと、ノズルメニスカスのインク流
路が短いため、インクの吐出効率及び吐出安定性が高
く、インク中に気泡・ゴミ等の異物が混入した場合で
も、この影響を受けずに正常動作が可能であるという利
点を有している。
Further, a pressure generating member having a beam-like member composed of a piezoelectric material such as PZT, a metal plate, and a laminated material of ceramic, both ends of which are supported in the longitudinal direction, an ink as a flying medium, and the ink Japanese Patent Publication No. 60-8953 discloses an on-demand type ink jet head which has a nozzle serving as a discharge port, generates pressure from a pressure generator by an applied voltage, and discharges ink from the nozzle. In this head, since the pressure generating member is displaced substantially at right angles to the nozzle forming substrate and the ink flow path of the nozzle meniscus is short, the ink ejection efficiency and ejection stability are high, and air bubbles and dust in the ink are high. This has the advantage that normal operation is possible without being affected by such foreign substances.
【0004】又、特公昭61−2024号公報では、連
続した弾性振動板上に、連続した圧電体を接着し、ノズ
ル開口に対応させて電極を選択的に形成する事で、選択
的に圧力発生部材を駆動する構造が開示されている。こ
の構造は、ノズル数が増加しても、圧電体をノズル数分
だけ接着する工数を削減できるという利点を有してい
る。
In Japanese Patent Publication No. 61-2024, a continuous piezoelectric body is adhered on a continuous elastic vibration plate, and electrodes are selectively formed corresponding to nozzle openings, thereby selectively applying pressure. A structure for driving the generating member is disclosed. This structure has an advantage that even if the number of nozzles increases, the number of steps for bonding the piezoelectric body by the number of nozzles can be reduced.
【0005】又、特公昭62−134267号公報で
は、ヘッド本体にメタライズしたセラミックスを用い圧
電体を拡散接合した構造が開示されている。この構造は
接着剤による圧力損失、バラツキを低減できるという利
点を有している。
[0005] Japanese Patent Publication No. 62-134267 discloses a structure in which a piezoelectric body is diffusion-bonded to a head body by using metallized ceramics. This structure has an advantage that pressure loss and variation due to the adhesive can be reduced.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
インクジェットヘッドは、圧電体430として圧電効果
の最も優れた材料であるチタン酸ジルコン酸鉛系複合ペ
ルブスカイトセラミックスを用いるのであるが、バルク
からの切り出し品であるため100μm程度の厚いもの
しか使用することができなかった。そのため、駆動電圧
を100V以上と高くする必要があり、また、圧電体4
30とガラス薄板411からなる機械変位発生手段の剛
性が高いため所定の変位量を得るためには圧電体430
及びガラス薄板411の面積を大きくする必要があり、
ヘッド全体が大きくなり、コストアップを招くという問
題を有していた。
However, the conventional ink jet head uses a lead zirconate titanate-based composite perovskite ceramics, which is a material having the best piezoelectric effect, as the piezoelectric body 430. Since it was a cut product, only a thick product of about 100 μm could be used. Therefore, it is necessary to increase the driving voltage to 100 V or more.
Since the rigidity of the mechanical displacement generating means consisting of the glass plate 30 and the thin glass plate 411 is high, in order to obtain a predetermined displacement amount, the piezoelectric body 430 is required.
And it is necessary to increase the area of the glass thin plate 411,
There has been a problem that the entire head becomes large, resulting in an increase in cost.
【0007】さらに、インクキャビティ420の広さは
一辺が数百μm程度であり、これらと同程度の大きさの
圧電体430の板を機械変位発生手段として各インクキ
ャビティ420ごとに接着することが必要であった。4
40はインクキャビティ420に導かれるインクが一時
とどめられるインク溜部であり、422はインクキャビ
ティ420にインクを導くインク供給路、421はイン
クが突出するノズルである。しかしこのような構造のヘ
ッドでは圧電体430とインクキャビティ420との位
置合わせ精度が高くできない、圧電体430の接着時に
おける作業性が悪い、接着の不均一さによる特性のばら
つきが大きい、接着部の剥離が起こり易い、切断加工時
の内部歪による特性のばらつきが大きい、などの問題点
を有していた。
Further, the width of the ink cavity 420 is about several hundred μm on one side, and a plate of the piezoelectric body 430 having the same size as these can be bonded to each ink cavity 420 as mechanical displacement generating means. Was needed. 4
Reference numeral 40 denotes an ink reservoir for temporarily storing the ink guided to the ink cavity 420; 422, an ink supply path for guiding the ink to the ink cavity 420; and 421, a nozzle from which the ink projects. However, in the head having such a structure, the positioning accuracy between the piezoelectric body 430 and the ink cavity 420 cannot be increased, the workability at the time of bonding the piezoelectric body 430 is poor, the characteristic variation due to the non-uniformity of the bonding is large, There are problems such as easy peeling and large variation in characteristics due to internal strain during cutting.
