JPS63144635U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63144635U JPS63144635U JP1987035838U JP3583887U JPS63144635U JP S63144635 U JPS63144635 U JP S63144635U JP 1987035838 U JP1987035838 U JP 1987035838U JP 3583887 U JP3583887 U JP 3583887U JP S63144635 U JPS63144635 U JP S63144635U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- reticle
- mounting
- confirmation signal
- screen frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 4
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す斜視図、第
２図は同じくその平面図、第３図は同じくその規
制部材の固定構造の一部を拡大して示す断面図、
第４図は規制部材の他の固定構造を示す拡大断面
図、第５図はレチクル枠の構成を示す分解斜視図
である。 １……レチクル、２……レチクル枠、１１……
画面枠、１２……ガイド部材、１５，１５ａ，１
５ｂ，１５ｃ……規制部材、１９……絶縁体、｛
２０……電源、２１……ＬＥＤ｝装着確認信号発
生手段。
２図は同じくその平面図、第３図は同じくその規
制部材の固定構造の一部を拡大して示す断面図、
第４図は規制部材の他の固定構造を示す拡大断面
図、第５図はレチクル枠の構成を示す分解斜視図
である。 １……レチクル、２……レチクル枠、１１……
画面枠、１２……ガイド部材、１５，１５ａ，１
５ｂ，１５ｃ……規制部材、１９……絶縁体、｛
２０……電源、２１……ＬＥＤ｝装着確認信号発
生手段。
Claims (1)
- プリント基板の投影露光装置の画面枠に平行に
挿入されるレチクル枠の装着構造において、該レ
チクル枠の側端面及び前端面の装着位置を規制す
る規制部材を上記投影露光装置の画面枠に絶縁し
て設けると共に、これらの規制部材と上記画面枠
との間に装着確認信号発生手段を接続し、上記レ
チクル枠装着時、該レチクル枠を介して上記規制
部材と上記画面枠とが導通することにより、上記
装着確認信号発生手段が装着確認信号を発するよ
うにしたことを特徴とするレチクル枠の装着構造
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987035838U JPS63144635U (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987035838U JPS63144635U (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63144635U true JPS63144635U (ja) | 1988-09-22 |
Family
ID=30845689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987035838U Pending JPS63144635U (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63144635U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5073174A (ja) * | 1973-11-02 | 1975-06-17 | ||
| JPS584150A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-11 | Fujitsu Ltd | 露光装置 |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP1987035838U patent/JPS63144635U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5073174A (ja) * | 1973-11-02 | 1975-06-17 | ||
| JPS584150A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-11 | Fujitsu Ltd | 露光装置 |