JPS63138347A - Formation of photosolder-resist coating - Google Patents

Formation of photosolder-resist coating

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JPS63138347A
JPS63138347A JP28526386A JP28526386A JPS63138347A JP S63138347 A JPS63138347 A JP S63138347A JP 28526386 A JP28526386 A JP 28526386A JP 28526386 A JP28526386 A JP 28526386A JP S63138347 A JPS63138347 A JP S63138347A
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JP
Japan
Prior art keywords
solder resist
resist material
exposure
photo solder
dye
Prior art date
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Pending
Application number
JP28526386A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toru Nakai
通 中井
Tatsuya Okunishi
奥西 達也
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Publication date
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Priority to JP28526386A priority Critical patent/JPS63138347A/en
Publication of JPS63138347A publication Critical patent/JPS63138347A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically

Abstract

PURPOSE:To enable alignment of a printed wiring board and an exposure mask before photocuring a photosolder-resist layer by forming an image capable of confirming the position of the exposure mask with vision by irradiating light on a layer composed of a high polymer for the alignment. CONSTITUTION:A liquid photosolder-resist material (a) is applied on the substrate (c) of the printed wiring board followed by applying a solution (b) of the high polymer which has transparency for an active ray and contains a dye capable of effecting photolysis at a specific wavelength range on the obtd. substrate. The obtd. substrate irradiate the light (e) through the exposure mask (f), thereby effecting the photolysis of the dye and the alignment exposure, and the active light (g) is irradiated to the photosolder-resist (a) to effect the photocuring exposure. And, the photosolder-resist material (a) is developed, followed by removing the cured part of the photosolder-resist material. The high polymer coating (b) irradiates the light having the specific wavelength range in the amount necessary for effecting the photolysis of the dye, thereby confirming the position of the exposure mask with vision by referring to the discoloring and the undiscoloring parts of the dye, respectively.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、プリント配線板のフすトソルダーレジスト被
膜の形成方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method for forming a foot solder resist film for a printed wiring board.

(従来技術) 従来より、プリント配線板のためのソルダーレシスト被
膜は、印刷ソルダーレジストインクをスクリーン印刷法
によりプリント配線板上に塗布することにより製造され
てきたが、この印刷時のソルダーレジストインクのにじ
みや、印刷後のブリート現象といった問題点を有するた
め、高精度化の対応が困難であった。
(Prior Art) Conventionally, solder resist coatings for printed wiring boards have been manufactured by applying printed solder resist ink onto printed wiring boards using a screen printing method. Because of problems such as bleeding and bleed phenomenon after printing, it has been difficult to achieve high precision.

こうした問題点を解決するため、高解像性を有し高精度
化に対応可能なフィルム状フォトソルダーレジストが市
販された。しかし、このようなフィルム状フォトソルダ
ーレジストは耐熱性が十分でなく、加えて、真空ラミネ
ーターを使っての熱圧着の際に気泡が生じ易く、更に高
密度なパターン間へのきわ入りが悪いため、ソルダーレ
ジスト被膜のフクレ及び密着不良が発生し易く、最近の
プリント配線板の高密度化に対応しきれなくなってきた
In order to solve these problems, a film-like photo solder resist that has high resolution and can support high precision has been commercially available. However, such film-like photo solder resists do not have sufficient heat resistance, and in addition, bubbles tend to form during thermocompression bonding using a vacuum laminator, and it is difficult to fit the edges between dense patterns. , blistering of the solder resist film and poor adhesion are likely to occur, and it has become impossible to cope with the recent increase in the density of printed wiring boards.

このため、特開昭61−272号公報に示すごとく、耐
熱性向上のために、エポキシ樹脂をベースとし、密着性
、耐熱性、耐溶剤性、絶縁特性にすぐれた液状フォトソ
ルダーレジストが開発されるに至った。ところが、この
ような液状フォトソルダーレジストを使用して、プリン
ト配線板の高精度化および高密度化に対応したソルダー
レジスト被膜を形成するには、露光作業時に露光マスク
の伸縮を考えなくてもすむ、ガラス乾板を使用してのビ
ン合わせ露光が必要になる。しかしながら、ガラス乾板
による露光を行う際のプリント配線板と露光マスクとの
位置ずれは、ガラス乾板の感光乳剤が銀塩を生体にした
ものであるため露光時にはまつたく確認できない、露光
マスクとプリント配線板との位置関係は露光直後に目で
みて確認できるのが製造上便利であるか、現在のところ
露光直後に光が当ったソルダーレジスト部分と光が当っ
ていないソルダーレジスト部分を目でみて確認できる液
状フォトソルダーレジストは知られておらず、そのため
現像終了時でないとプリント配線板と露光マスクとの位
置ずれによるソルダーレジスト被膜のずれが確認できな
いという問題があった。
For this reason, as shown in JP-A No. 61-272, a liquid photo solder resist based on epoxy resin with excellent adhesion, heat resistance, solvent resistance, and insulation properties was developed to improve heat resistance. It has come to pass. However, in order to use such a liquid photo solder resist to form a solder resist film that is compatible with higher precision and higher density printed wiring boards, there is no need to consider the expansion and contraction of the exposure mask during exposure work. , a binning exposure using a glass dry plate is required. However, when performing exposure using a glass dry plate, the positional misalignment between the printed wiring board and the exposure mask cannot be clearly confirmed during exposure because the photosensitive emulsion of the glass dry plate is a living body of silver salt. Is it convenient for manufacturing to be able to visually check the positional relationship with the board immediately after exposure?Currently, right after exposure, you can visually check the parts of the solder resist that are exposed to light and the parts of the solder resist that are not exposed to light. There is no known liquid photo solder resist that can be produced, and therefore, there is a problem in that it is not possible to confirm displacement of the solder resist film due to misalignment between the printed wiring board and the exposure mask until after development has been completed.