【0008】又、特公昭62−134267号公報のヘ
ッド構造では、メタライズセラミックスを精度良く高密
度に加工することが必要となり、飛躍的なコストアップ
につながっていた。
[0008] In the head structure disclosed in Japanese Patent Publication No. 62-134267, it is necessary to process metallized ceramics with high precision and high density, leading to a dramatic increase in cost.
【0009】これらの問題はプリンタの性能を向上させ
るためにノズル数を増やしたり、ノズル密度を高くする
ほど、よりクローズアップされてきていた問題であっ
た。
[0009] These problems are problems that have been highlighted as the number of nozzles is increased or the nozzle density is increased in order to improve the performance of the printer.
【0010】そこで本発明の課題はこれらの問題点を解
決することで、その目的とするところは高密度、高ノズ
ル数でも均質な特性を有する、信頼性の高いインクジェ
ットヘッドをきわめて低コストに提供することである。
An object of the present invention is to solve these problems, and an object of the present invention is to provide a highly reliable ink jet head having high density and uniform characteristics even with a high number of nozzles at a very low cost. It is to be.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
式印字ヘッドは、ノズル開口に対応して配置された圧力
発生部材に駆動信号が印加されることにより、前記ノズ
ル開口からインクを吐出するインクジェット式印字ヘッ
ドにおいて、前記圧力発生部材が、連続した圧電体と、
該圧電体上の一方の面に前記ノズル開口にそれぞれ対応
して配置された弾性振動板とを備え、前記弾性振動板及
び前記圧電体は同時焼成により一体的に形成されている
ことを特徴とする。また、上記構成において、前記圧電
体の他方の面とインク滴を吐出するノズルプレートと間
に中間体が配設されていると共に、前記中間体、前記圧
電体及び前記弾性振動板が同時焼成により一体的に形成
されていることを特徴とする。
According to the present invention, there is provided an ink jet print head which discharges ink from a nozzle opening by applying a drive signal to a pressure generating member arranged corresponding to the nozzle opening. In the print head, the pressure generating member is a continuous piezoelectric body,
An elastic vibration plate is provided on one surface of the piezoelectric body corresponding to each of the nozzle openings, and the elastic vibration plate and the piezoelectric body are integrally formed by simultaneous firing. I do. Further, in the above configuration, an intermediate body is provided between the other surface of the piezoelectric body and a nozzle plate that ejects ink droplets, and the intermediate body, the piezoelectric body, and the elastic vibration plate are simultaneously fired. It is characterized by being formed integrally.
【0012】[0012]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0013】図1は本実施例の構造図である。図1
(a)は上面図、(b)はm−m断面図、(c)は底面
図である。
FIG. 1 is a structural view of the present embodiment. FIG.
(A) is a top view, (b) is an MM cross-sectional view, and (c) is a bottom view.
【0014】圧電体10は、チタン酸ジルコン酸鉛系複
合ペロブスカイトセラミックス等の圧電材料からなる。
圧電体10の両側には一方の面に弾性体21、それに続
いて配線部22が形成されており、もう一方の面にはイ
ンク流路、インクキャビティ等を形成する中間体31、
共通電極23が形成されている。圧電体10、弾性体2
1、及び共通電極23により圧力発生部材20が形成さ
れる。圧電体10の厚さは25μm、弾性体振動部の厚
さは20μm、共通電極23の厚さは1μm以下であ
る。また、中間体31の厚さは60μmである。共通電
極23を挟んで中間体31にはインク60の吐出口であ
るノズル41が形成されたノズルプレート40が接合さ
れている。今試作に於いては、ノズルプレート40はN
iの電鋳法により製造されており、厚さ100μm、ノ
ズル41の直径は50μmである。ノズル41は第1図
(c)上、左右上下に8列ずつ、左右方向は1355μ
mピッチで、上下方向は677μmピッチで配設されて
いる。また、左右方向に隣合うノズル列はΔpだけずれ
て配設されている。ここで、Δpは85μmである。中
間体31とノズルプレート40、圧電体10とによっ
て、キャビティ50、インク供給路51、インク共通路
52が形成されており、これらには、インク60が満た
されている。キャビティ50のサイズは600μm×6
00μmである。インク供給路51はインク60をイン
ク共通路52からキャビティ50へ導く通路であり、キ
ャビティ50の四隅に配設されている。インク供給路5
1の幅は60μm、長さは150μmである。インク共
通路52はインクタンク(図示されていない)に通じて
いる。インク共通路52の幅は300μmである。共通
電極23はグランドに、配線部22は駆動回路(図示さ
れていない)に接続されており、駆動信号によって圧力
発生部材20を駆動し、ノズル41からインク60を飛
翔させる。
The piezoelectric body 10 is made of a piezoelectric material such as a lead zirconate titanate-based composite perovskite ceramic.
