JPS63131123U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63131123U JPS63131123U JP2130387U JP2130387U JPS63131123U JP S63131123 U JPS63131123 U JP S63131123U JP 2130387 U JP2130387 U JP 2130387U JP 2130387 U JP2130387 U JP 2130387U JP S63131123 U JPS63131123 U JP S63131123U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- receiving
- emitting
- sample stage
- chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例のプラズマ処理装
置の要部構成図である。 １０……処理室、２１……試料電極、５０……
発光素子、５１……受光素子、７０……制御装置
。
置の要部構成図である。 １０……処理室、２１……試料電極、５０……
発光素子、５１……受光素子、７０……制御装置
。
Claims (1)
- 処理室に内設された光透過可能な試料台と、前
記光を発射する発光手段と、該発光手段から発射
された前記光を受光する受光手段と、該受光手段
からの信号を受け前記処理室内のプラズマクリー
ニングの開始を制御する制御手段とを具備し、前
記試料台を間に有し前記発光手段と前記受光手段
とを設けたことを特徴とするプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2130387U JPS63131123U (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2130387U JPS63131123U (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63131123U true JPS63131123U (ja) | 1988-08-26 |
Family
ID=30817622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2130387U Pending JPS63131123U (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63131123U (ja) |
-
1987
- 1987-02-18 JP JP2130387U patent/JPS63131123U/ja active Pending