(発明が解決しようとする問題点) このように、プリント配線板のソルダーレジストは高精
度化、高密度化の要求に応える形で、印刷ソルダーレジ
ストインクから、フィルム状フォトソルダーレジスト、
更には、液状フォトソルダーレジストというように、高
密度化されたプリント配線板のためのソルダーレジスト
被膜を形成する材料としての改良は日進月歩で行われて
きたが、材料の変化に伴なう露光作業の簡略化がこれに
伴なっていないのである。すなわち、前述したように1
例えば液状フォトソルダーレジストの露光作業にあって
は、ピンにより位置合わせされるガラス乾板を使用した
露光マスクを使用しなければならないのであるか(ガラ
ス乾板露光)、この露光作業によっては当該フォトソル
ダーレジストに作業者の目でみて判断できる変化はない
から。
(Problems to be Solved by the Invention) As described above, solder resists for printed wiring boards have changed from printed solder resist inks to film-like photo solder resists, in response to demands for higher precision and higher density.
Furthermore, improvements such as liquid photo solder resist as a material for forming solder resist coatings for high-density printed wiring boards have been progressing rapidly, but the exposure work that accompanies changes in materials has been made. This is not accompanied by the simplification of . That is, as mentioned above, 1
For example, when exposing liquid photo solder resist, do you have to use an exposure mask that uses a glass dry plate that is aligned with pins (glass dry plate exposure)? This is because there are no changes that can be judged by the operator's eyes.

このフォトソルダーレジストが正確な位置でしかも確実
に露光されているか否かは現像してみないと分らないの
である。このため、装造作業においては、プリント配線
板と露光マスクとの位lずれを確認するために、先行量
を現像まで流す必要があった。更には、現像絆了後、プ
リント配線板と露光マスクとの位置ずれが確認された先
行量は、7オトソルダーレジスト材を剥離して、再度フ
ォトソルダーレジスト材を塗布する再生工程が必要であ
った。また、露光直後に、露光品が未露光品との区別が
つかないため、露光忘れ品、二重露光量の発生という問
題があったのである。換言すれば、プリント配線板の高
密度化に対応できるフォトソルダーレジスト被膜用の材
料は開発されたとしても、これを実際の製造作業上にお
いて使い易くした方法は何ら提案されていなかったので
ある。
It is not possible to know whether the photo solder resist has been exposed at the correct position and reliably until it is developed. For this reason, in the assembly work, it was necessary to run the preceding amount until development in order to confirm the misalignment between the printed wiring board and the exposure mask. Furthermore, after the development bond is completed, if the positional deviation between the printed wiring board and the exposure mask is confirmed, it is necessary to perform a reprocessing process in which the photo solder resist material is peeled off and the photo solder resist material is applied again. Ta. Furthermore, immediately after exposure, exposed items cannot be distinguished from unexposed items, resulting in problems such as unexposed items and double exposure. In other words, even if materials for photo solder resist coatings that can cope with higher density printed wiring boards have been developed, no method has been proposed to make them easier to use in actual manufacturing operations.

そこで、発明者等は、改良されたフォトソルダーレジス
ト被膜のための材料を効率良く使用することのてきる方
法について鋭、α研究してきた結果、この材料の上に当
該材料か光硬化しない光によって色調変化を来す染料を
有する被膜を形成し、この被膜を一旦露光することによ
り露光マスクの位置を明確化することかできることを新
規に知見し、本発明を完成したのである。
Therefore, the inventors have conducted intensive research on a method for efficiently using materials for improved photo solder resist coatings, and have found that the materials can be coated on top of the materials by non-photocuring light. The present invention was completed based on the new finding that the position of the exposure mask can be clarified by forming a film containing a dye that causes a color tone change and once exposing this film to light.

本発明は、以上のような従来の問題に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは高精度化、高密度化対応
可使で、プリント配線板と露光マスクとの位置ずれか位
置合せのための露光作!後に目で確認でき、光硬化露光
より前に確認できる液状フォトソルダーレジスト被膜の
形成方法を提供することにある。
The present invention was made in view of the above-mentioned conventional problems, and its purpose is to enable use with high precision and high density, and to solve the problem of misalignment or alignment between a printed wiring board and an exposure mask. Exposure work for! It is an object of the present invention to provide a method for forming a liquid photosolder resist film that can be visually confirmed afterwards and can be confirmed before photocuring exposure.