On both sides of the piezoelectric body 10, an elastic body 21 and a wiring portion 22 are formed on one surface, and an intermediate body 31 for forming an ink flow path, an ink cavity and the like is formed on the other surface.
A common electrode 23 is formed. Piezoelectric body 10, elastic body 2
1 and the common electrode 23 form the pressure generating member 20. The thickness of the piezoelectric body 10 is 25 μm, the thickness of the elastic body vibrating section is 20 μm, and the thickness of the common electrode 23 is 1 μm or less. The thickness of the intermediate body 31 is 60 μm. A nozzle plate 40 in which a nozzle 41 serving as a discharge port of the ink 60 is formed is joined to the intermediate body 31 with the common electrode 23 interposed therebetween. In the prototype, the nozzle plate 40 is N
i is manufactured by the electroforming method, the thickness is 100 μm, and the diameter of the nozzle 41 is 50 μm. The nozzles 41 are shown in FIG. 1 (c), eight rows vertically and horizontally, 1355 μ in the horizontal direction.
They are arranged at m pitches and vertically at 677 μm pitches. Further, the nozzle rows adjacent in the left-right direction are arranged shifted by Δp. Here, Δp is 85 μm. A cavity 50, an ink supply path 51, and an ink common path 52 are formed by the intermediate body 31, the nozzle plate 40, and the piezoelectric body 10, and these are filled with the ink 60. The size of the cavity 50 is 600 μm × 6
00 μm. The ink supply path 51 is a path that guides the ink 60 from the common ink path 52 to the cavity 50, and is provided at four corners of the cavity 50. Ink supply path 5
1 has a width of 60 μm and a length of 150 μm. The ink common path 52 communicates with an ink tank (not shown). The width of the ink common path 52 is 300 μm. The common electrode 23 is connected to the ground, and the wiring section 22 is connected to a drive circuit (not shown).
【0015】次に、図2〜図4を用いて本実施例を圧電
体と弾性体、中間体とを形成した製造方法を説明する。
Next, a manufacturing method in which a piezoelectric body, an elastic body, and an intermediate body are formed in this embodiment will be described with reference to FIGS.
【0016】図2(a)は、定盤70上にバインダーと
Cr、Mo、Pt等の高融点物質を混合しペースト状に
した中間体材料130を薄く形成する工程。図2(b)
は、その上にPbO、TiO2、ZrO2、添加剤を調
合、混合した後800〜1000℃で仮焼、粉砕しバイ
ンダーを添加する事によりペースト状にした、圧電体材
料110を薄く形成する工程。図2(c)は、更にその
上にバインダーとCr、Mo、Pt等の高融点導電材を
混合し、ペースト状にした弾性体材料120を薄く形成
する工程。このようにして形成されたペースト状積層体
を圧力をかけて1000℃〜1200℃で焼きあげる。
これによりバインダーは飛び去り、図3に示すような圧
電体10、弾性層20、中間層30からなる3層構造の
積層体が形成される。
FIG. 2A shows a process of forming a thin paste-like intermediate material 130 by mixing a binder and a high melting point material such as Cr, Mo, or Pt on the surface plate 70. FIG. 2 (b)
Is a process in which PbO, TiO2, ZrO2, and additives are mixed and mixed, then calcined at 800 to 1000 ° C., pulverized, and a binder is added to form a paste, and the piezoelectric material 110 is thinly formed. FIG. 2C shows a step of further mixing a binder and a high melting point conductive material such as Cr, Mo, and Pt thereon to form a thin elastic material 120 in a paste form. The paste-like laminate thus formed is baked at 1000 to 1200 ° C. while applying pressure.
