JPS63132114A - 渦電流センサの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は恒電気抵抗合金を使用した渦電流センサの製造
法に関するものである。

近年工場や各種現場ではロボットや自動化技術が盛んに
採用されて危険な作業や生産性の向上に貢献している。

これら技術システムの性能はマイクロプロセッサ−のイ
ンターフェースへの計測データを検知するセンサの性能
によって優劣が決まるといってよい。しかしセンサを取
扱う作業現場は良好な場所が少なく、むしろ非常に苛酷
な条件や危険性を伴う場合が普通であった。特に製鉄業
、化学工業、原子力関連産業や宇宙関連産業等における
温度、圧力あるいは変位等の各種計測に関しては、耐環
境性をクリアし、長期間使用に対して安定性が良く、保
守性に優れ、しかも安全性も良好な優れたセンサが求め
られるようになってきた。

例えば高歩留まり高品位の鉄鋼を一貫生産できる連続鋳
造プロセスの場合、高炉、タンプッシュや鋳型内の原料
パウダー量や溶鋼の場面レベル等の計測およびスラブの
厚さ、幅や圧延速度等の計測に使用するセンサは８００
〜１０００℃の高温と蒸気に曝されるため、これら厳し
い環境に耐えなければならないばかりでなく特性が長期
間安定していなければならない。上記の計測は従来γ線
やＸ線等の電離放射線を用いる方式が多く採用されてき
たが、装置が大型となり、人体への危険性も伴うなどの
欠点が多かった。そこで近年小型で取扱いの容易な渦電
流式変位計（以下単にセンサと呼ぶ）の使用が考えられ
るようになった。

さてセンサの性能はセンサコイル材によって決まるため
、その電気的特性および安定性は特に重要である。例え
ば上記連続鋳造プロセスの場合、８００〜ｉ　ｏｏｏ℃
の高温で数ケ月乃至数年間連続して稼働するため、セン
サコイル材に要求される条件は、電気抵抗の温度係数が
＋１００　ｐｐｍ／’Ｃ以下で長期間変化せず、さらに
は耐食性、耐酸化性および加工成形性が良好で、しかも
断線に関係深い耐熱応力破壊性に優れていることも重要
である。センサの特性は高温領域のみならず常温におけ
る較正計測も必要であるので、電気的特性が常温領域に
おいても高温領域と同様に優れたものでなければならな
い。

現在これらの条件に合致したセンサコイル材は全く皆無
であるため、関連産業界からその開発が強く要望されて
いる。

従来この種センサコイル材としては、本発明者らが先に
提案したパラジウム−銀系合金（特開昭５５−１２２８
３９号）およびパラジウム−鉄系合金（特開昭５８−銀
３３３２号）があるが、以下述べるようにいずれの合金
系においても一長一短がある。

すなわち前者の合金は高温における耐食性、耐酸化性お
よび加工性が良好で、しかも−５０〜６００″Ｃの広い
温度範囲にわたって電気抵抗の温度係数が±２０ｐｐｍ
／”Ｃ以下で極めて小さい特長を有する反面、−５０℃
以下および６００℃以上の温度では電気抵抗の温度係数
が＋１００　ｐｐｍ／”Ｃ以上の非常に大きな値を示す
ばかりでなく、この素材を使用したセンサを高温で長期
間連続稼動すると素材の結晶粒が粗大化して特性の劣化
が進行するだけでなく、最悪の場合断線によるトラブル
のため生産管理上大きな障害となることもしばしばであ
った。

また後者の合金の場合では規則−不規則変態点（６００
〜８００℃）以上融点（約１４００℃）近くまでの広い
温度範囲における電気抵抗の温度係数は＋１００Ｇｌｐ
！銀だＣ以下で小さく、しかも高温で長期間連続使用し
ても特性は極めて安定しているなどの特長がある反面、
規則−不規則変態点以下の温度では電気抵抗の変化が大
きく不安定であるばかりでなく、高温における耐酸化性
が著しく劣り、加工性も悪いためにその製造上および使
用上においては高度の工夫が必要であるなど多くの欠点
と制約があった。