(問題点を解決するための手段) 以上のような問題点を解決するために、本発明かとった
手段は、感光基としてアクリル基もしくはメタグリル基
を有し、熱硬化基としてエポキシ基を有する液状のフォ
トソルダーレジスト材であって、硬化剤を含有した液状
のフォトソルダーレジスト材を、プリント配線板りに塗
布してから屹帰する工程と、特定の波長域において光分
解する染料を含有した活性光線に対して透fJIな高分
子重合体からなる溶液を前記フォトソルダーレジスト材
上に塗布してから乾煙して、高分子重合体からなる被膜
を形成する工程と、露光マスクを介してItI記高分子
川合用からなる被膜に対して光照射を行い、染料を光分
解させて位置合せ露光を行う工程と、前記露光マスクを
介して前記フォトソルダーレジスト材に対して活性光線
を照射して光硬化露光を行う工程と、高分子重合体から
なる被膜を洞離してから、現像を行ワて未硬化部分のフ
ォトソルダーレジスト材を除去する工程と、光硬化した
部分のフォトソルダーレジスト材をさらに熱硬化させる
工程からなることを特徴とするフォトソルダーレジスト
被膜の形成方法である。
(Means for Solving the Problems) In order to solve the above-mentioned problems, the means taken by the present invention is to provide a photosensitive resin having an acrylic group or a metagril group as a photosensitive group and an epoxy group as a thermosetting group. A liquid photo solder resist material that includes a process of applying a liquid photo solder resist material containing a hardening agent to a printed wiring board and then returning it, and a dye that photodecomposes in a specific wavelength range. A step of applying a solution made of a polymer that is transparent to actinic rays onto the photo solder resist material and then drying it to form a film made of the polymer, and applying it through an exposure mask. A step of irradiating a film made of ItI polymer with light to photodecompose the dye and performing alignment exposure, and irradiating the photo solder resist material with actinic rays through the exposure mask. a step of performing photocuring exposure to light, a step of removing the uncured portion of the photo solder resist material by removing the film made of the high molecular weight polymer, and a step of removing the photo solder resist material of the photo cured portion. This is a method for forming a photo solder resist film, which comprises the step of further thermally curing the photo solder resist film.

ここで、アクリル基もしくはメタクリル基は、液状のフ
ォトソルダーレジスト材に光硬化性を付与するものであ
り、エポキシ基は、液状のフォトソルダーレジスト材に
熱硬化性を付与し、なおかつ液状のフォトソルダーレジ
スト被膜に耐熱性を付与するものである。硬化剤は、フ
ォトソルダーレジスト材の熱硬化速度をはやめ、さらに
は密着性、耐溶剤性、絶縁特性を付与するためのもので
ある。
Here, the acrylic group or methacrylic group imparts photocurability to the liquid photosolder resist material, and the epoxy group imparts thermosetting properties to the liquid photosolder resist material, and also imparts photocurability to the liquid photosolder resist material. It imparts heat resistance to the resist film. The curing agent is used to speed up the thermal curing speed of the photo solder resist material, and to impart adhesion, solvent resistance, and insulation properties.

硬化剤の例としては、三弗化ホウ素アルキルアミン錯体
、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾー
ル類、トリメチルベンジルアンモニウムクロリド等の4
級アミン塩、ジシアンジアミド、イソホロンジアミン等
のポリアミン類が挙げられるか、保存安定性の面からイ
ミダゾール類か好ましい。
Examples of curing agents include boron trifluoride alkylamine complexes, imidazoles such as 2-ethyl-4-methylimidazole, and 4-curing agents such as trimethylbenzylammonium chloride.
Examples include polyamines such as amine salts, dicyandiamide, and isophorone diamine, and imidazoles are preferred from the viewpoint of storage stability.

なお、この液状のフォトソルダーレジスト材中には、毛
記の硬化剤のほか、顔料、充填剤、難燃剤、消泡剤、溶
剤を添加することもできる。
In addition to the hardening agent described above, pigments, fillers, flame retardants, antifoaming agents, and solvents can also be added to this liquid photo solder resist material.

液状のフォトソルダーレジスト材の塗布方法としては、
カーテンコート法、スクリーン印刷法、ロールコート法
が挙げられる。
The method for applying liquid photo solder resist material is as follows:
Examples include curtain coating method, screen printing method, and roll coating method.

染料としては1通常の黄色灯下で使用できるものがよく
、 :1100n〜500nm、好ましくは350nm
〜400nrnの波長域にて光分解して退色するものが
好ましく、このようなものとしてクリスタルバイオレッ
ト、メチレンブルー、ローダミンBか使用できる。
The dye should preferably be one that can be used under normal yellow light;
A material that photodecomposes and fades in the wavelength range of ~400 nrn is preferable, and crystal violet, methylene blue, or rhodamine B can be used as such materials.