As a result, the binder flies off, and a three-layered laminate including the piezoelectric body 10, the elastic layer 20, and the intermediate layer 30 is formed as shown in FIG.
【0017】次に、フォトリソグラフィ技術を用いて弾
性層20及び、中間層30を加工し、図4に示すように
弾性体21、配線部22、及び、中間体31が形成され
る。その後、圧電体10の中間体31側に共通電極23
として、Ni等の導電性薄膜をメッキ、あるいはスパッ
タリングによって形成する。
Next, the elastic layer 20 and the intermediate layer 30 are processed by using the photolithography technique, so that the elastic body 21, the wiring portion 22, and the intermediate body 31 are formed as shown in FIG. Thereafter, the common electrode 23 is provided on the intermediate body 31 side of the piezoelectric body 10.
A conductive thin film of Ni or the like is formed by plating or sputtering.
【0018】次に、ノズルプレート40とポリイミド等
の接着により接合し、図1に示した本実施例のインクジ
ェットヘッドを得る。
Next, the nozzle plate 40 is joined to the nozzle plate 40 with an adhesive such as polyimide to obtain the ink jet head of this embodiment shown in FIG.
【0019】ここで、ノズルプレート40の製造方法と
しては、本実施例で採用した基板上に印刷や、フォトリ
ソ工程により所望の形状にレジストを形成し、無電解メ
ッキや電解メッキによりNi等を成長させる電鋳法の他
に、1、プラスチック成形による方法2、SUS、Ni
等の金属板に印刷や、フォトリソ工程により所望の形状
にレジストを形成し、レジストの残っていない部分をエ
ッチングにより除去するエッチング方法3、SUS、N
i等の金属板をプレスにより打ち抜くプレス法等が考え
られる。
Here, as a method of manufacturing the nozzle plate 40, a resist is formed in a desired shape by printing or a photolithography process on the substrate employed in this embodiment, and Ni or the like is grown by electroless plating or electrolytic plating. In addition to the electroforming method, 1, plastic molding method 2, SUS, Ni
Etching method 3 in which a resist is formed in a desired shape by printing or a photolithography process on a metal plate such as a metal plate, and a portion where no resist remains is removed by etching, SUS, N
A pressing method or the like in which a metal plate such as i is punched out by a press is conceivable.
【0020】本発明によれば、圧電体10、弾性板20
が拡散接合されているため、接合部の信頼性が高く、従
って、フォトリソグラフィ技術を用いた加工を行って
も、接合部の信頼性を損なうことなく、高密度で吐出特
性の安定したインクジェットヘッドを提供できる。更
に、厚膜プロセスにより製造するため、圧力発生部材2
0を薄くすることができ、これにより、キャビティ50
を小さくでき、ヘッド全体の小型化が実現できる。ま
た、キャビティの四隅にインク供給路を設けてあるため
に気泡の排出性に優れ信頼性がたいへん向上した。
According to the present invention, the piezoelectric body 10, the elastic plate 20
Are bonded by diffusion bonding, so that the reliability of the bonding portion is high. Therefore, even if processing using photolithography technology is performed, the inkjet head with high density and stable ejection characteristics is maintained without deteriorating the reliability of the bonding portion. Can be provided. Further, since the pressure generating member 2 is manufactured by the thick film process,
0 can be made thinner, so that the cavity 50
And the size of the entire head can be reduced. In addition, since ink supply paths are provided at the four corners of the cavity, the air bubbles are easily discharged and the reliability is greatly improved.
【0021】[0021]
【発明の効果】本発明によれば、圧電体、弾性体が同時
焼成されているため、接合部の信頼性が高く、従って、
フォトリソグラフィ技術を用いた加工を行っても、接合
部の信頼性を損なうことなく、高密度で吐出特性の安定
したインクジェット式印字ヘッドを提供できる。
According to the present invention, since the piezoelectric body and the elastic body are co-fired, the reliability of the joint is high.
Even if processing using the photolithography technique is performed, it is possible to provide an ink jet print head having high density and stable ejection characteristics without impairing the reliability of the joint.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】(a)本発明のインクジェット式印字ヘッドの
一実施例の構造を示す上面図。 (b)本発明のインクジェット式印字ヘッドの一実施例
の構造を示すm−m’断面図。 (c)本発明のインクジェット式印字ヘッドの一実施例
の構造を示す底面図。
FIG. 1A is a top view illustrating the structure of an embodiment of an ink jet print head according to the present invention. (B) A sectional view taken along the line MM ′ showing the structure of one embodiment of the ink jet print head of the present invention. (C) A bottom view showing the structure of one embodiment of the ink jet print head of the present invention.