そこで本発明者らはかかる関連産業の緊急の要請に応え
るべく半速上記のパラジウム−銀系合金およびパラジウ
ム−鉄系合金について比較検討した結果、量産における
製造上の取扱いが容易で、かつ加工性や成形性に優れた
パラジウム−銀系合金の改良を試みた。

すなわち本発明者らはパラジウム−銀系合金の恒電気抵
抗特性は伝導電子の格子振動による散乱と結晶の短範囲
規則性とがバランスした状態では電子の散乱が一定とな
り電気抵抗の変化を少なくするか、−５０℃以下および
６００℃以上ではこれら両回子のバランスが崩れるため
電子の散乱が多くなり恒電気抵抗特性を失うものと考え
た。因みに第１図にはパラジウム−銀系合金におけるＡ
ｇ量に対する電気抵抗の平均の温度係数を示す。

ここで曲線■、■および■はそれぞれ０〜４００℃、−
１５０℃〜１０００℃および一２００〜１２０℃の温度
間における電気抵抗の平均の温度係数である。第１図に
おいて、電気抵抗の平均の温度係数が＋１００　ｐｐｍ
／”Ｃ以下は、曲線ＩのＣ点（Ａｇ　３３．２％）〜ｄ
点（Ａｇ　４６．７％）間および曲線■のａ点（Ａｇ　
３６．０％）〜ｂ点（Ａｇ４５．５％）間の組成範囲で
得られるが、曲線■では全組成にわたって＋１００　ｐ
ｐｍ／”Ｃ以上で極めて大きい。以上の説明から、−１
５０℃〜１０００　’Ｃの広い温度範囲における電気抵
抗の平均の温度係数が＋１００ｐｐｍ　／”Ｃ以下を示
す組成範囲は曲線Ｉおよび曲線■においてＣ点〜ａ点問
およびｂ〜ｄ点間の組成を除いたＡｇ　３６．０　　（
ａ点）　〜４５．５（ｂ点）％間に限定される。

またセンサコイルの断線現象は、加工した材料を長期間
連続加熱することによって再結晶化し、さらに加熱時間
の増加とともに結晶粒が粗大成長化して、加熱および冷
却の繰り返しによる膨張や収縮等の外的要因が加わって
熱応力破壊が発生し、遂には断線するものと予想した。

すなわちセンサの高温安定性に密接に関連のある耐熱応
力破壊性を改善するための解決策としては、まず再結晶
温度を高めて結晶成長を抑止し、結晶粒径を出来るだけ
小さくすればよい。ついでセンサの使用温度および耐用
時間の上限を低く設定することも重要である。前者につ
いては合金の結晶微細化を図るため多元素添加が考えら
れる。また後者については合金およびセンサの製造法に
深く関与しており恒電気抵抗特性と相まって最適な加工
法および熱処理法を採用する必要がある。ここで耐熱応
力破壊性の評価法としては、合金の再結晶温度、平均の
結晶粒径ならびに合金素材をセンサコイルに成形加工後
、そのインピーダンスの安定性から判定できる。すなわ
ち再結晶温度が高く、平均の結晶粒径が小さく、しかも
インピーダンスの径時変化が少ないほど、センサの高温
安定性および耐熱応力破壊性が優れているといえる。

本発明者らは上記の諸問題点を解決して高温でも安定な
渦電流式センサを得るために上述した事実に基づき多く
の実験を行った結果、パラジウム３６．０　〜４５．５
％銀合金に周期率表のＩＩＩａ族〜ｖｂ族元素の添加が
高温における電気抵抗の平均の温度係数および耐熱応力
破壊性の改善に極めて有効かつ効果的であることを突き
とめた。

本発明の目的は上述した不具合を解消して、−１５０〜
１ｏｏｏ″Ｃの広い温度範囲において電気抵抗の変化が
極めて少なく、耐熱応力破壊性に優れかつ加工成形が容
易な恒電気抵抗特性を具備した渦電流式センサを提供し
ようとするものである。