高分子重合体としては、ポリビニルアルコール、ゼラチ
ン等の水溶性高分子重合体か好ましい、水溶性高分子重
合体が好ましい理由としては、位置合せ露光を行った際
に、位置ずれが判明した場合は、この高分子重合体から
なる被膜のみを水洗もしくは温水洗によって筒中に21
離することができ、新たな水溶性高分子重合体を再度塗
布して被膜を容易に再形成できるからである。
As the polymer, water-soluble polymers such as polyvinyl alcohol and gelatin are preferable.The reason why water-soluble polymers are preferable is that when alignment exposure is performed, if misalignment is found, , only the coating made of this high molecular weight polymer was washed with water or hot water to make the cylinder 21cm thick.
This is because the film can be easily re-formed by reapplying a new water-soluble polymer.

さらに好ましくは、この高分子重合体からなる溶液に分
解促進剤を添加することが好ましい、その理由は、この
分解促進剤は少ない光量で染料を分解させるために効果
的だからである。この分解促進剤の例としては、ベンゾ
フェノン、ミヒラーケトン等のベンゾフェノン類、2−
エチルアントラキノン等のアントラキノン類、ベンゾイ
ンおよびそのアルキルエーテル誘導体などのアシロイン
類が挙げられ、通常0.1−10%の範囲で効果が得ら
れる。染料の添加量としては、高分子重合体に対して0
.1S10%がよく、さらに好ましくは1〜3%である
More preferably, a decomposition accelerator is added to the solution made of this high molecular weight polymer, because this decomposition accelerator is effective in decomposing the dye with a small amount of light. Examples of this decomposition accelerator include benzophenones such as benzophenone and Michler's ketone, 2-
Examples include anthraquinones such as ethyl anthraquinone, acyloins such as benzoin and its alkyl ether derivatives, and effects are usually obtained in the range of 0.1-10%. The amount of dye added is 0 to the high molecular weight polymer.
.. 1S is preferably 10%, more preferably 1 to 3%.

高分子重合体からなる溶液の塗布方法としては、ディッ
プコート法、カーテンコート法、ロールコート法が挙げ
られるが、作業性の面からディップコート法が好ましい
Examples of methods for applying a solution made of a high molecular weight polymer include a dip coating method, a curtain coating method, and a roll coating method, and the dip coating method is preferable from the viewpoint of workability.

本発明によるとガラス乾板露光作業において。According to the invention, in a glass plate exposure operation.

まず前記高分子重合体被膜に対して、染料が光分解する
のに必要なだけの特定波長域の光照射を行って高分子重
合体被膜のみの露光するのである。
First, the polymer coating is irradiated with light in a specific wavelength range necessary for photodecomposing the dye, so that only the polymer coating is exposed.

これにより、露光マスクに対応した像が当該高分子重合
体被膜に現われるから、この像を参照してプリント配線
板と露光マスクとの位置ずれを確認するのである。すな
わち、高分子重合体被膜に対して染料が光分解するのに
必要なだけの特定波長城の光照射を行なうことによって
、光照射部の染料は退色し、光束照射部の染料は色が変
化しないのである。従って、この染料の退色部分及び未
退色部分を参照すれば、視覚による位置確認が可能とな
るのである。よって、プリント配線板と露光マスクとの
位置ずれを確認するために、先行品を現像まで流す必要
はなくなり、プリント配線板と露光マスクとの位置ずれ
が確認された先行品を再生する必要もなくなる。更に、
露光忘れ品、二重露光量の発生も無くなるのである。
As a result, an image corresponding to the exposure mask appears on the polymer film, and the positional deviation between the printed wiring board and the exposure mask is confirmed by referring to this image. In other words, by irradiating the polymer coating with light at a specific wavelength that is sufficient for the dye to photodecompose, the dye in the light irradiated area will fade, and the color of the dye in the light beam irradiated area will change. I don't. Therefore, by referring to the faded and unfaded areas of the dye, it is possible to visually confirm the position. Therefore, there is no need to run the previous product through development to check for misalignment between the printed wiring board and exposure mask, and there is no need to recycle the previous product where misalignment between the printed wiring board and exposure mask has been confirmed. . Furthermore,
This also eliminates the occurrence of unexposed items and double exposure.

さらに本発明で使用される高分子重合体としてのポリビ
ニールアルコールやゼラチンは価格が安く、さらに染料
、光分解促進剤も使用量が少ないために、この高分子重
合体を再塗布してもコストには大きく影響されない。
Furthermore, polyvinyl alcohol and gelatin as the polymers used in the present invention are inexpensive, and the amount of dyes and photodegradation accelerators used is small, so it is costly to reapply the polymers. is not significantly affected.

