JPS63145064U - - Google Patents

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JPS63145064U
JPS63145064U JP3748587U JP3748587U JPS63145064U JP S63145064 U JPS63145064 U JP S63145064U JP 3748587 U JP3748587 U JP 3748587U JP 3748587 U JP3748587 U JP 3748587U JP S63145064 U JPS63145064 U JP S63145064U
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JP
Japan
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valve
valve body
metal diaphragm
seat
ultra
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JP3748587U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図から第６図は本考案の実施例を示し、第
１図はその一実施例を示す止弁の縦断面図、第２
図は他の実施例を示す部分図、第３図から第６図
はそれぞれダイヤフラム弁体のさらに他の実施例
を示す縦断面図で、第７図は従来例を示す止弁の
縦断面図、第８図は改良例１を示す部分図、第９
図は改良例２を示す部分図である。 １…止弁、２…弁箱、５…弁座、８…弁体取付
座、９…金属ダイヤフラム弁体、９ａ…弁体周縁
部、９ｂ…弁体中央部、１３…固定用ねじ、１４
…弁操作軸、１４ａ…出力部、Ａ…開弁位置、Ｂ
…閉弁位置。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 超高純ガス用止弁１の弁箱２内の弁座５の外周
    部に環状の弁体取付座８を形成し、弁体取付座８
    に金属ダイヤフラム弁体９の弁体周縁部９ａを固
    定用ねじ１３で押圧して封止固定し、金属ダイヤ
    フラム弁体９の弁体中央部９ｂを弁座５に弁操作
    軸１４で開閉操作するように構成した超高純度ガ
    ス用金属ダイヤフラム弁体形止弁において、 金属ダイヤフラム弁体９を弁座５側から見て弁
    体中央部９ｂが弁体周縁部９ａよりも後退する複
    曲凹入面に形成し、弁体中央部９ｂを弁座５から
    離れた開弁位置Ａに弾性復帰自在に位置させると
    ともに、弁座５に接当する閉弁位置Ｂに弾性曲げ
    変形可能に構成し、弁体中央部９ｂに弁操作軸１
    ４の出力部１４ａを接当させた事を特徴とする超
    高純度ガス用金属ダイヤフラム弁体形止弁。
JP3748587U 1987-03-13 1987-03-13 Pending JPS63145064U (ja)

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JP3748587U JPS63145064U (ja) 1987-03-13 1987-03-13

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JP3748587U JPS63145064U (ja) 1987-03-13 1987-03-13

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JPS63145064U true JPS63145064U (ja) 1988-09-26

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JP3748587U Pending JPS63145064U (ja) 1987-03-13 1987-03-13

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6415576A (en) * 1987-07-09 1989-01-19 Hitachi Metals Ltd Metallic diaphragm valve
JPH0550249U (ja) * 1991-12-09 1993-07-02 テイサン株式会社 ガス貯蔵容器用パージ弁
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JP2016505125A (ja) * 2013-02-01 2016-02-18 スウエイジロク・カンパニー 溶接されたダイヤフラム弁座担体を有するダイヤフラム弁
JP2023014374A (ja) * 2013-07-09 2023-01-26 デカ・プロダクツ・リミテッド・パートナーシップ 弁装置およびシステム

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JP2020046076A (ja) * 2013-02-01 2020-03-26 スウエイジロク・カンパニー 溶接されたダイヤフラム弁座担体を有するダイヤフラム弁
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