すなわち本発明は、イリジウム（Ｉｒ）１０％以下、白
金（Ｐｔ）１０％以下、銅（Ｃｕ）１０％以下および金
（Ａｕ）２０％以下の１種あるいは２種以上の合計０．
１〜２０％と銀（Ａ、ｇ）３６．０〜４５．５％および
残部パラジウム（ｐｂ）と少量の不純物とからなる合金
を鋳造、鋳込み後、鍛造、熱間加工および冷間加工によ
り線材あるいは板材等の所望の形状となし、非酸化雰囲
気中または真空中において２００〜１２００°ｃで２秒
以上１００時間以下加熱する製造法により、−１５０”
Ｃ〜１ｏｏｏ″Ｃの広い温度範囲における電気抵抗の平
均温度係数が＋１００ｐｐｍ　／”Ｃ以下の優れた恒電
気抵抗特性を有し、耐熱応力破壊性に優れ、かつ耐酸化
性および加工成形性も良好な渦電流式センサを得ること
を特徴とするものである。

また本発明においては前記合金からなる線材または板材
等をスパイラルまたはトロイダル等の所望の形状に形成
加工した後、必要ならばくせ材処理し、これらをそのま
まで常温用または耐熱用絶縁体に固定するかあるいは絶
縁体中に埋め込む等の方法によってセンサとなし、必要
ならばさらに非酸化性雰囲気中または真空中において２
００〜５００℃で数時間加熱して固形化した後５００〜
１２００℃で２秒以上１００時間以下加熱するごとによ
り恒電気抵抗特性を具備せしめる方法、あるいは本発明
において、前記合金からなる線材または板材表面に常温
用または耐熱用絶縁体を塗布、電着等によりコーティン
グ処理後、スパイラルまたはトロイダル等の所望の形状
に成形加工した後、これらをそのままで常温用または耐
熱用絶縁体に固定するかあるいは絶縁体中に埋め込む等
の方法によってセンサとなし、必要ならばさらに非酸化
性雰囲気中または真空中において２００〜５００℃で数
時間加熱して固形化した後５００〜１２００℃で２秒以
上１００時間以下加熱するごとにより恒電気抵抗特性を
具備せしめる方法、またあるいは本発明において前記合
金を常温用または耐熱用絶縁体表面に電着またはスパッ
ツタリング等の適当な方法により薄膜として被着した後
、所望の形状にエツチング打抜きまたはトリミング加工
を施し、絶縁体に固定するかあるいは絶縁性ケース内に
装填してセンサとなし、さらにこれを非酸化性雰囲気中
または真空中において２００〜５００　”Ｃで数時間加
熱して固形化した後５００〜１２００℃で２秒以上１０
０時間以下加熱するごとにより恒電気抵抗特性を具備せ
しめる方法によりセンサを作製することを特徴とするも
のである。

以上の説明中、恒電気抵抗特性の語義について説明する
と、通常の金属合金の電気抵抗が温度変化と共に大きく
変化するのに対して本発明合金のように特定の温度傾城
では電気抵抗の変化が極めて少ないか若しくは零、換言
〜すれば電気抵抗の温度係数が極めて小さいか若しくは
零である性質について名づけたちのである。−例として
従来精密抵抗材料として多用されているマンガニン等が
常温付近に限って恒電気抵抗特性を有している。

以下、本発明を図面を参照して詳細に説明する。

第２図、第３図、第４図および第５図はそれぞれパラジ
ウム−銀系合金の一１５０℃〜１０００℃間における電
気抵抗の平均の温度係数におよぼすそれぞれＩｒ、Ｐｔ
、ＣｕおよびＡｕ添加量の効果を示す。また第６図には
Ｐｄ−４０％Ａｇ合金にＩｒ、Ｐｔ、Ｃｕ又はＡｕを添
加した合金の＝１５０℃〜１０００″Ｃ間における電気
抵抗の平均の温度係数とＩｒ、Ｐｔ、Ｃｕ又はＡｕ添加
量との関係を示す。これら第２図乃至第６図からも明ら
かなように、−１５０℃〜１０００℃間における電気抵
抗の平均の温度係数が±１００　ｐｐｍ　／　”Ｃ以下
を有するＩｒ、Ｐｔ、ＣｕあるいはＡｕの添加量はそれ
ぞれ１０％以下、１０％以下、１０％以下あるいは２０
％以下であることがわかる。