又、液状のフォトソルダーレジスト材中に染料を混合し
ないので、熱硬化基であるエポキシ基の保存安定性がよ
く、更には、液状のフォトソルダーレジスト材中に染料
を混合しないので、液状のフォトソルダーレジスト材中
の顔料の色と染料の色が混じりあうことがなく、露光後
の色の変化がはっきり認識できるのである。
In addition, since no dye is mixed into the liquid photo solder resist material, the storage stability of the epoxy group, which is a thermosetting group, is good. The color of the pigment and the color of the dye in the solder resist material do not mix, and the change in color after exposure can be clearly recognized.

(発明の作用) 本発明が以上のような子役を採ることによって、以下の
ような作用がある。
(Actions of the Invention) By employing the child actors as described above, the present invention has the following effects.

本発明による、フォトソルダーレジスト被膜の形成方法
においては、高分子重合体被膜に対して染料が光分解す
るのに必要なだけの特定波長城の光照射を行なうことに
よって、光照射部の染料は退色し、光束照射部の染料は
色か変化しない。
In the method for forming a photo solder resist film according to the present invention, the dye in the light irradiated area is The color fades, and the dye in the light beam irradiation area does not change color.

従って、この染料の退色部分及び未退色部分を参照すれ
ば、視覚による位置確認か可能となるのである。
Therefore, by referring to the faded and unfaded areas of the dye, it is possible to visually confirm the position.

次に、プリント配線板と露光マスクとの位置ずれを確認
して、微2gl!を行った後、フォトソルダーレジスト
材を光硬化させるための活性光線を照射することにより
、フォトソルダーレジスト材の必要な部分を光硬化させ
る。この場合、フォトソルダーレジスト材と染料か混合
されておらず層状に分離されているため、フォトソルダ
ーレジスト材中のエポキシ基と染料との反応が起こらな
いのである。
Next, check the positional misalignment between the printed wiring board and the exposure mask, and find out that it is only 2gl! After performing this, necessary portions of the photosolder resist material are photocured by irradiating actinic rays for photocuring the photosolder resist material. In this case, the photosolder resist material and the dye are not mixed and are separated into layers, so that no reaction occurs between the epoxy groups in the photosolder resist material and the dye.

次に、本発明を実施例について詳述する。Next, the present invention will be described in detail with reference to examples.

(実施例) 以下の各実施例において使用される液状のフォトソルダ
ーレジスト材の組成を以下に示す。
(Example) The composition of the liquid photosolder resist material used in each of the following examples is shown below.

アクリル変性エポキシ樹脂      30gポリ(ス
チレン/メタクリル酸/メタクリル酸β−ヒドロキシエ
チル)50g P−メトキシフェノール       0.1gベンゾ
インメチルエーテル       3g2−エチル−4
−メチルイミダゾール 15gメチルエチルケトン  
      2001文フタロシアニングリーン   
   0.5gシリコンオイル          0
.75g実施例1 前記液状のフォトソルダーレジスト材を、プリント配線
板にカーテンコート法にて塗布し、15分間の風乾の後
、80℃で20分間の指触乾燥を行った。(第1図参照
) 次に、このプリント配線板に下記の組成の高分子重合体
からなる溶液を、ディップコート法にて塗布し、15分
間の風乾の後、40°Cで30分間乾燥し、フォトソル
ダーレジスト材のトにこの高分子重合体からなる被膜を
形成した。(第2図参照)ポリビニールアルコール(平
均重合度1500、けん化度86.5〜89.0sof
fi$ )      5部クリスタルバイオレット 
      0.02部水             
             9581次に、このように
して形成された高分子重合体被膜に対してガラス乾板を
使用し、はじめに、波長域350〜400n■の光を照
射して(第3図参照)、プリント配線板と露光マスクと
の位置ずれの有無を確認した0位置ずれに関しては問題
がなかったので、ガラス乾板の位置はそのままにし、高
圧水銀灯を使用して、フォトソルダーレジスト材に対し
て500sJ/am″の活性光線を照射しく第4図参照
)、フォトソルダーレジスト材を光硬化させた。
Acrylic modified epoxy resin 30g Poly(styrene/methacrylic acid/β-hydroxyethyl methacrylate) 50g P-methoxyphenol 0.1g Benzoin methyl ether 3g 2-ethyl-4
-Methylimidazole 15g Methyl ethyl ketone
2001 sentence phthalocyanine green
0.5g silicone oil 0
.. 75g Example 1 The liquid photo solder resist material was applied to a printed wiring board by a curtain coating method, air-dried for 15 minutes, and then dried to the touch at 80° C. for 20 minutes. (See Figure 1) Next, a solution consisting of a high molecular weight polymer having the following composition was applied to this printed wiring board using a dip coating method, air-dried for 15 minutes, and then dried at 40°C for 30 minutes. A film made of this high molecular weight polymer was formed on top of the photo solder resist material. (See Figure 2) Polyvinyl alcohol (average degree of polymerization 1500, degree of saponification 86.5-89.0 sof
fi$) Part 5 Crystal Violet
0.02 parts water
9581 Next, using a glass dry plate, the polymer film thus formed was first irradiated with light in the wavelength range of 350 to 400 nm (see Figure 3) to form a printed wiring board. We checked for any misalignment with the exposure mask. Since there was no problem with the zero misalignment, we left the glass dry plate in the same position and used a high-pressure mercury lamp to apply an activity of 500 sJ/am'' to the photo solder resist material. The photo solder resist material was photocured by irradiating it with light (see Figure 4).

