JPS631337U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ａ〜ｅ及び第２図は本考案のウエハ一括
移送装置の一実施例を示すもので、第１図でａは
正面図、ｂ〜ｅは側面図を示す。第３図は従来装
置の一例、第４図ａ〜ｄは部分拡大図を示す。 １……本体、２……ウエハ、３１……カセツト
、３１１……溝、３２……ボート、３３……ケー
ス、４……ステージ、４１……穴、５……ガイド
、６……操作棒、７……動力系、８……制御系、
９……オリエンテーシヨンフラツト、１０……棒
、１１……ネジ、１３……窪み、１４……突起、
１０１……第１の棒、１０２……第２の棒。

補正 昭６１．１２．１２ 実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。

【実用新案登録請求の範囲】 ウエハと当該ウエハを回動またに移動する駆動
部材との間、ウエハを収容する収容部材と当該収
容部材をステージ上に支持する支持部材との間、
のいずれか一方若しくは双方に取りはずし可能で
、かつ汚染物の除去可能な介在部材を配置するこ
とを特徴とするウエハ一括移送装置。 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第１６頁第６行目の「１０２……第２の
棒」の次に次文を挿入する。 「３２′……ボートの脚部。」

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエハと、該ウエハを回動または移動する駆動
   部材との間、及びウエハを収容する収容部材と、
   該収容部材をステージ上に支持する支持部材との
   間に、夫々取りはずし可能で、かつ汚染物の除去
   可能な介在部材を配置することを特徴とするウエ
   ハ一括移送装置。