つぎに本発明合金およびセンサの製造法について詳細に
説明する。

まず本発明合金を造るにはＩｒｌＯ％以下、ＰｔｌＯ％
以下、ＣｕｌＯ％以下およびＡｕ２０％以下の１種ある
いは２種以上の合計０．１〜２０％と、Ａｇ３８〜４５
．５％および残部Ｐｄと少量の不純物の適量を非酸化性
雰囲気中または真空中において適当な溶解炉を用いて溶
解し、充分撹拌して組織的に均一な溶融合金を得る。つ
ぎに溶融合金を適当な形および大きさの鉄量に鋳込み健
全な鋳塊を得た後、鋳塊表面のスケール、疵類等を研削
して取り除き、さらに鍛造工程を経て種々の熱間加工お
よび冷間加工、例えばスェージング、伸線、圧延または
潰し等の方法によって所望の形状のもの、例えば丸棒、
細線または薄板にする。つぎにこれらの形状のものを非
酸化性雰囲気中または真空中において２００〜１２００
℃で２秒以上１００時間以下加熱するごとにより電気抵
抗の温度係数が一り５０℃〜１０００″Ｃの温度範囲に
おいて±１００ｐｐｍ　／’Ｃ以下の恒電気抵抗特性お
よび優れた耐熱応力破壊性を有することが可能となる。

また本発明合金を発熱素子やセンサ等に応用する場合に
は通常コイル状に成形加工して使用するため、以下に説
明するいずれかの方法によって本発明合金の恒電気抵抗
特性を十分に発揮し得る電気的および熱的絶縁処理を施
こさねばならない。

（１）本発明の合金の線材または板材等をマイカ等の常
温用絶縁体またはセラミック等の耐熱用絶縁体に直接巻
きつけるかあるいは絶縁体で挾むなどの方法により固定
した後、必要ならば非酸化性雰囲気中または真空中にお
いて絶縁体中の有害ガスや有機物を蒸発せしめるため２
００〜５００℃で数時間加熱後さらに５００〜１２００
℃で２秒以上１００時間以下加熱する。

（２）本発明の合金の線材あるいは板材等をスパイラル
またはトロイダル等の形状に成形加工したものを非酸化
性雰囲気中または真空中において５００〜１２００℃で
２秒以上１００時間以下加熱してくせ材処理後そのまま
の状態で水ガラス等の常温用絶縁体またはセラミックペ
ースト等の耐熱用絶縁体からなる溶液中に浸漬し２００
〜５００℃で数時間加熱して固形化した後絶縁ケース内
に装填して密閉し、必要ならばさらに非酸化性雰囲気中
または真空中において５００〜１２００″Ｃで２秒以上
１００時間以下加熱する。

（３）本発明の合金の線材または板材等表面にホルマー
ル等の常温用絶縁体を塗布またはコーティングするか、
あるいはポリイミド樹脂やマグネシャ等の耐熱用絶縁体
を電着またはスパッタリング等の適当な方法により被着
した後、スパイラルまたはトロイダル等の形状に巻線成
形加工し２００〜５００℃で数時間加熱して有害ガスや
有機物等を蒸発発散させ、絶縁ケース内に装填して密閉
し、必要ならばさらに非酸化性雰囲気中または真空中に
おいて５００〜１２００“Ｃで２秒以上１００時間以下
加熱する。

（４）本発明の合金をガラスやセラミック等の絶縁体表
面に電着またはスパッタリング等の適当な方法により被
着した後、所望の形状にエツチング打抜きまたはトリミ
ング加工を施し、必要ならば絶縁体に固定するかあるい
は絶縁性ケース内に装填する。その後２００〜５００℃
で数時間加熱して均質化処理を行い、必要ならばさらに
非酸化性雰囲気中または真空中において５００〜１２０
０℃で２秒以上１００時間加熱する。