【図2】(a)〜(c)本発明の一実施例のインクジェ
ット式印字ヘッドの製造方法を示した図。
FIGS. 2A to 2C are views showing a method of manufacturing an ink jet print head according to one embodiment of the present invention.
【図3】本発明の一実施例のインクジェット式印字ヘッ
ドの製造方法を示した図。
FIG. 3 is a diagram showing a method of manufacturing an ink jet print head according to one embodiment of the present invention.
【図4】(a)本発明の一実施例のインクジェット式印
字ヘッドの製造方法の1工程における上面図。 (b)本発明の一実施例のインクジェット式印字ヘッド
の製造方法の1工程におけるn−n’断面図。 (c)本発明の一実施例のインクジェット式印字ヘッド
の製造方法の1工程における底面図。
FIG. 4A is a top view in one step of a method for manufacturing an ink jet print head according to one embodiment of the present invention. (B) nn 'sectional drawing in one process of the manufacturing method of the inkjet print head of one Example of this invention. (C) A bottom view in one step of the method for manufacturing an ink jet print head according to one embodiment of the present invention.
【図5】従来例を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a conventional example.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
10・・・・圧電体 20・・・・圧力発生部材 21・・・・弾性体 23・・・・共通電極 31・・・・中間体 40・・・・ノズルプレート 41・・・・ノズル 50・・・・キャビティ 60・・・・インク 110・・・・圧電体材料 120・・・・弾性体材料 130・・・・中間体材料 420・・・・インクキャビティ 430・・・・圧電体 10 ··· Piezoelectric body 20 ··· Pressure generating member 21 ··· Elastic body 23 ··· Common electrode 31 ··· Intermediate body 40 ··· Nozzle plate 41 ··· Nozzle 50 ··· Cavity 60 ··· Ink 110 ··· Piezoelectric material 120 ··· Elastic material 130 ··· Intermediate material 420 ··· Ink cavity 430 ··· Piezoelectric material
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/045 B41J 2/055 Continuation of front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B41J 2/045 B41J 2/055

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】(57) [Claims]
  1. 【請求項1】 ノズル開口に対応して配置された圧力発
    生部材に駆動信号が印加されることにより、前記ノズル
    開口からインクを吐出するインクジェット式印字ヘッド
    において、 前記圧力発生部材が、連続した圧電体と、該圧電体上の
    一方の面に前記ノズル開口にそれぞれ対応して配置され
    た弾性振動板とを備え、前記弾性振動板及び前記圧電体
    は同時焼成により一体的に形成されていることを特徴と
    するインクジェット式印字ヘッド。
    1. An ink jet print head that ejects ink from a nozzle opening by applying a drive signal to a pressure generating member disposed corresponding to a nozzle opening, wherein the pressure generating member is a continuous piezoelectric element. And a resilient diaphragm disposed on one surface of the piezoelectric body corresponding to the nozzle opening, wherein the resilient diaphragm and the piezoelectric body are integrally formed by simultaneous firing. An ink jet print head characterized by the following.
  2. 【請求項2】 前記圧電体の他方の面とインク滴を吐出
    するノズルプレートと間にキャビティを構成する中間体
    が配設されていると共に、前記中間体、前記圧電体及び
    前記弾性振動板が同時焼成により一体的に形成されてい
    ることを特徴とする請求項1記載のインクジェット式印
    字ヘッド。
    2. An intermediate body that forms a cavity is provided between the other surface of the piezoelectric body and a nozzle plate that ejects ink droplets, and the intermediate body, the piezoelectric body, and the elastic vibration plate are provided. 2. The ink jet print head according to claim 1, wherein the ink jet print head is formed integrally by simultaneous firing.
  3. 【請求項3】 前記圧電体の他方の面の前記弾性振動板
    と対向する領域に電極が形成されていることを特徴とす
    る請求項1記載のインクジェット式印字ヘッド。
    3. The ink jet print head according to claim 1, wherein an electrode is formed on the other surface of said piezoelectric body in a region facing said elastic vibration plate.
JP6239292A 1992-03-18 1992-03-18 Inkjet print head Expired - Lifetime JP3232632B2 (en)

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