高分子重合体被膜は、50℃の湯洗槽中に1分間浸漬し
て溶解剥離しく第5図参照)、水切り乾燥の後現像を行
って不要部のフォトソルダーレジスト材を除去した。
The polymer film was immersed in a hot water bath at 50° C. for 1 minute to dissolve and peel off (see FIG. 5), drained and dried, and then developed to remove unnecessary portions of the photo solder resist material.

最後に150℃で1時間熱硬化させることにより、第6
図に示したようなフォトソルダーレジスト被膜が形成で
きた。
Finally, by heat curing at 150°C for 1 hour, the 6th
A photo solder resist film as shown in the figure was formed.

実施例2 前記液状のフォトソルダーレジスト材を、プリント配線
板にカーテンコート法にて塗布し、15分間の風乾の後
、80°Cで20分間の指触乾燥を行った。
Example 2 The liquid photo solder resist material was applied to a printed wiring board by a curtain coating method, air-dried for 15 minutes, and then dried to the touch at 80° C. for 20 minutes.

この上から、下記の組成の高分子重合体からなる溶液を
ディップコート法にて塗布し、15分間の風乾の後、4
0°Cで3 a >、)間乾燥し、フォトソルダーレジ
スト材の上に約1〜2gmの高分子重合体からなる被膜
を形成した。
A solution consisting of a high molecular weight polymer having the following composition was applied on top of this using the dip coating method, and after air-drying for 15 minutes,
It was dried at 0° C. for 3 a >,) to form a film of about 1 to 2 gm of high molecular weight polymer on the photo solder resist material.

ポリビニールアルコール(平均重合度1500、けん化
度86.5〜89.0■0文%)      5部メチ
レンブルー           0.02部ベンゾフ
ェノン           0.02部水     
                     95部こ
れ以下の工程を実施例1と同様に行った。
Polyvinyl alcohol (average degree of polymerization 1500, degree of saponification 86.5-89.0■0%) 5 parts Methylene blue 0.02 parts Benzophenone 0.02 parts Water
95 parts The following steps were carried out in the same manner as in Example 1.

及ム璽ユ 前記液状のフォトソルダーレジスト材を、プリント配線
板にカーテンコート法にて!!pi布し、15分間の風
乾の後、80℃で20分間の指触乾燥を行った。
Apply the liquid photo solder resist material to the printed wiring board using the curtain coating method! ! After drying in the air for 15 minutes, drying to the touch was performed at 80° C. for 20 minutes.

この−ヒから、下記の組成の高分子重合体からなる溶液
をディップコート法にて塗布し、15分間の風乾の後、
48℃で30分間乾燥し、フォトソルダーレジスト材の
上に高分子重合体からなる被膜を形成した。
From this step, a solution consisting of a high molecular weight polymer having the following composition was applied using the dip coating method, and after air drying for 15 minutes,
It was dried at 48° C. for 30 minutes to form a film made of a high molecular weight polymer on the photo solder resist material.

ポリビニールアルコール(平均重合度1500、けん化
度86.5〜89.0soJ1% )      5部
クリスタルバイオレット      0.0.411ベ
ンゾフエノン          0.01部ミヒラー
ケトン          0.01部水      
                    95部以上
の実施例における露出マスクとしては、所望の回路が形
成されたガラス乾板を使用し、はじめに波長域350〜
4QOnmの光を照射して、プリント配線板と露光マス
クとの位置ズレの有無を確認したところ、位置ずれか発
生していることが目視により確認された。
Polyvinyl alcohol (average degree of polymerization 1500, degree of saponification 86.5-89.0 soJ1%) 5 parts Crystal violet 0.0.411 Benzophenone 0.01 part Michler's ketone 0.01 part Water
As the exposure mask in the example of 95 copies or more, a glass dry plate on which the desired circuit is formed is used, and the wavelength range from 350 to
When 4Q Onm light was irradiated to check for any misalignment between the printed wiring board and the exposure mask, it was visually confirmed that some misalignment had occurred.