以上のような工程により完成した成品の特性は本発明の
センサのそれと全（同じであって、恒電気抵抗特性や耐
熱応力破壊性を十分に発揮し得ることが明゛らかになっ
た。

つぎに本発明センサの製造法について、実施例によって
具体的に述べる。

災施五工 合金番号ＰＡＭ−１（組成Ｐ　ｄ−５５，５％、Ａｇ＝
４２．０％、Ｉｒ−２，５％）のセンサの製造原料とし
て純度９９．９％のＰｄ、ＡｇおよびＩｒを用いた。試
料を造るには全重量１００ｇの原料を高純度アルミナ坩
堝に入れ、アルゴンガスを吹きつけながら高周波誘導電
気炉によって溶解し、よく撹拌して均質な溶融合金とし
た後、内径７ｍｍ、高さ１８０ｍｍの鉄量に鋳込み、鋳
塊表面の疵を取り除いた。その後鍛造および熱間ロール
により直径　１０胴にし、スェージングおよび線引等の
冷間加工により直径０　、５　ｍｍの細線にしたものか
ら長さ約１０ｃｕ＋に切り取り電気抵抗測定用試料とし
た。電気抵抗は真空中−１６０〜銀００℃の温度範囲で
測定した。また上記線材（０，５ｍｍφ）にマグネシア
のコロイド溶液を塗布し乾燥後軸径２　ｎ＋＋ｎのセラ
ミック製ボビンに２０〜５０回巻きつけてセンサコイル
を造り、これをセラミック製ケース内に装填後セラミッ
クペーストで密閉した。

さらに　２００℃で１時間、４００　’Ｃで３０分つい
で１ｏｏｏ℃で３０分加熱焼成した。ついでこのセンサ
のインピーンス変化率 ηＯηＯ をブリッジ回路法により測定した。測定周波数はｌ　　
ｋｆ（ｚであった。ここでη。およびη７はそれぞれ測
定開始時および時間Ｔ後におけるセンサコイルのインピ
ーダンスである。

尚線材試料と比較合金ＰＡ−４（組成Ｐｄ−５８％、Ａ
ｇ−４２％）の温度対電気抵抗曲線を第７図に示す。ま
たこの曲線から求めた電気抵抗高温で長期間連続使用し
た場合のセンサの性能、インピーダンスの変化率は第１
表に示すとおりである。因みに本発明合金ＰＡＭ−１と
同様な方法で作製した比較合金ＰＡ−４のセンサコイル
は、８００℃で５日後に断線したが、本発明の合金ＰＡ
Ｍ−１のセンサコイルは１０００℃で１ケ月以上経過後
も正常に作動し断線しなかった。

第　　１　　表 合金番号ＰＡＭ−１９（組成Ｐ　ｄ−５５，２％、Ａｇ
−４１，３％、Ｐｔ−３，５％）のセンサの製造原料は
実施例１と同じ純度のＰｄ、ＡｇおよびＰｔを用いた。

試料の製造法および実験法は実施例工と全く同様である
。合金試料とセンサの電気的特性ならびにセンサの性能
については第８図および第２表に示すとおりで、実施例
１の結果と類似している。

第２表 合金番号ＰＡＭ−２５（組成Ｐ　ｄ−５４，５％、Ａｇ
＝４０．５％、Ｃｕ−５，０％）のセンサの製造原料は
実施例１と同じ純度のＰｂ、ＡｇおよびＣｕを用いた。

試料の製造法および実験法は実施例１と全く同様である
。合金試料とセンサの電気的特性ならびにセンサの性能
については第９図および第３表に示すとおりで、実施例
１の結果と類（以している。

第３表 合金番号ＰＡＭ−３９（組成Ｐｂ−４７，３％、Ａｇ−
４０，７％、　Ａ　ｕ−１２，０％）のセンサの製造原
料は実施例１と同じ純度のＰｄ、ＡｇおよびＡｕを用い
た。試料の製造法および実験法は実施例１と全く同様で
あ。合金試料とセンサの電気的特性ならびにセンサの性
能については第１０図および第４表に示すとおりで、実
施例１の結果と類似している。

第４表 上述の実施例の他に多くの合金についても実験を行った
が、第５表には代表的な合金試料の電気的特性、再結晶
温度、平均の結晶粒径ならびに本発明合金線材を用いた
センサについて８００℃で１０日間加熱保持した場合の
インピーダンス変化率を示す。

以上実施例１〜実施例４および第５表かられかるように
、Ｉｒ、ｐｔ、ＣｕおよびＡｕの１種あるいは２種以上
の合計０．１〜２０％と、Ａｇ３６．０〜４５．５％お
よび残部Ｐｄと少量の不純物からなる合金は、−１５０
℃〜１０００℃の広い温度範囲において土１００　ｐｐ
ｍ　／”Ｃの恒電気抵抗特性および優れた耐熱応力破壊
性を有しており、第７図〜第１０図にみるように電気抵
抗の温度に対する変化か高温では著しく改善されている
のが大きな特徴である。

さく、高温安定性に優れ、本発明合金の特性を十分に発
揮し得ることがわかる。

ここで本発明合金の組成において、ＩｒｌＯ％以下、Ｐ
ｔｌＯ％以下、ＣｕｌＯ％以下およびＡｕ２０％以下の
１種あるいは２種以上の合計０．１〜２０％と、Ａｇ３
６．０〜■５．５％に限定した理由は、第１図〜第６図
、実施例１〜実施例４および第５表からも明らかなよう
に、−１５０〜１０００　’Ｃ間における電気抵抗の平
均の温度係数が±１００ｐｐｍ　／”Ｃ以下の恒電気抵
抗特性を示し、またセンサの高温におけるインピーダン
ス変化率が±０．１００％以下で長時間にわたって非常
に安定しているが、組成がこの範囲をはずれると電気抵
抗の平均の温度係数が±１００ｐｐｍ　／”ｃ以上で大
きくなり恒電気抵抗合金あるいは高温における安定性の
優れたセンサとしては不適当となるからである。

また本発明合金およびセンサの恒電気抵抗特性を示す温
度範囲を一１５０℃〜１０００″Ｃ間に限定した理由は
、第１図〜第６図、実施例１〜実施例４、第５表からも
明らかなように、上記の温度範囲内における電気抵抗の
平均の温度係数が±Ｉ　Ｑ　Ｏｐｐｍ　／”Ｃ以下の恒
電気抵抗特性を示すが、この温度領域からはずれると電
気抵抗の平均の温度係数が±１００ｐｐｍ　／”Ｃ以上
となり本発明合金の要求特性に合致しないばかりでなく
センサの性能を十分に発揮し得ないため、恒電気抵抗合
金あるいは高温における安定性の優れたセンサとしては
不適当となるからである。

さらにまた本発明合金およびセンサの製造法において、
熱処理として２００〜１２００　’ｃて２秒以上１００
時間以下に限定した理由は、この温度範囲内および時間
内では加工による内部歪が十分に取り除かれ、さらに一
層安定した恒電気抵抗特性が得られるが、２００　’Ｃ
以下で２秒以下加熱処理した場合には加工による残留応
力のため恒電気抵抗特性が得られずセンサを高温で使用
する場合非常に不安定となる。また１　２００　’Ｃ以
上で１００時間以上加熱処理した場合には結晶粒の粗大
化によって耐熱応力破壊性が悪化し、しかも含有銀の蒸
発によって恒電気抵抗特性が得られないだけでなく蒸発
銀の汚染により電気絶縁特性が悪化することもある。し
たがって上記の熱処理条件からはずれた場合には、恒電
気抵抗特性あるいは高温における安定性の優れたセンサ
としては不適当となるからである。