この位置ずれを修正すべく、ガラス乾板の位置のW1調
整を行うとともに、プリント配板線と露光マスクとの位
置ずれの確認に使用されたプリント配線板を50℃の湯
洗槽中に1分間浸漬し、高分子重合体からなる被膜のみ
を溶解剥離させて木切り乾燥した。その後、前記各組成
の高分子重合体からなる溶液を、ディップコート法によ
り7オトソルダーレジスト材の上に塗布し、15分間の
風乾の′後、40℃で30分間乾燥して、このフォトソ
ルダーレジスト材の上に再度高分子重合体からなる被膜
を形成した。
In order to correct this misalignment, the W1 adjustment was made to the position of the glass dry plate, and the printed wiring board used to confirm the misalignment between the printed wiring line and the exposure mask was placed in a hot water bath at 50°C for 1 minute. The wood was immersed, and only the coating made of the high molecular weight polymer was dissolved and peeled off, and then the wood was cut and dried. Thereafter, a solution consisting of a polymer having each of the above compositions was applied onto the photo solder resist material by dip coating, air-dried for 15 minutes, and then dried at 40°C for 30 minutes to form the photo solder resist material. A film made of a high molecular weight polymer was again formed on the resist material.

以とのようにした後に、再度プリント配線板と露光マス
クとの位置ずれの確認のために位1合甘露光を行ったと
ころ問題がなかったので、活性光′線を照射してフォト
ソルダーレジスト材を光硬化させた。
After doing the above, I performed a light exposure again to confirm the misalignment between the printed wiring board and the exposure mask, and there was no problem, so I irradiated the photo solder resist with active light. The material was photocured.

次に、このプリント配線板を50°Cの湯洗槽中に1分
間浸漬し、高分子重合体からなる被膜を溶解剥離し、水
切り乾燥の後現像を行つてフォトソルダーレジスト材を
除去して、最後に150℃て1時間熱硬化させてフォト
ソルダーレジスト被膜を形成した。
Next, this printed wiring board was immersed in a hot water bath at 50°C for 1 minute to dissolve and peel off the coating made of high molecular weight polymer, and after draining and drying, development was performed to remove the photo solder resist material. Finally, a photo solder resist film was formed by heat curing at 150° C. for 1 hour.

実施例4 前記液状フォトソルダーレジスト材をプリント配線板の
片面上にカーテンコーターにて塗布し、15分間の風乾
の後、80℃て20分間の指触乾燥を行い、更に別の面
にも、上記方法にて塗布、風乾。
Example 4 The liquid photo solder resist material was applied onto one side of a printed wiring board using a curtain coater, air-dried for 15 minutes, and then dried to the touch at 80°C for 20 minutes. Apply using the above method and air dry.

指触乾燥を行った。Dry to the touch.

高分子重合体からなる溶液としては以下の組メのものを
使用した。
The following combination of solutions was used as a solution consisting of a high molecular weight polymer.

ゼラチン             5部クリスタルバ
イオレット      0.02部ベンシブエノン  
         0.02部水          
             95部その他の工程は実施
例1と同様に行った。
Gelatin 5 parts Crystal Violet 0.02 parts Bencibuenone
0.02 parts water
95 parts The other steps were carried out in the same manner as in Example 1.

以上のいずれの実施例においても、フォトソルダーレジ
スト材を光硬化させる前に、高分子重合体からなる被膜
中の染料のみを部分的に脱色させたので、プリント配線
板と露光マスクとの位置がずれている場合であっても、
これを目視により簡単に確認でき、従ってその位!!I
調整を容易に行うことができた。
In all of the above examples, only the dye in the coating made of high molecular weight polymer was partially bleached before photocuring the photo solder resist material, so that the position of the printed wiring board and the exposure mask was Even if it is out of alignment,
This can be easily confirmed visually, so that's it! ! I
Adjustments could be made easily.

(発明の効果) 以上詳述したように1本発明にあっては、上記実施例に
示した如く、高密度対応可能で、プリント配線板と露光
マスクとの位置ずれが位と合せ露光作業直後に目でみて
わかり、その場で1位置ずれの微調整が可能なフォトソ
ルダーレジスト被膜の形成方法を提供することができる
のである。
(Effects of the Invention) As detailed above, in the present invention, as shown in the above embodiment, it is possible to handle high density, and the positional deviation between the printed wiring board and the exposure mask is aligned and immediately after the exposure operation. This makes it possible to provide a method for forming a photo solder resist film that can be visually recognized and finely adjusted by one position shift on the spot.

すなわち、本発明に係るフォトソルダーレジスト被膜の
形成方法にあっては、フォトソルダーレジスト層の上に
染料を含む高分子重合体からなる層を形成するとともに
、7オトソルダ一レジスト層を光硬化させる前に位置合
わせのための光照射を高分子重合体からなる層に対して
行って露光マスクの位lを当該高分子重合体からなる層
に視覚て確認できるような像を形成するようにしたので
、プリント配線板と露光マスクとの位置合わせをフォト
ソルダーレジスト層の光硬化前に行うことができるので
ある。
That is, in the method for forming a photosolder resist film according to the present invention, a layer made of a high molecular weight polymer containing a dye is formed on a photosolder resist layer, and at the same time, before the photo-solder resist layer is photocured. The layer made of high molecular weight polymer is irradiated with light for positioning, so that an image that can be visually confirmed at the position of the exposure mask is formed on the layer made of high molecular weight polymer. , the printed wiring board and the exposure mask can be aligned before photocuring the photo solder resist layer.