要するに本発明合金およびセンサは一１５０℃〜１００
０℃の温度範囲において電気抵抗の平均の温度係数が±
１００ｐｐｍ　／”ｃ以上の恒電気抵抗特性および耐熱
応力破壊性に優れ、しかも高温で長期間使用してもイン
ピーダンス変化率が±０．１００％以下で非常に少なく
安定性に優れているなどの特徴を有しており、これらの
合金およびセンサを利用したデバイス複合体や各種計測
機器の主要な部品、例えば発熱素子、熱線風速計、抵抗
温度計や熱定電流安定器等の基準抵抗体等に応用しても
本発明合金およびセンサの有する優れた特性を十分に発
揮することが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図はパラジウム−銀系合金の０〜４００℃（１）、
−１５０〜１ｏｏｏ℃（ＩＩ）および−２００〜１２０
０℃（Ｉｌｌ）の温度間における電気抵抗の平均の温度
係数とＡｇ量との関係を示す特性図、第２図、第３図、
第４図および第５図はそれぞれ（Ｐｄ−Ａｇ）＋Ｉ　ｒ
系、（Ｐｄ−Ａｇ）＋ｐｔ系、（Ｐｄ−Ａｇ）＋Ｃｕ系
および（Ｉ’ｄ−Ａｇ）　＋Ａｕ系合金の一１５０℃〜
１０００℃における電気抵抗の平均の温度係数とＡｇ量
との係を示す特性図、 第６図はＰｃ１−４０％Ａ　ｇ合金にＩｒ、ＰｔＣｕ又
はＡｕを添加した場合の各元素添加量と１５０〜１００
０℃における電気抵抗の平均の度係数との関係を示す特
性図、 第７図〜第１０図は合金番号ＰＡＭ−１、ＰＭ−１９、
ＰＡＭ−２５、ＰＡＭ−３９ならび比較合金ＰＡ−４の
電気抵抗と測定温度との関を示す特性図である。 特許出願人　　財団法人　電気磁気材料研代理人弁理士
　　杉　　村　　暁 同弁理士　杉　村　興 関　　　　　　第１図 第２図 Ａヲ（２） 第３図 Ａ９（％り 第４図 第５図 第６図 ；≧　　　　　　　　工と、Ｐ七、ＣＬ　２１２　Ａｍ
　　ンげ５刀口童　（う９）姦 ミ 第７図 ；１’ｌ定温度（’Ｃ） 第８図 測定温浸（’Ｃジ 第９図 須弓　定湿／ｌ　（０Ｃ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、重量比にてイリジウム１０％以下、白金１０％以下
   、銅１０％以下および金２０％以下の１種あるいは２種
   以上の合計０．１〜２０％と、銀３６．０〜４５．５％
   および残部パラジウムと少量の不純物とからなる恒電気
   抵抗合金の素材を、スパイラルまたはトロイダル等の所
   望の形状となし、これをそのままの状態で常温用または
   耐熱用絶縁体に固定するか絶縁体中に埋め込むことによ
   り絶縁体に取付けて、非酸化性雰囲気中または真空中に
   おいて２００〜５００℃で数時間加熱して固形化した後
   、さらに５００〜１２００℃で２秒以上１００時間以下
   加熱することを特徴とする渦電流式センサの製造法。 ２、重量比にてイリジウム１０％以下、白金１０％以下
   、銅１０％以下および金２０％以下の１種あるいは２種
   以上の合計０．１〜２０％と、銀３６．０〜４５．５％
   および残部パラジウムと少量の不純物とからなる恒電気
   抵抗合金の素材表面に、常温用または耐熱用絶縁体を塗
   布、電着等によりコーティング処理後、スパイラルまた
   はトロイダル等の所望の形状となし、これをそのままの
   状態で常温用または耐熱用絶縁体に固定するか、絶縁体
   中に埋め込むことにより絶縁体に取付けて、非酸化性雰
   囲気中または真空中において２００〜５００℃で数時間
   加熱して固形化した後、さらに ５００〜１２００℃で２秒以上１００時間以下加熱する
   ことを特徴とする渦電流式センサの製造法。 ３、重量比にてイリジウム１０％以下、白金１０％以下
   、銅１０％以下および金２０％以下の１種あるいは２種
   以上の合計０．１〜２０％と、銀３６．０〜４５．５％
   および残部パラジウムと少量の不純物とからなる恒電気
   抵抗合金を、常温用または耐熱用絶縁体表面に電着また
   はスパッタリング等の適当な方法により被着した後、エ
   ッチング、打抜きまたはトリミング加工を施して所望の
   形状となし、これを絶縁体に固定するかあるいは絶縁性
   ケース内に装填するごとにより絶縁体に取付けて、非酸
   化性雰囲気中または真空中において２００〜 ５００℃で数時間加熱して固形化した後、さらに５００
   〜１２００℃で２秒以上１００時間以下加熱することを
   特徴とする渦電流式センサの製造法。