また、高分子重合体からなる層を水溶性のものとして形
成したので、もし、プリント配線板と露光マスクとが位
置ずれしていたとしても、わ該高分子重合体からなる層
を簡単に除去でき、この種のプリント配線板を形成する
にあたって、無駄のない作!を行うことがてきるのであ
る。
In addition, since the layer made of high molecular weight polymer is formed as a water-soluble material, even if the printed wiring board and the exposure mask are misaligned, the layer made of high molecular weight polymer can be easily removed. It is possible to create this type of printed wiring board without waste! It is possible to do this.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図〜第6UAのそれぞれは本発明のフォトソルダー
レジスト被膜の形成方法を順をおって説明する部分拡大
断面図であり、第1図はプリント配線板の基材上にフォ
トソルダーレジスト材を塗布した状態の断面図、第2図
はフォトソルダーレジスト材の上に高分子重合体からな
る被膜を形成した状態の断面図、第3図は高分子重合体
からなる被膜中の染料のみを脱色する光を照射している
状態の断面図、第4図はフォトソルダーレジスト材の露
光を行っている状態の断面図、第5図は高分子重合体か
らなる被膜を除去した状態の断面図、第6図はフォトソ
ルダーレジスト材を熱硬化した後の状態の断面図である
。 符   号   の   説   明 a・・・フォトソルダーレジスト材、b・・・高分子重
合体からなる被膜、c−(プリント配線板の)基材、d
・・・導体回路、e・・・光、f・・・露光マスク−1
g・・・活性光線。 以   上
Each of FIGS. 1 to 6 UA is a partially enlarged cross-sectional view illustrating the method of forming a photo solder resist film of the present invention in order, and FIG. A cross-sectional view of the coated state; Figure 2 is a cross-sectional view of the state in which a film made of a polymer is formed on the photo solder resist material; Figure 3 is a cross-sectional view of the state in which a film made of a polymer is formed on the photo solder resist material; FIG. 4 is a cross-sectional view of the photo solder resist material being exposed to light; FIG. 5 is a cross-sectional view of the photo solder resist material with the coating removed. FIG. 6 is a cross-sectional view of the photo solder resist material after it has been thermally cured. Explanation of symbols a... Photo solder resist material, b... Coating made of high molecular polymer, c- Base material (of printed wiring board), d
...Conductor circuit, e...Light, f...Exposure mask-1
g...Active rays. that's all

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)、以下の第1工程〜第6工程を順次行うことを特徴
とするフォトソルダーレジスト被膜の形成方法。 (イ)感光基としてアクリル基もしくはメタクリル基、
熱硬化基としてエポキシ基を共に有する液状のフォトソ
ルダーレジスト材であって、硬化剤を含有した液状のフ
ォトソルダーレジスト材をプリント配線板の基材上に塗
布してから乾燥する第1工程。 (ロ)特定の波長域において光分解する染料を含有し、
活性光線に対して透明な高分子重合体からなる溶液を、
前記フォトソルダーレジスト材上に塗布してから乾燥し
て、高分子重合体からなる被膜を形成する第2工程。 (ハ)露光マスクを介して前記高分子重合体からなる被
膜に対して光照射を行い、前記染料を光分解させて位置
合せ露光を行う第3工程。 (ニ)前記露光マスクを介して前記フォトソルダーレジ
スト材に対して活性光線を照射して光硬化露光を行う第
4工程。 (ホ)前記高分子重合体からなる被膜を剥離してから前
記フォトソルダーレジスト材の現像を行い、未硬化部の
フォトソルダーレジスト材を除去する第5工程。 (ヘ)光硬化した部分のフォトソルダーレジスト材をさ
らに熱硬化させる第6工程。
[Scope of Claims] 1) A method for forming a photo solder resist film, characterized by sequentially performing the following first to sixth steps. (a) Acrylic group or methacrylic group as a photosensitive group,
A first step of applying a liquid photosolder resist material containing a curing agent, which has an epoxy group as a thermosetting group, onto a base material of a printed wiring board and then drying it. (b) Contains a dye that photodecomposes in a specific wavelength range,
A solution made of a high molecular weight polymer that is transparent to actinic rays,
A second step of coating the photo solder resist material and drying it to form a film made of a high molecular weight polymer. (c) A third step of irradiating the film made of the high molecular weight polymer with light through an exposure mask to photodecompose the dye and performing positioning exposure. (d) A fourth step of irradiating the photo solder resist material with actinic rays through the exposure mask to perform photocuring exposure. (E) A fifth step of developing the photo solder resist material after peeling off the film made of the high molecular weight polymer, and removing the uncured portion of the photo solder resist material. (F) A sixth step of further heat-curing the photo-cured portion of the photo-solder resist material.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP4617031B2 (en) * 2001-08-24 2011-01-19 大日本印刷株式会社 EL device using photodegradable dye
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JP5643416B1 (en) * 2013-12-24 2014-12-17 互応化学工業株式会社 Manufacturing method of coated wiring board

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